JPH07333005A - エンコーダの内挿回路 - Google Patents

エンコーダの内挿回路

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JPH07333005A
JPH07333005A JP14870294A JP14870294A JPH07333005A JP H07333005 A JPH07333005 A JP H07333005A JP 14870294 A JP14870294 A JP 14870294A JP 14870294 A JP14870294 A JP 14870294A JP H07333005 A JPH07333005 A JP H07333005A
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JP
Japan
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output
detector
phase
memories
data
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Application number
JP14870294A
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English (en)
Inventor
Osamu Kawatoko
修 川床
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 検出器出力信号が正弦波からずれていても高
精度の内挿を可能としたエンコーダの内挿回路を提供す
る。 【構成】 検出器11から出力されるA,B相出力信号
の波形にそれぞれ相似した波形データを記憶したメモリ
13a,13bを有し、これらのメモリをアドレスを所
定周期で更新して読出して、それぞれ第1、第2の乗算
型D/Aコンバータ16a,16bのデータ入力に与
え、検出器11のA,B相出力信号をそれぞれ第1、第
2の乗算型D/Aコンバータ16a,16bのリファレ
ンス入力に与えて、2信号の乗算を行う。乗算結果は加
算器17により合成した後、低域通過フィルタ18を介
して電圧比較器19に送る。電圧比較器19はゼロクロ
ス点を検出してゼロクロス点でレベル変化する矩形波出
力を出す。その矩形波のエッジ位相を位相検出器20と
計数表示器21により検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、変位検出や角度検出を
行うエンコーダに用いられる、高分解能測定を行うため
の内挿回路に関する。
【0002】
【従来の技術】エンコーダにおいては、検出器から出力
される正弦波に近似した2相信号(互いに90°位相の
異なるA相信号とB相信号)を内挿して分解能を上げる
内挿回路が用いられる。この種の内挿回路として例え
ば、エンコーダの変位や角度をキャリア信号の位相に変
換し、その位相を検出して計数するものが知られてい
る。図2は、そのような内挿回路のブロック構成を示
す。検出器30は例えば光電式であって、図3に示すよ
うにメインスケール31とインデックススケールを兼ね
た二つの受光素子32a,32bを有する。
【0003】スケール移動に伴って、二つの受光素子3
2a,32bからは位相が90°ずれたA相出力信号I
A とB相出力信号IB が得られる。これらの出力信号は
入力アンプ33で増幅される。キャリア発生回路34か
ら発生されるキャリア信号がそれぞれ乗算器35a,3
5bによって出力信号及びB相出力信号により変調され
て、その出力が加算器36により合成される。合成出力
の位相は位相検出回路37により検出され、その検出結
果が計数表示器38により計数表示される。この様な原
理による内挿回路は例えば、特公平5−18364号公
報に示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の内挿回
路では、検出器の出力信号が変位や角度に対して正弦波
となることを仮定している。しかし実際に検出器から出
力される2相信号は三角波や台形波に近い歪んだもので
あることが多い。図4は、図3の検出器出力波形の例で
ある。メインスケール31とインデックススケール(図
3の場合受光素子32a,32bがインデックススケー
ルを兼ねる)の間隙がメインスケール31のピッチに比
べて極端に狭い場合には、出力信号は破線で示すような
三角波や台形波になる。間隔が広くなると、光の回折の
効果で実線で示すように波形の角がとれて、正弦波に近
づく。検出器からの2相出力信号が正弦波からずれたも
のであると、正弦波のキャリア信号とのズレが大きくな
り、内挿精度が確保できなくなる。特に内挿数を多くし
て高分解能を実現しようとするとする場合には、この正
弦波からのズレが高精度を確保する上で大きな障害とな
る。
【0005】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
検出器出力信号が正弦波からずれていても高精度の内挿
を可能としたエンコーダの内挿回路を提供することを目
的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、エンコーダの
検出器から出力される90°位相の異なる第1及び第2
の二つの出力信号を内挿して高分解能の変位または角度
検出を行う内挿回路であって、前記検出器から出力され
る第1及び第2の出力信号の波形にそれぞれ相似した波
形データがディジタルデータとして記憶された第1及び
第2のメモリと、これら第1及び第2のメモリのアドレ
スを所定周期で更新してアクセスするアクセス手段と、
前記検出器の第1及び第2の出力信号がそれぞれリファ
レンス入力に、前記第1及び第2のメモリの出力データ
がそれぞれデータ入力に供給されて、これらデータ入力
とリファレンス入力を乗算してアナログ出力を出す第1
及び第2の乗算型D/Aコンバータと、これら第1及び
第2の乗算型D/Aコンバータの出力を合成する加算手
段と、この加算手段の出力信号から高周波成分を除去す
る低域通過フィルタと、この低域通過フィルタの出力の
ゼロクロス点を検出してゼロクロス点でレベル変化する
矩形波出力を得る電圧比較手段と、この電圧比較手段の
出力矩形波のエッジ位相を検出する位相検出手段と、こ
の位相検出手段から出力される位相変化分を積算する計
数手段とを有することを特徴としている。
【0007】本発明において例えば、第1及び第2のメ
モリは、それぞれ検出器の出力信号ピッチをアドレスN
個分に対応させて、実際に検出器から出力される信号波
形に相似の波形データを記憶するものであり、アクセス
手段は、基準クロックを発生するクロック源と、その基
準クロックを計数して計数値Nで出力データが繰り返さ
れるカウンタとから構成される。また本発明において好
ましくは、第1及び第2のメモリとして、書き換え可能
なメモリが用いられる。
【0008】
【作用】本発明においては、検出器の出力信号に相似の
波形データを記憶した二つのメモリがキャリア信号発生
手段として用いられる。これらのメモリは、例えば検出
器の出力信号ピッチの変位や角度をアドレスN個分に対
応させて、検出器出力信号を波形データとして記憶した
ものとする。これらのメモリをそのアドレスを所定周期
で更新してアクセスすると、検出器の出力信号と同様の
高調波をもつキャリア信号をディジタルデータとして出
力することできる。そして、ふたつの乗算型D/Aコン
バータを用いて、それぞれメモリからの出力データをデ
ータ入力とし、検出器の二つの出力信号をリファレンス
入力として与えて乗算を行い、その乗算結果を合成する
と、変位または角度を位相に変換した交流信号が得られ
る。この交流信号はメモリデータの離散値による高周波
成分を含むから、これを低域通過フィルタで除去し電圧
比較器でゼロクロス点を検出すると、所望の位相データ
がエッジに反映された矩形波信号が得られる。この矩形
波信号から位相検出、計数を行うことにより、変位また
は角度出力を得ることができる。
【0009】このように本発明においては、検出器の出
力信号に相似の波形データを記憶した二つのメモリをキ
ャリア信号発生手段として用いているから、検出器出力
波形が正弦波からずれていても、それに対応させた波形
データを記憶しておくことによって、高い内挿精度を得
ることができる。また、メモリとして例えば、EEPR
OMやRAMのような書き換え可能なメモリを用いる
と、任意のエンコーダ検出器に対応させることが可能と
なる。
【0010】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図1は、本発明の一実施例にかかるエンコーダ
の内挿回路構成を示す。検出器11は例えば図3に示し
たと同様な光電式検出器である。但し受光素子32a,
32bとは別にインデックススケールを持つものであっ
てもよい。ここで検出器11は、図2における入力アン
プ33に相当するアンプを含むものとして示している。
検出器11には電源12から電力が供給される。検出器
11からは、互いに位相が90°ずれた第1の出力信号
(A相信号)VA と第2の出力信号(B相信号)VB が
得られる。
【0011】検出器11の2相出力に対応して、第1及
び第2のメモリ13a及び13bが設けられている。第
1のメモリ13aには、検出器11の位置変化に対する
A相出力信号波形と相似の波形データを、出力信号ピッ
チの変位や角度をアドレスN個分に対応させて記憶させ
てある。第2のメモリ13bには、第1のメモリ13a
の持つデータの一周期の1/4だけ位相のずれたデー
タ、即ちB相出力信号波形に相似の波形データを記憶さ
せてある。これらのメモリ13a,13bは例えば、R
OMでもよいが、好ましくは書き換え可能なメモリ、例
えばEEPROM、EPROMあるいはRAMとする。
【0012】これらの二つのメモリ13a,13bに共
通のアクセス手段として、基準クロックを発生するクロ
ック源15と、その基準クロックを計数して計数値Nで
出力データが繰り返されるカウンタ14とを有する。カ
ウンタ14からの出力データにより、二つのメモリ13
a,13bのアドレスはインクリメントされて、検出器
出力信号波形と同様の高調波を持つ波形データが読み出
される。
【0013】第1のメモリ13aの出力は第1の乗算型
D/Aコンバータ16aのデータ入力に与えられ、検出
器11のA相出力信号VA がそのリファレンス入力に与
えられて、二つの信号の乗算が行われる。同様に、第2
のメモリ13bの出力は第2の乗算型D/Aコンバータ
16bのデータ入力に与えられ、検出器11のB相出力
信号VB がそのリファレンス入力に与えられて、二つの
信号の乗算が行われる。
【0014】これらの乗算型D/Aコンバータ16a,
16bから得られる出力信号は加算器17により合成さ
れ、低域通過フィルタ18を介して電圧比較器19に送
られる。低域通過フィルタ18は、メモリデータの離散
値が残っている階段波状出力の高周波成分を除去するた
めのものである。電圧比較器19は、入力された交流信
号のゼロクロス点を検出して矩形波出力を得るもので、
その矩形波のエッジに所望の位相情報を持つ。これにつ
いては後述する。そして、主としてディジタル回路から
なる位相検出器20及び計数表示器21により、位相検
出と計数表示がなされる。例えば位相検出器20は、位
相変化分をアップ/ダウンパルスまたはパラレルデータ
として出力し、計数表示器21がその位相変化分データ
を積算して出力表示する。
【0015】例えば、検出器出力が三角波の場合、変位
をx、信号ピッチをλとして、検出器11の二つの出力
信号VA (x),VB (x)は、次式数1で表される。
【0016】
【数1】
【0017】一方、二つのメモリ13a,13bからそ
れぞれ読みだされるキャリア信号Va (t),Vb
(t)は、キャリア周期をTとして、次の数2で表され
る。
【0018】
【数2】
【0019】そうすると、加算器17の出力信号VO
(x,t)は、次の数3で表される。
【0020】
【数3】VO (x,t)=VA (x)・Va (t)+V
B (x)・Vb (t)
【0021】この様に表される加算出力信号VO (x,
t)のゼロクロス点は、下記数4を条件として計算でき
る。
【0022】
【数4】VO (x,t)=0 dVO (x,t)/dt>0
【0023】従って、xとtの関係は、正の整数nを用
いて、下記数5で表される。
【0024】
【数5】t={(x/λ)+n}T
【0025】以上から、加算出力信号VO (x,t)の
ゼロクロス点の位相が変位xにリニアに対応することに
なる。
【0026】以上のようにしてこの実施例によれば、検
出器11の出力波形に対応する波形データを予めメモリ
13a,13bに記憶しておいてキャリア信号データを
発生させ、乗算型D/Aコンバータ16a,16bと加
算器17を利用して2相出力信号で位相変調された交流
信号を得るようにしている。従って検出器11の2相出
力信号が正弦波からずれていてもそれに影響されること
なく、高い内挿精度を得ることができる。
【0027】またこの実施例によれば、乗算型D/Aコ
ンバータ16a,16bとしてビット数の少ないものを
用いても、高い分解能が得られる。例えば、乗算型D/
Aコンバータ16a,16bが6ビット程度のものであ
っても、その出力は低域通過フィルタ18により滑らか
にされるため、スケールピッチ100μm に対して、
0.1μm 程度の分解能で変位または角度を求めること
が可能である。またビット数の少ないD/Aコンバータ
を用いれば、一般にビット数が少なければ高速であるか
ら、周波数の高いクロックで動作できる。そして高速ク
ロックで動作させれば、高速計数が可能であり、スケー
ルを高速で摺動させた場合にも対応することができる。
更に波形データを記憶するメモリ13a,13bとして
書き換え可能なメモリを用いれば、そのデータ書き換え
によって出力信号波形の異なる他の検出器にも適応でき
る。
【0028】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、キャ
リア信号発生手段として実際に検出器から出力される信
号波形と相似の波形データを記憶させたメモリを用い、
乗算型D/Aコンバータと加算器を利用して位相変調信
号を得るようにすることで、エンコーダの検出器出力信
号が変位や角度に対して正弦波からずれた波形であって
も、高精度の内挿を可能とした内挿回路を得ることがで
きる。また本発明の内挿回路は、波形データを記憶する
メモリとして書き換え可能なものを用いることにより、
任意のエンコーダに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る内挿回路を示す。
【図2】 従来の内挿回路を示す。
【図3】 光電式エンコーダ検出器の構成を示す。
【図4】 エンコーダ検出器の出力信号波形を示す。
【符号の説明】
11…検出器、12…電源、13a…第1のメモリ、1
b…第2のメモリ、14…カウンタ、15…基準クロッ
ク源、16a…第1の乗算型D/Aコンバータ、16b
…第2の乗算型D/Aコンバータ、17…加算器、18
…低域通過フィルタ、19…電圧比較器、20…位相検
出器、21…計数表示器。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 エンコーダの検出器から出力される90
    °位相の異なる第1及び第2の二つの出力信号を内挿し
    て高分解能の変位または角度検出を行う内挿回路であっ
    て、 前記検出器から出力される第1及び第2の出力信号の波
    形にそれぞれ相似した波形データがディジタルデータと
    して記憶された第1及び第2のメモリと、 これら第1及び第2のメモリのアドレスを所定周期で更
    新してアクセスするアクセス手段と、 前記検出器の第1及び第2の出力信号がそれぞれリファ
    レンス入力に、前記第1及び第2のメモリの出力データ
    がそれぞれデータ入力に供給されて、これらデータ入力
    とリファレンス入力を乗算してアナログ出力を出す第1
    及び第2の乗算型D/Aコンバータと、 これら第1及び第2の乗算型D/Aコンバータの出力を
    合成する加算手段と、 この加算手段の出力信号から高周波成分を除去する低域
    通過フィルタと、 この低域通過フィルタの出力のゼロクロス点を検出して
    ゼロクロス点でレベル変化する矩形波出力を得る電圧比
    較手段と、 この電圧比較手段の出力矩形波のエッジ位相を検出する
    位相検出手段と、 この位相検出手段から出力される位相変化分データを積
    算する計数手段とを有することを特徴とするエンコーダ
    の内挿回路。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2のメモリは、それぞれ
    前記検出器の出力信号ピッチをアドレスN個分に対応さ
    せて波形データを記憶したものであり、 前記アクセス手段は、基準クロックを発生するクロック
    源と、その基準クロックを計数して計数値Nで出力デー
    タが繰り返されるカウンタとから構成されていることを
    特徴とする請求項1に記載のエンコーダの内挿回路。
  3. 【請求項3】 前記第1及び第2のメモリは、書き換え
    可能なメモリであることを特徴とする請求項1または2
    に記載のエンコーダの内挿回路。
JP14870294A 1994-06-07 1994-06-07 エンコーダの内挿回路 Pending JPH07333005A (ja)

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JP (1) JPH07333005A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009085956A (ja) * 2007-10-02 2009-04-23 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 光学エンコーダ用のフォトダイオードアレイ,フォトダイオード検出システム及び光学エンコーダ
JP2012112704A (ja) * 2010-11-22 2012-06-14 Mitsubishi Electric Corp 回転数計測装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009085956A (ja) * 2007-10-02 2009-04-23 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 光学エンコーダ用のフォトダイオードアレイ,フォトダイオード検出システム及び光学エンコーダ
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