JPH0736273B2 - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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JPH0736273B2
JPH0736273B2 JP24810684A JP24810684A JPH0736273B2 JP H0736273 B2 JPH0736273 B2 JP H0736273B2 JP 24810684 A JP24810684 A JP 24810684A JP 24810684 A JP24810684 A JP 24810684A JP H0736273 B2 JPH0736273 B2 JP H0736273B2
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circuit
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data
output
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  • Read Only Memory (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] この発明は、半導体集積回路技術さらには再書込み可能
な読出し専用の半導体記憶装置が搭載された半導体集積
回路に適用して有効な技術に関し、例えばEPROM(エレ
クトリカリ・プログラマブル・リード・オンリ・メモ
リ)を内蔵したシングルチップ・マイクロコンピュータ
に利用して有効な技術に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a semiconductor integrated circuit technology and a technology effective when applied to a semiconductor integrated circuit equipped with a rewritable read-only semiconductor memory device, for example, EPROM ( The present invention relates to a technology effectively applied to a single-chip microcomputer including an electrically programmable read-only memory).

[背景技術] シングルチップ・マイクロコンピュータ(以下シングル
チップマイコンと称する)のようなデータ処理用LSI
(大規模集積回路)においては、システムの動作プログ
ラム等を格納するためのROM(リード・オンリ・メモ
リ、以下ロムとも記す)と呼ばれる読出し専用の記憶装
置を一体に有するものがある。従来、シングルチップマ
イコンにおける上記内蔵ROMは、一般に再書込み不能な
マスクROMで構成されることが多いが、EPROM(イーピー
ロム)と呼ばれる再書込み可能なメモリがパッケージ上
に搭載されてものもある。
[Background Art] A data processing LSI such as a single-chip microcomputer (hereinafter referred to as a single-chip microcomputer)
Some (large-scale integrated circuits) have a read-only storage device called a ROM (read-only memory, hereinafter also referred to as ROM) for storing system operation programs and the like integrally. Conventionally, the built-in ROM in a single-chip microcomputer is generally composed of a mask ROM that cannot be rewritten, but a rewritable memory called EPROM (EPROM) may be mounted on the package.

なお、チップ上にマスクROMが内蔵されたシングルチッ
プマイコンについては、(株)日立製作所が1982年9月
に発行した半導体データブック「8/16ビットマイクロコ
ンピュータ」第45頁〜第82頁に、またEPROM搭載型のシ
ングルチップマイコンについては、同データブック第35
0頁〜第389頁に比較的に詳しく説明されている。
For the single-chip microcomputer in which the mask ROM is built in the chip, refer to the semiconductor data book “8 / 16-bit microcomputer”, pages 45 to 82, published by Hitachi, Ltd. in September 1982. For EPROM-installed single-chip microcomputers, see Data Book No. 35.
It is explained in greater detail on pages 0-389.

ところで、上記のようなROM搭載(オンチップのものも
含む)のシングルチップマイコンにおいては、ROMの読
出しサイクル中連続してセンスアンプ(読出し回路)が
動作されるように構成されていた。しかしながら、シン
グルチップマイコンに搭載されたROMは、読出しサイク
ル中連続してセンスアンプを動作させる必要はなく、読
出しデータの出力が確定した後は、これをラッチしてや
ればセンスアンプは動作させる必要がない。従って、従
来のシングルチップマイコンは、センスアンプにおける
消費電力に無駄が多いという不都合があることが本発明
者によって明らかにされた。
By the way, in the above-mentioned single-chip microcomputer equipped with ROM (including those on-chip), the sense amplifier (read circuit) is operated continuously during the ROM read cycle. However, the ROM mounted on the single-chip microcomputer does not need to continuously operate the sense amplifier during the read cycle, and after the output of the read data is confirmed, the latch does not need to operate the sense amplifier. . Therefore, it has been clarified by the present inventor that the conventional single-chip microcomputer has a disadvantage that power consumption in the sense amplifier is large.

なお、従来スタティックRAMのような半導体メモリで
は、低消費電力化のため、読出しデータの出力が確定し
た後にセンスアンプの動作を停止させるようにしたもの
も提案されている。しかしながら、スタティックRAMの
ようなオンチップ型でない単品としてのメモリでは、マ
イコンなどから供給されるチップイネーブル信号のよう
な制御信号によって動作されるようになっており、外部
からタイミングパルス(クロック)が与えられるわけで
はい。そのため、消費電力を減らすためセンスアンプを
ダイナミックに動作させるには、外部から供給されるア
ドレス信号の変化を検出してタイミング信号を形成する
アドレス変化検出回路のようなタイミング発生回路を内
部に設けなければならず、アドレス入力数が多い程、そ
の回路が大規模かつ複雑になってしまう。
Incidentally, in a conventional semiconductor memory such as a static RAM, there has been proposed a semiconductor memory in which the operation of the sense amplifier is stopped after the output of the read data is fixed in order to reduce the power consumption. However, in a memory such as a static RAM that is not an on-chip type, it is operated by a control signal such as a chip enable signal supplied from a microcomputer or the like, and a timing pulse (clock) is externally applied. It is not possible. Therefore, in order to dynamically operate the sense amplifier to reduce power consumption, a timing generation circuit such as an address change detection circuit that detects a change in an address signal supplied from the outside and forms a timing signal must be provided inside. The larger the number of address inputs, the larger and complicated the circuit becomes.

[発明の目的] この発明の目的は、ROMが搭載されたLSIにおいて、アド
レス変化検出回路のような複雑な回路を設けることな
く、消費電力の低減を図ることにある。
[Object of the Invention] An object of the present invention is to reduce power consumption in an LSI having a ROM mounted therein without providing a complicated circuit such as an address change detection circuit.

この発明の他の目的は、ROMが搭載されたLSIにおいて、
センスアンプの停止タイミングを正確に検出できるよう
な技術を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide an LSI in which a ROM is mounted,
An object of the present invention is to provide a technique capable of accurately detecting the stop timing of the sense amplifier.

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴に
ついては、本明細書の記述および添附図面から明かにな
るであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

[発明の概要] 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、下記のとおりである。
[Outline of Invention] The outline of a typical invention disclosed in the present application will be described below.

すなわち、CPUと、メモリアレイと周辺回路を有するメ
モリと、上記周辺回路の動作を制御するコントロール回
路とを具備する半導体集積回路であって、上記CPUに
は、互いにハイレベルの期間がオーバラップしないよう
に半周期だけ位相のずれた第1、第2の内部クロック信
号と、これらの内部クロック信号の1/2の周波数を持
ち、上記第1のクロック信号とほぼ位相の等しい外部同
期信号を形成するクロック発生回路を有し、さらに、該
半導体集積回路は、ダミーデータ線を有するダミーメモ
リアレイとダミーメモリアレイの読み出し回路とを有
し、上記周辺回路は、上記メモリアレイのデータ線に接
続されるセンスアンプ回路と上記センスアンプ回路の出
力を受けるラッチ回路とを有し、上記コントロール回路
は、上記外部同期信号のロウレベル期間中のみ上記第1
のクロック信号と同期して同じように変化し、データ線
及びダミーデータ線をロウレベルに初期化するための第
1の信号を形成する手段と、上記第1の信号の立ち下が
りに同期してロウレベルに変化し、データ線及びダミー
データ線をプリチャージするための第2の信号を形成す
る手段と、上記第2の信号の立ち下がりに同期してハイ
レベルに変化し、上記センスアンプ回路及びダミーメモ
リアレイの読み出し回路のプリチャージを開始するため
の第3の信号を形成する手段とを有し、上記読み出し回
路は、上記ダミー読み出しデータを監視していて、デー
タが確定したときに読み出し動作を停止させる信号を出
力し、上記コントロール回路は、上記読み出し回路の出
力信号に基づいて読み出しデータが上記ラッチ回路にラ
ッチされた後上記センスアンプ回路を非動作状態にする
制御信号を出力するようにされてなる半導体集積回路で
ある。
That is, a semiconductor integrated circuit including a CPU, a memory having a memory array and a peripheral circuit, and a control circuit for controlling the operation of the peripheral circuit, the high level periods of which do not overlap with each other in the CPU. As described above, the first and second internal clock signals which are out of phase with each other by a half cycle, and the external synchronizing signal which has a frequency of 1/2 of these internal clock signals and has substantially the same phase as the first clock signal are formed. The semiconductor integrated circuit further includes a dummy memory array having dummy data lines and a read circuit of the dummy memory array, and the peripheral circuit is connected to the data lines of the memory array. And a latch circuit that receives the output of the sense amplifier circuit. Only in Le period the first
Means for forming a first signal for initializing the data line and the dummy data line to a low level in the same manner in synchronization with the clock signal, and a low level in synchronization with the fall of the first signal. Means for forming a second signal for precharging the data line and the dummy data line, and a high level signal in synchronization with the fall of the second signal, the sense amplifier circuit and the dummy Means for forming a third signal for initiating precharge of the read circuit of the memory array, the read circuit monitoring the dummy read data and performing a read operation when the data is confirmed. The control circuit outputs a signal to stop, and the control circuit outputs the read data after the read data is latched in the latch circuit based on the output signal of the read circuit. A semiconductor integrated circuit formed by outputs a control signal to the Nsuanpu circuit inoperative.

これにより、内蔵ROMのアクセス動作毎に、データ線及
びダミーデータ線をロウレベルに初期化し、その後にデ
ータ線及びダミーデータ線をプリチャージしてやること
により、EPROMの書き込みレベルのバラツキの影響を受
けることなく、早期に正確なデータを読み出し、また、
メモリアレイのアドレスの依存性を防ぐことができる。
As a result, the data line and the dummy data line are initialized to the low level for each access operation of the built-in ROM, and then the data line and the dummy data line are precharged, so that the EPROM write level is not affected. , Read accurate data early,
The address dependency of the memory array can be prevented.

以下図面を用いてこの発明を具体的に説明する。The present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

[実施例] 第3図は、本発明が適用されるシングルチップマイコン
の構成の一例を示すもので、同図に示されている各回路
部分は、シリコンのような一個の半導体基板上に形成さ
れる。
[Embodiment] FIG. 3 shows an example of the configuration of a single-chip microcomputer to which the present invention is applied. Each circuit portion shown in the same figure is formed on one semiconductor substrate such as silicon. To be done.

この実施例のシングルチップマイコンは、特に制限され
ないが、プログラムに従って内部の実行ユニット等を制
御するマイクロプロセッサ(以下CPUと称する)1と、
このCPU1の動作プログラム等が格納されたプログラム・
ロム2、主にCPU1の作業領域を提供するRAM(ランダム
・アクセス・メモリ)3、シリアル・コミュニケーショ
ン・インタフェース回路4、タイマ回路5および4つの
入出力ポート6a〜6d等から構成され、これらの回路は内
部アドレスバス7aおよび内部データバス7bを介して互い
に接続されている。
The single-chip microcomputer of this embodiment is not particularly limited, but includes a microprocessor (hereinafter referred to as CPU) 1 for controlling an internal execution unit and the like according to a program,
A program that stores the operating programs of this CPU1
ROM 2, RAM (Random Access Memory) 3 which mainly provides a work area for CPU 1, serial communication interface circuit 4, timer circuit 5 and four input / output ports 6a to 6d. Are connected to each other via an internal address bus 7a and an internal data bus 7b.

上記CPU1は、その詳細を図示しないが、次に読出す命令
やデータのアドレスを保持するプログラムカウンタ、プ
ログラムの命令が順番にフェッチされる命令レジスタ、
マイクロプログラムが格納されたマイクロROMもしくは
ランダム・ロジック回路からなり命令レジスタにフェッ
チされた命令に応じた制御信号を形成する制御部と、ア
キュームレータ等の各種レジスタやALU(演算論理ユニ
ット)等からなる実行ユニットとによって構成されてい
る。
Although not shown in detail, the CPU 1 has a program counter that holds the address of an instruction or data to be read next, an instruction register from which the instructions of the program are fetched in order,
Execution of a control unit that consists of a micro ROM that stores micro programs or a random logic circuit that forms a control signal according to the instruction fetched in the instruction register, and various registers such as an accumulator and ALU (arithmetic logic unit) It is composed of a unit and.

上記入出力ポート6a〜6dのうち、ポート6dにはアドレス
バス7aとデータバス7bが接続され、ポート6cにはマルチ
プレクサ8を介してアドレスバス7aとデータバス7bが接
続可能にされている。また、適当な外部端子を所定の状
態に設定することにより、マイコンのリセット後の動作
モードを決定するモード切換回路9が設けられている。
入出力ポート6dは、このモード設定回路9によって、デ
ータ入出力機能もしくはアドレス出力機能を持つように
動作され、また、ポート6cは同様に、モード切換回路9
による制御によってデータ入出力機能もしくはデータバ
スとアドレスバスをマルチプレックスする機能を持つよ
うに動作される。
Of the input / output ports 6a to 6d, the address bus 7a and the data bus 7b are connected to the port 6d, and the address bus 7a and the data bus 7b are connectable to the port 6c via the multiplexer 8. Further, there is provided a mode switching circuit 9 which determines an operation mode after resetting the microcomputer by setting an appropriate external terminal to a predetermined state.
The input / output port 6d is operated by the mode setting circuit 9 so as to have the data input / output function or the address output function, and the port 6c is similarly operated by the mode switching circuit 9
It is operated to have a data input / output function or a function to multiplex the data bus and the address bus under the control of.

これによって、この実施例のシングルチップマイコン
は、そのアドレス空間が拡張可能にされている。
As a result, the address space of the single-chip microcomputer of this embodiment can be expanded.

そして、この実施例では、上記プログラム・ロム2は、
特に制限されないが、例えば4k×8ビットのような記憶
容量をもつ再書込み可能なEPROMで構成されている。
And in this embodiment, the program ROM 2 is
Although not particularly limited, it is composed of a rewritable EPROM having a storage capacity of, for example, 4k × 8 bits.

また、上記シングルチップマイコンは、内部にプログラ
ム・ロム2を選択動作させるためのアドレスデコーダ10
を有しており、CPU1からアドレスバス7a上に出力された
アドレスデータがプログラム・ロム(EPROM)2に与え
られたアドレス範囲に入っているときは、これをデコー
ドすることによりアドレスデコーダ10からイネーブル信
号φが出力されてプログラム・ロム2が動作状態にさ
れるようになっている。
In addition, the single-chip microcomputer has an address decoder 10 for selectively operating the program ROM 2 inside.
When the address data output from the CPU 1 on the address bus 7a is within the address range given to the program ROM (EPROM) 2, it is enabled by the address decoder 10 by decoding it. The signal φ E is output so that the program ROM 2 is activated.

モード切換回路9は、専用に設けられたモード設定用外
部端子11の入力状態によって、通常のマイクロコンピュ
ータとして動作するモード(以下マイコンモードと称す
る)であるのか、プログラム・ロム2へのデータ書込み
モード(以下EPROMモードと称する)であるのか識別
し、それに応じてマイコン内部の動作モードを決定す
る。モード切換回路9によって内部がEPROMモードに設
定されると、プログラム・ロム2とデータ入力に必要な
入出力ポート以外の回路(CPU1やRAM3等)は、内部アド
レスバス7aとデータバス7bから切り離される。これによ
って、チップ外部からはEPROMのみしか見えないように
される。このEPROMモードのときには、内部のクロック
信号φ1も形成されず、プログラム・ロム(EPRO
M)2は、スタティック動作される。
Whether the mode switching circuit 9 is in a mode in which it operates as a normal microcomputer (hereinafter referred to as a microcomputer mode) depending on the input state of a dedicated mode setting external terminal 11 (hereinafter referred to as a microcomputer mode) or a data writing mode to the program ROM 2 (Hereinafter referred to as "EPROM mode"), and the operation mode inside the microcomputer is determined accordingly. When the mode switching circuit 9 sets the inside to the EPROM mode, the circuits other than the program ROM 2 and the input / output ports required for data input (CPU1, RAM3, etc.) are disconnected from the internal address bus 7a and the data bus 7b. . This makes only the EPROM visible to the outside of the chip. In this EPROM mode, the internal clock signals φ 1 and φ 2 are not formed either, and the program ROM (EPRO
M) 2 is statically operated.

なお、第3図におけるCPU1内には、図示しないが、外部
から供給される4MHzのような原発振信号を分周して、第
5図に示すように、互いにハイレベルの期間がオーバー
ラップしないように半周期だけ位相のずれた2つの内部
クロック信号φ1と、これらの内部クロック信号φ
1の1/2の周波数を持ちクロックφとほぼ位相の
等しい外部周期信号Eを形成するクロックパルス・ジェ
ネレータが設けられている。そして、内部クロック信号
φ1は、プログラム・ロム2内のコントロール回路
(後述)等チップ内の各回路ブロックに供給され、それ
らの回路をCPU1と同期して動作させる。
Although not shown, the CPU1 in FIG. 3 divides the original oscillation signal such as 4 MHz supplied from the outside so that the high-level periods do not overlap with each other as shown in FIG. And two internal clock signals φ 1 and φ 2 that are out of phase with each other, and these internal clock signals φ
There is provided a clock pulse generator which forms an external periodic signal E having a frequency of 1/2 of 1 and φ 2 and having almost the same phase as the clock φ 1 . Then, the internal clock signals φ 1 and φ 2 are supplied to each circuit block in the chip such as a control circuit (described later) in the program ROM 2 and operate those circuits in synchronization with the CPU 1.

また、上記外部同期信号Eは、シングルチップマイコン
の外部へ出力され、システムクロックとして周辺装置に
供給されるようにされている。
The external synchronization signal E is output to the outside of the single chip microcomputer and supplied to the peripheral device as a system clock.

第4図はEPROMからなる上記プログラム・ロム2の一実
施例を、また第5図はそのタイミングチャートを示す。
FIG. 4 shows an embodiment of the program ROM 2 composed of EPROM, and FIG. 5 shows its timing chart.

この実施例のプログラム・ロム2は、特に制限されない
が、メモリアレイが8つのメモリブロック20a〜20hに分
割され、各メモリブロックはマトリックス状に配設され
た256×16個のFAMOS(フローティングゲート型MOSトラ
ンジスタ)から成る不揮発性メモリセルMCから成る。
The program ROM 2 of this embodiment is not particularly limited, but the memory array is divided into eight memory blocks 20a to 20h, and each memory block is arranged in a matrix of 256 × 16 FAMOS (floating gate type). A non-volatile memory cell MC composed of a MOS transistor).

また、上記メモリブロック20a〜20hと並んで256個のメ
モリセルがデータ線に沿って一列に配設されたダミーメ
モリアレイ21が設けられている。
Further, a dummy memory array 21 in which 256 memory cells are arranged in a line along the data line is provided along with the memory blocks 20a to 20h.

上記メモリブロック20a〜20hとダミーメモリアレイ21内
の256本のワード線W1〜W256は、それぞれ連続して形成
され、アドレスバス7a上のアドレス信号A0〜A7を取り込
んでデコードするXデコーダ22によって、そのうち一本
が選択レベルにされる。メモリセルMCを構成するFAMOS
は、予め書込みが行なわれていると、すなわちフローテ
ィングゲート電極に対する電荷の注入が行なわれている
と、しきい値電圧がワード線W1〜W64の選択レベル(約5
V)よりも少し高くなるようにされる。また、書込みが
行なわれていないいわゆる消去状態のFAMOSのしきい値
電圧は、ワード線の選択レベルよりも低くされる。
256 word lines W 1 to W-256 of the memory block 20a~20h and the dummy memory array 21 are formed respectively in succession, to decode takes in address signals A 0 to A 7 on the address bus 7a X One of them is set to the selection level by the decoder 22. FAMOS configuring memory cell MC
Is written in advance, that is, when charge is injected into the floating gate electrode, the threshold voltage is set to the selected level of the word lines W 1 to W 64 (about 5
V) a little higher. Further, the threshold voltage of the so-called erased FAMOS in which programming is not performed is made lower than the selection level of the word line.

従って、Xデコーダ22によって選択レベルにされたワー
ド線にコントロールゲート電極が接続されている各行の
FAMOS(メモリセルMC)は、書込みもしくは消去状態に
応じて、それぞれが非導通状態もしくは導通状態にされ
る。
Therefore, in each row in which the control gate electrode is connected to the word line set to the selection level by the X decoder 22,
The FAMOS (memory cell MC) is brought into a non-conducting state or a conducting state, respectively, depending on the writing or erasing state.

上記メモリブロック20a内の各列のドレイン端子が接続
された16本のデータ線DL1〜DL16は、それぞれMOSFET
(絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)からなり、Yデ
コーダ23によってそのうち一つがオン状態にされるカラ
ムスイッチQc1〜Qc16を介して共通データ線CDL1に接続
されるようにされている。他のメモリブロック20b〜20h
内の各データ線もカラムスイッチ回路24b〜24hによって
共通データ線CDL2〜CDL8に接続されるようにされてい
る。
16 data lines DL 1 through DL 16 to the drain terminal of each row are connected in the memory block 20a, respectively MOSFET
(Insulated gate type field effect transistor), and is connected to the common data line CDL 1 through column switches Qc 1 to Qc 16 of which one is turned on by the Y decoder 23. Other memory blocks 20b-20h
Each of the data lines therein is also connected to the common data lines CDL 2 to CDL 8 by the column switch circuits 24b to 24h.

Yデコーダ23は、アドレスバス7aからアドレス信号A8
A11を取り込んでこれをデコードすることにより、デー
タ線の選択信号を形成してカラムスイッチQs1〜Qs16
ゲート端子に印加していずれか一つをオンさせる。
The Y decoder 23 receives the address signals A 8 -from the address bus 7a.
By taking in A 11 and decoding it, a selection signal of the data line is formed and applied to the gate terminals of the column switches Qs 1 to Qs 16 to turn on one of them.

各メモリブロック20a〜20hごとに設けられた上記共通デ
ータ線CDL1〜CDL8は、それぞれデプレッション型MOSFET
からなる制御用トランジスタQw1〜Qw8を介して読出し回
路25a〜25hに接続されている。
The common data lines CDL 1 to CDL 8 provided for the memory blocks 20a to 20h are depletion type MOSFETs, respectively.
It is connected to a read circuit 25a~25h via the control transistor Qw 1 ~Qw 8 made of.

特に制限されないが、ダミーメモリアレイ21内のダミー
データ線DLdは、常時オン状態にされたダミーカラムス
イッチQcdおよびダミー書込み制御用MOSFETQwdを介して
ダミー用の読出し回路26に接続されている。データ読出
し時には、モード切換回路9から出力されるモード指定
信号EPMおよび外部から入力される制御信号に基づく書
込み制御信号▲▼によって、共通データ線CDL1〜CD
L8に接続された書込み制御用MOSFETQw1〜Qw8が導通状態
にされ、読出し回路25a〜25hによってデータ線のレベル
がそれぞれ増幅されて読出し信号D0〜D7が形成され、デ
ータバス7b上に出力される。
Although not particularly limited, the dummy data line DLd in the dummy memory array 21 is connected to the dummy read circuit 26 via the dummy column switch Qcd and the dummy write control MOSFET Qwd which are always on. At the time of data reading, the common data lines CDL 1 to CDL are supplied by the write control signal ▲ ▼ based on the mode designation signal EPM output from the mode switching circuit 9 and the control signal input from the outside.
Write control MOSFETQw 1 ~Qw 8 connected to L 8 are in a conductive state, a read signal D 0 to D 7 level of the data line by the read circuit 25a~25h is amplified respectively is formed, on the data bus 7b Is output to.

このとき、後に詳述するように、ダミーデータ線DLdの
レベルをダミー用の読出し回路26で検出することによ
り、読出し終了タイミングを知り、後述のコントロール
回路27から出力される制御信号▲▼やLTC等を変
化させて読出し回路25a〜25hや26を制御するようになっ
ている(第5図参照)。
At this time, as will be described in detail later, by detecting the level of the dummy data line DLd by the dummy read circuit 26, the read end timing is known, and the control signal ▲ ▼ or LTC output from the control circuit 27 described later is output. Etc. are changed to control the read circuits 25a to 25h and 26 (see FIG. 5).

一方、上記各メモリブロック20a〜20h内の各メモリセル
を構成するFAMOSのソース端子は、各列ごとに共通ソー
ス線Cs1〜Cs16に接続され、これらの共通ソース線Cs1
Cs16は、各列ごとに並列に接続された一対のエンハンス
メント型MOSFETQN1〜QN8とデプレッション型MOSFETQD1
〜QD8を介して回路の接地点に接続されている。このそ
れぞれ一対のMOSFETQN1〜QN8とQD1〜QD8は、書込み制御
信号▲▼によって制御される。
On the other hand, the source terminal of the FAMOS constituting each memory cell in each memory block 20a~20h is connected to a common source line Cs 1 to CS 16 for each column, these common source lines Cs 1 ~
Cs 16 is a pair of enhancement type MOSFETs Q N1 to Q N8 and depletion type MOSFET Q D1 connected in parallel for each column.
~ Connected to ground through Q D8 . The pair of MOSFETs Q N1 to Q N8 and Q D1 to Q D8 are controlled by the write control signal ▲ ▼.

すなわち、データ読出し時には、ハイレベルの書込み制
御信号▲▼がゲート端子に印加されることにより、
MOSFETQN1とQD1が共にオンされて共通ソース線Cs1〜Cs8
を接地点に接続させる。また、データ書込み時には、ロ
ウレベルの書込み制御信号▲▼がゲート端子に印加
されることにより、デプレッション型MOSFETQD1のみが
オンされ、適当な大きさの抵抗を介して共通ソース線Cs
1〜Cs8が接地点に接続された状態になる。
That is, at the time of data reading, the high level write control signal ▲ ▼ is applied to the gate terminal,
Both MOSFETs Q N1 and Q D1 are turned on and common source lines Cs 1 to Cs 8
To the ground point. In addition, when writing data, the low-level write control signal ▲ ▼ is applied to the gate terminal to turn on only the depletion type MOSFET Q D1 and connect the common source line Cs through a resistor of appropriate size.
1 to Cs 8 are connected to the ground point.

その結果、書込み時に共通ソース線から接地点に向かっ
て電流が流れて共通ソース線の電位が上がり、これによ
って選択されていないメモリセルにリーク電流が流され
るのが防止される。
As a result, at the time of writing, a current flows from the common source line toward the ground point, the potential of the common source line rises, and thereby a leak current is prevented from flowing to an unselected memory cell.

上記の場合、共通ソース線Cs1〜Cs8と接地点との間に接
続されるトランジスタは、デプレッション型MOSFETQD1
〜QD8のみでもよいが、この実施例では、これと並列に
エンハンスメント型MOSFETQN1〜QN8を接続することによ
って、読出し時の共通ソース線の抵抗値を下げられるよ
うになっている。
In the above case, the transistor connected between the common source lines Cs 1 to Cs 8 and the ground point is the depletion type MOSFET Q D1.
To Q D8 may be only, but in this embodiment, this and by connecting the enhancement type MOSFET Q N1 to Q N8 in parallel, adapted to be lowered the resistance of the common source line at the time of reading.

共通ソース線Cs1〜Cs8の抵抗値が下がることにより、読
出し時のデータ線のレベル差を大きくすることができ
る。
By reducing the resistance value of the common source lines Cs 1 to Cs 8 , the level difference of the data lines at the time of reading can be increased.

特に制限されないが、この実施例では、8つのメモリブ
ロック20a〜20hおよびダミーメモリアレイ21に対して、
それぞれMOSFETQN1〜QN8,QD1〜QD8が設けられ、各共通
ソース線を接地点に接続させるようにされている。
Although not particularly limited, in this embodiment, for the eight memory blocks 20a to 20h and the dummy memory array 21,
MOSFETs Q N1 to Q N8 and Q D1 to Q D8 are provided, respectively, and each common source line is connected to the ground point.

また、上記各メモリブロック20a〜20hごとに設けられた
共通データ線CDL1〜CDL8には、書込み回路28a〜28hが接
続されており、この書込み回路28a〜28hによって各メモ
リセルへのデータの書き込みが行なわれる。書込み回路
28a〜28hは、所定のピン(マイコンモードでの信号ピン
と共用されている)に、マイコンモードで印加される電
源電圧(5V)よりも高い例えば12.5Vのような書込み電
圧VPPが印加され、また、第3図に示したモード切換回
路9がモード設定用端子11の入力状態によりEPROMモー
ドであると判断したときに、モード切換回路9から出力
されるモード指定信号EPMに基づいて書込み動作を行な
う。
Further, write circuits 28a to 28h are connected to the common data lines CDL 1 to CDL 8 provided for each of the memory blocks 20a to 20h, and the write circuits 28a to 28h write data to each memory cell. Writing is performed. Writing circuit
In 28a to 28h, a write voltage V PP , such as 12.5 V, higher than the power supply voltage (5 V) applied in the microcomputer mode is applied to a predetermined pin (shared with the signal pin in the microcomputer mode), Further, when the mode switching circuit 9 shown in FIG. 3 determines that the mode is the EPROM mode based on the input state of the mode setting terminal 11, the write operation is performed based on the mode designation signal EPM output from the mode switching circuit 9. To do.

すなわち、EPROMモードで書込み回路28a〜28hは、その
とき外部からデータバス7b上にのせられているデータDi
n0〜Din7を取り込みそのデータに応じた電圧を発生し
て、メモリブロック20a〜20hの共通データ線CDL1〜CDL8
に印加する。共通データ線CDL1〜CDL8に印加された書込
み電圧は、そのときYデコーダ23によって選択的にオン
されているカラムスイッチQcを通してデータ線DLに供給
される。
That is, in the EPROM mode, the write circuits 28a to 28h write data Di that is externally placed on the data bus 7b.
n 0 through Din 7 uptake by generating a voltage corresponding to the data, the common data line in the memory block 20a~20h CDL 1 ~CDL 8
Apply to. Applied write voltage to the common data line CDL 1 ~CDL 8 is supplied to the data line DL through a column switch Qc selectively are turned on by the time the Y decoder 23.

また、EPROMモードでは、Xデコーダ22がマイコンモー
ドでの選択レベル(5V)よりも高い12.5Vのようなレベ
ルの選択信号をいずれか一本のワード線に供給する。
Further, in the EPROM mode, the X decoder 22 supplies a selection signal of a level such as 12.5V, which is higher than the selection level (5V) in the microcomputer mode, to one of the word lines.

選択されたメモリセルに書き込みを行なう場合、そのメ
モリセルのコントロールゲート電極には、Xデコーダ22
によって12.5Vのような高い選択信号が印加され、かつ
書込み回路28a〜28hによって12.5Vのような高い書込み
電圧がカラムスイッチQcを通してそのドレイン端子が接
続されているデータ線DLに供給される。これによって、
選択されたメモリセルのフローティングゲートに電荷の
注入が行なわれ、書込み状態にされる。
When writing to the selected memory cell, the X decoder 22 is applied to the control gate electrode of the memory cell.
Applies a high select signal such as 12.5V, and the write circuits 28a to 28h supply a high write voltage such as 12.5V to the data line DL having its drain terminal connected through the column switch Qc. by this,
Charge is injected into the floating gate of the selected memory cell to put it in the written state.

このとき、共通データ線CDL1〜CDL8に接続された制御用
トランジスタQw1〜Qw8は、モード切換回路9から出力さ
れるモード指定信号EPMおよび外部から入力される制御
信号に基づくロウレベルの書込み制御信号▲▼が印
加されるため、読出し回路側の電位がおよそ3V以上にな
るとカットオフ状態にされる。そのため、書込み回路28
a〜28hから共通データ線CDL1〜CDL16に供給された高い
書込み電圧を読出し回路25a〜25hに伝えなくなる。
In this case, the common data lines CDL 1 ~CDL connected control transistor to 8 Qw 1 ~Qw 8 is a low level of write based on the control signal inputted from the mode designating signal EPM and external output from the mode switching circuit 9 Since the control signal ▲ ▼ is applied, when the potential on the read circuit side becomes approximately 3 V or more, the cutoff state is set. Therefore, the write circuit 28
The high write voltage supplied to the common data lines CDL 1 to CDL 16 from a to 28h is not transmitted to the read circuits 25a to 25h.

なお、上記の場合、ダミーメモリアレイ21を構成するダ
ミーメモリセルは、後述のごとく必ず消去状態に対応す
るデータを読み出すようにされるので、ダミーメモリセ
ルに対するデータの書込みは行なう必要がない。
In the above case, the dummy memory cells forming the dummy memory array 21 always read the data corresponding to the erased state as will be described later, so it is not necessary to write the data to the dummy memory cells.

次に、上記コントロール回路27の入出力信号のタイミン
グを第5図を用いて説明する。
Next, the timing of the input / output signals of the control circuit 27 will be described with reference to FIG.

制御信号▲▼は、システムクロックEと内部クロ
ック信号φに基づいて、コントロール回路内で形成さ
れるクロックφiに同期してロウレベルに変化される。
クロックφiは、システムクロックEのロウレベル期間
中のみクロックφと同期して同じように変化する信号
で、コントロール回路27はこのクロックφiを読出し回
路25a〜25hと26に送ってこれを初期状態にさせる。
The control signal ▲ ▼ is changed to the low level in synchronization with the clock φi formed in the control circuit based on the system clock E and the internal clock signal φ 1 .
The clock φi is a signal which changes in the same manner in synchronization with the clock φ 1 only during the low level period of the system clock E, and the control circuit 27 sends this clock φi to the read circuits 25a to 25h and 26 to initialize it. Let

そして、この読出し回路イニシャライズ用のクロックφ
iの立下がりに同期してハイレベルに変化される制御信
号▲▼によって読出し回路25a〜25hおよび26の動
作が開始される。
Then, the clock φ for this read circuit initialization
The operation of the read circuits 25a to 25h and 26 is started by the control signal {circle around (5)} which is changed to the high level in synchronization with the fall of i.

コントロール回路27は、制御信号▲▼の立下がり
に同期してプリチャージ信号▲▼をロウレベルにさ
せて読出し回路25a〜25hと26に供給して内部のセンスア
ンプ(後述)のプリチャージを開始させる。そして、コ
ントロール回路27内に設けられたレベル検出手段でダミ
ーデータ線DLdのレベルを検出し、ダミーデータ線DLdが
所定のレベル以上に立ち上がったとき、上記プリチャー
ジ信号φpを立ち上げるようになっている。
The control circuit 27 sets the precharge signal ▲ ▼ to a low level in synchronization with the fall of the control signal ▲ ▼ and supplies it to the read circuits 25a to 25h and 26 to start precharging of an internal sense amplifier (described later). . Then, the level detecting means provided in the control circuit 27 detects the level of the dummy data line DLd, and when the dummy data line DLd rises above a predetermined level, the precharge signal φp is raised. There is.

そして、プリチャージが終了するとコントロール回路27
は、Xデコーダ22の駆動信号φxを立ち上げてXデコー
ダ22を駆動させる。これによって、選択された一本のワ
ード線Wのレベルが立ち上がり、一定時間後に読出し回
路25a〜25hから出力される読出しデータD0〜D7と、ダミ
ー用読出し回路26から出力されるダミー読出しデータDd
が変化する。
When the precharge is completed, the control circuit 27
Raises the drive signal φx of the X decoder 22 to drive the X decoder 22. As a result, the level of the selected one word line W rises, and after a certain time, the read data D 0 to D 7 output from the read circuits 25a to 25h and the dummy read data output from the dummy read circuit 26. Dd
Changes.

コントロール回路27は、このダミー読出しデータDdを監
視して、データが確定した時点で制御信号▲▼を
ハイレベルに変化させて、読出し回路25a〜25hと26の動
作を停止させる。
The control circuit 27 monitors the dummy read data Dd, changes the control signal ▲ ▼ to a high level when the data is determined, and stops the operations of the read circuits 25a to 25h and 26.

また、コントロール回路27は、上記Xデコーダ22の駆動
信号φxの立上がりと同期して、読出し回路25a〜25hと
26に供給する制御信号LTCをハイレベルに変化させる。
すると、読出し回路25a〜25hおよび26内のラッチ回路
(後述)がラッチ動作を開始し、センスアンプの出力を
取り込む。そして、上記制御信号▲▼の立上がり
によって読出し回路25a〜25h,26の動作が停止されるの
と同期して制御信号LTCがロウレベルに変化され、これ
によってラッチ回路がデータのラッチを終了しそのデー
タを保持する状態に移行する。ラッチ回路がデータを保
持している間、読出し回路25a〜25hのデータはデータバ
ス7b上に出力される。
Further, the control circuit 27 synchronizes with the read circuits 25a to 25h in synchronization with the rise of the drive signal φx of the X decoder 22.
The control signal LTC supplied to 26 is changed to high level.
Then, the latch circuits (described later) in the read circuits 25a to 25h and 26 start the latch operation and capture the output of the sense amplifier. Then, the control signal LTC is changed to the low level in synchronization with the operation of the read circuits 25a to 25h, 26 being stopped by the rise of the control signal ▲ ▼, whereby the latch circuit finishes latching the data and the data To the state of holding. While the latch circuit holds the data, the data of the read circuits 25a to 25h are output onto the data bus 7b.

次に第1図には、上記読出し回路25a〜25hのうちの1つ
の回路25aの具体的な回路構成の一例と、それに接続さ
れたメモリアレイの一部が示されている。
Next, FIG. 1 shows an example of a specific circuit configuration of one of the read circuits 25a to 25h and a part of a memory array connected to it.

なお、以下特に言及しない限り、回路を構成する各MOSF
ETはNチャンネル形に形成されているものとする。
Unless otherwise specified below, each MOSF that constitutes a circuit is
It is assumed that the ET has an N-channel shape.

同図には、理解を容易にするためメモリアレイ内のメモ
リセルを構成する一つのFAMOSQfと複数個のカラムスイ
ッチのうち一つが代表的に示されており、このFAMOSQf
のソース端子が接続されたノードn1が第4図における共
通ソース線CSに、またドレイン端子が接続されたノード
n2がデータ線DLに相当する。データ線DLに相当するノー
ドn2にカラムスイッチQcが接続されている。Qwで示され
ているのは、書込み制御用トランジスタである。従っ
て、カラムスイッチQcとトランジスタQwの接続ノードn3
が共通データ線CDLに相当する。
For facilitating the understanding, one FAMOS Qf and one of a plurality of column switches forming a memory cell in the memory array are typically shown in this figure.
The node n 1 to which the source terminal of is connected to the common source line CS in FIG. 4 and the node to which the drain terminal is connected
n 2 corresponds to the data line DL. The column switch Qc is connected to the node n 2 corresponding to the data line DL. The write control transistor is shown by Qw. Therefore, the connection node n 3 between the column switch Qc and the transistor Qw
Corresponds to the common data line CDL.

上記FAMOSQfのゲート端子には、第4図のXデコーダ22
から出力される選択信号Xがワード線(W1〜W256)を介
して印加され、カラムスイッチQcのゲート端子には、Y
デコーダ23から出力される選択信号Yが印加される。ま
た、書込み制御用トランジスタQwのゲート端子には、制
御信号▲▼が印加される。
The gate terminal of the FAMOS Qf is connected to the X decoder 22 of FIG.
The selection signal X output from the column switch Qc is applied via the word lines (W 1 to W 256 ), and Y is applied to the gate terminal of the column switch Qc.
The selection signal Y output from the decoder 23 is applied. A control signal ▲ ▼ is applied to the gate terminal of the write control transistor Qw.

読み出し回路25aは、センスアンプSAとラッチ回路34及
び出力回路OCとからなる。出力回路OCは、ラッチ回路34
とデータバスとの間に配置されたトライステート回路か
らなる。
The read circuit 25a includes a sense amplifier SA, a latch circuit 34, and an output circuit OC. The output circuit OC is a latch circuit 34
And a data bus and a tri-state circuit.

センスアンプSAは、特に制限されないが、図示のよう
に、PチャンネルMOSFETQ1,Q3,Q5,Q8とNチャンネルMOS
FETQ2,Q4,Q6及びQ7と、CMOSインバータ33とから構成さ
れている。
The sense amplifier SA is not particularly limited, but as shown in the figure, P-channel MOSFETs Q 1 , Q 3 , Q 5 , Q 8 and N-channel MOS
It is composed of FETs Q 2 , Q 4 , Q 6 and Q 7, and a CMOS inverter 33.

MOSFETQ1は、制御信号▲▼によってスイッチ制御
され、定電流源として動作される。MOSFETQ2は、信号φ
iによってスイッチ制御され、ノードn4をディスチャー
ジさせるため設けられている。
The MOSFET Q 1 is switch-controlled by the control signal ▲ ▼ and operates as a constant current source. MOSFET Q 2 has signal φ
It is switch-controlled by i and is provided to discharge the node n 4 .

MOSFETQ3ないしQ7は、全体として1つの差動増幅回路を
構成している。すなわち、PチャンネルMOSFETQ3及びQ5
は、Nチャンネル入力差動増幅MOSFETQ4及Q6のカレント
ミラー負荷を構成し、NチャンネルMOSFETQ7は、動作電
流源を構成している。
The MOSFETs Q 3 to Q 7 constitute one differential amplifier circuit as a whole. That is, P-channel MOSFETs Q 3 and Q 5
Constitutes a current mirror load of N channel input differential amplification MOSFETs Q 4 and Q 6 , and N channel MOSFET Q 7 constitutes an operating current source.

MOSFETQ4は、そのゲートがノードn4に結合され、MOSFET
Q6は、そのゲートが図示しない基準電圧源に結合されて
いる。基準電圧源は、特に制限されないが例えば抵抗分
圧回路から構成され、電源電圧VCCを受けることによっ
て、上記差動増幅回路に供給するための適当なレベルの
基準電圧Vrefを出力する。
MOSFET Q 4 has its gate coupled to node n 4
Q 6 has its gate coupled to a reference voltage source not shown. The reference voltage source is composed of, for example, a resistor voltage dividing circuit, although not particularly limited, and outputs a reference voltage Vref of an appropriate level to be supplied to the differential amplifier circuit by receiving the power supply voltage V CC .

PチャンネルMOSFETQ8は、プリチャージMOSFETである。P-channel MOSFET Q 8 is a precharge MOSFET.

この構成の読み出し回路25aの動作は、次のようにな
る。
The operation of the read circuit 25a having this configuration is as follows.

先ず、クロックφiが第5図Dに示されたようにハイレ
ベルにされると、これに応じてMOSFETQ2がオン状態にさ
れる。ノードn4は、MOSFETQ2によってほぼ0ボルトのレ
ベルにイニシャライズされる。
First, when the clock φi is set to the high level as shown in FIG. 5D, the MOSFET Q 2 is turned on accordingly. Node n 4 is initialized by MOSFET Q 2 to a level of approximately 0 volts.

次に、クロックφiがロウレベルに立下げられるとそれ
に同期して制御信号▲▼及びプリチャージ信号▲
▼がそれぞれ第5図E及びFに示されたようにロウ
レベルに立下げられる。特に制限されないが、制御信号
SACは、制御信号▲▼がロウレベルにされること
と同期してハイレベルにされる。
Next, when the clock φi falls to the low level, the control signal ▲ ▼ and the precharge signal ▲ are synchronized with it.
▼ is lowered to the low level as shown in FIGS. 5E and 5F, respectively. Control signal, but not limited to
SAC is set to high level in synchronization with the control signal ▲ ▼ being set to low level.

MOSFETQ7は、制御信号SACがハイレベルにされることに
よって導通状態にされる。これに応じて、前記差動増幅
回路に動作電流が流され始める。この場合、出力ノード
n5の電位は、MOSFETQ8がロウレベルのプリチャージ信号
▲▼によってオン状態にされているので、プリチャ
ージレベル(ハイレベル)にされる。なお、信号▲
▼とSACが上記のようなタイミングにされる場合、差動
増幅回路の出力ノードn5がプリチャージレベルにされる
にかかわらずに、その差動増幅回路に動作電流が流れる
ことになる。このようなプリチャージ期間における動作
電流の発生は、例えば制御信号SACがハイレベルにされ
るタイミングを、プリチャージ信号▲▼が再びハイ
レベルにされるタイミングと実質的に同じタイミングか
又はそれ以上遅延されたタイミングまで遅延させること
によって実質的に零にできる。但しこの場合、制御信号
SACを形成する図示しない回路がいくぶん複雑になる点
を注意する必要がある。
The MOSFET Q 7 is made conductive by setting the control signal SAC to a high level. In response to this, an operating current starts to flow in the differential amplifier circuit. In this case, the output node
The potential of n 5 is set to the precharge level (high level) because the MOSFET Q 8 is turned on by the low level precharge signal ▲ ▼. Signal ▲
When ▼ and SAC are set at the above timing, an operating current flows through the differential amplifier circuit regardless of the output node n 5 of the differential amplifier circuit being set to the precharge level. The generation of the operating current in such a precharge period delays the timing when the control signal SAC is set to the high level substantially the same timing as the timing when the precharge signal ▲ ▼ is set to the high level again or more. It can be made substantially zero by delaying to the specified timing. However, in this case, the control signal
It should be noted that the circuitry (not shown) forming the SAC is somewhat complicated.

第1図のMOSFETQ2は、タイミング信号φiが第5図に示
されるようにロウレベルにされることによってオフ状態
にされる。
The MOSFET Q 2 in FIG. 1 is turned off by setting the timing signal φi to the low level as shown in FIG.

プリチャージ用MOSFETQ1は、制御信号▲▼が第5
図Eに示されたように、ロウレベルにされることによっ
て導通状態にされる。これによって、ノードn4は、MOSF
ETQ1を介して充電され始める。
The precharge MOSFET Q 1 has the fifth control signal ▲ ▼
As shown in FIG. E, it is made conductive by being brought to a low level. This causes node n 4 to
Starts charging via ETQ 1 .

ここで、第4図のアドレスバス7aに供給されるアドレス
信号A0ないしA11は、システムクロックEが第5図Aに
示されたようにロウレベルにされると、それに同期して
それぞれレベルが確定される。これに応じて、Yデコー
ダ23の出力は、信号▲▼がロウレベルにされる以
前にそのレベルが決定されている。すなわち、アドレス
信号A8〜A11に対応された1つのカラムスイッチがオン
状態にされている。
Here, the address signals A 0 to A 11 supplied to the address bus 7a in FIG. 4 have respective levels synchronized with it when the system clock E is set to a low level as shown in FIG. 5A. Will be confirmed. In response to this, the level of the output of the Y decoder 23 is determined before the signal () is set to the low level. That is, one column switches corresponding to the address signal A 8 to A 11 is set in the on state.

それ故に、選択データ線DL(ノードn1)は、制御信号▲
▼がロウレベルにされると、制御用MOSFETQw、及
びカラムスイッチQcを介してプリチャージされ始める。
Therefore, the selected data line DL (node n 1 ) is connected to the control signal ▲
When ▼ is set to the low level, precharge starts via the control MOSFET Qw and the column switch Qc.

第4図の読み出し回路26は、第1図の読み出し回路25a
と実質的に同じ構成にされている。これによって、第4
図のダミーメモリアレイにおけるデータ線(以下ダミー
データ線と称する)DLdは、メモリアレイの選択される
べきデータ線と同じタイミングをもって充電され始め
る。特に制限されないが、ダミーデータ線DLdと読み出
し回路26との間に設けられたMOSFETQcdとQwdは、カラム
スイッチQcと制御用MOSFETQwのインピーダンスと実質的
に等しいインピーダンスを持つようにされる。
The read circuit 26 of FIG. 4 corresponds to the read circuit 25a of FIG.
And has substantially the same configuration as. By this, the fourth
The data line (hereinafter referred to as a dummy data line) DLd in the dummy memory array in the figure starts to be charged at the same timing as the data line to be selected in the memory array. Although not particularly limited, the MOSFETs Qcd and Qwd provided between the dummy data line DLd and the read circuit 26 have impedances substantially equal to the impedances of the column switch Qc and the control MOSFET Qw.

それ故に、メモリアレイにおける選択されるべきデータ
線のプリチャージ状態は、ダミーデータ線DLdによって
シュミレート可能にされる。
Therefore, the precharged state of the data line to be selected in the memory array can be simulated by the dummy data line DLd.

ダミーデータ線DLdのレベルは、第4図のコントロール
回路27によって監視される。
The level of the dummy data line DLd is monitored by the control circuit 27 shown in FIG.

ダミーデータ線DLdのプリチャージレベルが第5図Gに
示されたような所定レベルに達すると、これに応じてコ
ントロール回路27から出力されるプリチャージ信号▲
▼は第5図Fに示されたようにハイレベルにもどさ
れ、駆動信号φxは、第5図Hに示されたようにロウレ
ベルからハイレベルに変化される。
When the precharge level of the dummy data line DLd reaches a predetermined level as shown in FIG. 5G, the precharge signal ▲ output from the control circuit 27 in response thereto.
▼ is returned to the high level as shown in FIG. 5F, and the drive signal φx is changed from the low level to the high level as shown in FIG. 5H.

前記差動増幅回路の出力ノードn5に結合されたプリチャ
ージMOSFETQ8は、信号▲▼がハイレベルにされるこ
とによってオフ状態にされる。
The precharge MOSFET Q 8 coupled to the output node n 5 of the differential amplifier circuit is turned off by setting the signal ▲ ▼ to a high level.

第4図のXデコーダ22は、駆動信号φxがハイレベルに
されることによって動作状態にされる。これに応じて複
数のワード線W1ないしW256のうち、アドレス信号A0ない
しA7に対応された1つがほぼ電源電圧VCCに等しい選択
レベル(ハイレベル)にされる。
The X decoder 22 in FIG. 4 is put into operation by setting the drive signal φx to the high level. In response to this, one of the plurality of word lines W 1 to W 256 corresponding to the address signals A 0 to A 7 is set to the selection level (high level) substantially equal to the power supply voltage V CC .

ここで、メモリセルとしてのFAMOSQfは、予めの書き込
みデータに従って、高しきい値電圧と低しきい値電圧の
うちのいずれか一方のしきい値電圧を持つ。
Here, the FAMOS Qf as the memory cell has one of the high threshold voltage and the low threshold voltage according to the write data in advance.

FAMOSQfが高いしきい値電圧を持っている場合、そのFAM
OSQfは、ワード線が選択レベルにされてもオフ状態を維
持する。それ故にこの場合、第1図の回路ノードn4と回
路の接地点との間に直流電流通路は形成されない。ノー
ドn4は、プリチャージレベル(ハイレベル)にされたま
まとなる。データ線DL(ノードn2)も同様にプリチャー
ジレベルにされたままとなる。
If FAMOSQf has a high threshold voltage, its FAM
OSQf remains off even if the word line is set to the selection level. Therefore, in this case, no direct current path is formed between the circuit node n 4 of FIG. 1 and the ground of the circuit. The node n 4 remains at the precharge level (high level). The data line DL (node n 2 ) also remains at the precharge level.

逆に、FAMOSQfが低しきい値電圧を持っているなら、そ
のFAMOSQfは、ワード線が選択レベルにされるとそれに
応じてオン状態にされる。それ故に、この場合は、回路
ノードn4と回路の接地点との間に、制御用MOSFETQw、カ
ラムスイッチQc、FAMOSQf及びMOSFETQN1及びQD1から成
る直流電流通路が形成される。データ線DLおよびノード
n4は、従って、ワード線が選択されると、それに応じて
それぞれのレベルが低下され始める。
Conversely, if FAMOS Qf has a low threshold voltage, that FAMOS Qf will be turned on accordingly when the word line is brought to the select level. Therefore, in this case, a direct current path formed by the control MOSFET Qw, the column switch Qc, the FAMOS Qf, and the MOSFETs Q N1 and Q D1 is formed between the circuit node n 4 and the ground point of the circuit. Data line DL and node
n 4 therefore begins to drop its respective level accordingly when the word line is selected.

この実施例に従うと、ノードn4及びデータ線DLのレベル
がプリチャージレベルから読み出し可能なレベルにまで
変化され終ったか否かを検出するために、ダミーデータ
線DLdのレベルが参照される。
According to this embodiment, the level of the dummy data line DLd is referred to in order to detect whether or not the levels of the node n 4 and the data line DL have been changed from the precharge level to the readable level.

ダミーメモリアレイ21における各FAMOSトランジスタ
は、前述のように未書き込み状態とされ、低しきい値電
圧を持つようにされる。
Each FAMOS transistor in the dummy memory array 21 is set in the unwritten state and has a low threshold voltage as described above.

それ故に、ダミーデータ線DLdは、ワード線の1つが選
択されると、それにおける充電電荷がFAMOSトランジス
タを介して放電され始めるので、その電位が第5図Gに
示されたように低下される。このダミーデータ線DLdの
レベルは、読み出し回路26によって検出される。
Therefore, when one of the word lines is selected, the charge on the dummy data line DLd starts to be discharged through the FAMOS transistor, so that the potential thereof is lowered as shown in FIG. 5G. . The level of the dummy data line DLd is detected by the read circuit 26.

読み出し回路26の出力は、ダミーデータ線DLdのレベル
が所定レベルよりも低下されるとそれに応じて第5図J
に示されたようにロウレベルからハイレベルへ変化され
る。
The output of the read circuit 26 is shown in FIG. 5J when the level of the dummy data line DLd is lowered below a predetermined level.
It is changed from low level to high level as shown in.

コントロール回路27は、読み出し回路26の出力がハイレ
ベルにされることによって、制御信号▲▼及びSA
Cをそれぞれ第5図Eに示されたようにハイレベル及び
ロウレベルに変化させる。
The control circuit 27 controls the control signals ▲ ▼ and SA by setting the output of the read circuit 26 to the high level.
C is changed to a high level and a low level as shown in FIG. 5E.

これによって、プリチャージMOSFETQ1は非導通状態にさ
れ、差動増幅回路は、非動作状態にされる。なお、読み
出し回路26のしきい値電圧は、コントロール回路27の動
作遅延を考慮して、読み出し回路25aのそれに比べて若
干高い値にされて良い。
As a result, the precharge MOSFET Q 1 is turned off and the differential amplifier circuit is turned off. The threshold voltage of the read circuit 26 may be set to a value slightly higher than that of the read circuit 25a in consideration of the operation delay of the control circuit 27.

第1図のクロックドインバータ34からなるラッチ回路の
動作を制御するためのラッチ制御信号LTCは、特に制限
されないが、第5図Lに示されているように、ダミーメ
モリアレイの監視結果にもとづいてハイレベルにされ、
制御信号▲▼及びSACがそれぞれハイレベルと、
ロウレベルにもどされる前にロウレベルにされる。クロ
ックドインバータ34は、ラッチ制御信号LTCがハイレベ
ルにされているならその入力信号にかかわらずに以前の
入力信号に対応したレベルの出力信号を出力し、制御信
号LTCがロウレベルにされているならそのときの入力信
号を取り込む。それ故に、クロックドインバータ34の出
力は、制御信号LTCの変化に応じて第5図Kに示された
ように変化される。
The latch control signal LTC for controlling the operation of the latch circuit composed of the clocked inverter 34 of FIG. 1 is not particularly limited, but is based on the monitoring result of the dummy memory array as shown in FIG. 5L. To a high level,
Control signal ▲ ▼ and SAC are high level,
Set to low level before returning to low level. The clocked inverter 34 outputs the output signal of the level corresponding to the previous input signal regardless of the input signal when the latch control signal LTC is set to the high level, and the control signal LTC is set to the low level if the control signal LTC is set to the low level. Capture the input signal at that time. Therefore, the output of the clocked inverter 34 is changed as shown in FIG. 5K in response to changes in the control signal LTC.

第2図は、第1図のセンスアンプSAに換え得るセンスア
ンプの回路図を示している。
FIG. 2 shows a circuit diagram of a sense amplifier which can be replaced with the sense amplifier SA of FIG.

この実施例では、上記制御用トランジスタQwのドレイン
端子(ノードn4)と電源電圧VCCとの間に、カラムスイ
ッチQcを介して各データ線に読出し電流を流し込むため
の定電流用MOSFETQ1と、その電流を制御する電流制御用
MOSFETQ8とが直列に接続されている。このうちMOSFETQ1
は、Pチャンネル形に形成され、そのゲート端子に接地
電位が印加されることにより、定電流源として動作す
る。
In this embodiment, a constant current MOSFET Q 1 for flowing a read current into each data line via a column switch Qc is provided between the drain terminal (node n 4 ) of the control transistor Qw and the power supply voltage V CC. , For current control to control that current
MOSFET Q 8 is connected in series. Of these, MOSFET Q 1
Is formed as a P channel type, and operates as a constant current source by applying a ground potential to its gate terminal.

上記ノードn4には、選択されたデータ線DL(ノードn3
のレベルを検出するレベル検出回路31と、データ線DLの
レベルに応じて上記電流制御用MOSFETQ8のゲート電圧を
調整してデータ線に向かって流れる電流を制御する帰還
回路32とが設けられている。
The selected data line DL (node n 3 ) is connected to the node n 4 above.
And a feedback circuit 32 that controls the current flowing toward the data line by adjusting the gate voltage of the current control MOSFET Q 8 according to the level of the data line DL. There is.

帰還回路32は、ゲート端子がノードn4に接続されること
によりデータ線DLの電位によって電流が制御されるMOSF
ETQ9と、ゲート端子に前記コントロール回路27から出力
される制御信号▲▼が印加されるようにされたP
チャンネル形のMOSFETQ10とによって構成されている。
そして、MOSFETQ9とQ10の接続ノードn5の電位が上記電
流制御用MOSFETQ8のゲート端子に印加されている。
The feedback circuit 32 has a MOSF whose current is controlled by the potential of the data line DL by connecting the gate terminal to the node n 4.
ETQ 9 and a control signal ▲ ▼ output from the control circuit 27 to the gate terminal P
It is composed of a channel type MOSFET Q 10 .
Then, the potential of the connection node n 5 between the MOSFETs Q 9 and Q 10 is applied to the gate terminal of the current controlling MOSFET Q 8 .

また、レベル検出回路31は、上記ノードn4にソース端子
が接続されたMOSFETQ11と、このMOSFETQ11のドレイン端
子と電源電圧VCCとの間に接続されたPチャンネル形の
負荷MOSFETQ12とによって構成されている。上記MOSFETQ
11のゲート端子には、帰還回路32内のノードn5の電位が
印加され、データ線に接続された電流制御用MOSFETQ8
同じようにオン、オフ制御される。MOSFETQ12のゲート
端子には、データ線の読出しレベルが出力されるノード
n4の電位が印加され、抵抗可変型の負荷素子として作用
する。
The level detection circuit 31 includes a MOSFET Q 11 having a source terminal connected to the node n 4 and a P-channel load MOSFET Q 12 connected between the drain terminal of the MOSFET Q 11 and the power supply voltage V CC . It is configured. MOSFET Q above
The potential of the node n 5 in the feedback circuit 32 is applied to the gate terminal of 11 and is turned on / off like the current control MOSFET Q 8 connected to the data line. A node from which the read level of the data line is output to the gate terminal of MOSFET Q 12.
A potential of n 4 is applied, and it acts as a variable resistance type load element.

上記レベル検出回路31と帰還回路32とによっていわゆる
センスアンプが構成される。このセンスアンプ内には、
上記MOSFETQ9〜Q12の他に、ノードn4と接地点との間お
よびノードn5と接地点との間にそれぞれディスチャージ
用のMOSFETQ2とQ13が接続されている。
The level detection circuit 31 and the feedback circuit 32 constitute a so-called sense amplifier. In this sense amplifier,
In addition to the MOSFETs Q 9 to Q 12, the discharging MOSFETs Q 2 and Q 13 are connected between the node n 4 and the ground point and between the node n 5 and the ground point, respectively.

一方のディスチャージ用MOSFETQ2のゲート端子には、前
記コントロール回路27に供給されるイニシャライズ・ク
ロックφiが印加され、センスアンプの動作開始(制御
信号▲▼の立下がり)に先立って、ノードn4の電
荷を引き抜く。他方のディスチャージ用MOSFETQ13のゲ
ート端子には、コントロール回路27から出力される制御
信号▲▼が印加されており、センスアンプが動作
される前にオン状態にされていてノードn5の電荷を引き
抜き、センスアンプを停止状態に設定する。制御信号▲
▼がロウレベレに変化されてセンスアンプが動作
され始めると、MOSFETQ2およびQ13はオフされて、回路
の動作に何ら影響を与えなくなる。
An initializing clock φi supplied to the control circuit 27 is applied to the gate terminal of one of the discharging MOSFETs Q 2 and, before the start of the operation of the sense amplifier (falling of the control signal ▲ ▼), the node n 4 Pull out the charge. The control signal ▲ ▼ output from the control circuit 27 is applied to the gate terminal of the other discharging MOSFET Q 13 , which is turned on before the sense amplifier is operated to extract the electric charge of the node n 5. , Set the sense amplifier to the stopped state. Control signal ▲
When ▼ is changed to low level and the sense amplifier starts to operate, the MOSFETs Q 2 and Q 13 are turned off and have no influence on the operation of the circuit.

上記レベル検出回路31の出力ノードすなわちMOSFETQ11
とQ12の接続ノードn6には、波形整形用のインバータ33
が接続され、インバータ33の出力はラッチ回路としての
クロックド・インバータ34に入力されている。そして、
このクロックド・インバータ34の出力がデータ出力用イ
ンバータ35によって増幅反転されてデータバス7bに出力
されるようにされている。
The output node of the level detection circuit 31, that is, MOSFET Q 11
And a connection node n 6 between Q 12 and
Are connected, and the output of the inverter 33 is input to the clocked inverter 34 as a latch circuit. And
The output of the clocked inverter 34 is amplified and inverted by the data output inverter 35 and output to the data bus 7b.

なお、特に制限されないが、上記各インバータ33〜35
は、CMOS(相補型MOS)型に構成されている。また、ク
ロックド・インバータ34はコントロール回路27からの制
御信号LTCによって制御されてラッチ動作を行なう。
Although not particularly limited, each of the above inverters 33 to 35
Is a CMOS (complementary MOS) type. Further, the clocked inverter 34 is controlled by the control signal LTC from the control circuit 27 to perform a latch operation.

さらに、上記レベル検出回路31内のノードn6と電源電圧
VCCとの間には、出力レベル補正用のMOSFETQ14とプリチ
ャージ用のMOSFETQpが接続されている。MOSFETQ14とQp
は、それぞれPチャンネル形の形成されている。上記プ
リチャージ用MOSFETQpのゲーシ端子には、コントロール
回路27から出力されるプリチャージ信号φpが印加され
ており、上記制御信号▲▼がハイレベルからロウ
レベルに変化されてセンスアンプが動作を開始すると、
先ずこのプリチャージ信号φpによってノードn6が電源
電圧VCCまで押し上げられる。これによって、読出しデ
ータ出力D0〜D7は、最初に必ずロウレベルにされる。
Further, the node n 6 in the level detection circuit 31 and the power supply voltage
A MOSFET Q 14 for output level correction and a MOSFET Qp for precharge are connected to V CC . MOSFET Q 14 and Qp
Are each formed as a P-channel type. The precharge signal φp output from the control circuit 27 is applied to the gate terminal of the precharge MOSFET Qp. When the control signal ▲ ▼ is changed from high level to low level and the sense amplifier starts operating,
First, the precharge signal φp pushes up the node n 6 to the power supply voltage V CC . As a result, the read data outputs D 0 to D 7 are always set to the low level first.

また、上記出力レベル補正用のMOSFETQ14のゲート端子
には、電源電圧VCCのレベルを検出してそれに応じた電
圧を出力する電源電圧検出回路36の出力電圧Vcoが印加
されている。これによって、センスアンプすなわちレベ
ル検出回路31の出力が、電源電圧Vccのレベルに応じて
補正されるようになっている。これについては後で詳し
く説明する。
Further, the output voltage Vco of the power supply voltage detection circuit 36 that detects the level of the power supply voltage V CC and outputs a voltage corresponding to the level is applied to the gate terminal of the MOSFET Q 14 for correcting the output level. As a result, the output of the sense amplifier, that is, the level detection circuit 31 is corrected according to the level of the power supply voltage Vcc. This will be described in detail later.

次に、上記のごとき構成の読出し回路の動作は、次のよ
うになる。
Next, the operation of the read circuit having the above configuration is as follows.

コントロール回路27から供給される制御信号▲▼
がハイレベルからロウレベルに変化すると、MOSFETQ10
がオンされ、MOSFETQ8がオフされてセンスアンプの動作
が開始される。すなわち、制御信号▲▼によって
オンされたMOSFETQ10を通してノードn5へ電荷が流れ込
んでノードn5のレベルが上昇される。これによって、MO
SFETQ8がオンされて、定電流用MOSFETQ1から供給される
電流がノードn4へ流れ込む。また、このときまでに、Y
デコーダ23によってアドレスA8〜A11に対応した一つの
カラムスイッチQcがオンされている。そのため、ノード
n4に流れ込んだ電流は、選択されたカラムスイッチQcを
通ってデータ線DLに流れ込み、データ線をチャージアッ
プさせる。
Control signal supplied from the control circuit 27 ▲ ▼
Changes from high level to low level, MOSFET Q 10
Is turned on, MOSFET Q 8 is turned off, and the operation of the sense amplifier is started. That is, the charge flows into the node n 5 through the MOSFET Q 10 which is turned on by the control signal ▲ ▼, and the level of the node n 5 is raised. By this, MO
The SFETQ 8 is turned on, and the current supplied from the constant current MOSFET Q 1 flows into the node n 4 . By this time, Y
The decoder 23 turns on one column switch Qc corresponding to the addresses A 8 to A 11 . Therefore, the node
The current flowing into n 4 flows into the data line DL through the selected column switch Qc and charges up the data line.

このときMOSFETQ11もオンされるので、前述したように
プリチャージ信号φpによってセンスアンプの出力ノー
ドn6の側からもプリチャージが行なわれる。そのため、
データ線DLのプリチャージが速やかに行なわれる。
At this time, MOSFET Q 11 is also turned on, so that the precharge signal φp also precharges from the output node n 6 side of the sense amplifier as described above. for that reason,
The data line DL is precharged promptly.

しかも、上記データ線のプリチャージは、ダミーメモリ
アレイ21内でも行なわれるようにされており、コントロ
ール回路27はこのダミーメモリアレイ21内のデータ線DL
dのレベルを監視して、所定レベル以上になると上記プ
リチャージ信号φpを立ち上げてプリチャージを終了さ
せる。また、プリチャージ信号φpの立上がりに同期し
てコントロール回路27から出力される駆動信号φxがハ
イレベルに変化されてXデコーダ22が駆動され、これに
よって選択された一本のワード線のレベルが上昇され
る。
In addition, the precharging of the data line is also performed in the dummy memory array 21, and the control circuit 27 controls the data line DL in the dummy memory array 21.
The level of d is monitored, and when it exceeds a predetermined level, the precharge signal φp is raised to end the precharge. Further, in synchronization with the rise of the precharge signal φp, the drive signal φx output from the control circuit 27 is changed to the high level and the X decoder 22 is driven, whereby the level of the selected one word line rises. To be done.

そして、プリチャージの終了時点で、クロックド・イン
バータ34に供給される制御信号LTCがハイレベルに変化
され、センスアンプの出力を取り込み始める。しかし
て、クロックド・インバータ34がラッチ動作を開始した
時点でのセンスアンプ出力は、プリチャージによって初
めにハイレベルされているため、出力用インバータ35の
出力は最初ロウレベルである。
Then, at the end of the precharge, the control signal LTC supplied to the clocked inverter 34 is changed to the high level, and the output of the sense amplifier starts to be taken. Then, the sense amplifier output at the time when the clocked inverter 34 starts the latch operation is initially set to the high level by the precharge, so the output of the output inverter 35 is initially the low level.

上記のようにして、プリチャージが終了してからワード
線が立ち上がり始めると、これによって選択されたメモ
リセルのFAMOSQfが書込み状態にあるか消去状態にある
かで、しきい値電圧が異なるため、データ線DL(ノード
n2)の電位に差異が生じる。すなわち、選択されたFAMO
SQfが書込み状態にあると、ワード線の選択レベル(約5
V)でFAMOSQfはオフ状態にされるため、データ線DL(ノ
ードn2)の電位はプリチャージ終了時と同じである。一
方、選択されたFAMOSQfが消去状態にあると、FAMOSQfは
オン状態にされるため、データ線DLの電位は低くなる。
As described above, when the word line starts rising after precharging is completed, the threshold voltage differs depending on whether the FAMOS Qf of the memory cell selected by this is in the written state or the erased state. Data line DL (node
A difference occurs in the potential of n 2 ). That is, the selected FAMO
When SQf is in the write state, the word line select level (about 5
Since FAMOSQf is turned off at V), the potential of the data line DL (node n 2 ) is the same as that at the end of precharge. On the other hand, when the selected FAMOS Qf is in the erased state, the FAMOS Qf is turned on, so that the potential of the data line DL becomes low.

このように差異の生じたデータ線DLの電位がカラムスイ
ッチQcと書込み制御用トランジスタQwを通してノードn4
に伝わると、帰還回路32内のMOSFETQ9は、データ線電位
が高い程、強くオンされる。そして、MOSFETQ9が強くオ
ンされると、ノードn5の電位が下がり、電流制御用MOSF
ETQ8が遮断される方向に移ることになる。
The potential of the data line DL, which has a difference as described above, passes through the column switch Qc and the write control transistor Qw to generate the node n 4
MOSFET Q 9 in the feedback circuit 32 is strongly turned on as the data line potential increases. Then, when the MOSFET Q 9 is strongly turned on, the potential of the node n 5 drops and the current control MOSF
ETQ 8 will move in the direction of being shut off.

そのため、選択されたFAMOSQfが書込み状態にあると、M
OSFETQ8が遮断されてデータ線DLへ向かって流れる電流
が制限され、ノードn4の電位は高い所で平衡状態とな
る。一方、選択されたFAMOSQfが消去状態にあると、FAM
OSQfが導通状態のため、データ線電位が低くなりMOSFET
Q9は弱いオン状態にされて、ノードn3の電位が上がり、
MOSFETQ8がオンされ続ける。これによって、定電流用MO
SFETQ1から供給される定電流が、MOSFETQ8,Qw,Qcおよび
FAMOSQfさらにはMOSFETQD1,QN1を通って接地点へ流れ
る。その結果、インピーダンスの低いFAMOSQf側に引か
れてノードn4の電位が低い所で平衡状態となる。
Therefore, when the selected FAMOS Qf is in the write state, M
OSFETQ 8 is cut off, the current flowing toward the data line DL is limited, and the potential of the node n 4 is in an equilibrium state at a high place. On the other hand, if the selected FAMOS Qf is in the erased state, the FAM
Since OSQf is conductive, the data line potential becomes low and the MOSFET
Q 9 is weakly turned on and the potential at node n 3 rises,
MOSFET Q 8 keeps on. This allows constant current MO
The constant current supplied from SFETQ 1 is MOSFET Q 8 , Qw, Qc and
FAMOSQf and further flows to the ground point through MOSFETs Q D1 and Q N1 . As a result, an equilibrium state is reached where the potential of the node n 4 is low because it is pulled to the side of FAMOS Qf with low impedance.

しかして、ノードn4に接続されたレベル検出回路31を構
成するMOSFETQ11は、ノードn5の電位によって上記MOSFE
TQ8と全く同じように動作される。そのため、選択され
たFAMOSQfが書込み状態にあると比較的電位の高いノー
ドn4の電位によってMOSFETQ11が遮断されて出力ノードn
6の電位は高いレベルを維持する。また、選択されたFAM
OSQfが消去状態にあると、ノードn4の電位に引かれて出
力ノードn6の電位が下がり、波形整形用インバータ33の
出力が反転する。
Therefore, the MOSFET Q 11 that constitutes the level detection circuit 31 connected to the node n 4 has the above-mentioned MOSFE depending on the potential of the node n 5.
Works exactly like TQ 8 . Therefore, when the selected FAMOS Qf is in the write state, the MOSFET Q 11 is cut off by the potential of the node n 4 having a relatively high potential and the output node n 4 is cut off.
The potential of 6 maintains a high level. Also selected FAM
When OSQf is in the erased state, the potential of the output node n 6 is pulled down by the potential of the node n 4 and the output of the waveform shaping inverter 33 is inverted.

このようにして、センスアンプの出力が確定するころ、
データ線レベルによって必ず読出しデータ(インバータ
35の出力)が反転するようにされたダミーメモリアレイ
21の読出しデータを監視するコントロール回路27が、ダ
ミー側の読出しデータの反転を検出してラッチ制御信号
LTCをハイレベルからロウレベルに変化させる。これに
よって、クロックド・インバータ34は、センスアンプの
出力(インバータ33)のラッチを止め、直前にラッチし
ていたデータを保持するようになる。
In this way, when the output of the sense amplifier is fixed,
Depending on the data line level, read data (inverter
35 output) dummy memory array designed to be inverted
The control circuit 27 that monitors the read data of 21 detects the inversion of the read data on the dummy side and detects the latch control signal.
Change LTC from high level to low level. As a result, the clocked inverter 34 stops latching the output of the sense amplifier (inverter 33) and holds the data latched immediately before.

そして、このラッチ制御信号LTCの立下がりに同期し
て、コントロール回路27から出力される制御信号▲
▼がロウレベルからハイレベルに変化される。する
と、MOSFETQ10がカットオフされ、帰還回路32に電流が
流されなくなるとともに、MOSFETQ13がオンされてノー
ドn5がロウレベルに固定されてMOSFETQ11がオフされ、
レベル検出回路31にも電流が流されなくなってセンスア
ンプの動作が停止される。
Then, in synchronization with the fall of this latch control signal LTC, the control signal output from the control circuit 27
▼ is changed from low level to high level. Then, the MOSFET Q 10 is cut off, current is not supplied to the feedback circuit 32, the MOSFET Q 13 is turned on, the node n 5 is fixed at a low level, and the MOSFET Q 11 is turned off.
No current is passed through the level detection circuit 31, and the operation of the sense amplifier is stopped.

このように、上記実施例によれば、センスアンプがCMOS
回路で構成されてはいるものの、回路が動作している間
は帰還回路32とレベル検出回路31に流されていた電流
が、制御信号▲▼によってセンスアンプが動作さ
れる時間だけに制限されるようになる。しかるに、セン
スアンプの動作期間すなわち制御信号SACのロウレベル
の期間は、コントロール回路27によって必要最小限にさ
れるため、センスアンプの消費電力が大幅に減少され
る。
Thus, according to the above-described embodiment, the sense amplifier is a CMOS
Although it is composed of a circuit, the current flowing in the feedback circuit 32 and the level detection circuit 31 while the circuit is operating is limited only to the time when the sense amplifier is operated by the control signal ▲ ▼. Like However, the operation period of the sense amplifier, that is, the low level period of the control signal SAC is minimized by the control circuit 27, so that the power consumption of the sense amplifier is significantly reduced.

また、制御信号▲▼がハイレベルにされるとMOSF
ETQ8もオフされるため、選択されたメモリセルが書込み
状態にあるときにデータ線に向かって流れる電流もカッ
トされ、読出し時のメモリアレイ全体の消費電流も減少
される。しかも、上記実施例によると、特に内部クロッ
ク信号φ1の周期が長くなった場合にセンスアンプ
の動作時間が相対的に短くなって、消費電力低減の効果
が大きくなるという利点がある。
When the control signal ▲ ▼ is set to high level, the MOSF
Since ETQ 8 is also turned off, the current flowing toward the data line when the selected memory cell is in the write state is also cut, and the current consumption of the entire memory array at the time of reading is also reduced. Moreover, according to the above-described embodiment, the operation time of the sense amplifier becomes relatively short, especially when the cycle of the internal clock signals φ 1 and φ 2 becomes long, and the effect of reducing the power consumption becomes large. .

次に、先に簡単に説明したセンスアンプの出力レベルの
補正用MOSFETQ14の動作について補足説明を行なう。
Next, a supplementary explanation will be given on the operation of the output level correcting MOSFET Q 14 of the sense amplifier, which has been briefly described above.

上記実施例で示したように、レベル検出回路31と帰還回
路32とからなるセンスアンプによってデータ線レベルを
検出するようにした場合、メモリセルが書込み不良を起
こしてFAMOSQfのしきい値電圧がワード線の選択レベル
(VCC)よりも低くなっていると、第6図に示すよう
に、電源電圧VCCが高くなるに従って、書込み状態のメ
モリセルを読み出したときのセンスアンプ出力(ノード
n6の電位)Vsoが下がって、次段のインバータ33の論理
しきい値電圧VTLよりも低くなり、誤まったデータの読
出しが行なわれるおそれがある。
As shown in the above embodiment, when the data line level is detected by the sense amplifier including the level detection circuit 31 and the feedback circuit 32, the memory cell causes a write failure and the threshold voltage of FAMOSQf becomes the word. If it is lower than the line selection level (V CC ), as shown in FIG. 6, as the power supply voltage V CC becomes higher, the sense amplifier output (node
turned down n potential of 6) Vso, becomes lower than the logic threshold voltage V TL of the next-stage inverter 33, there is a possibility that reading of erroneous data.

そこで、上記実施例では、電源電圧検出回路36で電源電
圧VCCのレベルを検出し、そのレベルに応じて例えば第
7図に示すような特性の制御電圧Vcoを発生し、これを
出力レベル補正用MOSFETQ14のゲートに印加させる。こ
れによって、電源電圧VCCが高い側でセンスアンプ動作
したときに、その出力が第5図破線Aで示すような傾向
で上昇するように補正されるようになる。
Therefore, in the above-described embodiment, the level of the power supply voltage V CC is detected by the power supply voltage detection circuit 36, and the control voltage Vco having the characteristic shown in FIG. It is applied to the gate of use MOSFET Q 14. As a result, when the sense amplifier operates on the side where the power supply voltage V CC is high, its output is corrected so as to increase in the tendency shown by the broken line A in FIG.

なお、第6図に示す電圧特性は、一例であって、センス
アンプを構成する素子(MOSFETQ3〜Q6)の特性やサイズ
等によって変化するものである。要するに、センスアン
プの特性との関係で結果的に第5図に示すような出力特
性が得られるような制御電圧Vcoを形成してやればよ
い。
The voltage characteristic shown in FIG. 6 is an example, and varies depending on the characteristics and size of the elements (MOSFETs Q 3 to Q 6 ) forming the sense amplifier. In short, it suffices to form the control voltage Vco that results in the output characteristics shown in FIG. 5 in relation to the characteristics of the sense amplifier.

また、メモリセルが書込み不良でしきい値が充分に高く
されていない場合には、読出し時のワード線選択レベル
で少しオン状態にされてデータ線レベルが上がりにくく
なるので、読出し時間が長くなってしまうおそれがあ
る。ところが上記実施例では、プリチャージMOSFETQpを
設けてワード線を非選択の状態でプリチャージを行なっ
ているので、プリチャージによってデータ線レベルを速
やかに立ち上げて良好な読出しを行なうことができると
いう利点がある。
Also, if the memory cell has a write error and the threshold value is not sufficiently high, the word line selection level at the time of reading is turned on a little and the data line level is hard to rise, so the read time becomes long. There is a risk that However, in the above embodiment, since the precharge MOSFET Qp is provided to precharge the word line in the non-selected state, it is possible to quickly raise the data line level by the precharge and perform good reading. There is.

なお、上記実施例では、メモリアレイが8つのブロック
に分割され、各ブロックに対応してそれぞれ読出し回路
が設けられ、8ビットのデータが並列に読み出されるよ
うに構成されたものについて説明したが、メモリアレイ
のビット構成は、それに限定されるものでなく、例えば
1ビットあるいは4ビット、16ビット等に構成しても良
いことはいうまでもない。
In the above embodiments, the memory array is divided into eight blocks, the read circuits are provided corresponding to the respective blocks, and the 8-bit data is read in parallel. It goes without saying that the bit configuration of the memory array is not limited to that, and may be configured to 1 bit, 4 bits, 16 bits, or the like.

また、上記実施例におけるセンスアンプの出力レベル補
正用のMOSFETQ14やプリチャージMOSFETQpは、省略する
こともできる。
Further, the MOSFET Q 14 for correcting the output level of the sense amplifier and the precharge MOSFET Qp in the above embodiment can be omitted.

さらに、ダミーメモリアレイを設けてセンスアンプの動
作停止タイミングを知る方式は、シングルチップマイコ
ンのEPROMのみならず、単品(半導体メモリ)としてのE
PROM等にも適用することができる。
Furthermore, the method of providing a dummy memory array to know the operation stop timing of the sense amplifier is not limited to the EPROM of a single-chip microcomputer, but can
It can also be applied to PROMs, etc.

[効果] (1)センスアンプ定常的に動作させるのでなく、ROM
内のワード線が選択されこれによってデータ線のレベル
が確定する頃にセンスアンプを起動させるとともに、デ
ータ読出し後はセンスアンプの出力をラッチしてからセ
ンスアンプを停止させるようにしたので、センスアンプ
の動作期間を短縮させるという作用により、アドレス変
化検出回路のような複雑なタイミング発生回路を設ける
ことなく消費電力を低減させることができるという効果
がある。
[Effects] (1) Sense amplifier ROM rather than operating constantly
Since the sense amplifier is activated when the word line inside is selected and the level of the data line is determined by this, the output of the sense amplifier is latched and the sense amplifier is stopped after reading the data. The effect of shortening the operation period is that there is an effect that power consumption can be reduced without providing a complicated timing generation circuit such as an address change detection circuit.

(2)内蔵ROMのメモリアレイとは別にダミーのメモリ
アレイとそのセンスアンプを設け、ダミーのメモリアレ
イには読出しによって必ずデータ線レベルが変化するよ
うなデータを予め入れておき、このダミーメモリアレイ
のデータを読み出して検出するようにしたので、ダミー
メモリアレイから読み出したデータが確定した時点で
は、正規のメモリアレイから読み出したデータも必ず確
定していることになるという作用により、センスアンプ
の動作期間を必要最小限にさせるようなセンスアンプ停
止タイミングを正確に検出できるようになるという効果
がある。
(2) A dummy memory array and its sense amplifier are provided separately from the built-in ROM memory array, and the dummy memory array is pre-populated with data such that the data line level always changes by reading. Since the data of is read and detected, the operation of the sense amplifier is performed by the action that when the data read from the dummy memory array is fixed, the data read from the normal memory array is also fixed. It is possible to accurately detect the sense amplifier stop timing that minimizes the period.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、センスアンプの
構成は前記実施例のものに限定されず、種々の変形例が
考えられる。この発明は、センスアンプが動作中貫通電
流が流れるような構成のものに適用して有効な効果が得
られる。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Nor. For example, the configuration of the sense amplifier is not limited to that of the above-described embodiment, and various modifications can be considered. The present invention is effective when applied to a sense amplifier having a structure in which a through current flows during operation.

また、上記実施例では、EPROMがチップ上に形成された
シングルチップマイコンについて説明したが、EPROMが
パッケージ上に搭載されるようにされたシングルチップ
マイコンに対しても適用できることはいうまでもない。
Further, in the above-described embodiment, the single-chip microcomputer in which the EPROM is formed on the chip has been described, but it goes without saying that the present invention is also applicable to the single-chip microcomputer in which the EPROM is mounted on the package.

[利用分野] 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるEPROMを内蔵したシ
ングルチップマイコンに適用したものについて説明した
が、それに限定されるものでなく、内部にクロックを有
するEPROM内蔵のLSIもしくはROM内蔵のLSI、さらには半
導体記憶装置一般に利用することができる。
[Field of Application] In the above description, the invention mainly made by the present inventor is described as being applied to a single-chip microcomputer having a built-in EPROM, which is the field of application which is the background of the invention, but the invention is not limited thereto. It can be used for an LSI with a built-in EPROM having an internal clock or an LSI with a built-in ROM, and also for semiconductor memory devices in general.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、本発明に係るEPROM内蔵のLSIに使用される読
出し回路の一実施例を示す回路構成図、 第2図は、他の実施例の回路図、 第3図は、本発明が適用されるEPROM内蔵型のシングル
チップマイコンの構成の一例を示すブロック図、 第4図は、オンチップのEPROM回路の一実施例を示す回
路構成図、 第5図は、そのEPROM回路の動作を示すタイミングチャ
ート、 第6図は、上記実施例のセンスアンプ出力の電源電圧依
存性を示す説明図、 第7図は、電源電圧VCCが変動した場合にセンスアンプ
出力レベル補正用MOSFETのゲートに印加すべき制御電圧
Vcoの特性の一例を示す説明図である。 1……CPU(マイクロプロセッサ)、2……再書込み可
能なメモリ(EPROM)、3……ランダム・アクセス・メ
モリ、4……シリアル・コミュニケーション・インタフ
ェース回路、7a……アドレスバス、7b……データバス、
9……モード切換回路、11……モード設定用外部端子、
20a〜20h……メモリブロック、21……ダミーメモリアレ
イ、24a〜24h……カラムスイッチ回路、25a〜25h……読
出し回路、26……ダミー用読出し回路、27……コントロ
ール回路、28a〜28h……書込み回路、31……レベル検出
回路、32……帰還回路、33……波形整形回路(インバー
タ)、34……ラッチ回路(クロックド・インバータ)、
35……出力用インバータ、DL,DL1〜DL8……データ線、D
Ld……ダミーデータ線、Qc,Qc1〜Qc8……カラムスイッ
チ、MC……メモリセル、CS1〜CS16……共通ソース線、C
DL,CDL1〜CDL16……共通データ線、Qw,Qw1〜Qw8……書
込み制御用トランジスタ。
FIG. 1 is a circuit configuration diagram showing an embodiment of a read circuit used in an LSI incorporating an EPROM according to the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram of another embodiment, and FIG. FIG. 4 is a block diagram showing an example of a configuration of a single-chip microcomputer with a built-in EPROM, FIG. 4 is a circuit configuration diagram showing an embodiment of an on-chip EPROM circuit, and FIG. 5 shows the operation of the EPROM circuit. FIG. 6 is a timing chart showing the power supply voltage dependency of the sense amplifier output of the above embodiment, and FIG. 7 shows the gate of the sense amplifier output level correcting MOSFET when the power supply voltage V CC fluctuates. Control voltage to be applied
It is explanatory drawing which shows an example of the characteristic of Vco. 1 ... CPU (microprocessor), 2 ... Rewritable memory (EPROM), 3 ... Random access memory, 4 ... Serial communication interface circuit, 7a ... Address bus, 7b ... Data bus,
9: Mode switching circuit, 11: Mode setting external terminal,
20a to 20h ... memory block, 21 ... dummy memory array, 24a to 24h ... column switch circuit, 25a to 25h ... read circuit, 26 ... dummy read circuit, 27 ... control circuit, 28a to 28h ... … Write circuit, 31 …… Level detection circuit, 32 …… Feedback circuit, 33 …… Wave shaping circuit (inverter), 34 …… Latch circuit (clocked inverter),
35 …… Output inverter, DL, DL 1 to DL 8 …… Data line, D
Ld …… Dummy data line, Qc, Qc 1 to Qc 8 …… Column switch, MC …… Memory cell, CS 1 to CS 16 …… Common source line, C
DL, CDL 1 to CDL 16 …… Common data line, Qw, Qw 1 to Qw 8 …… Write control transistor.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−139393(JP,A) 特開 昭56−111190(JP,A) 特開 昭49−14052(JP,A) 特開 昭53−60125(JP,A)Continuation of the front page (56) Reference JP-A-58-139393 (JP, A) JP-A-56-111190 (JP, A) JP-A-49-14052 (JP, A) JP-A-53-60125 (JP , A)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】CPUと、メモリアレイと周辺回路を有する
メモリと、上記周辺回路の動作を制御するコントロール
回路とを具備する半導体集積回路であって、 上記CPUには、互いにハイレベルの期間がオーバラップ
しないように半周期だけ位相のずれた第1、第2の内部
クロック信号とこれらの内部クロック信号の1/2の周波
数を持ち、上記第1のクロック信号の立上り時点と、ほ
ぼ等しい時点で立上り、立ち下がりするような外部同期
信号を形成するクロック発生回路を有し、 さらに、該半導体集積回路は、ダミーデータ線を有する
ダミーメモリアレイとダミーメモリアレイの読み出し回
路とを有し、 上記周辺回路は、上記メモリアレイのデータに接続され
るセンスアンプ回路と上記センスアンプ回路の出力を受
けるラッチ回路を有し、 上記コントロール回路は、上記外部同期信号のロウレベ
ル期間中のみ上記第1のクロック信号と同期して同じよ
うに変化し、データ線及びダミーデータ線をロウレベル
に初期化するための第1の信号を形成する手段と、上記
第1の信号の立ち下がりに同期してロウレベルに変化
し、データ線及びダミーデータ線をプリチャージするた
めの第2の信号を形成する手段と、上記第2の信号の立
ち下がりに同期してハイレベルに変化し、上記センスア
ンプ回路及びダミーメモリアレイの読み出し回路のプリ
チャージを開始するための第3の信号を形成する手段と
を有し、 上記読み出し回路は、上記ダミー読み出しデータを監視
していて、データが確定したときに読み出し動作を停止
させる信号を出力し、 上記コントロール回路は、上記読み出し回路の出力信号
に基づいて読み出しデータが上記ラッチ回路にラッチさ
れた後上記センスアンプ回路を非動作状態にする制御信
号を出力するようにされてなることを特徴とする半導体
集積回路。
1. A semiconductor integrated circuit comprising a CPU, a memory having a memory array and a peripheral circuit, and a control circuit for controlling the operation of the peripheral circuit, wherein the CPU has high-level periods with respect to each other. The first and second internal clock signals, which are out of phase with each other by a half cycle so as not to overlap with each other, have a frequency of 1/2 of these internal clock signals, and a time point substantially equal to the rising time point of the first clock signal. The semiconductor integrated circuit further includes a dummy memory array having dummy data lines and a read circuit for the dummy memory array, the clock generating circuit forming an external synchronizing signal that rises and falls at The peripheral circuit has a sense amplifier circuit connected to the data of the memory array and a latch circuit for receiving an output of the sense amplifier circuit. The troll circuit changes in the same manner in synchronization with the first clock signal only during the low level period of the external synchronizing signal to form a first signal for initializing the data line and the dummy data line to the low level. Means, a means for changing to a low level in synchronization with the fall of the first signal, and forming a second signal for precharging the data line and the dummy data line, and a fall of the second signal. And a means for forming a third signal for starting the precharge of the sense amplifier circuit and the read circuit of the dummy memory array in synchronism with the read signal of the dummy read circuit. The data is monitored, and when the data is confirmed, the signal that stops the read operation is output, and the control circuit outputs the output of the read circuit. The semiconductor integrated circuit read data, characterized by comprising adapted to output a control signal to the non-operating state the sense amplifier circuit after being latched in the latch circuit on the basis of the issue.
【請求項2】上記メモリは不揮発性のメモリ素子からな
る再書込み可能なメモリにより構成されてなることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体集積回路。
2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the memory is a rewritable memory composed of a non-volatile memory element.
【請求項3】上記メモリはシステムの動作に必要なプロ
グラムが格納される読み出し専用のメモリであることを
特徴とする特許請求の範囲第1項もしくは第2項記載の
半導体集積回路。
3. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the memory is a read-only memory in which a program necessary for system operation is stored.
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