JPH07330381A - 機能性物品 - Google Patents
機能性物品Info
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- JPH07330381A JPH07330381A JP12236994A JP12236994A JPH07330381A JP H07330381 A JPH07330381 A JP H07330381A JP 12236994 A JP12236994 A JP 12236994A JP 12236994 A JP12236994 A JP 12236994A JP H07330381 A JPH07330381 A JP H07330381A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】透明基体１上に、透明酸化物層２と金属層３と
が交互に積層され、最外層に透明酸化物層２が形成され
た機能性物品において、最外層の透明酸化物層２と最外
層から数えて１番目の金属層３との間に、少なくとも１
層の透明窒化物層５が形成された機能性物品。 【効果】耐湿性が向上し、保管にあたって、梱包を簡素
化でき、吸湿剤等の使用量を下げることができ、コスト
ダウンにつながる。
が交互に積層され、最外層に透明酸化物層２が形成され
た機能性物品において、最外層の透明酸化物層２と最外
層から数えて１番目の金属層３との間に、少なくとも１
層の透明窒化物層５が形成された機能性物品。 【効果】耐湿性が向上し、保管にあたって、梱包を簡素
化でき、吸湿剤等の使用量を下げることができ、コスト
ダウンにつながる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、化学的耐久性に優れた
機能性物品に関する。
機能性物品に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から省エネルギー効果、意匠性に優
れたソーラーコントロールガラス、Ｌｏｗ−Ｅガラスが
ビルや家屋、自動車の窓ガラスに用いられている。
れたソーラーコントロールガラス、Ｌｏｗ−Ｅガラスが
ビルや家屋、自動車の窓ガラスに用いられている。
【０００３】ソーラーコントロールガラスは一般にステ
ンレス、チタン、クロム、錫などの金属膜や、それらの
金属の窒化物膜や、それらの金属の酸化物膜などを板ガ
ラス上に単層または多層でつけたものが知られている。
製造方法としては、オンラインスプレー法や、スパッタ
リング法などが知られている。
ンレス、チタン、クロム、錫などの金属膜や、それらの
金属の窒化物膜や、それらの金属の酸化物膜などを板ガ
ラス上に単層または多層でつけたものが知られている。
製造方法としては、オンラインスプレー法や、スパッタ
リング法などが知られている。
【０００４】このガラスは可視光透過率を低くし、同時
に日射光に含まれる熱線（主として波長１〜３μｍ）の
透過率も抑えたもので、このガラスを用いることによ
り、窓ガラスからの熱線の流入量を低減し、夏期の冷房
負荷の低減につながる。
に日射光に含まれる熱線（主として波長１〜３μｍ）の
透過率も抑えたもので、このガラスを用いることによ
り、窓ガラスからの熱線の流入量を低減し、夏期の冷房
負荷の低減につながる。
【０００５】また、Ｌｏｗ−Ｅガラスとしては、ガラス
基板上に酸化錫（ＳｎＯ2 ）を単層つけたものや、銀
（Ａｇ）と酸化亜鉛（ＺｎＯ）によるＺｎＯ／Ａｇ／Ｚ
ｎＯの３層系や、ＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯ
の５層系などが知られている。製造方法としては、酸化
錫の単層系ではオンラインスプレー法またはＣＶＤ法
が、また、銀を用いるものについてはスパッタリング法
などが知られている。
基板上に酸化錫（ＳｎＯ2 ）を単層つけたものや、銀
（Ａｇ）と酸化亜鉛（ＺｎＯ）によるＺｎＯ／Ａｇ／Ｚ
ｎＯの３層系や、ＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯ／Ａｇ／ＺｎＯ
の５層系などが知られている。製造方法としては、酸化
錫の単層系ではオンラインスプレー法またはＣＶＤ法
が、また、銀を用いるものについてはスパッタリング法
などが知られている。
【０００６】このガラスは一般に可視領域では高透過率
であり、日射光に含まれる熱線の透過率も高いが、長波
長の熱線（波長約１０μｍ）に対する反射率が高い。こ
のため、このガラスを用いると、室内の熱の窓を通した
放出量を低減するため、冬季の暖房負荷の低減につなが
る。
であり、日射光に含まれる熱線の透過率も高いが、長波
長の熱線（波長約１０μｍ）に対する反射率が高い。こ
のため、このガラスを用いると、室内の熱の窓を通した
放出量を低減するため、冬季の暖房負荷の低減につなが
る。
【０００７】しかし、前述したソーラーコントロールガ
ラスやＬｏｗ−Ｅガラスは膜の機械的および化学的耐久
性に難があるので、単板ガラスでは使えず、ペアガラ
ス、または合わせガラスの形にして、膜面が室内または
戸外に露出しないようにして用いられる。
ラスやＬｏｗ−Ｅガラスは膜の機械的および化学的耐久
性に難があるので、単板ガラスでは使えず、ペアガラ
ス、または合わせガラスの形にして、膜面が室内または
戸外に露出しないようにして用いられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】銀を用いて構成したも
のは、機械的および化学的耐久性、特に膜の耐湿性が弱
い。この膜系を単板で使用すると、銀の酸化により熱線
遮断性能の劣化、および白点（斑点上欠点）や白濁のよ
うな外観上の劣化が生ずるため、複層ガラスまたは合わ
せガラスにし、膜が外部に露出しないようにしなければ
ならず、複層ガラスまたは合わせガラスにするまでの保
管や取扱いにも注意を要していた。
のは、機械的および化学的耐久性、特に膜の耐湿性が弱
い。この膜系を単板で使用すると、銀の酸化により熱線
遮断性能の劣化、および白点（斑点上欠点）や白濁のよ
うな外観上の劣化が生ずるため、複層ガラスまたは合わ
せガラスにし、膜が外部に露出しないようにしなければ
ならず、複層ガラスまたは合わせガラスにするまでの保
管や取扱いにも注意を要していた。
【０００９】耐湿性を改善する方法としては酸化亜鉛に
アルミニウム等の元素を添加し、酸化亜鉛膜の内部応力
を低減する方法が提案されているが（特開平４−３５７
０２５）、この方法でも白濁や斑点状欠点の発生は完全
には抑えられなかった。
アルミニウム等の元素を添加し、酸化亜鉛膜の内部応力
を低減する方法が提案されているが（特開平４−３５７
０２５）、この方法でも白濁や斑点状欠点の発生は完全
には抑えられなかった。
【００１０】本発明は、前述の問題点を解決すべくなさ
れたものであり、耐湿性が改善された銀を用いたソーラ
ーコントロールガラスやＬｏｗ−Ｅガラスを提供する。
れたものであり、耐湿性が改善された銀を用いたソーラ
ーコントロールガラスやＬｏｗ−Ｅガラスを提供する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基体上
に、透明酸化物層と金属層とが交互に積層され、最外層
に透明酸化物層が形成された機能性物品において、最外
層の透明酸化物層と最外層から数えて１番目の金属層と
の間に、少なくとも１層の透明窒化物層が形成されたこ
とを特徴とする機能性物品を提供する。
に、透明酸化物層と金属層とが交互に積層され、最外層
に透明酸化物層が形成された機能性物品において、最外
層の透明酸化物層と最外層から数えて１番目の金属層と
の間に、少なくとも１層の透明窒化物層が形成されたこ
とを特徴とする機能性物品を提供する。
【００１２】本発明はまた、透明基体上に、透明酸化物
層と金属層とが交互に積層され、最外層に透明酸化物層
が形成された機能性物品において、最外層の透明酸化物
層と最外層から数えて１番目の金属層との間に、少なく
とも１層の透明窒化物層が形成され、かつ、該透明窒化
物層と金属層との間に、該金属層とは別種の金属からな
る層が形成されたことを特徴とする機能性物品を提供す
る。
層と金属層とが交互に積層され、最外層に透明酸化物層
が形成された機能性物品において、最外層の透明酸化物
層と最外層から数えて１番目の金属層との間に、少なく
とも１層の透明窒化物層が形成され、かつ、該透明窒化
物層と金属層との間に、該金属層とは別種の金属からな
る層が形成されたことを特徴とする機能性物品を提供す
る。
【００１３】本発明は、最外層の透明酸化物層と最外層
から数えて１番目の金属との間に少なくとも１層の透明
窒化物層を挟み、金属への水の侵入を防ぐことを主眼と
している。
から数えて１番目の金属との間に少なくとも１層の透明
窒化物層を挟み、金属への水の侵入を防ぐことを主眼と
している。
【００１４】本発明者は白濁、白色斑点発生のメカニズ
ムを解析した結果、水蒸気として存在する空気中の水
が、最外層の透明酸化物層、たとえば酸化亜鉛層中のピ
ンホール等をつたわって金属層、たとえば銀層にまで達
し、金属の酸化および結晶粒径の増大を引き起こし、そ
れが内部応力が大きく界面付着力の弱い透明酸化物膜に
亀裂を生じさせ、ついで界面からの透明酸化物膜の剥離
が生じ、白濁および白色斑点が発生することを見いだし
た。そこで、水バリア性の膜を最外層から数えて１番目
の金属よりも最外層側に形成すれば、金属膜への水の侵
入を低減できるので、耐湿性は向上すると考えられる。
ムを解析した結果、水蒸気として存在する空気中の水
が、最外層の透明酸化物層、たとえば酸化亜鉛層中のピ
ンホール等をつたわって金属層、たとえば銀層にまで達
し、金属の酸化および結晶粒径の増大を引き起こし、そ
れが内部応力が大きく界面付着力の弱い透明酸化物膜に
亀裂を生じさせ、ついで界面からの透明酸化物膜の剥離
が生じ、白濁および白色斑点が発生することを見いだし
た。そこで、水バリア性の膜を最外層から数えて１番目
の金属よりも最外層側に形成すれば、金属膜への水の侵
入を低減できるので、耐湿性は向上すると考えられる。
【００１５】そこで本発明者らは金属層への水の侵入を
低減させるために最外層から数えて１番目の金属層の最
外層側に様々な膜を挿入してみた。その結果、透明窒化
物層が全体の透過率を下げることなく、水の侵入を低減
させることを見いだした。
低減させるために最外層から数えて１番目の金属層の最
外層側に様々な膜を挿入してみた。その結果、透明窒化
物層が全体の透過率を下げることなく、水の侵入を低減
させることを見いだした。
【００１６】本発明において用いられる透明窒化物層と
しては、ケイ素、ホウ素およびアルミニウムからなる群
から選ばれる少なくとも１種の金属の窒化物を主成分と
するものなどを挙げられる。これらの窒化物は、それぞ
れケイ素、ホウ素、アルミニウムのターゲットを用い
て、窒素雰囲気中での反応性スパッタリング法により得
られるが、その他、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法
なども使用できる。このうち、窒化ケイ素は水のバリア
性能が特に優れており耐湿性が向上するため、特に好ま
しい。
しては、ケイ素、ホウ素およびアルミニウムからなる群
から選ばれる少なくとも１種の金属の窒化物を主成分と
するものなどを挙げられる。これらの窒化物は、それぞ
れケイ素、ホウ素、アルミニウムのターゲットを用い
て、窒素雰囲気中での反応性スパッタリング法により得
られるが、その他、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法
なども使用できる。このうち、窒化ケイ素は水のバリア
性能が特に優れており耐湿性が向上するため、特に好ま
しい。
【００１７】透明窒化物層の膜厚は特に限定されない
が、１〜３０ｎｍが好ましい。十分な耐湿性を付与する
ためには、少なくとも５ｎｍ程度必要であり、また、膜
厚の増加に応じて耐湿性が向上するが、１０ｎｍあれば
十分な耐湿性が得られる。
が、１〜３０ｎｍが好ましい。十分な耐湿性を付与する
ためには、少なくとも５ｎｍ程度必要であり、また、膜
厚の増加に応じて耐湿性が向上するが、１０ｎｍあれば
十分な耐湿性が得られる。
【００１８】本発明において用いられる透明酸化物層と
しては、亜鉛、インジウム、錫、チタン、ビスマス、タ
ンタル、アルミニウムおよびジルコニウムからなる群か
ら選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物を主成分とす
るものなどを挙げられる。
しては、亜鉛、インジウム、錫、チタン、ビスマス、タ
ンタル、アルミニウムおよびジルコニウムからなる群か
ら選ばれる少なくとも１種の金属の酸化物を主成分とす
るものなどを挙げられる。
【００１９】本発明において用いる金属層としては、銀
を主成分とするものが好適であり、金、パラジウム、ま
たは銅などと銀との合金も用い得る。その厚さとして
は、５〜１５ｎｍが適当である。
を主成分とするものが好適であり、金、パラジウム、ま
たは銅などと銀との合金も用い得る。その厚さとして
は、５〜１５ｎｍが適当である。
【００２０】通常、銀層の上にさらに酸化物層を、酸素
が含まれた雰囲気で反応性スパッタリングで積層する場
合には、雰囲気酸素により銀が酸化されてしまうことか
ら、酸化防止バリア層として、銀層の上に銀以外の金属
層（以下、バリア金属層という）を薄く成膜することが
行われている。
が含まれた雰囲気で反応性スパッタリングで積層する場
合には、雰囲気酸素により銀が酸化されてしまうことか
ら、酸化防止バリア層として、銀層の上に銀以外の金属
層（以下、バリア金属層という）を薄く成膜することが
行われている。
【００２１】上に述べた透明窒化物層の効果はこの場合
でも有効であり、最外側のバリア金属層と最外層の透明
酸化物膜との間に透明窒化物層を形成することにより、
銀層への水の侵入を低減することができる。
でも有効であり、最外側のバリア金属層と最外層の透明
酸化物膜との間に透明窒化物層を形成することにより、
銀層への水の侵入を低減することができる。
【００２２】図１〜３は本発明に係る機能性物品の一例
の断面図である。１はガラスやプラスチックなどの透明
基板、２は透明酸化物層、３は金属層、４はバリア金属
層、５は透明窒化物層である。
の断面図である。１はガラスやプラスチックなどの透明
基板、２は透明酸化物層、３は金属層、４はバリア金属
層、５は透明窒化物層である。
【００２３】金属層が複数ある場合には、金属層と透明
酸化物層との間のそれぞれに、透明窒化物層を形成する
と、耐湿性はさらに向上する。
酸化物層との間のそれぞれに、透明窒化物層を形成する
と、耐湿性はさらに向上する。
【００２４】
【作用】本発明において、最外層から数えて１番目の金
属層と最外層の透明酸化物膜との間に形成した透明窒化
物層は、金属層への水の侵入を低減することにより、ソ
ーラーコントロールガラスやＬｏｗ−Ｅガラスの耐湿性
を向上させる。
属層と最外層の透明酸化物膜との間に形成した透明窒化
物層は、金属層への水の侵入を低減することにより、ソ
ーラーコントロールガラスやＬｏｗ−Ｅガラスの耐湿性
を向上させる。
【００２５】透明窒化物層に水が接すると、水に接して
いる膜面が水中の酸素によって酸化され、一部酸化膜と
なり、この膜が水の侵入を妨ぐ働きをする。特に窒化ケ
イ素は水バリア性に優れた透明窒化物層として知られて
おり、窒化ケイ素を用いることにより、ソーラーコント
ロールガラスやＬｏｗ−Ｅガラスの耐湿性は一段と向上
する。
いる膜面が水中の酸素によって酸化され、一部酸化膜と
なり、この膜が水の侵入を妨ぐ働きをする。特に窒化ケ
イ素は水バリア性に優れた透明窒化物層として知られて
おり、窒化ケイ素を用いることにより、ソーラーコント
ロールガラスやＬｏｗ−Ｅガラスの耐湿性は一段と向上
する。
【００２６】
＜実施例１＞洗浄した厚さ２ｍｍのフロートガラス板を
スパッタリング装置内にセットし、１０ー6Ｔｏｒｒ台ま
で排気した。次にＯ2 ガスをチャンバー内に導入し、圧
力を２×１０-3Ｔｏｒｒにし、Ｚｎターゲットをターゲ
ットの電力密度５．２Ｗ／ｃｍ2 でスパッタリングして
基板上にＺｎＯ（第１層）を４０ｎｍ製膜した。
スパッタリング装置内にセットし、１０ー6Ｔｏｒｒ台ま
で排気した。次にＯ2 ガスをチャンバー内に導入し、圧
力を２×１０-3Ｔｏｒｒにし、Ｚｎターゲットをターゲ
ットの電力密度５．２Ｗ／ｃｍ2 でスパッタリングして
基板上にＺｎＯ（第１層）を４０ｎｍ製膜した。
【００２７】次にチャンバー内をＡｒのみとし、圧力を
２×１０-3Ｔｏｒｒにし、Ａｇターゲットをターゲット
の電力密度０．８Ｗ／ｃｍ2 でスパッタリングし、Ａｇ
（第２層）を１０ｎｍ製膜した。
２×１０-3Ｔｏｒｒにし、Ａｇターゲットをターゲット
の電力密度０．８Ｗ／ｃｍ2 でスパッタリングし、Ａｇ
（第２層）を１０ｎｍ製膜した。
【００２８】次に同じＡｒガスで、同圧力でバリア金属
層としてＺｎ（第３層）を電力密度２Ｗ／ｃｍ2 で２ｎ
ｍ製膜した。次にチャンバー内をＡｒとＮ2 の混合ガス
（流量比１：１）にし、圧力を２×１０-3Ｔｏｒｒに
し、アルミニウムドープのシリコンターゲットを電力密
度７．８Ｗ／ｃｍ2 でスパッタリングしてＳｉＮx を１
０ｎｍ製膜した（第４層）。最後に再び第１層と同じ条
件でＺｎＯ（第５層）を４０ｎｍ製膜した。
層としてＺｎ（第３層）を電力密度２Ｗ／ｃｍ2 で２ｎ
ｍ製膜した。次にチャンバー内をＡｒとＮ2 の混合ガス
（流量比１：１）にし、圧力を２×１０-3Ｔｏｒｒに
し、アルミニウムドープのシリコンターゲットを電力密
度７．８Ｗ／ｃｍ2 でスパッタリングしてＳｉＮx を１
０ｎｍ製膜した（第４層）。最後に再び第１層と同じ条
件でＺｎＯ（第５層）を４０ｎｍ製膜した。
【００２９】このＬｏｗ−Ｅガラスを５０℃、相対湿度
９５％の恒温恒湿槽に３週間保管した。このとき、膜面
には白色斑点、白濁は発生しなかった。
９５％の恒温恒湿槽に３週間保管した。このとき、膜面
には白色斑点、白濁は発生しなかった。
【００３０】＜比較例１＞第４層のＳｉＮx の製膜工程
を省いた他は実施例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフロ
ートガラス基板上に、基板／ＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／
Ａｇ（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＺｎＯ（４０ｎ
ｍ）の４層膜を製膜した。
を省いた他は実施例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフロ
ートガラス基板上に、基板／ＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／
Ａｇ（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＺｎＯ（４０ｎ
ｍ）の４層膜を製膜した。
【００３１】このＬｏｗ−Ｅガラスを実施例１と同じ条
件で恒温恒湿槽に保管した。その結果、膜面には径１〜
２ｍｍの白点が１０個／ｃｍ2 以上発生した。以上よ
り、比較例１の膜は実施例１の膜より耐湿性が劣ること
が判明した。
件で恒温恒湿槽に保管した。その結果、膜面には径１〜
２ｍｍの白点が１０個／ｃｍ2 以上発生した。以上よ
り、比較例１の膜は実施例１の膜より耐湿性が劣ること
が判明した。
【００３２】＜実施例２＞最外層のＺｎＯの膜厚を８０
ｎｍにした他は実施例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフ
ロートガラス基板上に、ＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／Ａｇ
（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＳｉＮx （１０ｎｍ）
／ＺｎＯ（８０ｎｍ）の５層膜を製膜した。さらに引き
続いて、同じように、Ａｇ（第６層）を１０ｎｍ、バリ
ア金属層としてＺｎ（第７層）を２ｎｍ、ＳｉＮx （第
８層）を１０ｎｍ、ＺｎＯ（第９層）を４０ｎｍ製膜し
た。
ｎｍにした他は実施例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフ
ロートガラス基板上に、ＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／Ａｇ
（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＳｉＮx （１０ｎｍ）
／ＺｎＯ（８０ｎｍ）の５層膜を製膜した。さらに引き
続いて、同じように、Ａｇ（第６層）を１０ｎｍ、バリ
ア金属層としてＺｎ（第７層）を２ｎｍ、ＳｉＮx （第
８層）を１０ｎｍ、ＺｎＯ（第９層）を４０ｎｍ製膜し
た。
【００３３】このＬｏｗ−Ｅガラスを実施例１と同じ条
件で恒温恒湿槽に保管した。このとき、膜面には白色斑
点、白濁は発生しなかった。
件で恒温恒湿槽に保管した。このとき、膜面には白色斑
点、白濁は発生しなかった。
【００３４】＜比較例２＞最外層のＺｎＯの膜厚を８０
ｎｍにした他は比較例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフ
ロートガラス基板上にＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／Ａｇ
（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＺｎＯ（８０ｎｍ）の
４層膜を製膜した。さらに引き続いて、同じように、Ａ
ｇ（第５層）を１０ｎｍ、バリア金属層Ｚｎ（第６層）
を２ｎｍ、ＺｎＯ（第７層）を４０ｎｍ製膜した。
ｎｍにした他は比較例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフ
ロートガラス基板上にＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／Ａｇ
（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＺｎＯ（８０ｎｍ）の
４層膜を製膜した。さらに引き続いて、同じように、Ａ
ｇ（第５層）を１０ｎｍ、バリア金属層Ｚｎ（第６層）
を２ｎｍ、ＺｎＯ（第７層）を４０ｎｍ製膜した。
【００３５】このＬｏｗ−Ｅガラスを実施例１と同じ条
件で恒温恒湿槽に保管した。このとき、径０．５〜１ｍ
ｍの白色斑点が５個／ｃｍ2 程度発生した。以上より、
比較例２の膜は実施例２の膜より耐湿性が劣ることが判
明した。
件で恒温恒湿槽に保管した。このとき、径０．５〜１ｍ
ｍの白色斑点が５個／ｃｍ2 程度発生した。以上より、
比較例２の膜は実施例２の膜より耐湿性が劣ることが判
明した。
【００３６】＜実施例３＞最外層のＺｎＯの膜厚を２０
ｎｍにした他は比較例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフ
ロートガラス基板上に、ＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／Ａｇ
（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＺｎＯ（２０ｎｍ）の
４層膜を成膜した。さらに引き続いてＳｉＮx を５ｎ
ｍ、ＺｎＯを２０ｎｍ成膜した。
ｎｍにした他は比較例１と同じ方法で、厚さ２ｍｍのフ
ロートガラス基板上に、ＺｎＯ（膜厚４０ｎｍ）／Ａｇ
（１０ｎｍ）／Ｚｎ（２ｎｍ）／ＺｎＯ（２０ｎｍ）の
４層膜を成膜した。さらに引き続いてＳｉＮx を５ｎ
ｍ、ＺｎＯを２０ｎｍ成膜した。
【００３７】このＬｏｗ−Ｅガラスを実施例１と同じ条
件で恒温恒湿槽に保管した。このとき、白濁、白色斑点
は発生しなかった。以上より、実施例３の膜はＳｉＮx
を形成しなかった比較例１の膜よりも耐湿性が向上して
いることが判明した。
件で恒温恒湿槽に保管した。このとき、白濁、白色斑点
は発生しなかった。以上より、実施例３の膜はＳｉＮx
を形成しなかった比較例１の膜よりも耐湿性が向上して
いることが判明した。
【００３８】
【発明の効果】本発明のＡｇ系のソーラーコントロール
ガラスやＬｏｗ−Ｅガラスは耐湿性が向上しているた
め、保管にあたって、梱包を簡素化でき、吸湿剤等の使
用量を下げることができ、コストダウンにつながる。ま
た、本発明では透明窒化物層を用いているため、膜系全
体の透過率を下げることがない。
ガラスやＬｏｗ−Ｅガラスは耐湿性が向上しているた
め、保管にあたって、梱包を簡素化でき、吸湿剤等の使
用量を下げることができ、コストダウンにつながる。ま
た、本発明では透明窒化物層を用いているため、膜系全
体の透過率を下げることがない。
【図１】本発明の機能性物品の一例の断面図
【図２】本発明の機能性物品の他の例の断面図
【図３】本発明の機能性物品の他の例の断面図
１：透明基体 ２：透明酸化物層 ３：金属層 ４：金属層と透明酸化物層との間のバリア金属層 ５：透明窒化物層
フロントページの続き (72)発明者 林 泰夫 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地 旭硝子株式会社中央研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】透明基体上に、透明酸化物層と金属層とが
交互に積層され、最外層に透明酸化物層が形成された機
能性物品において、最上層の透明酸化物層と最外層から
数えて１番目の金属層との間に、少なくとも１層の透明
窒化物層が形成されたことを特徴とする機能性物品。 - 【請求項２】透明基体上に、透明酸化物層と金属層とが
交互に積層され、最外層に透明酸化物層が形成された機
能性物品において、最外層の透明酸化物層と最外層から
数えて１番目の金属層との間に、少なくとも１層の透明
窒化物層が形成され、かつ、該透明窒化物層と金属層と
の間に、該金属層とは別種の金属からなる層が形成され
たことを特徴とする機能性物品。 - 【請求項３】前記透明窒化物層の主成分がケイ素、ホウ
素およびアルミニウムからなる群から選ばれる少なくと
も１種の金属の窒化物であることを特徴とする請求項１
または２の機能性物品。 - 【請求項４】前記透明窒化物層の厚さが１〜３０ｎｍで
あることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項の機能
性物品。 - 【請求項５】前記金属層は、厚さが５〜１５ｎｍであ
り、かつ、銀を主成分とすることを特徴とする請求項１
〜４いずれか１項の機能性物品。 - 【請求項６】前記透明酸化物層は、亜鉛、インジウム、
錫、チタン、ビスマス、タンタル、アルミニウムおよび
ジルコニウムからなる群から選ばれる少なくとも１種の
金属の酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項１
〜５いずれか１項の機能性物品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12236994A JPH07330381A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 機能性物品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12236994A JPH07330381A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 機能性物品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07330381A true JPH07330381A (ja) | 1995-12-19 |
Family
ID=14834160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12236994A Pending JPH07330381A (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 機能性物品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07330381A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002173343A (ja) * | 2001-09-25 | 2002-06-21 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 低放射率透明積層体の製造方法 |
| JP2007527328A (ja) * | 2003-06-26 | 2007-09-27 | サン−ゴバン グラス フランス | 機械的抵抗性を有する被膜を含んでなる透明基板 |
-
1994
- 1994-06-03 JP JP12236994A patent/JPH07330381A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002173343A (ja) * | 2001-09-25 | 2002-06-21 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 低放射率透明積層体の製造方法 |
| JP4733880B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2011-07-27 | 日本板硝子株式会社 | 低放射率透明積層体の製造方法 |
| JP2007527328A (ja) * | 2003-06-26 | 2007-09-27 | サン−ゴバン グラス フランス | 機械的抵抗性を有する被膜を含んでなる透明基板 |
| JP2012153599A (ja) * | 2003-06-26 | 2012-08-16 | Saint-Gobain Glass France | 機械的抵抗性を有する被膜を含んでなる透明基板 |
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