JPH0735983B2 - 干渉計構造体 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、干渉計構造体に関し、
更に詳細には、着脱式光学的カートリッジを有する三次
元屈折走査式干渉計構造体に関する。

【０００２】

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】屈折走査
式干渉計、即ち、くさび形プリズムを走行させることに
より走査を達成する干渉計、はとても役立つ分光計コン
ポーネントであり、特に、凹凸のある装置を必要とする
環境での使用ではそうであることが実証されている。か
かる環境は、プロセス制御、周囲監視等の非実験室状況
で遭遇することが多い。くさび型干渉計は、後方反射鏡
型の２個の固定式鏡と、干渉計の２本のアームの１つを
横切って走行するくさび形プリズムとを有することが好
ましい。本願出願人は、出願日順に列挙すると、４，１
９０，３６６号、４，１６５，９３８号、４，２６５，
５４０号、４，２８６，８７７号という”屈折走査式”
干渉計に関する４つの米国特許を所有している。

【０００３】本明細書には、かかる干渉計に固有な利点
を保持し、しかも、それらの構造及び性能が有意に簡略
化、改良されたくさび型干渉計が開示されている。この
くさび型干渉計の利点は極めて重要である。干渉計の３
つの必須の光学的コンポーネント、即ち、干渉計のアー
ムの各端にある２個の鏡とビームスプリッタ、のいずれ
もが操作中に移動することがない。この構造体は、その
必須の光学的コンポーネントが静止しているので、過酷
な条件でも作用できる。くさび型干渉計は平面鏡の代わ
りに後方反射鏡（普通にはコーナーキューブ）を有する
ので、特定のビームスプリッタ収差が相殺され、このた
め、ビームスプリッタの構成の困難さが軽減し、コスト
が下がっている。

【０００４】走行式鏡を使う干渉計では、特定の心合わ
せが必須である。平面鏡はいずれの軸でも傾くことはな
いが、移動することがある。逆に、コーナーキューブ
は、その頂点を中心として傾斜することはあっても、移
動することがない。くさび型干渉計には移動式鏡がない
ため、心合わせがより便利にかつ正確に達成、維持され
る。

【０００５】本発明の装置はくさび型の干渉計の重要な
利点を保持し、しかも、有意に、部品のサイズと数を減
らし、かつ、かかる干渉計の性能を高めている。それ
は、熱、応力、振動、音響学的基準に関する性能要件の
全てを満たしている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、ユニット化さ
れた内側・外側ハウジングアセンブリを提供する。該干
渉計は、干渉計の機素を底部のみから支持する取付板の
代わりに三次元支持構造体を提供するように配列されて
いる。

【０００７】本構造体では、全Ｘ−Ｙ−Ｚ光学的座標
が、再現性、信頼性にとり最適の位置決め結果を達成す
るのが可能である。予心合わせは精密位置決めアセンブ
リを使って達成され、このアセンブリは支持構造体自体
の一部として設計することも、或いは、使用後に取り外
し、他の干渉計で再使用される一時的取付具として設計
することもできる。光学的機素が安定支持されているの
で、それ以上の調整は必要ない。

【０００８】外側ハウジングアセンブリは気密封止で
き、この構造は特定環境では明白な利点を有する。封止
されない心合わせ済みのハウジングアセンブリはこの外
側ハウジングアセンブリの内側に装着される。干渉計機
素の加熱を避けるために、発熱性機素を配列して外側ハ
ウジングアセンブリをヒートシンクとして使う。

【０００９】本干渉計の唯一の移動性機素である、ビー
ムスプリッタ隣接のくさび形プリズムは上と下のトラッ
クにより走査走行可能に支持され、回転運動を除去し、
ベアリング摩耗を低下させる重心直線ベアリングシステ
ムを提供する。

【００１０】更に、重心線形ベアリングシステムを保持
するタイプの改良体も開示されており、そこでは、固定
式ビームスプリッタプリズムと移動式走査プリズムとが
内側ハウジング内に着脱式に固定されているカートリッ
ジ中に支持される。この光学的カートリッジは、内側ハ
ウジング内への挿入前の機械的、光学的心合わせを可能
にすることにより、組立プロセスを有意に簡略化してい
る。これにより、既に適所に配置されている高感度くさ
びを適応させ、有害な結果を伴って取扱い、汚染に曝さ
ざるを得ない特別設計の心合わせジグを必要とする、内
シェルの画された空間内でのベアリングアセンブリの時
間のかかる装着や予荷重の必要がなくなる。該カートリ
ッジにより、内シェル内の装着面とは独立して、従っ
て、通常の工具やホルダを使用できない空間内で心合わ
せを試みることによるくさびの激しい損傷の発生の危険
なくビームスプリッタと走査プリズムの心合わせが可能
にもなる。くさび面の平行を確立するためのくさびの心
合わせは干渉計の必須要件である。なぜならば、心合わ
せにより、分析ビームに必要とされる精度内で、くさび
が垂直面、水平面から角度的に偏らないことが確保され
るからである。

【００１１】本発明の別の特徴により、カートリッジ効
果を利用する組立法が開示される。更に特定すると、く
さびを各カートリッジ内に組み込み、既知の光学的イメ
ージャで予心合わせして直線光路を作った後に走査くさ
びを中心部の片側に連結し、ベアリング予荷重を調整す
る。走査くさびを、そのキャリア内での適当な回転によ
り光学的に心合わせした後に、ビームスプリッタくさび
を中心部の他方側に固定式に連結し、同様に光学的に心
合わせをし、これにより、機械的、光学的に心合わせさ
れており、本質的に組込み式カートリッジとして内シェ
ル内に装着する準備のできた一体のビームスプリッタ／
補正装置ユニットが得られる。内シェルはカートリッジ
を滑動式に収納するように設計されており、該カートリ
ッジはその下面に、内シェルの底部の対応孔と組み合っ
てカートリッジの底を正確に定置するダウエルピンを有
することもできる。ついで、カートリッジの側面を心合
わせピンにより定置させ、該心合わせピンは底及び側面
のファスナを適所に配置した後に取り外す。

【００１２】内シェルへの組込み前にシステムを光学
的、機械的に心合わせし、所望ならば更に温度を検査で
きるので、カートリッジ効果により干渉計の機械的、光
学的性能の信頼度は高まる。内シェルへの装着後に問題
点が発見されても、カートリッジは容易に取り外し、つ
いで調整し、或いは予め検定済みのカートリッジと交換
できる。このカートリッジ設計により、更に、通常のよ
うに工場にユニットを返送することなく、比較的熟練し
た技術者が現場で光学機器を交換できる。従って、該カ
ートリッジは又、干渉計での光学的域値を容易に変える
手段としても使用できる。本発明の着脱式カートリッジ
は本明細書に開示した特定の干渉計構造に限定されるこ
とはなく、他の干渉計でも同様に有益である。

【００１３】

【実施例】図１（米国特許第４，２６５，５４０号の図
１と同様）は、従来技術のくさび型干渉計の図解であ
る。

【００１４】分析用放射線、例えば赤外線（ＩＲ）、は
供給源２０から光路２２を通ってくさび形プリズム２４
に至る。別のくさび形プリズム２６は、プリズム２４、
２６の屈折効果がゼロ光路差（ＺＰＤ）位置で相等しく
なるような寸法とする。くさび２４の片方は非走行式で
あり、その表面２８にビームスプリッタ被覆材を有す
る。他のくさび（２６）はモーター２５により、矢印２
７で示される方向に前後に走差目的で走行できる。走行
式くさびのＺＰＤ位置で、２つのくさびを通過する放射
線の通過距離は等しい。まず、一方のくさびの位置をＺ
ＰＤ位置に調整する。

【００１５】ＩＲ放射線２２はビームスプリッタ２８で
部分的に（半分は）反射され、部分的に（半分は）透過
する。ビームスプリッタで反射された放射線は光路３０
に沿って固定式後方反射鏡３２（例えばコーナーキュー
ブ）方向へ走行する。ビームスプリッタを透過した放射
線は光路３４に沿って別の固定式後方反射鏡３６（例え
ばコーナーキューブ）方向へ走行する。放射線光路は図
１で一重線で示される。一般に、分析用（ＩＲ）放射線
は直径１インチの平行線である。コーナーキューブ鏡３
２、３６からの戻り放射線はビームスプリッタ２８で再
集結する。再集結した放射線のうちで反射された半分は
光路３８を経て検出器４０に向かう。分光計用途では、
サンプルを光路３８中に介在させ、その特性が検出器作
成スペクトル写真で記録される。

【００１６】固定式くさび形プリズム２４は走行式くさ
び形プリズム２６より短くてもよい。本来、くさびは短
いほど製造が容易であり、放射線歪み問題が起きにく
い。くさび、特に走行式くさびは、干渉計の最も高価な
光学的部品である。くさびを構成するもととなる半加工
品は本来、両面に平面を有する厚い環状平板である。く
さびは、該平板の片側面から材料を取ることにより形成
される。小さなくさびは小直径の平板から形成され、そ
れ故、本質的に、大きなくさびを製造するより容易であ
り、安価である。

【００１７】２つの理由から、走行式くさび２６は固定
式くさび２４より長くなければならない。(1) その長さ
は走差運動を可能にするものでなければならず、その長
さが赤外放射線の直径に加算される。(2) その長さは
（従来技術の構造体では）、その往路と帰路（一方の光
路はくさびの薄い方の端近くにあり、他はくさびの厚い
方の端近くにある）の各くさびを通過する基準（クロッ
ク）レーザビームを許容できるものでなければならな
い。

【００１８】寸法例は、ＩＲ線が直径１インチ、くさび
走行距離が１インチよりわずかに短く、各レーザービー
ム光路とＩＲ線の隣接エッジとの間の空間が１／４イン
チである。

【００１９】図２には、従来技術の基準レーザービーム
システムの、光路４２を通って干渉計に入り、干渉計を
出て帰路４４を経て戻る様子を図式してある。レーザー
ビームはそれ自体の供給源４６と検出器４８を有する。
このレーザー（単色）ビームの主目的は、周期的回析縞
模様からのパルスを使って、ＦＴＩＲシステムによりＩ
Ｒ検出器の信号のサンプリングを”クロック”すること
である。それは又、干渉計操作前の干渉計の心合わせプ
ロセスでも役立つ。図２では、ＩＲビームからの各レー
ザービーム光路４２、４４の距離は作図を容易にするた
めに誇張してある。

【００２０】本発明の装置は基本的な従来技術構造を保
持しており、走行式くさび、ビームスプリッタ被覆非走
行式くさび、２個の固定式コーナーキューブ鏡を有して
いる。しかし、その全体的支持構造は、従来のくさび型
干渉計のものと有意に異なる。

【００２１】干渉計の支持構造体は本発明の重要な特徴
である。それは、(1) コンパクトであり、(2) とても安
定でかつ凹凸があり、(3)光学的機素に対して三次元支
持体を提供し、(4) 気密封止を可能にし、(5) 信頼性あ
る永久的な予心合わせを可能にするように構成されてい
る。

【００２２】これら目的を達成するために、図３に図示
される通り、２つの主要なシェルを使う。内シェル５０
は光学的機素の全ての支持体を提供する。外シェル５２
は内シェルに加えて特定の発熱性機素をも内蔵する。外
シェル５２は気密封止でき、発熱性機素のヒートシンク
として作用し、内蔵された干渉計が比較的冷涼な環境で
作用するように配列される。

【００２３】外シェル５０と内シェル５２は鋳物として
形成することが好ましい。それらは、それらが支持する
機素に構造的剛性と配置の正確性とを提供する。この配
置の正確性は内シェル５０にとり特に重要である。なぜ
ならば、それは、干渉計の光学的機素をその初期心合わ
せ後に永久的に位置決めするからである。

【００２４】図４と図５は内シェル５０の等角投影図で
ある。モーター５４（図４）を使って走行性くさびを駆
動する。シェル５０の１つの壁５６が、内シェル５０に
装着されたコーナーキューブの１つを支持する板５８を
保持している。

【００２５】Ｙ−軸での干渉計の心合わせは、取り付け
られたコーナーキューブを走行させる、板５８の正確な
垂直方向調整により達成される。Ｙ−軸心合わせには精
密位置決め装置を使用した。この精密位置決め装置は支
持板と一体として、或いは別の機構として形成でき、後
者はシェル５０をシェル５２に挿入するのに先だってシ
ェル５０から取り外した。Ｙ−軸調整後に板５８を、複
数の締付部材６０（頭部が図中に見える）によりシェル
５０の壁５６にしっかりと保持する。板５８の初期調整
（心合わせ）のプロセスは追って詳述する。

【００２６】図５は、内シェルに装着された他のコーナ
ーキューブを支持する板６４を保持する、シェル５０の
もう１つの壁６２を示す。Ｘ−軸での干渉計の心合わせ
は、取り付けられたコーナーキューブを走行させる、板
６４の正確な水平方向調整により達成される。Ｘ−軸心
合わせには精密位置決め装置を使用した。この精密位置
決め装置は支持板と一体として、或いは別の機構として
形成でき、後者はシェル５０をシェル５２に挿入するの
に先だってシェル５０から取り外した。Ｘ−軸調整後に
板６４を、複数の締付部材６０（頭部が図中に見える）
によりシェル５０の壁６２にしっかりと保持する。板６
４の初期調整（心合わせ）のプロセスは追って詳述す
る。

【００２７】図４と図５は共に、シェル５０の頭部の長
手方向を横切って延伸し、それに連結している上トラッ
ク６６を示す。このトラックは、走行式くさびの走行路
を案内する２トラック構造の上部として重要な機能を果
たす。このくさび案内により、上トラックと下トラック
が、くさびがその走差運動を為す際の最大安定性の備え
となる。

【００２８】図６は二元鋳造構造体全体の平面図であ
り、組み立てられた被気密封止ユニットにおける光学的
機素の位置を示す。ＩＲ源６８と回転放物面鏡６９によ
り、平行ビーム７０が走行式くさび形プリズム７４を通
って、固定式くさび形プリズム７８の内側上に形成され
たビームスプリッタ表面７６へ向かう。

【００２９】ＩＲビーム７０のビームスプリッタ反射部
分は光路８０に沿って第１のコーナーキューブ反射鏡８
２に向かって走行し、該反射鏡は該反射部分を反射して
ビームスプリッタ７６に戻す。ＩＲビーム７０のビーム
スプリッタ透過部分は固定式くさび形プリズム７８を通
過し、光路８４に沿って第２のコーナーキューブ反射鏡
８６に向かう。コーナーキューブ８６はＩＲビームを反
射してビームスプリッタ７６に戻し、そこで２つのビー
ムが再集結する。

【００３０】ＩＲ光路８０が干渉計の１つの「アーム」
を構成し、ＩＲ光路８４が干渉計の他の「アーム」を構
成する。モーター５４制御下でのくさび７４の光路８０
を横切っての走行により放射線光路８０の長さが変わ
り、所望のスペクトルによる走差情報が提供される。

【００３１】再集結したＩＲビームは光路８８を経て、
内シェル５０の開口９０、外シェル５２の窓９２を通
り、サンプルと検出器（図示されていない）に向かう。

【００３２】図示される通り、コーナーキューブ８２は
板５８（図４）に固定され、コーナーキューブ８６は板
６４（図５）に固定される。内シェル５０の床９６を通
って外シェル５２の床９８内に延伸している複数のねじ
９４により内シェル５０は外シェルに耐密固定される。
床９８は厚い金属部材であり、有効なヒートシンク部材
として働く。ＩＲ源６８は外シェル５２の床９８に直接
固定される。

【００３３】図６の線１００はレーザクロックビームの
光路を表す。このレーザシステムとその新規な機能は、
系属中の、ワレン ヴィドリン（Ｗａｒｒｅｎ Ｖｉｄ
ｒｉｎｅ）とフレッド エイチ．ポンセ（Ｆｒｅｄ
Ｈ．Ｐｏｎｃｅ）の、１９９１年３月１日に提出され、
本願出願人に譲渡された米国特許出願第０７／６６３，
３７４号で詳述されている。図６の平面図で、一重線１
００はＩＲビーム下方のレーザビーム光路と、ＩＲビー
ム上方のレーザビーム光路の双方を表す。図７では、レ
ーザビーム光路１００ａはＩＲビーム８０−８４−８８
の下方に図示され、レーザビーム光路１００ｂはＩＲビ
ーム８０−８４−８８の上方に図示されている。

【００３４】図８と図９は走行式くさびの指示、案内の
機構を示す。理解しやすくするために、これら図では固
定式くさびは省略してある。図８に明らかな通り、くさ
び７４は環状の輪郭を有する。長手方向の平面図が図６
のくさび形を示している。くさび７４は環状部材１０２
中に指示され、該部材は板１０４で支えられる。垂直断
面図（図９）に示される通り、該くさび指示構造体は下
トラック１０６と上トラック６６（図４と図５）で案内
される。下トラック１０６は内シェル５０の床９６に固
定され、一方、上トラックはシェル５０の頭部に取り付
けられる（図５）。線形ローラベアリング１０８が移動
式ウエッジ支持構造体と、下及び上の静止トラック１０
６、６６の各々との間に装備される。ウエッジ支持構造
体の往復走行はモータ５４により制御される（図５）。

【００３５】くさび７４の走行を案内する上と下のトラ
ックのこの組合せを重心ベアリングシステムと称す。そ
れは、底部のトラックのみで支持されると揺れ問題を招
来することがある比較的に重いくさび構造体なので特に
重要である。上／下トラックにより戻り点（方向反転）
での回転運動がなくなり、垂直軸でのはるかに高度な抗
ティルト要件を満たす。該下／上ベアリング配列は、三
次元干渉計支持構造体のみで可能になる。

【００３６】走行式くさびは、非くさび干渉計での走行
式光学的機素より重い光学的機素なので、その安定性は
肝要である。前述通り、走行式くさびはＩＲビームの直
径に走差走行の長さを加えた長さに適応するに十分に長
くなければならない。下と上の案内トラックの使用によ
り広いトラック隔離が提供され、左右への動き（ｓｉｄ
ｅ ｔｏ ｓｉｄｅ ｍｏｔｉｏｎ）は実質上なくな
る。その上、２つのトラックは、モーターにより加えら
れる力の中心から等距離に置かれるので、上側と下側に
等しい静摩擦力と等しい動摩擦力が存在する。即ち、モ
ーターは均衡のとれた荷重で力を加えている。

【００３７】図１０〜図１２は、内シェルと外シェルの
組合せの最終組立を示す等角投影図である。図１０は、
頭頂板が複数の締付け部材１１２で外シェルに固定され
ている完成アセンブリを示す。図１１は、頭頂板１１０
がユニットに取り付けられよおうとしているアセンブリ
を示す。シェル５２の頭部の溝中の丸い断面をした封止
部材１１４（Ｏ−リング）がユニットの気密封止を提供
する。この封止により、周囲に存在する湿気、ちりから
干渉計の部品が保護される。この保護は、走行式くさび
がそれに沿って走行する線形ローラベアリングにとり特
に重要である。

【００３８】図１２は、気密封止されたユニットを底か
ら見た図である。外シェル５２の床９８（図６）が外シ
ェルの下縁から十分に離れて配置され、２つの発熱性コ
ンポーネントであるレーザ発生装置１１８とその動力供
給源１２０とを収納する部屋を提供する。窓９２（図
６）により、干渉計で変調されたビームの、サンプル及
び検出器方向への退出が可能になる。床９８の下方に部
屋を囲むために、締付け手段１２８により外シェル５２
の底部縁１１６に板１２６を固定する。過剰熱からの干
渉計の保護、発熱性コンポーネントからの熱の消散は、
本明細書開示の構造体の重要な特徴である。それゆえ、
熱源は内シェルに連結されていない。熱源は全て、外シ
ェル５２の働きにより直接に熱的に弱まるようにされて
おり、該シェルは、図示される通り、多数の外部金属突
起１３０を有して熱消散面積を大きくしている。

【００３９】前述通り、レーザとその動力供給源は干渉
計隔室の外側にあり、即ち、それらは外シェル５２の床
９８の下方にある。他の主熱源はＩＲ放射源６８（図
６）である。ＩＲ放射を窓を通じて送ることは望ましく
ない。なぜならば、かかる窓は膨張性かつ歪性であり、
隣接熱ＩＲ源のために劣化すると推定されるからであ
る。ＩＲ源は米国特許第４，７２４，３２９号に開示さ
れているタイプの内反射式球状体であることが好まし
い。このＩＲ源は該源の熱負荷を最少にし、該源を囲む
ほぼ完全な金属球状外包を提供する。該源包囲金属は床
９８を経て熱を直接に外側鋳物５２に伝導する。他熱源
は電力トランジスタであり、これは外側鋳物５２に直接
にボルト留めされたアルミニウムブロックに装着されて
いる。

【００４０】本干渉計は、前記通り、外シェル５２の封
止前に心合わせ可能である。その様に設計されているの
で、この予心合わせは比較的に簡単に達成でき、かつ永
久と言えるほどに十分安定である。換言すれば、次後の
再心合わせは必要ない。

【００４１】前述通り、くさび型干渉計は、必須の光学
的隔室であるビームスプリッタと２つのコーナーキュー
ブ鏡のうちの３つが全て干渉計操作中は走行しないとい
う固有の利点を有する。非ビームスプリッタくさびのみ
が走行する。

【００４２】本発明により、初期心合わせ調整のために
非走行式（固定式）光学的コンポーネントの各々を使用
可能であり、その後に調整済みの各コンポーネントを適
所にロックする。本発明では、固定式くさびの調整によ
りゼロ光路差（ＺＰＤ）心合わせを提供できる。これ
は、レーザクロックビーム１００（図６）が、水平方向
に間をおいて配置された光路ではなく、光路の下方／上
方の干渉計中に走行し、そこから退出するので可能であ
る。換言すれば、前述通り、図６の平面図中の線１００
はレーザビームの往路と帰路の双方を表している。なぜ
ならば、それらは水平方向ではなく、垂直方向に間をお
いて配置されているからである。流入レーザビームはＩ
Ｒビームの下方にあり、戻ってくるレーザビームはＩＲ
ビームの上方にある。

【００４３】２つの他の初期の予封止心合わせ調整（Ｚ
ＰＤ調整以外）はＸ−軸心合わせとＹ−軸心合わせであ
る。これら心合わせは、構造体封止前のコーナーキュー
ブ鏡の調整によりなされる。前述通り、精密位置決め装
置調整機構が該心合わせに使用され、内シェル５０を外
シェル５２内に永久固定する前に取り外しできる。換言
すれば、着脱式心合わせ機構により永久的心合わせを提
供できる。

【００４４】図１３〜図１５は、３つの軸心合わせの各
々に対する心合わせ機構を示す。図１３はＸ−軸心合わ
せ機構を示す。この心合わせは、板６４（図５、６）の
精密水平方向調整により達成される。板６４はコーナー
キューブ鏡８６を保持し、そのＸ−軸心合わせは板６４
の水平方向調整により達成される。板６４の垂直運動は
締付部材６０（頭部が図５に見える）の３つの円筒体１
３２により防止される。締付部材６０の円筒体１３２
は、板６４内に形成された横長スロット１３４の上側及
び下側と係合して、板６４の垂直運動を防ぐ。

【００４５】板６４の水平方向調整運動は、内シュル５
０の外壁に固定された板１３８中にねじ止めされている
マイクロメータにより制御される。板６４の水平方向調
整運動は、内シェル５０の外壁に固定された板１４２に
より支持されている２つのプランジャの抵抗を受ける。
心合わせでは、まずレーザクロックビームを使って粗心
合わせを得る。ついでＩＲビームを使って精密心合わせ
を得る。かかる精密心合わせの後に、板６５とコーナー
キューブ８６との心合わせ位置を維持するために、その
内側延伸部が内シェルの壁中の開口とねじ係合している
締付部材６０を板６４に耐密ねじ留めする。心合わせ後
に、板１３８、１４２をシェル５０から取り外し、かく
て、構造体から調整機構を取り除く。

【００４６】図１４はＹ−軸心合わせ機構を示す。この
心合わせは、板６４（図４、６）の精密垂直方向調整に
より達成される。板５８はコーナーキューブ鏡８２を保
持し、そのＹ−軸調整は板５８の垂直方向調整により達
成される。板５８の水平運動は締付部材６０（頭部が図
４に見える）の３つの円筒体１３２により防止される。
締付部材６０の円筒体１３２は、板５８内に形成された
横長スロット１４４の左側と右側と係合して、板５８の
水平運動を防ぐ。

【００４７】板５８の垂直方向調整運動は、内シュル５
０の外壁に固定された板１３８ａ中にねじ止めされてい
るマイクロメータにより制御される。板５８の垂直方向
調整運動は、内シェル５０の外壁に固定された板１４２
ａにより支持されている２つのプランジャの抵抗を受け
る。垂直調整は、水平調整と同様に行う。精密心合わせ
の後に、板５８とコーナーキューブ８２との心合わせ位
置を永久に維持するために、締付部材６０を板５８に耐
密ねじ留めする。次いで、構造体から調整機構を取り除
く。

【００４８】１つのコーナーキューブの使用により水
平、垂直両方向の心合わせ調整を提供できる。しかし、
調整が複雑になり、達成された心合わせは、永久心合わ
せとしては信頼度が落ちると推定される。

【００４９】図１５はＺＰＤ調整機構を示す。このＺＰ
Ｄ調整機構は、Ｚ−軸での、即ち、ＩＲ放射の光学的通
路に対して横方向の方向での、固定式くさびの精密調整
により達成される。

【００５０】その内面にビームスプリッタコーティング
７６を有する固定式くさび形プリズム７８は環状部材１
４８中に支持され、後者は板１５０により保持される。
図５から最もわかりやすい通り、板１５０は壁１５２に
より保持される。該壁は、内シェル５０鋳物の一部とし
て形成された硬質金属であり、その対向壁１５４、１５
６の間を延伸している。壁１５２は垂直フランジ１５
８、１６０（図１５）を有し、その間に板１５０が位置
する。

【００５１】ＺＰＤ心合わせ調整では、マイクロメータ
１６２が板１５０の右側と係合しており、ピン１６４、
１６６が板１５０の左側と係合している。Ｘ−軸調整、
Ｙ−軸調整におけると同様に、板１５０中に形成された
横長スロット１６８の上側と下側と係合する締付部材６
０の円筒体１３２によりＺ（水平）方向のみに走行する
ように拘束できる。固定式くさび７８の心合わせ調整後
に、締付部材６０を板１５０に耐密ねじ留めすることに
より、板１５０を壁１５２に対して適所に固定保持す
る。

【００５２】本明細書開示の構造体では、２つの本質的
に平らな部材の係合は、３点接触により達成するのが好
ましい。これには、平板公差要求値を下げ、又、熱伝
導、応力を最少にするという利点がある。３点装着は、
(a) 内シェル５０の床９６と外シェル５２の床９８の間
（図６）；(b) 内シェル５０の板５８と壁５６の間（図
４；(c) 内シェル５０の板５４と壁６２の間（図５）；
(d) 板１５０と壁１５２の間（図１５）；で使用され
る。

【００５３】図１６には、内シュルが２つの部分、即
ち、一般的に中空なシェルと、組込みカートリッジとし
て設計すると有益な、単一の、交換が容易な光学的ユニ
ット２００として本質的に形成される改良体が開示され
ている。図４〜図５の内シェル設計では、最も高感度の
光学的機素である固定式くさびと走行式くさびとを、シ
ェル５０組立の本質的に最終工程であるベアリング１０
８（図９）の心合わせ・予荷重前にシェル５０に実装さ
せねばならない。図５から明らかな通り、走行性くさび
の全工程中にくさび面が平行であることを確保するのに
肝要なベアリングの機械的心合わせは、シェル内での画
された空間であるために困難な仕事である。取扱い、大
気に曝される光学的機素を適合させるために特別の心合
わせジグが必要である。更に、画された空間であるた
め、その後の光学的調整に必要な通常の工具やホルダの
使用が妨げられる。［シェルへの組込みに先立ち、走行
式くさびのための板１０４に対する環状部材１０２の適
当な回転（図８〜図９）、固定式くさびのための板１５
０に対する環状部材１４８の回転（図１５）とによりく
さびは光学的に調整されている。］従って、内シェル５
０実装後は、これら高感度機素の損傷の危険をおかすこ
となくくさび面の独立した心合わせは可能でない更に、
組立シェルユニット５０の検査で問題点が見つかった
ら、解体、再実装が必要となる。

【００５４】本発明の光学的カートリッジには上記欠点
がない。図１６の分解部品配列図は内シェル鋳物１８０
の基本構造を示す。シェル１８０は前記シェル５０に本
質的に似ているので、有意な差のみを以下に述べる。前
述の部品に類似した図１６に図示された部品は同一の参
照番号で示されている。内シェル１８０は、図５で１５
２で示されているような内壁は有しない。その代わり、
シェル５０は本質的に中空であり、その頭部に中央開口
を有し、この開口は着脱式光学的カートリッジ２００を
滑動式に収納するようになっている。カートリッジは、
上側と下側の線形ベアリングアセンブリ１０８’、１０
８’を経て、一端に固定式くさび形プリズム形状のプリ
ズムキャリア２３０を、他端に走行式くさび形プリズム
キャリア２５０を支持する鋳造中心部２１０からなる。
主要な参照番号により示される通り、ベアリングアセン
ブリは前記と同一の構成でもよい。

【００５５】理解しやすくするため、図１６〜図２５で
は固定式くさび、走行式くさび自体は省略してある。固
定式、走行式くさびの各々が、くさびの回転調整を達成
し、次いで、該くさびをそのキャリアに固定する手段を
有する。例えば、図２０〜図２２の固定式くさびキャリ
アについては、該キャリア２３０は、矩形板部分２３１
及び、該板部分の内側から垂直に延伸している環状部分
２３３と一体形成される。薄い肩２３６を有する多段孔
２３４は板２３１中に形成され、固定式くさびを収納、
保持するための環状部分２３３は環状支持部材（図示さ
れていない）中に非回転式に装着される。支持部材は図
９のフランジ１０４ａに似たフランジを有するが、キャ
リア２３０に対する固定式くさびの回転調整を達成する
ため、この支持部材のフランジは、環状支持部材が孔２
３内に収納された後に、キャリア２３０に形成されたね
じ山付き孔２３５と心合わせ可能な４つの細長で弓形の
ストッロ（キャリア２３０のスロット２３２に似てい
る）を有する。従って、キャリアに対する固定式くさび
の回転位置は該弓形スロットを経て調整でき、次いで、
ねじその他の締付け具で孔２３５内にねじ留め収納でき
る。

【００５６】同様に、走行式くさびの回転位置は調整可
能な形で固定できる。図２３〜図２５は、一般的に矩形
の部材２５１から形成される走行式くさびキャリア２５
０を示す。薄い肩２５４を持つ多段孔２５３が、移動式
くさび（図示されていない）を収納するために部材２５
１中に形成される。４つの細長で弓形のスロット２５２
が、２つのバー２６０（その各々が横切って延伸してお
り、ねじ山付き孔２６１内に収納されている適当な締付
け具によりスロット２５２のうちの２つに連結してい
る）を経て走行式くさびを保持するために、矩形部材２
５１中に形成されている。バー２６０（そのうちの１つ
のみが図示されている）は、適当に締め付ける時にはく
さびを適所に締め付け、弛緩させる時にはくさびの相対
的回転を可能にする。

【００５７】図１６に図示されるように、固定式くさび
キャリアは、その一般的に平らなウエッブ部分２１３か
ら垂直に延伸している中心部の対向長手方向フランジ２
１１、２１２の間に保持される。図１７に最もわかりや
すく示される通り、中心部２１０は中央カットアウト２
１４を有し、分析用の、又レーザ基準ビームが中心部に
より囲まれたくさびを通過するのを可能にしている。固
定式くさびキャリア２３０は、細長細長スロットを通り
抜けてねじ山付き孔２１５中に延伸している（垂直方向
の遊びはないが、水平方向の遊びはある）３つの締付部
材（図示されていない）により固定式に、但し、調整可
能に装着される。キャリア２３０の一端に隣接してＺＰ
Ｄ心合わせ中にその水平方向位置を調整するために、フ
ランジ２１２の孔２１６中にねじ式に収納されるねじ３
００の回転により固定式くさびキャリアが、マイクロメ
ータの代わりに調整可能に配置される。

【００５８】ウェブ部分２１３の頭部、底部と一体形成
されているのは横方向延伸フランジである。図１８に図
示されるように、各水平方向フランジは、ベアリングア
センブリ１０８’のうちの１つのベアリングレースを収
納するために垂直肩２１９、２２０を有する。図１６に
図示されるように、各ベアリングアセンブリ１０８’
は、上ベアリングレース、下ベアリングレース、そし
て、その間に配置された線形ローラベアリング機素を有
するベアリングラック或いはケージを有する。上ベアリ
ングアセンブリの上ベアリングレース３１０は、上フラ
ンジ２１７中に形成されたねじ山付き孔２２１と通って
延伸している適当な締付け具（図示されていない）を経
て中心部の肩２１９に固定される。下ベアリングアセン
ブリ（図示されていない）の下ベアリングレース３１１
は、下水平フランジ２１８中に形成されたねじ山付き孔
２２２と通って延伸している適当な締付け具（図示され
ていない）を経て中心部の肩２２０に同様に固定され
る。上ベアリングアセンブリの下レース３１１と、下ベ
アリングアセンブリ１０８’の上レース３１０とは同様
に、フランジ２５５の背後の移動式くさびキャリア２５
０の上部分と下部分中に形成された肩２５６に連結され
ている（図２３〜図２５）。これらレースは、フランジ
２５５中に形成されるねじ山付き孔２５０を通って延伸
している締付け具により連結される。この方法で、移動
式くさびキャリアは中心部２１０のみにより重心線形ベ
アリングシステム中に支持される。一連のベアリング調
整ねじ３０１が、上フランジ２１７のねじ山付き孔２２
３を経てベアリングを予荷重し、工程中、水平面と垂直
面とにおいてベアリングを平行に確保するために装備さ
れる。

【００５９】キャリア２５０は、延伸部２５８（図２
４）中に形成された孔２５９中に配置された締付け具
（図示されていない）を経てモーター５４’の作動軸に
連結される。図１６に最もわかりやすく図示されている
ように、中心部は曲面カットアウト部分２２４を備えて
形成され、該部分により作動軸を収納している。カート
リッジ２００組立後、追って詳述する方法で機械的、光
学的に心合わせした後には、該カートリッジは内シェル
１８０に連結できる。フランジ２１１、２１２は、カー
トリッジ２００をシェルの開放頭部中にすると、シェル
１８０の対向壁により滑動式に収納される。１対の心合
わせピン３０２が中心部２１０の底の孔中に永久実装さ
れ、内シェル鋳物１００の底に形成された１対の対応凹
所により収納されてシェル１００内にカートリッジの底
を正確に位置づけさせる。当然、別法として、ピンをシ
ェルの底部上に装備し、対応凹所をカートリッジ上に装
備することもできる。カートリッジの各面は、シェル１
８０の孔１８１への、又、中心部のフランジ２１１、２
１２中に形成された孔２２５中に一時的心合わせピンを
挿入することにより正確に位置決めされる。次いで、カ
ートリッジを、中心部の底と側面に形成されたねじ山付
き孔２２６中に締付け具３０４を締め付けることにより
固定し、その後に側面のピン３０３を取り外す。必要な
らば、単に締付け具３０４を取り外すことにより、ユニ
ットとしてシュルから取り外しできる。

【００６０】本カートリッジの利点は、以下の好ましい
組立て法を参照することで最もわかりやすく理解でき
る。本カートリッジを組み立てるには以下のコンポーネ
ントが必要であり、作業はクリーンルームで実施する必
要がある。組立補償器キャリア（走行式くさび） 組立ビームスプリッタキャリア（固定式くさび） 心合わせ済みの内シェル鋳物 校正ジグ

【００６１】粗光学的心合わせ 第１工程はくさびの校正であり、これは、くさびを中心
部への取付けに先立って各キャリア内で回転させる粗光
学的心合わせである。当業界で良く知られているよう
に、くさびを回転させてくさび面の平行を確立する。

【００６２】ベアリング組立て 次の工程は、補償器キャリアを中心部に連結することに
よるベアリングアセンブリの組立て、予荷重である。く
さび面の平行に関する前記要件の故に、ベアリング面が
水平面、垂直面の両方において相互に平行であり、すな
わち、それらが間隙の違いのために一端で垂直方向に広
がったり、水平方向に平面からはみ出すことのないよう
に組み立て、調整する。以下のベアリング組立て工程の
全てはこの要件を考慮して行う。１．精密ブロック及び
万力を使って、中心部の下水平フランジへの下ベアリン
グレースの連結を、該レースと該フランジとの間の平行
を確かめた後に行う。２．中心部をジグに装着し、下ベ
アリングレース中央にベアリングラックを実装する。
３．下ベアリングアセンブリの下ベアリングレースと下
ベアリングアセンブリの上ベアリングレースとが既に実
装されている補償器キャリアを、下ベアリングセットの
頭部に実装して、レースを直接、相互の上方に位置させ
る。ベアリングセットの組立完了までは、支持用クリッ
プを使用して台を安定化できる。４．上ベアリングアセ
ンブリの下レースの中央に上ベアリングアセンブリラッ
クを実装する。５．下レース上の中心に置かれた補償器
キャリアの頭部に上ベアリングアセンブリを実装する。
締付け具を手で締めることにより、中心部の上水平フラ
ンジへ上レースを締め付け固定して、ベアリング予荷重
のセットを可能にする。６．走行の一端に補償器キャリ
アを走行させ、中心部の同一端にある３つの予荷重セッ
トねじを調整する。７．走行の対向端に補償器キャリア
を走行させ、中心部のこちら側にある３つの予荷重セッ
トねじを調整する。８．走行の両端での予荷重セット値
を再チェックし、摩擦や遊びが肉眼や感触で明らかにで
きなくなる迄調整する。予荷重調整完了後に上レースに
対する締付け具のトルク値を下げる。９．ワイヤタイプ
の曲がり指示計を使って、全工程中の過剰曲がりを補償
器ハウジングでチェックする。過剰の曲がりが明白なら
ばベアリングセットを再度組み立て、必要ならば、フィ
ルターが作動中のヒュームフードで清浄にする。

【００６３】光学的微調整 次の工程には、レーザビームを使ってくさびのファイン
チューニングを行ってくさび面の平行を確実なものにす
ることが含まれる。これらの工程は、図５のシェル設計
では本質的には達成できない。なぜならば、ベアリング
実装と予荷重は内シェル組立てプロセスの最終工程であ
り、光学機器はシェル内に既に実装されているからであ
る。シェル内で通常のホルダや工具を使う余地はないの
で、面倒な手順による高感度光学的くさびへの重大な損
傷の危険を伴わない独立の心合わせは可能ではない。光
学的心合わせのファインチューニングは次工程によりカ
ートリッジ設計で達成される。１．ピンホールマウント
を使って、補償器くさびを出るレーザビームの高さが正
しいかどうか確認する。補償器くさびの前面からの反射
光線の高さをチェックする。２．必要ならばキャリアに
装備されたクランプねじを緩めることによりくさびを回
転させて、くさびの角位置を調整可能に固定する。レー
ザビームが第１のビームと同じ高さにあるときは、ねじ
を締めてくさびの回転位置を固定する。２．適当な締付
け具を使ってビームスプリッタキャリアを中心部に実装
する。レーザビームの高さが、前面においても通過ビー
ムにおいても正しいことを確認する。必要ならば、クラ
ンプねじを緩めることによりくさびをそのマウントにお
いて回転させ、ビームがピンホールを通過するのを可能
にする。３．連続番号のくさびが実装されている中心部
フレームの頭部に校正ラベルを貼り、それにより、カー
トリッジが検定済みなのか、即ち、それが光学的、機械
的に心合わせ済みであり、ベアリング予荷重が適切にセ
ットされているかどうかを示す。（故に、本カートリッ
ジは、内シェルへの挿入前に所要の調整は達成され、光
学的機素、機械的機素が検定済みであり、シェルに挿入
すべきであるか否かは知られているので、干渉計の機械
的、光学的性能に関する信頼性が高い。）

【００６４】所望ならば、この時点で予想操作範囲にわ
たる温度検定を行って更に信頼性を確かなものにするこ
とができる。問題点が発見されたら、欠陥部品は容易に
調整か交換できる。なぜならば、カートリッジは未だ内
シェルに実装されていないからである。しかし、カート
リッジを内シェルに組み込み、内シェルを被封止外シェ
ルの内側に装着迄に温度検定を行わなくても、該カート
リッジ設計は依然として大いに有益である。被封止干渉
計が温度検定に合格しないならば、外シェルを開き、新
しい、予め検定済みのカートリッジと容易に交換でき
る。この容易に交換できるカートリッジ設計の故に、高
度熟練者による交換のために工場にユニットを返送する
という通常の実務の代わりに、ある程度の熟練者が現場
でこの工程を実施できる。

【００６５】内シェル組立て カートリッジを予め検定した後の次の工程は、内シェル
の組立てである。このプロセスは、予め検定済みのカー
トリッジと共に使用される内シェルで実施される。必要
なコンポーネントは次の通りである。レーザ基準系のた
めの直交前置増幅器と心合わせ済みレーザ鏡アセンブリ
が装備された内シェル。くさび対の光学的域値が校正さ
れたコーナーキューブアセンブリ。

【００６６】組立て工程は次の通りである。１．カート
リッジを内シェルの開放端に挿入し、前記心合わせ方法
を使ってカートリッジの底、側面を正確に位置決めし、
次いで、内シェルに締め付け固定する。２．カートリッ
ジをシェル内に固定した後、コーナーキューブ実装前に
くさび対の回転調整の精度の最終的光学的確認を行う。
校正が必要ならば、カートリッジを取り外した後に前記
ジグ心合わせ手順を繰り返す。３．最終的光学的心合わ
せを適所のカートリッジを使って確認したら、コーナー
キューブ鏡をシェルに実装し、図１３〜図１４に開示さ
れているような精密位置決め装置調整機構と心合わせを
し、ＺＰＤ調整を行う。前述通り、図１５のＺＰＤ調整
機構は使用されない。固定式くさびのＺ−軸（水平方
向）位置を、ビームスプリッタ調節ねじ３００により調
節する。該ねじは図１６に図示される様に、 内シェル
と中心部の孔を通って固定式くさびキャリアを位置決め
する。着脱式マイクロメータと隣接バーの代わりに、コ
ーナーキューブの支持板は、コーナーキューブの心合わ
せのために（図１６に図示されたＺＰＤ調節機構に似
た）調整ねじ機構を有してもよい。

【００６７】最終組立て Ｘ、Ｙ、Ｚ軸調整をコーナーキューブ鏡とビームスプリ
ッタとの調整により行った後に、残りのコンポーネント
を内シェルに取り付け、図１０〜図１２と関連させて記
載した通り、ユニットを外シェル内に装着し、封止す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】同一の譲受人の所有する米国特許第４，２６
５，５４０号の図１と実質上同一の図である。

【図２】従来技術のシステムでのレーザクロックビーム
の往路と帰路を有する点以外は、図１と同様の図であ
る。

【図３】本発明の主要な構造的サブアセンブリを構成す
る内側、外側ケーシングを示す等角投影図である。

【図４】干渉計の光学的機素を有する、別の利点からの
構造体の内シェル（鋳物）を示す等角投影図である。

【図５】干渉計の光学的機素を有する、別の利点からの
構造体の内シェル（鋳物）を示す等角投影図である。

【図６】組み立てられた全構造体の、頭部を取り外した
状態の平面図である。

【図７】図６のＩＲ光路と２つのレーザ光路の相対位置
を示す図である。

【図８】走行式ウエッジとそれが沿って走行するトラッ
クを示す側面図である。

【図９】図８の直線９−９に沿った断面図である。

【図１０】内側シェルと外側シェルとの組合せの最終組
立を示す等角投影図である。

【図１１】内シェルと外シェルとの組合せの最終組立を
示す等角投影図である。

【図１２】内シェルと外シェルとの組合せの最終組立を
示す等角投影図である。

【図１３】Ｘ−軸心合わせ調整に関連した機素を示す側
面図である。

【図１４】Ｙ−軸心合わせ調整に関連した機素を示す側
面図である。

【図１５】ＺＰＤ心合わせ調整に関連した機素を示す側
面図である。

【図１６】本発明の原理により構成された着脱式光学的
カートリッジと内シェルの等角投影分解部品配列図であ
る。

【図１７】固定式くさびを支持する側面を示す着脱式カ
ートリッジの一体中心部の立面図である。

【図１８】図１７に図示された中心部の正面図である。

【図１９】図１７に図示された中心部の側面図である。

【図２０】本発明の着脱式光学的カートリッジを取り付
けできる固定式くさびキャリアの外側（図１６では見え
ない）の側面図である。

【図２１】本発明の着脱式光学的カートリッジを取り付
けできる固定式くさびキャリアの内側（図１６では見え
ない）の側面図である。

【図２２】図２０〜２１に図示された固定式くさびキャ
リアの断面図である。

【図２３】着脱式光学的カートリッジで支持できる移動
式くさびキャリアの外側（図１６では見えない）の側面
図である。

【図２４】モーターを取り付ける移動式くさびキャリア
の端の側面図である。

【図２５】図２３に図示された移動式くさびキャリアの
内側の側面図である。

【符号の説明】

２０…放射線源 ２４…固定式くさび形プリズム ２６…移動式くさび形プリズム ２８…ビームスプリッタ ３２…固定式鏡 ３６…固定式鏡 ４０…放射線検出器 ４６…レーザビーム供給源 ４８…レーザビーム検出器 ５０…外シェル ５４…モーター ６０…締付け部材 ６６…上トラック ６８…ＩＲ源 ６９…回転放物面鏡 ７４…移動式くさび形プリズム ７６…ビームスプリッタ ７８…固定式くさび形プリズム ８２…第１コーナーキューブ ８６…第２コーナーキューブ １００…レークロックビー光路 １１４…封止部材 １１８…レーザ発生装置 １３０…金属突起 １４８…環状部材 １６２…マイクロメータ ２００…光学的ユニット ２１０…中心部 ２２４…曲面カットアウト部分 ２３０…固定式プリズムキャリア ２５０…走行式プリズムキャリア ３００…ビームスプリット調整ねじ ３０２…１対の心合わせピン ３０３…一時的心合わせピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 カルロス エイチ．パレジャ アメリカ合衆国，カリフォルニア 92627, コスタ メサ，イースト．ベイ ストリー ト 268 (56)参考文献 特開 昭59−164925（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−157027（ＪＰ，Ａ)

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの光学的アームを有する型の干渉計
   のコンポーネントを支持するための干渉計構造体であ
   り、第１のくさび形プリズムが該光学的アームのうちの
   １つを横方向に横切って走行可能であり、その内側にビ
   ームスプリッタコーティングを有する第２のくさび形プ
   リズムが他の光学的アーム内に固定位置を占め、第１の
   後方反射鏡が一方の光学的アームの端に配置され、第２
   の後方反射鏡が他の光学的アームの端に配置されている
   干渉計構造体において、開放頭部、下面、側面を有す
   る、一般的に中空の支持用シュルが干渉計の光学的機素
   を支持するために装備され、カートリッジが、支持用シ
   ェル内の固定位置に着脱式に固定され、該カートリッジ
   が、貫通して延伸している中央孔を有する中心部を有
   し、第２のくさび形プリズムが、中央孔に重なった固定
   位置で中心部の一面に装着され、第１のくさび形プリズ
   ムが該孔を横方向に横切っての直線走行のために該中心
   部の他面に固定プリズムに隣接して装着され、該第１後
   方反射鏡が支持用シェルの一内壁に固定式に支持され、
   該第２後方反射鏡が支持用シェルの別の内壁に固定式に
   支持されることを特徴とする干渉計構造体。
2. 【請求項２】 更に、その内部に支持用シェルが固定さ
   れる外シェルと、外シェルを気密封止するための手段を
   有する、請求項１に記載の干渉計構造体。
3. 【請求項３】 支持用シェルと外シェルが共に金属鋳物
   であり、該外シェルが発熱性コンポーネントのヒートシ
   ンクとなる、請求項２に記載の干渉計構造体。
4. 【請求項４】 該走行性くさび形プリズムが第１キャリ
   ア内に装着され、中心部の他面と第１キャリアとの間
   の、走行式プリズムの上方の第１位置で連結された第１
   のベアリングアセンブリと、中心部の他面と第２キャリ
   アとの間の、走行式プリズムの下方の第２位置で連結さ
   れた第２のベアリングアセンブリとで直線走行が支持さ
   れている、請求項１に記載の干渉計構造体。
5. 【請求項５】 中心部の該第１、第２位置が、中心部の
   他面から一般的に垂直に延伸している横フランジを有
   し、該ベアリングアセンブリが各々上レースと下レー
   ス、及びその間に配置された線形ローラベアリング機素
   を有し、第１ベアリングアセンブリの上レースが走行式
   プリズムの上方に配置された横フランジに連結してお
   り、第２ベアリングアセンブリの下レースが走行式プリ
   ズムの下方に配置された横フランジに連結しており、第
   １ベアリングアセンブリの下レースと第２ベアリングア
   センブリの上レースとが該第１キャリアに連結してい
   る、請求項４に記載の干渉計構造体。
6. 【請求項６】 上側の横フランジが、長手方向に該上フ
   ランジを貫いて延伸している複数の、間をおいて並べら
   れたねじ山付き孔を有し、該孔の各々が、第１ベアリン
   グアセンブリの上レースに隣接してベアリングアセンブ
   リの予荷重をセットして第２プリズムの直線走行中のく
   さびの平行を確保するための調整ねじを収納する、請求
   項５に記載の干渉計構造体。
7. 【請求項７】 更に、第１と第２のベアリングアセンブ
   リの実質上中途に配置された地点で第１キャリアに力を
   加えることにより走行式くさび形プリズムを駆動するた
   めのモーターを有する、請求項４に記載の干渉計構造
   体。
8. 【請求項８】 中心部が、長手方向に延伸している２つ
   のフランジとその間に延伸している１つのウェブとによ
   り画されており；該孔が該ウェブ部分中に形成され；固
   定式くさび形プリズムが、長手方向フランジに対して一
   般的に横方向に延伸している複数の細長スロットを有す
   る第２キャリア内に装着され；中心部の該一面が該スロ
   ットと心合わせ可能の複数の孔を有し；横方向の遊びを
   有し、該スロットを通って該孔内に延伸しているファス
   ナが、第２キャリアを中心部に固定取付するために装備
   されており；ファスナ締付前に該スロットを通じて第２
   キャリアの横位置を調整するために、該長手方向延伸フ
   ランジの１つが、第２キャリアに隣接する端部を有する
   ねじを収納するねじ山付き孔を有する；請求項１に記載
   の干渉計構造体。
9. 【請求項９】 中心部が、干渉計支持構造体内の予定位
   置にカートリッジを定置させるための手段を有する、請
   求項１に記載の干渉計構造体。
10. 【請求項１０】 第１後方反射鏡を支え、支持用シェル
    の壁に耐密固定されている第１支持板；と、第１支持板
    の水平部分、垂直部分のうちの一方を、該板を支持用シ
    ェルの壁に耐密固定する前に該壁に対して調整する手
    段；を更に有する、請求項１に記載の干渉計構造体。
11. 【請求項１１】 第２後方反射鏡を支え、支持用シェル
    の壁に耐密固定されている第２支持板；と、第２支持板
    の水平部分、垂直部分のうちの他方を、該板を支持用シ
    ェルの壁に耐密固定する前に該壁に対して調整する手
    段；を更に有する、請求項１０に記載の干渉計構造体。
12. 【請求項１２】 ２つの光学的アームを有する型の干渉
    計のコンポーネントを支持するための干渉計構造体であ
    り、第１のくさび形プリズムは、該光学的アームのうち
    の１つを横方向に横切って走行可能であり、その内側に
    ビームスプリッタコーティングを有する第２のくさび形
    プリズムは、他の光学的アームの固定位置を占め、第１
    の後方反射鏡は、一方の光学的アームの端に配置され、
    第２の後方反射鏡は、他の光学的アームの端に配置され
    ている干渉計構造体において、 下面、側面を有する、一
    般的に中空の支持用シェルは、干渉計の光学的機素を支
    持するように設けられ、 第１のくさび形プリズム及び第
    ２のくさび形プリズムの各一は、シェル内部に取着さ
    れ、且つその垂直寸法の全体をシェルで支持され、 後方
    反射鏡の各一は、支持用シェルの一内壁に固定式に支持
    される、ことを特徴とする干渉計構造体。