JPH073702B2 - 光学ヘッド非点収差調整装置 - Google Patents
光学ヘッド非点収差調整装置Info
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- JPH073702B2 JPH073702B2 JP62158212A JP15821287A JPH073702B2 JP H073702 B2 JPH073702 B2 JP H073702B2 JP 62158212 A JP62158212 A JP 62158212A JP 15821287 A JP15821287 A JP 15821287A JP H073702 B2 JPH073702 B2 JP H073702B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光学ヘッドの波面収差、特に非点収差を補正
する光学ヘッド非点収差調整装置（以下、光学調整装置
という）に関するものである。
する光学ヘッド非点収差調整装置（以下、光学調整装置
という）に関するものである。
従来の技術 近年、デジタルオーディオディスク，ビデオディスク，
光データファイル，といった光メモリー装置の普及が目
覚しい。なかでも光学的手法によってデーターの追記及
び書き換えが可能な光データーファイルは、コンピュー
ターの外部メモリー装置として今後大いに発展する可能
性を秘めている。しかし光データーファイルに使用する
光学ヘッドは、デジタルオーディオディスク等の再生専
用のものと比較すると、光学部品点数が多く複雑な構成
になっている。その上光データーファイルは記録時と再
生時にそれぞれ精度が要求されるため、その光学ヘッド
は再生専用装置のものよりもさらに高精度でなければな
らない。
光データファイル，といった光メモリー装置の普及が目
覚しい。なかでも光学的手法によってデーターの追記及
び書き換えが可能な光データーファイルは、コンピュー
ターの外部メモリー装置として今後大いに発展する可能
性を秘めている。しかし光データーファイルに使用する
光学ヘッドは、デジタルオーディオディスク等の再生専
用のものと比較すると、光学部品点数が多く複雑な構成
になっている。その上光データーファイルは記録時と再
生時にそれぞれ精度が要求されるため、その光学ヘッド
は再生専用装置のものよりもさらに高精度でなければな
らない。
そのため光データーファイルの光学ヘッドを製造する
際、波面収差（特に非点収差）の補正を十分行う必要が
ある。波面収差は、レーザーダイオード，レンズ・ミラ
ー等の光学部品で生ずる他、楕円ビーム整形光学系（後
述）の調整不足からも生じる。波面収差を補正するため
には、かなりの高精度でしかも短時間で波面収差を検出
する能力を持った光学調整装置が必要である。
際、波面収差（特に非点収差）の補正を十分行う必要が
ある。波面収差は、レーザーダイオード，レンズ・ミラ
ー等の光学部品で生ずる他、楕円ビーム整形光学系（後
述）の調整不足からも生じる。波面収差を補正するため
には、かなりの高精度でしかも短時間で波面収差を検出
する能力を持った光学調整装置が必要である。
以下、図面を参照しながら、上述した従来の光学調整装
置の一例について説明する。
置の一例について説明する。
従来の非点収差調整は一般的な光学調整装置を用いて行
う場合が多く、この装置についてはたとえばドナルド
ケイコヘン 他、“テクニクス フォー メジュアリン
グ 1-μｍダイアム ガウシアン ビームス",アプライ
ト オプティクス、第23巻、４号、1984（Donald K.Co
hen et al.,“Tecniques for measuring 1-μｍ
diam Gaussian beams",Applied Optics,Vol.23,No.
4,1984）等で紹介されている。第９図、第10図は従来の
光学調整装置の構成図を示すものである。第９図におい
て、１は発光手段、２は収差補正手段、３は凸レンズ、
40は受光手段、50はナイフエッジである。以上の構成要
素は基板11上に適当に設定されている。
う場合が多く、この装置についてはたとえばドナルド
ケイコヘン 他、“テクニクス フォー メジュアリン
グ 1-μｍダイアム ガウシアン ビームス",アプライ
ト オプティクス、第23巻、４号、1984（Donald K.Co
hen et al.,“Tecniques for measuring 1-μｍ
diam Gaussian beams",Applied Optics,Vol.23,No.
4,1984）等で紹介されている。第９図、第10図は従来の
光学調整装置の構成図を示すものである。第９図におい
て、１は発光手段、２は収差補正手段、３は凸レンズ、
40は受光手段、50はナイフエッジである。以上の構成要
素は基板11上に適当に設定されている。
以上のように構成された光学調整装置について、以下そ
の動作の説明をする。まず発光手段１から出た光を凸レ
ンズ３でもって集光させる。その結像点にはナイフエッ
ジ50が設けられている。ナイフエッジ50は（特に図示し
ていないが）高精度の位置決め装置に設けられていて、
図中Ｘ方向に微動できるようになっている。ナイフエッ
ジ50を適当に動かすと、受光手段40によって検出される
光量ＰはＸに対し第10図の様に変化する。これよりdP/d
Xを計算すれば結像点におけるＸ方向の光量分布が得ら
れる。Ｘ方向のビーム幅だけを知りたい時は第10図に示
した如く検出光量Ｐの立ち上がり幅を求めれば良い。波
面収差が無視できる場合、焦点付近の光束はほぼ回折限
界まで絞りきれているので、検出光量Ｐの立ち上がり幅
は最小になる（第10図（ａ））。波面収差が相当量存在
する場合、焦点付近の光束は回折限界より太くなるの
で、検出光量Ｐの立ち上がり幅は広くなる（第10図
（ｂ））。
の動作の説明をする。まず発光手段１から出た光を凸レ
ンズ３でもって集光させる。その結像点にはナイフエッ
ジ50が設けられている。ナイフエッジ50は（特に図示し
ていないが）高精度の位置決め装置に設けられていて、
図中Ｘ方向に微動できるようになっている。ナイフエッ
ジ50を適当に動かすと、受光手段40によって検出される
光量ＰはＸに対し第10図の様に変化する。これよりdP/d
Xを計算すれば結像点におけるＸ方向の光量分布が得ら
れる。Ｘ方向のビーム幅だけを知りたい時は第10図に示
した如く検出光量Ｐの立ち上がり幅を求めれば良い。波
面収差が無視できる場合、焦点付近の光束はほぼ回折限
界まで絞りきれているので、検出光量Ｐの立ち上がり幅
は最小になる（第10図（ａ））。波面収差が相当量存在
する場合、焦点付近の光束は回折限界より太くなるの
で、検出光量Ｐの立ち上がり幅は広くなる（第10図
（ｂ））。
収差補正手段２を調整し、焦点付近の光束がほぼ回折限
界まで絞れるようにすれば、必然的に波面収差は補正で
きたことになる。
界まで絞れるようにすれば、必然的に波面収差は補正で
きたことになる。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成では、ナイフエッジ50相
当な精度でもって位置決めせねばらならず（直径１μｍ
のビームなら0.1μｍ程度）、しかも測定精度を上げた
としても以下述べる理由からビーム形状を十分に把握で
きないという問題点を有していた。すなわち第10図
（ｃ）に示したように、ナイフエッジ50を一方向しか走
査させなければ円形ビームと楕円形ビームとの区別がつ
けられない。従ってナイフエッジ50はすくなくとも二方
向に走査させねばならないことになる。二方向に走査し
たとしても二つの側面からビームを見ているだけであ
り、これによりビームの形状がすべて把握できるわけで
はない。
当な精度でもって位置決めせねばらならず（直径１μｍ
のビームなら0.1μｍ程度）、しかも測定精度を上げた
としても以下述べる理由からビーム形状を十分に把握で
きないという問題点を有していた。すなわち第10図
（ｃ）に示したように、ナイフエッジ50を一方向しか走
査させなければ円形ビームと楕円形ビームとの区別がつ
けられない。従ってナイフエッジ50はすくなくとも二方
向に走査させねばならないことになる。二方向に走査し
たとしても二つの側面からビームを見ているだけであ
り、これによりビームの形状がすべて把握できるわけで
はない。
さらに測定時間の問題もある。従来の方式では機械的に
ナイフエッジ50を数方向に走査させ、得られたデーター
を演算処理することによってビーム形状を知るのでそれ
なりの時間を要した。単なる測定装置として用いる場合
には多少の測定時間は問題にならないが、光学調整用の
治具として用いる場合には即応性が要求される。特に製
造ラインに導入するようなものであれば、１回の処理に
要する時間が0.1秒以下のものであるのが望ましい。
ナイフエッジ50を数方向に走査させ、得られたデーター
を演算処理することによってビーム形状を知るのでそれ
なりの時間を要した。単なる測定装置として用いる場合
には多少の測定時間は問題にならないが、光学調整用の
治具として用いる場合には即応性が要求される。特に製
造ラインに導入するようなものであれば、１回の処理に
要する時間が0.1秒以下のものであるのが望ましい。
本発明は上記問題点に鑑み、瞬時に波面収差が検出で
き、しかも正確に調整できる光学調整装置を提供するも
のである。
き、しかも正確に調整できる光学調整装置を提供するも
のである。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の光学調整装置は、
凸レンズの焦点付近に回折格子を備え、上記回折格子を
反射した光を検出する検出手段を備えたものである。
凸レンズの焦点付近に回折格子を備え、上記回折格子を
反射した光を検出する検出手段を備えたものである。
作用 本発明は上記した構成によって、回折格子反射光のファ
ーフィールド像を観察し、それより非点収差の量を判定
することにより、短時間にしかも正確に非点収差の補正
を実行することができる。
ーフィールド像を観察し、それより非点収差の量を判定
することにより、短時間にしかも正確に非点収差の補正
を実行することができる。
実施例 以下本発明の第１の一実施例の光学調整装置について、
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の第１の実施例における光学調整装置の
構成図を示すものである。第１図において、１は発光手
段、２は収差補正手段、３は凸レンズ、４は検出手段、
５は回折格子、６は分光手段である。以上の構成要素の
うち、被調整光学系は発光手段１と収差補正手段２であ
り、これを含めすべての構成要素は基板11上に適当に設
置されている。
構成図を示すものである。第１図において、１は発光手
段、２は収差補正手段、３は凸レンズ、４は検出手段、
５は回折格子、６は分光手段である。以上の構成要素の
うち、被調整光学系は発光手段１と収差補正手段２であ
り、これを含めすべての構成要素は基板11上に適当に設
置されている。
以上のように構成された光学調整装置について、以下第
１図，第２図および第３図を用いてその動作を説明す
る。
１図，第２図および第３図を用いてその動作を説明す
る。
まず第１図において、発光手段１より発した光は収差補
正手段２、分光手段６を通った後、凸レンズ３によって
回折格子５上に集光させられる。回折格子５を反射した
光は再び凸レンズ３、分光手段６を経て検出手段４に至
る。
正手段２、分光手段６を通った後、凸レンズ３によって
回折格子５上に集光させられる。回折格子５を反射した
光は再び凸レンズ３、分光手段６を経て検出手段４に至
る。
第２図は回折格子５で反射した光（０次光）と散乱した
回折光（＋１次光、−１次光）の様子を示すものであ
る。回折格子５の格子幅および格子の高さなどは適当に
設定されていて、第２図に示された如く０次光と＋１次
光、０次光と−１次光とがそれぞれ独立の干渉領域を有
している。
回折光（＋１次光、−１次光）の様子を示すものであ
る。回折格子５の格子幅および格子の高さなどは適当に
設定されていて、第２図に示された如く０次光と＋１次
光、０次光と−１次光とがそれぞれ独立の干渉領域を有
している。
第３図は検出手段４に入射する光束の光量分布を図示し
たものである。回折光は凸レンズ３を通過する際に瞳に
よってケラれるので、検出手段４に到達するのは０次光
と交差している部分すなわち干渉領域の部分のみであ
る。０次光、＋１次光、−１次光の位相はそれぞれ異な
っているので、干渉領域では０次光と＋１次光、０次光
と−１次光はそれぞれベクトル加算されていることにな
る。ここで凸レンズ３を透過した光（入射光）が波面収
差を持っていなければ、それぞれ０次光、＋１次光、＋
１次光における位相分布は均一である。従って、もし入
射光の光量分布が一様であれば、それぞれの干渉領域に
おける光量分布も一様である（第３図（ａ））。入射光
が波面収差を持っていれば、その位相分布はもはや均一
では無く、それぞれの干渉領域における光量分布にもム
ラが生じる。
たものである。回折光は凸レンズ３を通過する際に瞳に
よってケラれるので、検出手段４に到達するのは０次光
と交差している部分すなわち干渉領域の部分のみであ
る。０次光、＋１次光、−１次光の位相はそれぞれ異な
っているので、干渉領域では０次光と＋１次光、０次光
と−１次光はそれぞれベクトル加算されていることにな
る。ここで凸レンズ３を透過した光（入射光）が波面収
差を持っていなければ、それぞれ０次光、＋１次光、＋
１次光における位相分布は均一である。従って、もし入
射光の光量分布が一様であれば、それぞれの干渉領域に
おける光量分布も一様である（第３図（ａ））。入射光
が波面収差を持っていれば、その位相分布はもはや均一
では無く、それぞれの干渉領域における光量分布にもム
ラが生じる。
第３図（ｂ）は回折格子の方向に対し45゜方向（図中矢
印方向）に非点収差がある場合の検出光を模式的に図示
したものである。すなわち非点収差収差がある場合、波
面は（この場合は回折格子に対し45゜方向に）円柱状に
湾曲しているので、その方向に干渉ムラが生じる。第３
図（ｃ），（ｄ）はそれぞれコマ収差，球面収差が生じ
た時の検出光を模式的に図示したものである。収差によ
ってそれぞれ特徴を持った干渉パターンが得られる。
印方向）に非点収差がある場合の検出光を模式的に図示
したものである。すなわち非点収差収差がある場合、波
面は（この場合は回折格子に対し45゜方向に）円柱状に
湾曲しているので、その方向に干渉ムラが生じる。第３
図（ｃ），（ｄ）はそれぞれコマ収差，球面収差が生じ
た時の検出光を模式的に図示したものである。収差によ
ってそれぞれ特徴を持った干渉パターンが得られる。
検出手段４はビデオカメラの様なものであれば良い。ビ
デオモニタに投影される干渉パターンが第３図（ａ）の
如く均一になるように収差補正手段２を調整すれば、極
めて高い精度で波面収差を補正することができる。RMS
値で0.1λ程度の波面収差があれば、第３図（ｂ）〜
（ｄ）に示した様な顕著な干渉パターンが認識できる。
デオモニタに投影される干渉パターンが第３図（ａ）の
如く均一になるように収差補正手段２を調整すれば、極
めて高い精度で波面収差を補正することができる。RMS
値で0.1λ程度の波面収差があれば、第３図（ｂ）〜
（ｄ）に示した様な顕著な干渉パターンが認識できる。
以上のように本実施例によれば、発光手段より発した光
を収束させる凸レンズと、その凸レンズの焦点付近に回
折格子を設けることにより、短時間に非点収差などの波
面収差が検出でき、調整精度が高く、しかも極めて構成
の簡単な光学調整装置を実現することができる。
を収束させる凸レンズと、その凸レンズの焦点付近に回
折格子を設けることにより、短時間に非点収差などの波
面収差が検出でき、調整精度が高く、しかも極めて構成
の簡単な光学調整装置を実現することができる。
なお、収差補正手段２の具体的構成については次の実施
例で説明する。
例で説明する。
以下本発明の第２の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第４図は本発明の第２の実施例を示す光学調整装置の構
成図である。同図において、１は発光手段であり、本実
施例ではレーザーダイオードのような点光源を持つ物を
意味している。21はコリメータレンズ、22はプリズムで
ある。23はコリメータレンズ調整治具である。コリメー
タレンズ21、プリズム22、コリメータレンズ調整治具23
は収差補正手段２の構成要素となっている。発光手段
１、コリメータレンズ21、プリズム22、分光手段６、凸
レンズ３はハウジング10上に設けられている。コリメー
タレンズ21はその光軸方向に調整可能であるとする。さ
らに上記ハウジング10、コリメータレンズ調整治具23、
検出手段４、回折格子５は基板11上に適当に位置決めさ
れて設けられている。ただし回折格子５と基板11の間に
は位置調整手段51が介在している。
成図である。同図において、１は発光手段であり、本実
施例ではレーザーダイオードのような点光源を持つ物を
意味している。21はコリメータレンズ、22はプリズムで
ある。23はコリメータレンズ調整治具である。コリメー
タレンズ21、プリズム22、コリメータレンズ調整治具23
は収差補正手段２の構成要素となっている。発光手段
１、コリメータレンズ21、プリズム22、分光手段６、凸
レンズ３はハウジング10上に設けられている。コリメー
タレンズ21はその光軸方向に調整可能であるとする。さ
らに上記ハウジング10、コリメータレンズ調整治具23、
検出手段４、回折格子５は基板11上に適当に位置決めさ
れて設けられている。ただし回折格子５と基板11の間に
は位置調整手段51が介在している。
上記のように構成された光学調整装置について、以下そ
の動作を説明する。
の動作を説明する。
コリメータレンズ21は発光手段１から出た光をほぼ平行
光にするためのものである。プリズム22は一般にビーム
整形プリズムと呼ばれるものであり、楕円ビームを円形
ビームに変換するものである。ここで、プリズム22に入
射する光が平行光でないとき、プリズム透過時に非点収
差が発生することは良く知られたことである。そこでコ
リメータレンズ出射光が平行光になるように、すなわち
非点収差が無くなるようにコリメータレンズ調整治具23
を用いコリメータレンズ22の位置を微調する。非点収差
の検出方法については先の実施例ですでに説明してあ
る。
光にするためのものである。プリズム22は一般にビーム
整形プリズムと呼ばれるものであり、楕円ビームを円形
ビームに変換するものである。ここで、プリズム22に入
射する光が平行光でないとき、プリズム透過時に非点収
差が発生することは良く知られたことである。そこでコ
リメータレンズ出射光が平行光になるように、すなわち
非点収差が無くなるようにコリメータレンズ調整治具23
を用いコリメータレンズ22の位置を微調する。非点収差
の検出方法については先の実施例ですでに説明してあ
る。
発光手段１にもともと非点収差がある場合は、プリズム
22でこれとは反対方向の非点収差を生じさせることによ
って両者を相殺させねばならない。このときプリズム透
過光は当然平行光では無い。従って凸レンズ３による結
像点の位置も移動する。このため回折格子５を光軸方向
に微動させる位置調整装置51が必要になる。回折格子５
が焦点位置にあるか無いかは反射光のファーフィールド
像を観察すれば分る。即ち回折格子５が焦点位置に無い
場合は第３図（ｅ）に示した如く干渉領域に複数の縞が
観察される。そこでファーフィールド像が（ａ）〜
（ｄ）になるように位置調整装置51を調整すれば良いこ
とになる。
22でこれとは反対方向の非点収差を生じさせることによ
って両者を相殺させねばならない。このときプリズム透
過光は当然平行光では無い。従って凸レンズ３による結
像点の位置も移動する。このため回折格子５を光軸方向
に微動させる位置調整装置51が必要になる。回折格子５
が焦点位置にあるか無いかは反射光のファーフィールド
像を観察すれば分る。即ち回折格子５が焦点位置に無い
場合は第３図（ｅ）に示した如く干渉領域に複数の縞が
観察される。そこでファーフィールド像が（ａ）〜
（ｄ）になるように位置調整装置51を調整すれば良いこ
とになる。
以下本発明の第３の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第５図（ａ），（ｂ）は本発明の第３の実施例を示す光
学調整装置の要部構成図及び回路図である。同図におい
て、７は回折格子５を面方向に揺動させる揺動手段であ
る。本実施例では検出手段４は第５図（ｂ）に図示され
ているような直交４分割受光素子である。各受光セルの
出力をA,B,C,D（時計回り）とする。これらは信号処理
回路41に送られる。
学調整装置の要部構成図及び回路図である。同図におい
て、７は回折格子５を面方向に揺動させる揺動手段であ
る。本実施例では検出手段４は第５図（ｂ）に図示され
ているような直交４分割受光素子である。各受光セルの
出力をA,B,C,D（時計回り）とする。これらは信号処理
回路41に送られる。
上記のように構成された光学調整装置について、以下そ
の動作を説明する。
の動作を説明する。
回折格子５を揺動手段７でもってその格子とほぼ直角方
向に微小振幅で揺動させると、ファーフィールド像は第
６図のように変化する。すなわち格子の中央（Ｑ）では
両干渉領域の光量分布は等しくなり、エッジ（Ｐおよび
Ｒ）では片方が明るく、片方が暗くなる。ここで、検出
手段４は第７図に図示されるようにファーフィールド光
をそれぞれ対象に４分割するような位置に置かれてい
て、その出力より信号処理回路41は対角和差動信号すな
わち（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）なる量を合成し、出力す
る。無収差の時は第８図（ｃ）に示した如く出力は常に
０である。このことはファーフィールド像の対称性より
理解できる。第３図のように非点収差があるときは対称
性がくずれるので、その量に応じた振幅を持つ交流信号
が出力される（第８図（ａ），（ｂ））。従って信号処
理回路41の出力が最小になるように収差補正手段２を調
整すれば、このとき非点収差は殆どキャンセルされたこ
とになる。このように本実施例では、検出手段４として
安価な４分割受光素子を用いることができ、さらに収差
の量が交流の振幅として量的に把握できるために、製造
ラインに設置する場合等においてより有用な光学調整装
置を実現することができる。
向に微小振幅で揺動させると、ファーフィールド像は第
６図のように変化する。すなわち格子の中央（Ｑ）では
両干渉領域の光量分布は等しくなり、エッジ（Ｐおよび
Ｒ）では片方が明るく、片方が暗くなる。ここで、検出
手段４は第７図に図示されるようにファーフィールド光
をそれぞれ対象に４分割するような位置に置かれてい
て、その出力より信号処理回路41は対角和差動信号すな
わち（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）なる量を合成し、出力す
る。無収差の時は第８図（ｃ）に示した如く出力は常に
０である。このことはファーフィールド像の対称性より
理解できる。第３図のように非点収差があるときは対称
性がくずれるので、その量に応じた振幅を持つ交流信号
が出力される（第８図（ａ），（ｂ））。従って信号処
理回路41の出力が最小になるように収差補正手段２を調
整すれば、このとき非点収差は殆どキャンセルされたこ
とになる。このように本実施例では、検出手段４として
安価な４分割受光素子を用いることができ、さらに収差
の量が交流の振幅として量的に把握できるために、製造
ラインに設置する場合等においてより有用な光学調整装
置を実現することができる。
以上のように、本実施例によれば、検出手段４として直
交４分割受光素子を用い、さらにその出力より対角和差
動信号を得る信号処理回路を設けることにより、収差を
量的に把握できる。
交４分割受光素子を用い、さらにその出力より対角和差
動信号を得る信号処理回路を設けることにより、収差を
量的に把握できる。
なお、第１の実施例において発光手段１より発せされる
光束の強度分布は一様であるとしたが、必ずしもそうで
ある必要は無い。たとえば非点収差は回折格子反射光の
ファーフィールド像の非対称性によって検出されるの
で、発光手段出射光は回転対称形の光量分布を持ってい
るものであればよい。さらに多少不規則な光量分布を持
つものであっても、その形状が把握できていれば、後で
測定結果の補償を行うことができる。
光束の強度分布は一様であるとしたが、必ずしもそうで
ある必要は無い。たとえば非点収差は回折格子反射光の
ファーフィールド像の非対称性によって検出されるの
で、発光手段出射光は回転対称形の光量分布を持ってい
るものであればよい。さらに多少不規則な光量分布を持
つものであっても、その形状が把握できていれば、後で
測定結果の補償を行うことができる。
発明の効果 以上のように本発明は凸レンズと、凸レンズの焦点付近
に回折格子を備え、上記回折格子を反射した光を検出す
る検出手段を備えたことにより、回折格子反射光のファ
ーフィールド像を観察し、それより波面収差の量を判定
することができ、短時間にしかも正確に波面収差の補正
を実行することができる。
に回折格子を備え、上記回折格子を反射した光を検出す
る検出手段を備えたことにより、回折格子反射光のファ
ーフィールド像を観察し、それより波面収差の量を判定
することができ、短時間にしかも正確に波面収差の補正
を実行することができる。
第１図は本発明の一実施例における光学調整装置の構成
図、第２図は回折格子の作用を図示した説明図、第３図
は検出手段に入射する光束の光量分布を図示した模式
図、第４図は本発明の第２の一実施例の光学調整装置の
構成図、第５図は本発明の第３の一実施例の光学調整装
置の要部構成図および回路図、第６図，第７図，第８図
はその動作説明図、第９図は従来の光学調整装置の構成
図、第10図はその動作説明図である。 １……発光手段、２……収差補正手段、３……凸レン
ズ、４……検出手段、５……回折格子。
図、第２図は回折格子の作用を図示した説明図、第３図
は検出手段に入射する光束の光量分布を図示した模式
図、第４図は本発明の第２の一実施例の光学調整装置の
構成図、第５図は本発明の第３の一実施例の光学調整装
置の要部構成図および回路図、第６図，第７図，第８図
はその動作説明図、第９図は従来の光学調整装置の構成
図、第10図はその動作説明図である。 １……発光手段、２……収差補正手段、３……凸レン
ズ、４……検出手段、５……回折格子。
Claims (3)
- 【請求項１】発光手段と、前記発光手段を含む光学系内
で発生する非点収差を相殺する非点収差を発生しうる収
差補正手段とを少なくとも具備した被調整光ヘッド光学
系と、前記発光手段より発し前記収差補正手段を通過し
た光を収束させる凸レンズと、前記集束光の焦点付近に
設けられ、しかも０次回折光と±１次回折光とが互いに
干渉するように格子幅が設定された回折格子と、前記回
折格子を反射し、再び上記凸レンズを通過した前記０次
回折光と±１次回折光による干渉領域の強度を検出する
検出手段とを備えたことを特徴とする光学ヘッド非点収
差調整装置。 - 【請求項２】収差補正手段は非点収差を任意量発生する
ことを特徴とし、回折格子はその格子方向が上記非点収
差の方向に対しおよそ45度方向に設定されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学ヘッド非点
収差調整装置。 - 【請求項３】検出手段は直交四分割受光素子であること
を特徴とし、回折格子は揺動可能なように設置されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学ヘ
ッド非点収差調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62158212A JPH073702B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 光学ヘッド非点収差調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62158212A JPH073702B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 光学ヘッド非点収差調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS643820A JPS643820A (en) | 1989-01-09 |
| JPH073702B2 true JPH073702B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=15666732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62158212A Expired - Fee Related JPH073702B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 光学ヘッド非点収差調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073702B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3443668B2 (ja) | 1998-04-30 | 2003-09-08 | 富士通株式会社 | 収差補正方法及び収差補正装置 |
| US6809829B1 (en) * | 1999-05-19 | 2004-10-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for evaluating aberrations of optical element and method and apparatus for adjusting optical unit and lens |
-
1987
- 1987-06-25 JP JP62158212A patent/JPH073702B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS643820A (en) | 1989-01-09 |
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|---|---|---|---|
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