JPH0738806Y2 - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
- Publication number
- JPH0738806Y2 JPH0738806Y2 JP460890U JP460890U JPH0738806Y2 JP H0738806 Y2 JPH0738806 Y2 JP H0738806Y2 JP 460890 U JP460890 U JP 460890U JP 460890 U JP460890 U JP 460890U JP H0738806 Y2 JPH0738806 Y2 JP H0738806Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser light
- column
- laser
- arm
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP460890U JPH0738806Y2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 干渉計 |
US07/642,451 US5127734A (en) | 1990-01-24 | 1991-01-17 | Laser interferometer for inspecting the surface of a specimen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP460890U JPH0738806Y2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0397607U JPH0397607U (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-10-08 |
JPH0738806Y2 true JPH0738806Y2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=31508345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP460890U Expired - Lifetime JPH0738806Y2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | 干渉計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0738806Y2 (enrdf_load_stackoverflow) |
-
1990
- 1990-01-24 JP JP460890U patent/JPH0738806Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0397607U (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2966514B2 (ja) | 焦準機構付き顕微鏡 | |
US5907404A (en) | Multiple wavelength image plane interferometry | |
JPH08262140A (ja) | レーザレーダ用光線あおり機構および該あおり機構を使用したレーザ装置 | |
JPH02287236A (ja) | 下地の上に置かれた液滴の45゜未満の接触角を測定する方法と装置 | |
JP2001510577A (ja) | 干渉計システムおよびそのようなシステムを含むリソグラフィー装置 | |
JP2002023346A (ja) | フォトリソグラフマスク修復のためのレーザ投射システム及び方法 | |
US8593644B2 (en) | White light optical profilometer for measuring complex surfaces | |
JPH0738806Y2 (ja) | 干渉計 | |
JP2011515177A (ja) | 対象物の検査のための光学セットおよび光学的デバイスを使用した対象物を検査するための方法 | |
DE102019217629B4 (de) | Verfahren zur Ausrichtung eines Interferometers | |
JP3237317B2 (ja) | ホログラム干渉計装置 | |
Tyrrell et al. | Development of a combined interference microscope objective and scanning probe microscope | |
RU2382389C2 (ru) | Способ настройки сканирующего зондового микроскопа и сканирующий зондовый микроскоп для его осуществления | |
JP2000250100A (ja) | 光学測定機用照明装置 | |
JP3773413B2 (ja) | 基準光生成装置の調整方法 | |
JP3336640B2 (ja) | 干渉計装置 | |
JP3810027B2 (ja) | 光波干渉装置の被検体ポジショニング装置 | |
JP2536205Y2 (ja) | 干渉計用アライメント調整具 | |
JP3214063B2 (ja) | ホログラム干渉計装置 | |
JP2002164592A (ja) | 非平面鏡の調整方法および装置 | |
JP3282296B2 (ja) | シリンドリカル光学素子測定用ホログラム干渉計装置 | |
JP3318965B2 (ja) | ホログラム干渉計装置 | |
JPH0738807Y2 (ja) | 投影検査機 | |
JP3329003B2 (ja) | ホログラム干渉計装置のホログラム光学素子固定機構 | |
JP3298241B2 (ja) | ホログラム干渉計装置用ホログラムカセット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |