JPH07333271A

JPH07333271A - 高周波フィルタデバイスの特性測定方法

Info

Publication number: JPH07333271A
Application number: JP6143952A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Nagahama; 秀一長浜; Keiichi Ubukata; 敬一生方; Tadaaki Yumikura; 忠昭弓倉
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1994-06-02
Filing date: 1994-06-02
Publication date: 1995-12-22

Abstract

(57)【要約】【目的】被測定対象デバイスである高周波フィルタの
特性を、高速に測定する方法を提供する。【構成】高周波フィルタデバイスの特性測定におい
て、ネットワークアナライザの測定チャネル１・１で、
広帯域５で、かつ、ユーザ掃引７モードの測定時に取得
できる“生データ”の中の通過帯域10の振幅特性データ
３の部分のトレースデータを、当該アナライザのデータ
入出力機能構成部分であるプログラムメモリ11から読み
出す。次いで、そのデータを、チャネル２・２のプログ
ラムメモリ11に書き込む。さらに、そのチャネルで、狭
帯域６、リニア掃引８モードでの測定仕様条件が設定さ
れ、反射特性４が測定された直後に、群遅延特性９の測
定をするための、表示画面フォーマット変換のみを行
い、当該メモリ11に書き込まれた同帯域のデータを用い
て、群遅延特性の測定を行う。その方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被測定対象デバイスで
ある高周波フィルタの特性を高速に測定する方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】被測定対象デバイスの高周波フィルタの
特性を測定するには、測定器として、ネットワークアナ
ライザを加えて自動検査システムを構成する。そして、
1,000個前後／１時間当たりの処理を必要とする大量自
動検査システムでは、強制搬送方式等の機能を持つハン
ドラを用いてハンドリングする。また、１回のハンドリ
ングで、複数のステーションによってコンタクトを取り
ながら、複数の測定チャネルを使用し、繰り返して測定
を行っているのが、現状では一般的な方法である。

【０００３】その場合、具体的な例としては、当該対象
デバイスである高周波フィルタの特性の測定において
は、同時に２個を１回でハンドリングし、主な特性であ
る通過帯域における振幅特性データの取得や、反射特性
データ等を、別々の測定チャネルを用いて取得すること
を同時に行う。かつ、また、自動ハンドラによって、順
次、当該対象デバイスに対しコンタクトする測定チャネ
ルを変えながら、測定すべき諸特性のデータを取得し、
仕様規格値に対する合否判定を行っている。

【０００４】そして、例えば、図３の（３A）、（３B）
に示すように、広帯域・ユーザ掃引モードで振幅特性を
測定し、測定チャネル２では、、狭帯域・リニア掃引モ
ードで反射特性を測定を測定するように割り当てる。こ
こで、「ユーザ掃引モード」とは、ユーザが自由に測定
したい測定帯域を指定し、その区間のみを掃引させるこ
とができる機能である。次に、その測定対象チャネル１
において、図３の（３C）に示すようにフォーマットを
変換し、位相の遅れ等を見る群遅延特性を測定する。こ
のフォーマットを変換時に、掃引モードがユーザ掃引で
あるため、複数の指定され区分の周波数帯域の計算が必
要であり、従って、モード変換に時間がかかる。実際例
として、１時間当たり1,000個以上のデバイスを処理す
ることが求められる場合、このフォーマット変換に要す
る時間は無視できない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】被測定対象デバイスが
高周波フィルタデバイスである場合、測定して取得すべ
き特性データによっては、帯域が、広帯域又は狭帯域が
必要であったり、掃引モードも、ユーザ掃引及びリニア
掃引を必要としたりする。高周波フィルタデバイスの測
定すべき特性データの種類は、大きく分けると通過帯域
の伝送特性の振幅データと、反射特性のデータとがあ
り、伝送特性の振幅データ測定は、チャネル１で、通過
域及び減衰域について、広帯域のユーザ掃引モードで設
定し、反射特性のデータ測定は、チャネル２で、狭帯域
のリニア掃引モードに設定し、同時に測定を開始する。

【０００６】そこで、次の測定せねばならない他のアイ
テムに移ろうとする場合であるが、現状の方法では、以
下に記載するような、問題点があったので、それが解消
できる高速な測定方法を提供することを目的とした。

【０００７】従来の方法では、チャネル１では、先
ず、ユーザの使用条件の帯域が指定され、通過域の伝送
特性が測定されるが、次には、その中の通過帯域での振
幅データ部分を用いて、群遅延特性の測定を行うのが通
常である。この場合に、広帯域で、ユーザ掃引のまま、
群遅延特性の測定ができるように、データ及び表示画面
のフォーマット変換を行わねばならないが、帯域が広い
ことやユーザ掃引のままのために、フォーマット変換時
に広い帯域にわたる計算も必要であり、変換に多くの時
間がかかってしまう。また、チャネル２は、狭帯域の
リニア掃引で測定仕様条件が設定され、反射特性が測定
されている。本来、この仕様条件で測定すればよい群遅
延特性の測定なのであるが、チャネル２では、通過帯域
での振幅特性データは取得されていない。従って、その
データによって、次の、群遅延特性用にフォーマット変
換をして、連続して、繰り返しての高速な測定作業には
移れない。といった問題点を、従来の測定法は有してい
た。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明における、ネットワークアナライザを用いた
高周波フィルタデバイスの測定の方法においては、当該
デバイスの測定に用いる、当該ネットワークアナライザ
のチャネル１で、広帯域に、しかも、ユーザ掃引での使
用条件で、取得された通過帯域の振幅特性データのプロ
グラムメモリ上のトレースデータを、当該測定器である
ネットワークアナライザが持つデータの入出力機能によ
って、チャネル２に入力し、群遅延特性が、反射特性の
測定に連続して繰り返し測定することができるよう、活
用する方法とした。

【０００９】すなわち、チャネル２では、狭帯域で、リ
ニア掃引で、測定仕様条件を設定して、反射特性が測定
された後に、チャネル１の設定で、通過帯域の振幅特性
の測定時に取得できたトレースデータを、プログラムメ
モリから読み出し、かつ、そのデータをチャネル２のプ
ログラムメモリに書き込む。つまり、反射特性の測定仕
様条件と同じ設定として、狭帯域で、リニア掃引の、群
遅延特性の測定をするためのフォーマット変換を行うこ
とになったわけで、データフォーマット変換は不要であ
り、また、表示画面フォーマット変換でも帯域の計算が
不要なので、フォーマット変換〜測定及びハンドラによ
る搬送時間を含めた総合の所要測定時間が格段に短くな
り、高周波フィルタデバイスの測定スピードの高速化が
可能となった。

【００１０】

【作用】

（1）本発明の方法では、長時間を要するユーザ掃引モ
ードでのデータフォーマット変換を避けたことで、測定
の高速化を可能とした。（2）群遅延特性データは、同じ周波数帯域である通過
帯域の振幅特性と同じ“生データ”を用いることで、測
定することができる。（3）すなわち、振幅データも群遅延データも、フォー
マット変換等の加工する前のデータである“生データ”
は同じであることに着眼した。（4）また、チャンネル１における通過帯域の振幅デー
タ取得の帯域と、チャネル２の狭帯域、リニア掃引モー
ドの測定仕様条件設定の際の帯域を、同一帯域とするこ
とで、表示画面フォーマット変換のみ行えば良くなり、
測定スピードの高速化を可能とした。（5）本発明の方法では、ソフトプログラム用のプログ
ラムメモリ上のトレースデータを活用するものであるた
め、各測定チャネルにおける測定アイテムが固定されて
しまうことはなく、チャネルに対する測定仕様条件の設
定は自由である。

【００１１】

【実施例】図１の（１A）〜（１C）は、本発明の概念を
説明するためディスプレイ画面表示である。また、図２
には、従来の方法と本発明による方法との搬送時間を含
む総合的な所要測定時間の内容の変化状況を示す。（1）（１A）の画面表示に示すのは、チャネル１・１に
おいて、通過帯域の伝送特性である振幅データ３を、広
帯域５、ユーザ掃引モード７で測定したところである。
そして、それと同時に、（１B）の画面表示に示すよう
に、チャネル２・２では、反射特性データ４を狭帯域
６、リニア掃引モード８で測定している。

【００１２】次に、（２）チャネル１・１の（１A）の
画面表示に示す通過帯域10における振幅データ３を記憶
したトレースデータをチャネル１・１のプログラムメモ
リ11から読み出す。そして、その振幅データ３を、チャ
ネル２・２の同じくプログラムメモリ11に書き込む。そ
こで、書き込まれた、振幅特性として取得した“生デー
タ”に対して、群遅延特性９を測定する仕様条件の表示
画面フォーマット変換を行う。そして、図中の（１C）
の画面の表示例に示すように、例えば、狭帯域６、リニ
ア掃引モード８での測定仕様条件で、群遅延特性９を測
定する。

【００１３】本発明によれば、図２に示すように、狭帯
域６、リニア掃引モード８での同帯域のフォーマット変
換であるために、帯域の計算が不要となり、フォーマッ
ト変換に要する時間が少なくなることで、測定時間全体
が格段に縮小された。

【００１４】また、帯域が同じに設定され、データフォ
ーマット変換が不要であり、ディスプレー画面表示のフ
ォーマット変換のみ行う。そして、本実施例のように、
チャネル２での反射特性４の測定に引き続き、群遅延特
性９を測定する場合、同一画面にオーバーライトするこ
ともできる。

【００１５】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。（1）高周波フィルタデバイスの特性測定において、広
帯域でユーザ掃引モードで測定されて取得できた“生デ
ータ”の中の通過帯域の振幅特性データ部分のトレース
データをプログラムメモリから読み出し、その“生デー
タ”を、周波数帯域が同一の狭帯域のリニア掃引モード
の測定仕様条件で設定された、例えば、反射特性を測定
した直後のチャネルのプログラムメモリに書き込んで、
データを移すことで、データフォーマットの変換は不要
となり、ディスプレイ画面表示のフォーマット変換のみ
で済むようにしたので、ハンドリングも含めた総合の測
定スピードが向上し、従来の方法に比較して、約２倍の
高速化が実現できた。（2）ユーザにとっては便利なユーザ掃引モード（最大1
5区間程度の帯域を、ユーザが自由に指定することが可
能）機能も保持しながら、本発明の方法による機能を付
加したことで、大量の測定が短時間で実現できたので、
量産性が格段に向上した。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による方法の概念を説明するための表示
画面を示す。

【図２】本発明及び従来の方法との、単位あたりの、所
要測定時間の総合比較を示す。

【図３】従来の方法の概念を説明するための表示画面を
示す。

【符合の説明】１チャネル１２チャネル２３振幅特性データ４反射特性データ５広帯域６狭帯域７ユーザ掃引８リニア掃引９群遅延特性データ 10 通過帯域 11 プログラムメモリ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高周波フィルタデバイスの特性を、測定
系であるネットワークアナライザが持つ複数の測定チャ
ネルによって測定する場合に、ネットワークアナライザ
の測定チャネル１（１）で、通過帯域（10）の振幅特性
データ（３）を、広帯域（５）で、かつ、ユーザ掃引
（７）モードで測定し、次に、当該測定時に、当該ネッ
トワークアナライザがもつ入出力機能部分の１つである
プログラムメモリー（11）に取り込んだ、通過帯域（1
0）における“生データ”であるトレースデータを、当
該メモリ（11）から読み出し、次いで、当該トレースデ
ータを、測定チャネル２（２）のプログラムメモリ（1
1）に書き込み、そして、測定チャネル２（２）で、反
射特性データ（４）を、狭帯域（６）で、リニア掃引
（８）モードで測定が完了した直後に、当該チャネル２
（２）のメモリに書き込まれた同一帯域の当該トレース
データを用いて、表示画面フォーマット変換のみを行
い、群遅延特性データ（９）の測定を行う、以上を特徴
とする、高周波フィルタデバイスの特性測定方法。