JPH07333595A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
- Publication number
- JPH07333595A JPH07333595A JP13171294A JP13171294A JPH07333595A JP H07333595 A JPH07333595 A JP H07333595A JP 13171294 A JP13171294 A JP 13171294A JP 13171294 A JP13171294 A JP 13171294A JP H07333595 A JPH07333595 A JP H07333595A
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- JP
- Japan
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- liquid crystal
- display device
- color filter
- crystal display
- common electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶表示装置に関するものであり、軽量、薄
型で、しかも、低コストな大画面のカラー表示が可能な
るようにする改良である。 【構成】 薄膜トランジスタ２や画素電極３が形成され
た透明ガラス基板１と対向共通電極８が形成された透明
フィルム基板７とを有し、薄膜トランジスタ２や画素電
極３の上に、カラーフィルター層５が接着層４を介して
転写されている液晶表示装置であって、カラーフィルタ
ー層５と接着層４とのそれぞれに強誘電率物質が分散さ
れている液晶表示装置である。
型で、しかも、低コストな大画面のカラー表示が可能な
るようにする改良である。 【構成】 薄膜トランジスタ２や画素電極３が形成され
た透明ガラス基板１と対向共通電極８が形成された透明
フィルム基板７とを有し、薄膜トランジスタ２や画素電
極３の上に、カラーフィルター層５が接着層４を介して
転写されている液晶表示装置であって、カラーフィルタ
ー層５と接着層４とのそれぞれに強誘電率物質が分散さ
れている液晶表示装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置に関す
る。特に、軽量、薄型で、しかも、低コストな大画面の
カラー表示が可能なるようにする改良に関する。
る。特に、軽量、薄型で、しかも、低コストな大画面の
カラー表示が可能なるようにする改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、液晶表示装置は至るところに実用
されているが、小型ＴＶやビデオカメラまたはコンピュ
ータ等の表示装置として市場が広がると共に市場の要求
も拡大し、モノクロ画像からカラー画像へ、小画面から
大画面へと急進展している。この液晶表示装置は、透明
導電膜で形成された対向共通電極を有する透明基板と透
明導電膜で形成された画素電極を有する透明基板とをそ
れぞれの電極が対向するように配置し、この２枚の透明
基板の間に液晶を密封して板状体となし、この板状体の
両側に偏光板を配置した透過型か、または、片側に偏光
板を反対側に反射板を配置した反射型の構成としてい
る。いずれの場合も、対向共通電極と画素電極との間の
電圧を液晶の閾値電圧以上にオンオフさせると、液晶分
子の配向が変化し、画素電極に対応する画素を通過する
光は遮断あるいは透過され、液晶表示装置は光のスイッ
チ素子の集合体として機能する。そこで、必要な画素電
極のみに電圧を印加することにより、必要な文字情報や
画像情報を表示することができる。このとき、対向共通
電極と画素電極との間に印加される駆動電圧は通常交番
電圧である。そして、各画素をオンオフ駆動するための
薄膜トランジスタ（ＴＦＴと云う。）が、各画素電極毎
に透明基板上に形成されている。また、カラー画像を表
示するには、対向共通電極側にカラーフィルター層を形
成し、各画素毎にＲ（赤）か、Ｂ（青）か、Ｇ（緑）か
のカラーフィルターを挿入することにより実現してい
る。
されているが、小型ＴＶやビデオカメラまたはコンピュ
ータ等の表示装置として市場が広がると共に市場の要求
も拡大し、モノクロ画像からカラー画像へ、小画面から
大画面へと急進展している。この液晶表示装置は、透明
導電膜で形成された対向共通電極を有する透明基板と透
明導電膜で形成された画素電極を有する透明基板とをそ
れぞれの電極が対向するように配置し、この２枚の透明
基板の間に液晶を密封して板状体となし、この板状体の
両側に偏光板を配置した透過型か、または、片側に偏光
板を反対側に反射板を配置した反射型の構成としてい
る。いずれの場合も、対向共通電極と画素電極との間の
電圧を液晶の閾値電圧以上にオンオフさせると、液晶分
子の配向が変化し、画素電極に対応する画素を通過する
光は遮断あるいは透過され、液晶表示装置は光のスイッ
チ素子の集合体として機能する。そこで、必要な画素電
極のみに電圧を印加することにより、必要な文字情報や
画像情報を表示することができる。このとき、対向共通
電極と画素電極との間に印加される駆動電圧は通常交番
電圧である。そして、各画素をオンオフ駆動するための
薄膜トランジスタ（ＴＦＴと云う。）が、各画素電極毎
に透明基板上に形成されている。また、カラー画像を表
示するには、対向共通電極側にカラーフィルター層を形
成し、各画素毎にＲ（赤）か、Ｂ（青）か、Ｇ（緑）か
のカラーフィルターを挿入することにより実現してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】液晶表示装置に対する
大画面化の要求に伴い、大画面化と同時に軽量化と薄型
化と低コスト化が要求される。その解決策として、ＴＦ
Ｔや画素電極を有する透明基板はガラス基板とし、ＴＦ
Ｔ形成のために要求される基板の耐熱性を確保するが、
対向共通電極を有する透明基板は軽量・薄型の透明フィ
ルム基板とする案が出されている。この場合、カラーフ
ィルター層は透明フィルム基板との接着性が悪いので、
ＴＦＴや画素電極が形成された上にカラーフィルター層
を形成することになる。その方法として、接着剤を介し
てカラーフィルター層をＴＦＴや画素電極の上に転写す
るという自動化や大量生産に有利な方法が考えられる。
ところで、この方法は画素電極上に接着層とカラーフィ
ルター層とが形成されるため、画素電極と対向共通電極
との間に印加される駆動電圧は接着層とカラーフィルタ
ー層とにより電圧降下し、肝心の液晶層に印加される電
圧が大幅に低下する。このような液晶表示装置を駆動す
るには、駆動電圧を高くし、高電圧をオンオフできるよ
うにする必要が生じ、透明フィルム基板や転写法による
カラーフィルター層の採用による利益を損なうことにな
る。
大画面化の要求に伴い、大画面化と同時に軽量化と薄型
化と低コスト化が要求される。その解決策として、ＴＦ
Ｔや画素電極を有する透明基板はガラス基板とし、ＴＦ
Ｔ形成のために要求される基板の耐熱性を確保するが、
対向共通電極を有する透明基板は軽量・薄型の透明フィ
ルム基板とする案が出されている。この場合、カラーフ
ィルター層は透明フィルム基板との接着性が悪いので、
ＴＦＴや画素電極が形成された上にカラーフィルター層
を形成することになる。その方法として、接着剤を介し
てカラーフィルター層をＴＦＴや画素電極の上に転写す
るという自動化や大量生産に有利な方法が考えられる。
ところで、この方法は画素電極上に接着層とカラーフィ
ルター層とが形成されるため、画素電極と対向共通電極
との間に印加される駆動電圧は接着層とカラーフィルタ
ー層とにより電圧降下し、肝心の液晶層に印加される電
圧が大幅に低下する。このような液晶表示装置を駆動す
るには、駆動電圧を高くし、高電圧をオンオフできるよ
うにする必要が生じ、透明フィルム基板や転写法による
カラーフィルター層の採用による利益を損なうことにな
る。
【０００４】本発明の目的は、この問題を解消すること
にあり、画素電極と対向共通電極との間に印加される駆
動電圧の大半が液晶層に印加され、軽量・薄型で低コス
トの液晶表示装置を提供することにある。
にあり、画素電極と対向共通電極との間に印加される駆
動電圧の大半が液晶層に印加され、軽量・薄型で低コス
トの液晶表示装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、薄膜トラ
ンジスタ（２）や画素電極（３）が形成された透明ガラ
ス基板（１）と対向共通電極（８）が形成された透明フ
ィルム基板（７）とを有し、前記の薄膜トランジスタ
（２）や前記の画素電極（３）の上に、カラーフィルタ
ー層（５）が接着層（４）を介して転写されている液晶
表示装置であって、前記のカラーフィルター層（５）と
前記の接着層（４）とのそれぞれに強誘電率物質が分散
されている液晶表示装置によって達成される。
ンジスタ（２）や画素電極（３）が形成された透明ガラ
ス基板（１）と対向共通電極（８）が形成された透明フ
ィルム基板（７）とを有し、前記の薄膜トランジスタ
（２）や前記の画素電極（３）の上に、カラーフィルタ
ー層（５）が接着層（４）を介して転写されている液晶
表示装置であって、前記のカラーフィルター層（５）と
前記の接着層（４）とのそれぞれに強誘電率物質が分散
されている液晶表示装置によって達成される。
【０００６】そして、前記の強誘電率物質はチタン酸バ
リウムまたはチタン酸塩であると誘電率が高く光学的に
も問題にならないようにできるので都合がよい。
リウムまたはチタン酸塩であると誘電率が高く光学的に
も問題にならないようにできるので都合がよい。
【０００７】
【作用】本発明に係る液晶表示装置は、カラーフィルタ
ー層５と接着層４とのそれぞれにチタン酸バリウムまた
はチタン酸塩等の強誘電率物質が分散されている。この
ため、カラーフィルター層５と接着層４とのそれぞれの
静電容量は、強誘電率物質が分散されていない場合に比
較して、増大することになる。
ー層５と接着層４とのそれぞれにチタン酸バリウムまた
はチタン酸塩等の強誘電率物質が分散されている。この
ため、カラーフィルター層５と接着層４とのそれぞれの
静電容量は、強誘電率物質が分散されていない場合に比
較して、増大することになる。
【０００８】図２参照 図２は液晶表示装置の画素の等価回路である。図２にお
いて、Ｖは画素電極と対向共通電極との間に印加される
駆動電圧であり、ＣCFはカラーフィルター層５の静電容
量と接着層４の静電容量との直列回路の合成した静電容
量であり、ＣLCは液晶層の静電容量である。液晶層に印
加される電圧ＶLCは、図２の等価回路より、
いて、Ｖは画素電極と対向共通電極との間に印加される
駆動電圧であり、ＣCFはカラーフィルター層５の静電容
量と接着層４の静電容量との直列回路の合成した静電容
量であり、ＣLCは液晶層の静電容量である。液晶層に印
加される電圧ＶLCは、図２の等価回路より、
【０００９】
【数１】ＶLC＝ＣCF・Ｖ／（ＣCF＋ＣLC） となり、カラーフィルター層５と接着層４とのそれぞれ
の静電容量が増大すると、液晶層に印加される電圧の割
合も増大する。静電容量に関係する重要な要因である誘
電率は、カラーフィルター層５と接着層４では１桁程度
であるのに対し、チタン酸バリウムでは約１７００であ
り、チタン酸塩では約５００と十分高い。そして、強誘
電率物質の配合率もカラーフィルター層５では２０重量
％程度、接着層４では２０〜９０重量％としているの
で、画素電極と対向共通電極との間に印加される駆動電
圧の殆どが液晶層に印加され、駆動電圧Ｖは高電圧を必
要とせず、通常のＴＦＴによって十分駆動できることが
判った。
の静電容量が増大すると、液晶層に印加される電圧の割
合も増大する。静電容量に関係する重要な要因である誘
電率は、カラーフィルター層５と接着層４では１桁程度
であるのに対し、チタン酸バリウムでは約１７００であ
り、チタン酸塩では約５００と十分高い。そして、強誘
電率物質の配合率もカラーフィルター層５では２０重量
％程度、接着層４では２０〜９０重量％としているの
で、画素電極と対向共通電極との間に印加される駆動電
圧の殆どが液晶層に印加され、駆動電圧Ｖは高電圧を必
要とせず、通常のＴＦＴによって十分駆動できることが
判った。
【００１０】また、強誘電率物質の粒径を可視光波長よ
り短い０．３μｍ以下としておけば、可視光線の透過を
妨げることがなく、良好な透明性を保持することができ
る。
り短い０．３μｍ以下としておけば、可視光線の透過を
妨げることがなく、良好な透明性を保持することができ
る。
【００１１】このため、透明フィルム基板や転写法によ
るカラーフィルター層を採用することができるので、軽
量・薄型で低コストの液晶表示装置とすることができ
る。
るカラーフィルター層を採用することができるので、軽
量・薄型で低コストの液晶表示装置とすることができ
る。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の１実施例に
係る液晶表示装置についてさらに詳細に説明する。
係る液晶表示装置についてさらに詳細に説明する。
【００１３】図１参照 図１は本発明の１実施例に係る液晶表示装置の断面の要
部を示す図である。図１において、１は米国コーニング
社のガラス７０５９等からなる透明ガラス基板であり、
２は透明ガラス基板１上に水素化アモルファスシリコン
を使用して形成されたＴＦＴであり、同時にＴＦＴ２へ
の配線（図示せず）も形成する。３はＴＦＴ２を形成し
た透明ガラス基板１上に透明導電膜（ＩＴＯ）でマトリ
ックス状に形成された画素電極である。１０は透明ガラ
ス基板１とＴＦＴ２と画素電極３とからなる画素電極形
成基板である。
部を示す図である。図１において、１は米国コーニング
社のガラス７０５９等からなる透明ガラス基板であり、
２は透明ガラス基板１上に水素化アモルファスシリコン
を使用して形成されたＴＦＴであり、同時にＴＦＴ２へ
の配線（図示せず）も形成する。３はＴＦＴ２を形成し
た透明ガラス基板１上に透明導電膜（ＩＴＯ）でマトリ
ックス状に形成された画素電極である。１０は透明ガラ
ス基板１とＴＦＴ２と画素電極３とからなる画素電極形
成基板である。
【００１４】４は画素電極形成基板１０の上に形成され
た接着層であり、５は接着層４の上に形成されたカラー
フィルター層である。これらは以下に示す転写法により
製作される。
た接着層であり、５は接着層４の上に形成されたカラー
フィルター層である。これらは以下に示す転写法により
製作される。
【００１５】先ず、転写基板のベースとなるポリエステ
ルフィルム上に、２０重量％のチタン酸バリウムを含有
する厚さ１μｍ程度のＲ、Ｇ、Ｂの着色パターンからな
るカラーフィルター層５を画素電極３と同一ピッチで形
成し、その上に、５０重量％のチタン酸バリウムを含有
する光と熱との併用硬化のアクリル系接着剤を１〜２μ
ｍの厚さで塗布して接着層４を形成し、カラーフィルタ
ー転写基板を製作する。分散するチタン酸バリウムはそ
の９０重量％以上が粒径０．３μｍ以下になるようにし
ている。粒径を可視光波長より短い０．３μｍ以下とし
ているので可視光線の透過を妨げることなく良好な透明
性を保持できる。次に、画素電極形成基板１０上の所定
の位置にカラーフィルター転写基板を位置決めし、８０
℃の雰囲気中で両面から紫外線を照射する。これによ
り、接着層４は画素電極形成基板１０に接着され、転写
基板のベースとなるポリエステルフィルムは容易に剥離
することができ、カラーフィルター層５の転写が完了す
る。
ルフィルム上に、２０重量％のチタン酸バリウムを含有
する厚さ１μｍ程度のＲ、Ｇ、Ｂの着色パターンからな
るカラーフィルター層５を画素電極３と同一ピッチで形
成し、その上に、５０重量％のチタン酸バリウムを含有
する光と熱との併用硬化のアクリル系接着剤を１〜２μ
ｍの厚さで塗布して接着層４を形成し、カラーフィルタ
ー転写基板を製作する。分散するチタン酸バリウムはそ
の９０重量％以上が粒径０．３μｍ以下になるようにし
ている。粒径を可視光波長より短い０．３μｍ以下とし
ているので可視光線の透過を妨げることなく良好な透明
性を保持できる。次に、画素電極形成基板１０上の所定
の位置にカラーフィルター転写基板を位置決めし、８０
℃の雰囲気中で両面から紫外線を照射する。これによ
り、接着層４は画素電極形成基板１０に接着され、転写
基板のベースとなるポリエステルフィルムは容易に剥離
することができ、カラーフィルター層５の転写が完了す
る。
【００１６】２０は、厚さ０．１ｍｍのポリエーテルス
ルフォン、ポリカーボネイト、ポリアリレート、ポリエ
ステル等のプラスチックフィルムからなる透明フィルム
基板７の上に、対向共通電極８を透明導電膜により形成
した共通電極基板である。
ルフォン、ポリカーボネイト、ポリアリレート、ポリエ
ステル等のプラスチックフィルムからなる透明フィルム
基板７の上に、対向共通電極８を透明導電膜により形成
した共通電極基板である。
【００１７】画素電極形成基板１０と共通電極基板２０
とはそれぞれ所定の配向処理が行われた後、シール部９
を介してシールされる。６は液晶であり、画素電極形成
基板１０と共通電極基板２０との間に封入される。さら
に、図示していない偏光板と必要に応じ反射板とを配置
して液晶表示装置が完成する。
とはそれぞれ所定の配向処理が行われた後、シール部９
を介してシールされる。６は液晶であり、画素電極形成
基板１０と共通電極基板２０との間に封入される。さら
に、図示していない偏光板と必要に応じ反射板とを配置
して液晶表示装置が完成する。
【００１８】なお、接着層４は、強誘電率物質の含有量
が２０〜９０重量％であれば実用上問題がない。また、
接着層４を形成する塗布液の組成の一例としてビスコー
トＵＶ７２７（大阪有機化学工業（株）製）紫外光・熱
硬化型接着剤を５０重量％とチタン酸バリウムを５０重
量％との混合剤とすることができる。さらに、接着層４
の形成条件として、膜厚１〜３μｍに塗布し、高圧水銀
灯により８０〜１５０ｍＪ／ｃｍ2 を照射し、その後、
１００〜１１０℃／２０〜３０分のポストベークを行う
とよい。
が２０〜９０重量％であれば実用上問題がない。また、
接着層４を形成する塗布液の組成の一例としてビスコー
トＵＶ７２７（大阪有機化学工業（株）製）紫外光・熱
硬化型接着剤を５０重量％とチタン酸バリウムを５０重
量％との混合剤とすることができる。さらに、接着層４
の形成条件として、膜厚１〜３μｍに塗布し、高圧水銀
灯により８０〜１５０ｍＪ／ｃｍ2 を照射し、その後、
１００〜１１０℃／２０〜３０分のポストベークを行う
とよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る液晶
表示装置によれば、カラーフィルター層と接着層との強
誘電率物質を分散させているので、カラーフィルター層
と接着層との静電容量が増大する。このため、画素電極
と対向共通電極との間にカラーフィルター層と接着層と
を配置しても、カラーフィルター層と接着層とにおける
電圧降下は僅少であり、画素電極と対向共通電極との間
に印加される駆動電圧の殆どが液晶に印加されるので、
駆動電圧を高くする必要がなく、通常のＴＦＴが使用で
きる。すなわち、画素電極と対向共通電極との間にカラ
ーフィルター層と接着層とを配置できることから、カラ
ーフィルター層は透明ガラス基板のある画素電極形成基
板に転写し、共通電極基板に透明フィルム基板を使用で
きる。
表示装置によれば、カラーフィルター層と接着層との強
誘電率物質を分散させているので、カラーフィルター層
と接着層との静電容量が増大する。このため、画素電極
と対向共通電極との間にカラーフィルター層と接着層と
を配置しても、カラーフィルター層と接着層とにおける
電圧降下は僅少であり、画素電極と対向共通電極との間
に印加される駆動電圧の殆どが液晶に印加されるので、
駆動電圧を高くする必要がなく、通常のＴＦＴが使用で
きる。すなわち、画素電極と対向共通電極との間にカラ
ーフィルター層と接着層とを配置できることから、カラ
ーフィルター層は透明ガラス基板のある画素電極形成基
板に転写し、共通電極基板に透明フィルム基板を使用で
きる。
【００２０】このように、透明フィルム基板や転写法に
よるカラーフィルター層の形成を採用することができる
ので、軽量・薄型で低コストの液晶表示装置とすること
ができる。
よるカラーフィルター層の形成を採用することができる
ので、軽量・薄型で低コストの液晶表示装置とすること
ができる。
【図１】本発明に係る液晶表示装置の断面図である。
【図２】本発明に係る液晶表示装置の等価回路である。
【符号の説明】 １ 透明ガラス基板 ２ 薄膜トランジスタ ３ 画素電極 ４ 接着層 ５ カラーフィルター層 ６ 液晶 ７ 透明フィルム基板 ８ 対向共通電極 ９ シール部 １０ 画素電極形成基板 ２０ 共通電極基板
Claims (2)
- 【請求項１】 薄膜トランジスタ（２）や画素電極
（３）が形成された透明ガラス基板（１）と対向共通電
極（８）が形成された透明フィルム基板（７）とを有
し、前記薄膜トランジスタ（２）や前記画素電極（３）
の上に、カラーフィルター層（５）が接着層（４）を介
して転写されてなる液晶表示装置であって、 前記カラーフィルター層（５）と前記接着層（４）との
それぞれに強誘電率物質が分散されてなることを特徴と
する液晶表示装置。 - 【請求項２】 前記強誘電率物質はチタン酸バリウムま
たはチタン酸塩であることを特徴とする請求項１記載の
液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13171294A JP3006411B2 (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13171294A JP3006411B2 (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07333595A true JPH07333595A (ja) | 1995-12-22 |
| JP3006411B2 JP3006411B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=15064439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13171294A Expired - Lifetime JP3006411B2 (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3006411B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5929961A (en) * | 1995-01-11 | 1999-07-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. | Method and system for fabricating liquid crystal cells having winding means |
| US6720119B2 (en) | 2000-07-27 | 2004-04-13 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Method of fabricating high-dielectric color filter |
| US6850279B1 (en) | 1996-06-18 | 2005-02-01 | Sony Corporation | Optical image recording system, and associated processing system |
| KR100468594B1 (ko) * | 1997-08-13 | 2005-07-11 | 삼성전자주식회사 | 액정표시소자및그제조방법 |
| KR100471766B1 (ko) * | 1997-08-25 | 2005-07-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치의제조장치 |
-
1994
- 1994-06-14 JP JP13171294A patent/JP3006411B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5929961A (en) * | 1995-01-11 | 1999-07-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. | Method and system for fabricating liquid crystal cells having winding means |
| US6320640B2 (en) | 1995-01-11 | 2001-11-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method and system for fabricating an electrooptical device |
| US6839123B2 (en) | 1995-01-11 | 2005-01-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method and system for fabricating liquid crystal cells |
| US8493542B2 (en) | 1995-01-11 | 2013-07-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method and system for fabricating liquid crystal cells |
| US8593614B2 (en) | 1995-01-11 | 2013-11-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method and system for fabricating liquid crystal cells |
| US6850279B1 (en) | 1996-06-18 | 2005-02-01 | Sony Corporation | Optical image recording system, and associated processing system |
| KR100468594B1 (ko) * | 1997-08-13 | 2005-07-11 | 삼성전자주식회사 | 액정표시소자및그제조방법 |
| KR100471766B1 (ko) * | 1997-08-25 | 2005-07-18 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치의제조장치 |
| US6720119B2 (en) | 2000-07-27 | 2004-04-13 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Method of fabricating high-dielectric color filter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3006411B2 (ja) | 2000-02-07 |
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