JPH0734922U - ファン付きフィルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ファン３とフィルタ２を備え、少なくともチ
ャンバ１内に前記フィルタ２を収容するようにしたファ
ン付きフィルタユニットであって、前記フィルタ２の収
容位置の上流側のチャンバ内壁１ａにストッパー７を設
けたことを特徴とする。 【効果】 本考案によれば、ファン付きフィルタユニッ
トの組み立て時、或いはフィルタ交換時に、フィルタを
損傷させることのないファン付きフィルタユニットを提
供することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えばクリンルームの天井等に配備されるファン付きフィルタユニ ットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のファン付きフィルタユニットとしては、特開平４ー１１０００８号の如 く、ファンを内蔵したチャンバをフィルタの枠上に載置固定するようにしたもの が知られている。ところが、フィルタの下流側に蛍光灯を配置する場合、ファン 付きフィルタユニットに蛍光灯の取り付け場所がなく、蛍光灯を別途に取り付け る必要があった。 そこで、フィルタ及び蛍光灯を全てチャンバ内に収容するようにしたものが提 案されている。具体的には、図４及び図５に示すようにチャンバａのチャンバ内 壁ｂにフィルタｃを載置するフィルタ受け具ｄを左右２ヵ所ずつ設け、フィルタ ｃの枠ｅに設けた止め具ｆを前記フィルタ受け具ｄに載置固定することによりフ ィルタｃをチャンバａ内に収容するようにしていた。図示のものでは、フィルタ ｃとチャンバａの間のシールは、フィルタｃの四周をバックアップ材ｇを介して シール材ｈによりシールすることによりなされている。また、ファンｉはチャン バａの天井部ｊに載置固定するようにし、また、蛍光灯ｋはチャンバ内壁ｂに固 定され、フィルタｃとファンｉの間にはバッフル板ｍが配置されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記従来のファン付きフィルタユニットの場合、組み立て時、 或いはフィルタ交換時に、フィルタｃをチャンバａ内に収納する際、フィルタｃ をチャンバａの下方から差し込んで、フィルタｃがフィルタ受け具ｄに当たらな いように傾斜させて片方を持ち上げてフィルタ止め具ｆをフィルタ受け具ｄに載 せるようにするが、この時、フィルタｃを必要以上に持ち上げ過ぎてフィルタｃ がチャンバ内に収容されたファンｉやバッフル板ｍ等に接触してフィルタｃを傷 つけてしまうという問題があった。

【０００４】

【問題を解決するための手段】

本考案は、上記問題点を解決するため、ファンとフィルタを備え、少なくとも チャンバ内に前記フィルタを収容するようにしたファン付きフィルタユニットで あって、前記フィルタの収容位置の上流側のチャンバ内壁にストッパーを設ける ようにした。

【０００５】

【作用】

フィルタを載置固定するためにチャンバ内壁に設けられたフィルタ受け具にフ ィルタが当接しないようにフィルタを下方から傾斜させて持ち上げた際、フィル タの載置位置より上流側のチャンバ内壁にストッパーを設けてあるため、フィル タがファンやバッフル板等のチャンバ内に収容された他の部材に接触することが ない。従って、ファンがこれら部材に接触して破損などするおそれがない。

【０００６】

【実施例】

次に、本考案の実施例を説明する。 本実施例のファン付きフィルタユニットは、図１及び図２に示すように、チャ ンバ１内にフィルタ２とファン３とが収容されている。前記フィルタ２としては 、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等の超高性能フィルタが用いられ、また 、前記ファン３としては、シロッコファン、斜流ファン、軸流ファン等が用いら れる。 更に、詳細には、チャンバ内壁１ａの短辺部、即ち、図面ではチャンバ内壁１ ａの左右に２ヵ所ずつ、フィルタ２を載置するためのフィルタ受け具４を設け、 このフィルタ受け具４にフィルタ２の枠２ａに設けた止め具５を載置固定するこ とにより、フィルタ２をチャンバ１内に収容するようにした。 また、ファン３はフィルタユニットの天井板６に締付け固定し、該天井板６を チャンバ１の上流側のフランジ１ｂに締付け固定することにより、ファン３をチ ャンバ１内に収容するようにした。

【０００７】 以上の構成は、前記従来のファン付きフィルタユニットと特に変わるところは ないが、本実施例では、本考案の特徴とするところに従って、前記フィルタ受け 具４の対応箇所の上方、即ち、前記フィルタ２の収容位置の上流側にストッパー ７を設けるようにした。 このように、ストッパー７を設けたため、フィルタ２をフィルタ受け具４に載 置固定するために該フィルタ受け具４にフィルタ２が当接しないようにフィルタ ２を下方から傾斜させて持ち上げた際に、フィルタ２がその載置位置より上流側 に設けてあるストッパー７により進入が規制され、ファン３や後述するバッフル 板等のチャンバ１内に収容された他の部材に接触することがない。従って、フィ ルタ２がこれら部材に接触して破損などするおそれがない。

【０００８】 尚、フィルタ２とチャンバ１間の空気漏れを防止するため、フィルタ２をフィ ルタ受け具４に載置固定した後、フィルタ２の枠２ａ下端部とチャンバ内壁１ａ との間に発泡ポリウレタン樹脂等のバックアップ材８を敷きつめると共にその下 流側にシリコーン樹脂等のシール材９でシールするようにした。 また、本実施例ではファン３の下方側で、フィルタ２の上流側にバッフル板１ ０を配置すうようにした。前記バッフル板１０は遮蔽板１０ａと吸音板１０ｂか らなり、フィルタ２側に吸音板１０ｂを配向させるようにした。 また、チャンバ内壁１ａの下端部に蛍光灯１１を設けると共にチャンバ１の下 面に整流板１２を配置した。 尚、前記実施例では、フィルタ受け具４とストッパー７とを別部材で形成した が、図３に示すように、これらフィルタ受け具とストッパーとを一体に形成する ようにしてもよい。

【０００９】 本考案のファン付きフィルタユニットは前記実施例に限定されるものではなく 、ファンの固定方法、バッフル板、照明灯、整流板の設置の有無、フィルタとチ ャンバーのシール方法、フィルタ止め具、フィルタ受け具、ストッパーの形状等 は任意である。 例えば、ファンの固定方法については、必ずしもチャンバ内に内蔵する必要は なく、天井板の上部に設置するようにしてもよく、また、チャンバーの上部にフ ランジを設けることなく、天井板を設置するための止め具をチャンバー内壁に設 けるようにしてもよい。また、フィルタ止め具とフィルタ受け具の間にガスケッ トを介装してもよく、フィルタ止め具とフィルタ受け具は互いに係合するような 形状でもよく、フィルタ止め具を特に設けることなく、フィルタ枠がフィルタ止 め具を兼ねるものでもよく、また、フィルタ受け具とストッパーがチャンバと一 体に形成されていてもよい。

【００１０】

【考案の効果】

以上説明したとおり、本考案によれば、ファン付きフィルタユニットの組み立 て時、或いはフィルタ交換時に、フィルタを損傷させることのないファン付きフ ィルタユニットを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案ファン付きフィルタユニットの一実施例
の正面断面図

【図２】図１のII−II断面図

【図３】本考案ファン付きフィルタユニットの他実施例
の要部拡大断面図

【図４】従来のファン付きフィルタユニットの正面断面
図

【図５】図４のＶ−Ｖ断面図

【符号の説明】

１ チャンバ １ａ チャンバ内壁 １ｂ フランジ ２ フィルタ ２ａ 枠 ３ ファン ４ フィルタ受け具 ５ フィルタ止め具 ６ 天井板 ７ ストッパー ８ バックアップ材 ９ シール材 １０ バッフル板 １０ａ 遮蔽板 １０ｂ 吸音板 １１ 蛍光灯 １２ 整流板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ファンとフィルタを備え、少なくともチ
   ャンバ内に前記フィルタを収容するようにしたファン付
   きフィルタユニットであって、前記フィルタの収容位置
   の上流側のチャンバ内壁にストッパーを設けたことを特
   徴とするファン付きフィルタユニット。