JPH0735072A - 真空ポンプ制御システム - Google Patents
真空ポンプ制御システムInfo
- Publication number
- JPH0735072A JPH0735072A JP18498693A JP18498693A JPH0735072A JP H0735072 A JPH0735072 A JP H0735072A JP 18498693 A JP18498693 A JP 18498693A JP 18498693 A JP18498693 A JP 18498693A JP H0735072 A JPH0735072 A JP H0735072A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum pump
- valve
- pump
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空ポンプの消費電力の低減、及び寿命の長
期化を図る。 【構成】 生産物を装置に入れるために、真空予備チャ
ンバー５１を大気圧にし、ドア５２から生産物を装置に
入れる。この時真空引き配管５５のバルブ５３が閉じて
いるため、油回転真空ポンプ５４の回転は５０％低減さ
れている。その後、ドア５２を閉じ、真空引き配管５５
のバルブ５３を開け、バルブ５３開閉を検知するセンサ
ー５６からシーケンサー５８に信号が送られ、これによ
りインバーター回路５９を用いて短時間で油回転真空ポ
ンプ５４の回転数を通常回転に上がり、あらかじめ設定
された真空度に到達するまで真空引きを行う。
期化を図る。 【構成】 生産物を装置に入れるために、真空予備チャ
ンバー５１を大気圧にし、ドア５２から生産物を装置に
入れる。この時真空引き配管５５のバルブ５３が閉じて
いるため、油回転真空ポンプ５４の回転は５０％低減さ
れている。その後、ドア５２を閉じ、真空引き配管５５
のバルブ５３を開け、バルブ５３開閉を検知するセンサ
ー５６からシーケンサー５８に信号が送られ、これによ
りインバーター回路５９を用いて短時間で油回転真空ポ
ンプ５４の回転数を通常回転に上がり、あらかじめ設定
された真空度に到達するまで真空引きを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプ制御システム
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】以下に、真空を利用する従来の生産装置
について説明する。図３は、従来の真空を利用する生産
装置である。
について説明する。図３は、従来の真空を利用する生産
装置である。
【０００３】図３において、１は真空予備チャンバー、
２は生産物を装置に入れるためのドア、３は真空引き配
管に設けられたバルブ、４は油回転真空ポンプ、５は真
空引き配管、６は真空予備チャンバー１と高真空チャン
バー８間のゲートバルブ、７はポンプ電源、８は高真空
チャンバー、９は高真空ポンプ、１０は真空ゲージコン
トローラー、１１は真空ゲージである。
２は生産物を装置に入れるためのドア、３は真空引き配
管に設けられたバルブ、４は油回転真空ポンプ、５は真
空引き配管、６は真空予備チャンバー１と高真空チャン
バー８間のゲートバルブ、７はポンプ電源、８は高真空
チャンバー、９は高真空ポンプ、１０は真空ゲージコン
トローラー、１１は真空ゲージである。
【０００４】以上のように構成された生産装置の動作に
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー１を大気圧にし、ドア２から生産物を装置
に入れる。その後、ドア２を閉じ、真空引き配管のバル
ブ３を開け、あらかじめ設定された真空度に到達するま
で真空引きを行う。次に真空引き配管のバルブ３を閉
じ、高真空チャンバー８間のゲートバルブ６を開け高真
空チャンバー８に生産物を入れる。この間、油回転真空
ポンプ４は常に通常回転で回転し続けている。
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー１を大気圧にし、ドア２から生産物を装置
に入れる。その後、ドア２を閉じ、真空引き配管のバル
ブ３を開け、あらかじめ設定された真空度に到達するま
で真空引きを行う。次に真空引き配管のバルブ３を閉
じ、高真空チャンバー８間のゲートバルブ６を開け高真
空チャンバー８に生産物を入れる。この間、油回転真空
ポンプ４は常に通常回転で回転し続けている。
【０００５】図４は、従来の真空を利用する別の生産装
置である。図４において、１２は真空チャンバー、１３
は生産物を装置に入れるためのドア、１４は油回転真空
ポンプ、１５は真空引き配管に設けられたバルブ、１６
は真空引き配管に設けられた真空ゲージ、１７は真空引
き配管の真空ゲージ用真空ゲージコントローラー、１８
はチャンバー真空ゲージ用真空ゲージコントローラー、
１９は真空チャンバーに設けられた真空ゲージ、２０は
ポンプ電源である。
置である。図４において、１２は真空チャンバー、１３
は生産物を装置に入れるためのドア、１４は油回転真空
ポンプ、１５は真空引き配管に設けられたバルブ、１６
は真空引き配管に設けられた真空ゲージ、１７は真空引
き配管の真空ゲージ用真空ゲージコントローラー、１８
はチャンバー真空ゲージ用真空ゲージコントローラー、
１９は真空チャンバーに設けられた真空ゲージ、２０は
ポンプ電源である。
【０００６】以上のように構成された生産装置の動作に
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー１２を大気圧にし、ドア１３から生産物を
装置に入れる。その後、ドア１３を閉じ、真空引き配管
のバルブ１５を開け真空引きを行う。真空チャンバー１
２が大気圧状態の時、及び真空チャンバー１２の真空が
十分引き終わっても油回転真空ポンプ１４は、常に通常
回転で回転し続けている。
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー１２を大気圧にし、ドア１３から生産物を
装置に入れる。その後、ドア１３を閉じ、真空引き配管
のバルブ１５を開け真空引きを行う。真空チャンバー１
２が大気圧状態の時、及び真空チャンバー１２の真空が
十分引き終わっても油回転真空ポンプ１４は、常に通常
回転で回転し続けている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の構
成では、生産物が装置内に入れられていない時でも、常
に油回転真空ポンプ４、１４を動作させているため、ポ
ンプが必要でない際でも、油回転真空ポンプ４、１４の
動作に伴い電力が消費され、さらにポンプ自体の寿命が
短くなるという欠点があった。
成では、生産物が装置内に入れられていない時でも、常
に油回転真空ポンプ４、１４を動作させているため、ポ
ンプが必要でない際でも、油回転真空ポンプ４、１４の
動作に伴い電力が消費され、さらにポンプ自体の寿命が
短くなるという欠点があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の真空ポンプ制御システムは、真空チャンバ
ーにバルブを介して真空ポンプが配管で接続されてお
り、前記バルブには前記バルブの開閉を検知するセンサ
ーが設けられ、前記センサーの信号はシーケンサーを介
してインバーター回路に接続されており、前記センター
の信号によってインバーター回路から前記真空ポンプの
回転数を制御する信号が印加されている。
に、本発明の真空ポンプ制御システムは、真空チャンバ
ーにバルブを介して真空ポンプが配管で接続されてお
り、前記バルブには前記バルブの開閉を検知するセンサ
ーが設けられ、前記センサーの信号はシーケンサーを介
してインバーター回路に接続されており、前記センター
の信号によってインバーター回路から前記真空ポンプの
回転数を制御する信号が印加されている。
【０００９】また、真空チャンバーにバルブを介して真
空ポンプが配管で接続されており、前記配管には第１の
真空ゲージが設けられ、前記真空チャンバーに第２の真
空ゲージが設けられ、前記第１の真空ゲージの信号は第
１の真空ゲージコントローラーを介してシーケンサーに
伝えられ、前記第２の真空ゲージの信号は第２の真空ゲ
ージコントローラーを介して前記シーケンサーに伝わ
り、前記シーケンサーとインバーター回路が接続され、
前記インバーター回路は前記第１、２の真空ゲージの値
にあわせて前記真空ポンプの回転数を制御する。
空ポンプが配管で接続されており、前記配管には第１の
真空ゲージが設けられ、前記真空チャンバーに第２の真
空ゲージが設けられ、前記第１の真空ゲージの信号は第
１の真空ゲージコントローラーを介してシーケンサーに
伝えられ、前記第２の真空ゲージの信号は第２の真空ゲ
ージコントローラーを介して前記シーケンサーに伝わ
り、前記シーケンサーとインバーター回路が接続され、
前記インバーター回路は前記第１、２の真空ゲージの値
にあわせて前記真空ポンプの回転数を制御する。
【００１０】
【作用】本発明によれば、油回転真空ポンプが、通常回
転で回転している必要のないときに、センサー信号をシ
ーケンサーに入力し、シーケンサーにつながれたインバ
ター回路を利用して、回転を低下させることで、使用す
る電力の低減、及び寿命の長期化を図る。
転で回転している必要のないときに、センサー信号をシ
ーケンサーに入力し、シーケンサーにつながれたインバ
ター回路を利用して、回転を低下させることで、使用す
る電力の低減、及び寿命の長期化を図る。
【００１１】
【実施例】以下本発明の実施例について図面を参照しな
がら説明する。図１は、真空引き配管のバルブ開閉を検
知するセンサー信号を利用して、油回転真空ポンプの回
転数を制御するように構成された生産装置である。
がら説明する。図１は、真空引き配管のバルブ開閉を検
知するセンサー信号を利用して、油回転真空ポンプの回
転数を制御するように構成された生産装置である。
【００１２】図１において、５１は真空予備チャンバ
ー、５２は生産物を装置に入れるためのドア、５３は真
空引き配管に設けられたバルブ、５４は油回転真空ポン
プ、５５は真空引き配管、５６はバルブ開閉を検知する
センサー、５７は真空予備チャンバー５１と高真空チャ
ンバー６１間のゲートバルブ、５８はシーケンサー、５
９はインバーター回路、６０はポンプ電源、６１は高真
空チャンバー、６２は高真空ポンプ、６３は真空ゲージ
コントローラー、６４は真空ゲージである。
ー、５２は生産物を装置に入れるためのドア、５３は真
空引き配管に設けられたバルブ、５４は油回転真空ポン
プ、５５は真空引き配管、５６はバルブ開閉を検知する
センサー、５７は真空予備チャンバー５１と高真空チャ
ンバー６１間のゲートバルブ、５８はシーケンサー、５
９はインバーター回路、６０はポンプ電源、６１は高真
空チャンバー、６２は高真空ポンプ、６３は真空ゲージ
コントローラー、６４は真空ゲージである。
【００１３】以上のように構成された生産装置の動作に
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー５１を大気圧にし、ドア５２から生産物を
装置に入れる。この時真空引き配管５５のバルブ５３が
閉じているため、油回転真空ポンプ５４の回転は５０％
低減されている。その後、ドア５２を閉じ、真空引き配
管５５のバルブ５３を開ける。この時、バルブ開閉を検
知するセンサー５６からシーケンサー５８に信号がイン
バーター回路５９に送られる。インバーター回路５９に
よって短時間で油回転真空ポンプ５４の回転数を通常回
転数まで上げる。これによって油回転真空ポンプ５４は
あらかじめ設定された真空度に到達するまで真空引きを
行う。次に真空引き配管５５のバルブ５３を閉じる。こ
の時、バルブ開閉を検知するセンサー５６からシーケン
サー５８に信号がインバーター回路５９に送られる。こ
のインバーター回路５９を用いることで油回転真空ポン
プ５４の回転数を５０％低減させる。そして、高真空チ
ャンバー６１間のバルブを開け高真空チャンバー６１に
生産物を入れる。これにより、油回転真空ポンプ５４の
回転数は、必要なとき以外は、５０％低減されるため、
ポンプの使用する電力が削減され、かつ高回転で回転し
ている時間が低減されるため長寿命化が可能となる。
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー５１を大気圧にし、ドア５２から生産物を
装置に入れる。この時真空引き配管５５のバルブ５３が
閉じているため、油回転真空ポンプ５４の回転は５０％
低減されている。その後、ドア５２を閉じ、真空引き配
管５５のバルブ５３を開ける。この時、バルブ開閉を検
知するセンサー５６からシーケンサー５８に信号がイン
バーター回路５９に送られる。インバーター回路５９に
よって短時間で油回転真空ポンプ５４の回転数を通常回
転数まで上げる。これによって油回転真空ポンプ５４は
あらかじめ設定された真空度に到達するまで真空引きを
行う。次に真空引き配管５５のバルブ５３を閉じる。こ
の時、バルブ開閉を検知するセンサー５６からシーケン
サー５８に信号がインバーター回路５９に送られる。こ
のインバーター回路５９を用いることで油回転真空ポン
プ５４の回転数を５０％低減させる。そして、高真空チ
ャンバー６１間のバルブを開け高真空チャンバー６１に
生産物を入れる。これにより、油回転真空ポンプ５４の
回転数は、必要なとき以外は、５０％低減されるため、
ポンプの使用する電力が削減され、かつ高回転で回転し
ている時間が低減されるため長寿命化が可能となる。
【００１４】図２は、真空ゲージ信号を利用して、油回
転真空ポンプの回転数を制御するように構成された生産
装置である。
転真空ポンプの回転数を制御するように構成された生産
装置である。
【００１５】図２において、６５は真空予備チャンバ
ー、６６は生産物を装置に入れるためのドア、６７は油
回転真空ポンプ、６８は真空引き配管に設けられたバル
ブ、６９は真空引き配管に設けられた真空ゲージ、７０
は真空引き配管の真空ゲージ用真空ゲージコントローラ
ー、７１はインバーター回路、７２はシーケンサー、７
３はポンプ電源、７４はチャンバー真空ゲージ用真空ゲ
ージコントローラー、７５は真空予備チャンバー６５に
設けられた真空ゲージである。
ー、６６は生産物を装置に入れるためのドア、６７は油
回転真空ポンプ、６８は真空引き配管に設けられたバル
ブ、６９は真空引き配管に設けられた真空ゲージ、７０
は真空引き配管の真空ゲージ用真空ゲージコントローラ
ー、７１はインバーター回路、７２はシーケンサー、７
３はポンプ電源、７４はチャンバー真空ゲージ用真空ゲ
ージコントローラー、７５は真空予備チャンバー６５に
設けられた真空ゲージである。
【００１６】以上のように構成された生産装置の動作に
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー６５を大気圧にし、ドア６６から生産物を
装置に入れる。この時、油回転真空ポンプ６７の回転は
５０％低減されている。その後、ドア６６を閉じ、真空
引き配管のバルブ６８を開け真空引きを行う。この時、
真空引き配管の真空度が悪化するため、この信号により
油回転真空ポンプ６７の回転数は通常回転となる。真空
予備チャンバー６５の真空が十分引き終わると、真空予
備チャンバー６５に取付けた真空ゲージ７５からの信号
により油回転真空ポンプ６７の回転は５０％低減され
る。
ついて説明する。生産物を装置に入れるために、真空予
備チャンバー６５を大気圧にし、ドア６６から生産物を
装置に入れる。この時、油回転真空ポンプ６７の回転は
５０％低減されている。その後、ドア６６を閉じ、真空
引き配管のバルブ６８を開け真空引きを行う。この時、
真空引き配管の真空度が悪化するため、この信号により
油回転真空ポンプ６７の回転数は通常回転となる。真空
予備チャンバー６５の真空が十分引き終わると、真空予
備チャンバー６５に取付けた真空ゲージ７５からの信号
により油回転真空ポンプ６７の回転は５０％低減され
る。
【００１７】下記に、真空引き配管の真空度、真空チャ
ンバーの真空度と油回転真空ポンプの回転数の関係を表
１に示す。
ンバーの真空度と油回転真空ポンプの回転数の関係を表
１に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】上記実施例において、油回転真空ポンプの
回転数を５０％低減しても、トルクの低減はほとんどな
く、消費電力は８０％程度削減できる。また、この状態
でも真空度の悪化は見られなかった。
回転数を５０％低減しても、トルクの低減はほとんどな
く、消費電力は８０％程度削減できる。また、この状態
でも真空度の悪化は見られなかった。
【００２０】
【発明の効果】油回転真空ポンプが、通常回転で回転し
ている必要のないときに回転を低下させることで、使用
する電力の低減、及び寿命の長期化が可能となる。
ている必要のないときに回転を低下させることで、使用
する電力の低減、及び寿命の長期化が可能となる。
【図１】本発明の生産装置を説明するための構成図
【図２】本発明の別の生産装置を説明するための構成図
【図３】従来の真空を利用する生産装置を説明する図
【図４】従来の真空を利用する別の生産装置を説明する
図
図
５１ 真空予備チャンバー ５２ ドア ５３ バルブ ５４ 油回転真空ポンプ ５５ 真空引き配管 ５６ センサー ５７ ゲートバルブ ５８ シーケンサー ５９ インバーター回路 ６０ ポンプ電源 ６１ 高真空チャンバー ６２ 高真空ポンプ ６３ 真空ゲージコントローラー ６４ 真空ゲージ
Claims (2)
- 【請求項１】 真空チャンバーにバルブを介して真空ポ
ンプが配管で接続されており、前記バルブには前記バル
ブの開閉を検知するセンサーが設けられ、前記センサー
の信号はシーケンサーを介してインバーター回路に接続
されており、前記センターの信号によってインバーター
回路から前記真空ポンプの回転数を制御する信号が印加
されていることを特徴とする真空ポンプ制御システム。 - 【請求項２】 真空チャンバーにバルブを介して真空ポ
ンプが配管で接続されており、前記配管には第１の真空
ゲージが設けられ、前記真空チャンバーに第２の真空ゲ
ージが設けられ、前記第１の真空ゲージの信号は第１の
真空ゲージコントローラーを介してシーケンサーに伝え
られ、前記第２の真空ゲージの信号は第２の真空ゲージ
コントローラーを介して前記シーケンサーに伝わり、前
記シーケンサーとインバーター回路が接続され、前記イ
ンバーター回路は前記第１、２の真空ゲージの値にあわ
せて前記真空ポンプの回転数を制御することを特徴とす
る真空ポンプ制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18498693A JPH0735072A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 真空ポンプ制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18498693A JPH0735072A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 真空ポンプ制御システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0735072A true JPH0735072A (ja) | 1995-02-03 |
Family
ID=16162802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18498693A Pending JPH0735072A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 真空ポンプ制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735072A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100798376B1 (ko) * | 2000-02-23 | 2008-01-28 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 진공 건조 장치 및 진공 건조 방법 |
| WO2024113096A1 (zh) * | 2022-11-28 | 2024-06-06 | 深圳华大生命科学研究院 | 微腔自动注液方法、系统及装置 |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP18498693A patent/JPH0735072A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100798376B1 (ko) * | 2000-02-23 | 2008-01-28 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 진공 건조 장치 및 진공 건조 방법 |
| US7343695B2 (en) | 2000-02-23 | 2008-03-18 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Vacuum drying apparatus and vacuum drying method |
| WO2024113096A1 (zh) * | 2022-11-28 | 2024-06-06 | 深圳华大生命科学研究院 | 微腔自动注液方法、系统及装置 |
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