JPH07329188A - 光造形ファブリケ−ション法及びこれを利用した金属構造体の製造方法 - Google Patents
光造形ファブリケ−ション法及びこれを利用した金属構造体の製造方法Info
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- JPH07329188A JPH07329188A JP6129297A JP12929794A JPH07329188A JP H07329188 A JPH07329188 A JP H07329188A JP 6129297 A JP6129297 A JP 6129297A JP 12929794 A JP12929794 A JP 12929794A JP H07329188 A JPH07329188 A JP H07329188A
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- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
- B29C64/10—Processes of additive manufacturing
- B29C64/106—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
- B29C64/124—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified
- B29C64/129—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified characterised by the energy source therefor, e.g. by global irradiation combined with a mask
- B29C64/135—Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified characterised by the energy source therefor, e.g. by global irradiation combined with a mask the energy source being concentrated, e.g. scanning lasers or focused light sources
Abstract
(57)【要約】
【目的】光造形ファブリケ−ションによって光硬化性樹
脂よりなる立体的な３次元構造物を製造する方法に関
し、特に精度として１μｍ程度、原理的にはより微細な
精度を有する立体的な３次元構造物を光造形ファブリケ
−ション法によって製造する３次元構造物を製造する光
造形ファブリケ−ション法に関する。 【構成】液状の光硬化性樹脂を用い光造形法により３次
元構造物を製造する光造形ファブリケ−ション法におい
て、透明な板で規制された前記液状の光硬化性樹脂の液
面に気泡を介して光を照射し、または／及び前記液状の
光硬化性樹脂中に光透過度調整剤を添加して光の樹脂中
への透過度を調整することを特徴とする光造形ファブリ
ケ−ション法である。
脂よりなる立体的な３次元構造物を製造する方法に関
し、特に精度として１μｍ程度、原理的にはより微細な
精度を有する立体的な３次元構造物を光造形ファブリケ
−ション法によって製造する３次元構造物を製造する光
造形ファブリケ−ション法に関する。 【構成】液状の光硬化性樹脂を用い光造形法により３次
元構造物を製造する光造形ファブリケ−ション法におい
て、透明な板で規制された前記液状の光硬化性樹脂の液
面に気泡を介して光を照射し、または／及び前記液状の
光硬化性樹脂中に光透過度調整剤を添加して光の樹脂中
への透過度を調整することを特徴とする光造形ファブリ
ケ−ション法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光造形ファブリケ−シ
ョンによって光硬化性樹脂よりなる立体的な３次元構造
物を製造する方法に関し、特に精度として１μｍ程度、
原理的にはより微細な精度を有する立体的な３次元構造
物を光造形ファブリケ−ション法によって製造する光造
形ファブリケ−ション法に関し、更に、この方法によっ
て得られた３次元構造物を型として金属構造体を製造す
る方法に関する。
ョンによって光硬化性樹脂よりなる立体的な３次元構造
物を製造する方法に関し、特に精度として１μｍ程度、
原理的にはより微細な精度を有する立体的な３次元構造
物を光造形ファブリケ−ション法によって製造する光造
形ファブリケ−ション法に関し、更に、この方法によっ
て得られた３次元構造物を型として金属構造体を製造す
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光造形法はＣＡＤシステムによって所望
の立体形状を設計したデ−タをコンピュ−タで高さ方向
に等間隔の水平面で切断してスライス図形のデ−タ群を
作製し、他方、液状の光硬化性樹脂を満たしたタンク内
に液面よりｄの位置にテ−ブルをセットし、先に作製し
たスライス図形デ−タの中で最下端のものを取り出し、
このスライス形状に沿ってレ−ザビ−ムをガラス等の透
明な板で規制されている液面に照射して前記スライス図
形デ−タに対応した形状を有する厚さｄの平板状の樹脂
板を成形し、次にテ−ブルをｄだけ降下させ、固化した
樹脂板上に未硬化の樹脂液が厚さｄとなるように存在さ
せ、これに第２層のスライス図形デ−タの形状に沿って
レ−ザビ−ムを前述の場合と同様に液面上を走らせて固
化させ、第１層の場合と同様に第２層のスライス図形デ
−タに対応した形状を有する厚さｄの平板状の樹脂板を
成形する。しかして、この第２層の固化部分は第１層の
固化部分と自然に接合する。このようにして第３層、第
４層・・・・と順次同様の操作を行うことによって、全
体が固化した所望の立体形状をした成形物が得られる。
（第１図参照）。すなわち、光造形法は、このようにス
ライス図形デ−タをもとにして順次光硬化樹脂を硬化さ
せて三次元構造物を製造する方法である。
の立体形状を設計したデ−タをコンピュ−タで高さ方向
に等間隔の水平面で切断してスライス図形のデ−タ群を
作製し、他方、液状の光硬化性樹脂を満たしたタンク内
に液面よりｄの位置にテ−ブルをセットし、先に作製し
たスライス図形デ−タの中で最下端のものを取り出し、
このスライス形状に沿ってレ−ザビ−ムをガラス等の透
明な板で規制されている液面に照射して前記スライス図
形デ−タに対応した形状を有する厚さｄの平板状の樹脂
板を成形し、次にテ−ブルをｄだけ降下させ、固化した
樹脂板上に未硬化の樹脂液が厚さｄとなるように存在さ
せ、これに第２層のスライス図形デ−タの形状に沿って
レ−ザビ−ムを前述の場合と同様に液面上を走らせて固
化させ、第１層の場合と同様に第２層のスライス図形デ
−タに対応した形状を有する厚さｄの平板状の樹脂板を
成形する。しかして、この第２層の固化部分は第１層の
固化部分と自然に接合する。このようにして第３層、第
４層・・・・と順次同様の操作を行うことによって、全
体が固化した所望の立体形状をした成形物が得られる。
（第１図参照）。すなわち、光造形法は、このようにス
ライス図形デ−タをもとにして順次光硬化樹脂を硬化さ
せて三次元構造物を製造する方法である。
【０００３】ところで、光硬化性樹脂は、一般に粘度が
高いので樹脂を注入すると液面に凹凸が生じ、これらが
元の平滑な水平面に戻るためにはある程度の時間を要す
る。この時間的なロスを防止するため、通常樹脂液の液
面をガラス等の透明な規制板を使用して液面の水平面を
保ち、この規制板を通して樹脂液面に光を照射してい
る。しかし、この方法では硬化した樹脂と透明な規制板
との間の接着性が問題となり、このために得られる３次
元構造物の精度は数ｍｍ程度のものに制約される。ま
た、精度を高めるためにレ−ザビ−ムの径を小さくして
樹脂の硬化部分の径を小さくする必要がある。しかし、
レ−ザビ−ムの径を小さくすると、ビ−ムの焦点深度が
深さ方向に大となり、その結果、硬化部が長くなって、
ミクロンオ−ダの硬化精度を有する構造物を得ることは
できなかった。
高いので樹脂を注入すると液面に凹凸が生じ、これらが
元の平滑な水平面に戻るためにはある程度の時間を要す
る。この時間的なロスを防止するため、通常樹脂液の液
面をガラス等の透明な規制板を使用して液面の水平面を
保ち、この規制板を通して樹脂液面に光を照射してい
る。しかし、この方法では硬化した樹脂と透明な規制板
との間の接着性が問題となり、このために得られる３次
元構造物の精度は数ｍｍ程度のものに制約される。ま
た、精度を高めるためにレ−ザビ−ムの径を小さくして
樹脂の硬化部分の径を小さくする必要がある。しかし、
レ−ザビ−ムの径を小さくすると、ビ−ムの焦点深度が
深さ方向に大となり、その結果、硬化部が長くなって、
ミクロンオ−ダの硬化精度を有する構造物を得ることは
できなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者は上
記の欠点を改良し、上記製造方法において、３次元微細
構造物を高精度で製造するため種々検討した結果、本発
明を完成したもので、本発明の目的は高精度をもって３
次元微細構造物を光造形ファブリケ−ション法によって
製造する方法を提供するものであり、且つ、該成形物を
型として金属構造体を製造する方法を提供するものであ
る。
記の欠点を改良し、上記製造方法において、３次元微細
構造物を高精度で製造するため種々検討した結果、本発
明を完成したもので、本発明の目的は高精度をもって３
次元微細構造物を光造形ファブリケ−ション法によって
製造する方法を提供するものであり、且つ、該成形物を
型として金属構造体を製造する方法を提供するものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、液状の
光硬化性樹脂を用い光造形法により３次元構造物を製造
する光造形ファブリケ−ション法において、透明な板で
規制された前記液状の光硬化性樹脂の液面に気泡を介し
て光を照射して光硬化性樹脂を硬化させることを特徴と
する光造形ファブリケ−ション法であり（以下、第１発
明という）、また、液状の光硬化性樹脂を用い光造形法
により３次元構造物を製造する光造形ファブリケ−ショ
ン法において、前記液状の光硬化性樹脂中に光透過度調
整剤を添加して光の樹脂中への透過度を調整することを
特徴とする光造形ファブリケ−ション法である（以下第
２発明という）。そして、更に、本発明においては、上
記第１及び第２発明によって得られた光硬化性樹脂より
なる３次元構造物内に金属を鋳込んだ後、光硬化性樹脂
を溶解除去して金属構造物を製造することを特徴とする
金属構造体の製造方法（以下、第３発明という）であ
る。
光硬化性樹脂を用い光造形法により３次元構造物を製造
する光造形ファブリケ−ション法において、透明な板で
規制された前記液状の光硬化性樹脂の液面に気泡を介し
て光を照射して光硬化性樹脂を硬化させることを特徴と
する光造形ファブリケ−ション法であり（以下、第１発
明という）、また、液状の光硬化性樹脂を用い光造形法
により３次元構造物を製造する光造形ファブリケ−ショ
ン法において、前記液状の光硬化性樹脂中に光透過度調
整剤を添加して光の樹脂中への透過度を調整することを
特徴とする光造形ファブリケ−ション法である（以下第
２発明という）。そして、更に、本発明においては、上
記第１及び第２発明によって得られた光硬化性樹脂より
なる３次元構造物内に金属を鋳込んだ後、光硬化性樹脂
を溶解除去して金属構造物を製造することを特徴とする
金属構造体の製造方法（以下、第３発明という）であ
る。
【０００６】すなわち、第１発明では気泡によって樹脂
と透明規制面との間を常時分離させて樹脂と規制面との
間の接着を防止し、これによって精度を高め、また、第
２発明においては、光透過度調整剤を液状の光硬化性樹
脂中に添加し、レ−ザビ−ムの樹脂中へレ−ザビ−ムの
透過深度を制限し、レ−ザビ−ムの径に対する透過深度
の長さの比、即ちアスベクト比を１に近づけて硬化形状
を球形にして精度を高めるものである。そして、第３発
明では、このようにして得られた高精度の３次元構造物
を型として金属構造物を製造するのである。
と透明規制面との間を常時分離させて樹脂と規制面との
間の接着を防止し、これによって精度を高め、また、第
２発明においては、光透過度調整剤を液状の光硬化性樹
脂中に添加し、レ−ザビ−ムの樹脂中へレ−ザビ−ムの
透過深度を制限し、レ−ザビ−ムの径に対する透過深度
の長さの比、即ちアスベクト比を１に近づけて硬化形状
を球形にして精度を高めるものである。そして、第３発
明では、このようにして得られた高精度の３次元構造物
を型として金属構造物を製造するのである。
【０００７】以下本発明について詳細に述べる。本発明
の光造形ファブリケ−ション法は、先に述べた光造形法
と、その操作は何等異ならない。そして、本発明で使用
する光硬化性樹脂についても光造形法で使用されるもの
は何れも使用することができ、例えば、ポリエステルア
クリレ−ト、ポリウレタンアクリレ−ト、ノボラック型
エポキシ樹脂、ビスフェノ−ル型エポキシ樹脂等で、こ
れにアセトフェノン系、ベンゾイル系、ベンジルケタ−
ル系或いはケトン系の光開始剤を添加したものである。
の光造形ファブリケ−ション法は、先に述べた光造形法
と、その操作は何等異ならない。そして、本発明で使用
する光硬化性樹脂についても光造形法で使用されるもの
は何れも使用することができ、例えば、ポリエステルア
クリレ−ト、ポリウレタンアクリレ−ト、ノボラック型
エポキシ樹脂、ビスフェノ−ル型エポキシ樹脂等で、こ
れにアセトフェノン系、ベンゾイル系、ベンジルケタ−
ル系或いはケトン系の光開始剤を添加したものである。
【０００８】また、照射に使用する光としては、Ｈｅ−
Ｃｄレ−ザ、アルゴンレ−ザ、クリプトンレ−ザ等の紫
外線レ−ザや、キセノンランプ、水銀ランプ等の紫外線
ランプ等である。ＣＡＤシステム上で設計した数値モデ
ルをコンピュ−タで高さ方向に等間隔の水平面で切断し
てスライス図形（断面図形）のデ−タを作成するに際し
てスライスの間隔が細かい程、表面形状が細かく好まし
いが、通常、１μｍ〜５μｍの範囲に設定して行なう。
また、液面を規制する透明な規制板は従来よりこの種の
光造形法において使用されているものであれば良い。
Ｃｄレ−ザ、アルゴンレ−ザ、クリプトンレ−ザ等の紫
外線レ−ザや、キセノンランプ、水銀ランプ等の紫外線
ランプ等である。ＣＡＤシステム上で設計した数値モデ
ルをコンピュ−タで高さ方向に等間隔の水平面で切断し
てスライス図形（断面図形）のデ−タを作成するに際し
てスライスの間隔が細かい程、表面形状が細かく好まし
いが、通常、１μｍ〜５μｍの範囲に設定して行なう。
また、液面を規制する透明な規制板は従来よりこの種の
光造形法において使用されているものであれば良い。
【０００９】第１発明においては、気泡を介して光を照
射するのであるが、気泡の大きさ等は単に透明な規制板
と硬化された樹脂とが接着しなければどのような寸法で
も良く、通常径が１ｍｍ以下のものが好ましく、また、
気泡が先端部より移動しないように光源の鏡胴先端部が
凹状に形成されていることが好ましい。第２発明におけ
る透過度を調整する手段としては光吸収剤或いは染料等
を添加すればよく、具体的にはアクリル系染料等が挙げ
られる。
射するのであるが、気泡の大きさ等は単に透明な規制板
と硬化された樹脂とが接着しなければどのような寸法で
も良く、通常径が１ｍｍ以下のものが好ましく、また、
気泡が先端部より移動しないように光源の鏡胴先端部が
凹状に形成されていることが好ましい。第２発明におけ
る透過度を調整する手段としては光吸収剤或いは染料等
を添加すればよく、具体的にはアクリル系染料等が挙げ
られる。
【００１０】本発明を図面をもって説明する。図１は光
造形方法の説明図である。図において液状樹脂液１を入
れた容器２をＸＹステ−ジ３上に載置する。樹脂液内に
は液面規制板４が置かれ、その液面を平らにする。ＸＹ
ステ−ジ３はＣＡＤシステムデ−タによって制御用コン
ピュ−タを作動し、これにより左右前後に移動し、また
規制板４はＺ軸ステ−ジ３’によって上下に移動でき、
この上下移動は制御用コンピュ−タ９によってコントロ
−ルされる。この樹脂面の上方に光源５が固定されてお
り、光源５の光はシャッタ−６及び集光レンズ７を通し
て樹脂の表面に集光される。あるＣＡＤシステムより得
られたスライス第１層のデ−タを制御用コンピュ−タに
よってＸＹステ−ジ制御、シャッタ−制御及び２軸ステ
−ジ制御によって第１層のデ−タにもとづいた形状の硬
化樹脂板を得る。続いて第２層……と順次それぞれの樹
脂板を得て最終的に全体像のものを創製する。
造形方法の説明図である。図において液状樹脂液１を入
れた容器２をＸＹステ−ジ３上に載置する。樹脂液内に
は液面規制板４が置かれ、その液面を平らにする。ＸＹ
ステ−ジ３はＣＡＤシステムデ−タによって制御用コン
ピュ−タを作動し、これにより左右前後に移動し、また
規制板４はＺ軸ステ−ジ３’によって上下に移動でき、
この上下移動は制御用コンピュ−タ９によってコントロ
−ルされる。この樹脂面の上方に光源５が固定されてお
り、光源５の光はシャッタ−６及び集光レンズ７を通し
て樹脂の表面に集光される。あるＣＡＤシステムより得
られたスライス第１層のデ−タを制御用コンピュ−タに
よってＸＹステ−ジ制御、シャッタ−制御及び２軸ステ
−ジ制御によって第１層のデ−タにもとづいた形状の硬
化樹脂板を得る。続いて第２層……と順次それぞれの樹
脂板を得て最終的に全体像のものを創製する。
【００１１】このような装置において、第１発明では気
泡を介して光を照射するのであるが、その状態を図２に
示す。図２において、光束は集光レンズ７を通り、透明
規制板４の中央に設けて凹状部内にある気泡８を介して
集光させて樹脂を硬化させる。本発明の方法によって得
られた光硬化樹脂よりなる成形物を鋳型とし、これに電
鋳により金属を埋込んだ後、樹脂を除去することによっ
て、微細な金属成形物が得られる。
泡を介して光を照射するのであるが、その状態を図２に
示す。図２において、光束は集光レンズ７を通り、透明
規制板４の中央に設けて凹状部内にある気泡８を介して
集光させて樹脂を硬化させる。本発明の方法によって得
られた光硬化樹脂よりなる成形物を鋳型とし、これに電
鋳により金属を埋込んだ後、樹脂を除去することによっ
て、微細な金属成形物が得られる。
【００１２】
【実施例】次に実施例をもって、更に具体的に本発明を
説明する。 実施例１ 図１において、透明規制板の中央に図２に示すような凹
状部を設け、この中に気泡８を存在させた装置を用い
て、レ−ザビ−ムを集光して樹脂を硬化して３次元構造
物を成形した。光硬化性樹脂としては、アクリル系樹脂
を使用し、これに光透過度調整剤としてアクリル系染料
を添加して光透過度を調整してアスペクト比（入射光の
焦点深度／入射光の径）を１０とした。得られた３次元
構造物の寸法は１００×１００×１００μｍで作成に要
した時間は約１時間程度であった。
説明する。 実施例１ 図１において、透明規制板の中央に図２に示すような凹
状部を設け、この中に気泡８を存在させた装置を用い
て、レ−ザビ−ムを集光して樹脂を硬化して３次元構造
物を成形した。光硬化性樹脂としては、アクリル系樹脂
を使用し、これに光透過度調整剤としてアクリル系染料
を添加して光透過度を調整してアスペクト比（入射光の
焦点深度／入射光の径）を１０とした。得られた３次元
構造物の寸法は１００×１００×１００μｍで作成に要
した時間は約１時間程度であった。
【００１３】
【発明の効果】本願発明の方法によって得られる成形物
の精度は極めて高く、微細のものであり、従来、この種
の物の成形法であるシリコンプロセス、異方性エッチン
グ、放電加工、ＬＩＧＡプロセス、レ−ザＣＶＤ法等に
比して次のような長所を有する。 １．完全な３次元構造の実現が可能である。 ２．高精度の物が得やすい。 ３．高アスペクト比のものを製造することができる。 ４．高速生産性、量産性を有する。 ５．装置が簡単で低コシトで作成できる。 ６．ランニングコストも低い。 ７．有毒ガスや爆発性ガスは一切使用しないので安全性
が高い。 ８．省スペ−ス ９．金属等樹脂以外の素材でも容易に転写可能である。
の精度は極めて高く、微細のものであり、従来、この種
の物の成形法であるシリコンプロセス、異方性エッチン
グ、放電加工、ＬＩＧＡプロセス、レ−ザＣＶＤ法等に
比して次のような長所を有する。 １．完全な３次元構造の実現が可能である。 ２．高精度の物が得やすい。 ３．高アスペクト比のものを製造することができる。 ４．高速生産性、量産性を有する。 ５．装置が簡単で低コシトで作成できる。 ６．ランニングコストも低い。 ７．有毒ガスや爆発性ガスは一切使用しないので安全性
が高い。 ８．省スペ−ス ９．金属等樹脂以外の素材でも容易に転写可能である。
【図１】光造形ファブリケ−ション法の説明図
【図２】本発明にかかる光造形ファブリケ−ション法に
おける集光部分の拡大説明図
おける集光部分の拡大説明図
１ 液状光硬化性樹脂液 ２ 容器 ３
ＸＹステ−ジ ３’ Ｚ軸ステ−ジ ４ 透明規制板 ５
光源 ６ シャッタ− ７ 集光レンズ ８
気泡 ９ 制御用コンピュ−タ−
ＸＹステ−ジ ３’ Ｚ軸ステ−ジ ４ 透明規制板 ５
光源 ６ シャッタ− ７ 集光レンズ ８
気泡 ９ 制御用コンピュ−タ−
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｃ 33/38 8823−4Ｆ 33/52 8823−4Ｆ 35/08 8927−4Ｆ Ｇ０６Ｆ 17/50 // Ｂ２９Ｋ 101:10 105:32 Ｃ０８Ｌ 33:00
Claims (3)
- 【請求項１】 液状の光硬化性樹脂を用い光造形法によ
り３次元構造物を製造する光造形ファブリケ−ション法
において、透明な板で規制された前記液状の光硬化性樹
脂の液面に気泡を介して光を照射して光硬化性樹脂を硬
化させることを特徴とする光造形ファブリケ−ション
法。 - 【請求項２】 液状の光硬化性樹脂を用い光造形法によ
り３次元構造物を製造する光造形ファブリケ−ション法
において、前記液状の光硬化性樹脂中に光透過度調整剤
を添加して光の樹脂中への透過度を調整することを特徴
とする光造形ファブリケ−ション法。 - 【請求項３】 請求項１または／及び２の方法によって
得られた光硬化性樹脂よりなる３次元構造物内に金属を
鋳込んだ後、光硬化性樹脂を溶解除去して金属性構造物
を製造することを特徴とする金属構造体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12929794A JP3579798B2 (ja) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | 光造形ファブリケーション法及びこれを利用した金属構造体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12929794A JP3579798B2 (ja) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | 光造形ファブリケーション法及びこれを利用した金属構造体の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004166725A Division JP4034758B2 (ja) | 2004-06-04 | 2004-06-04 | 光造形ファブリケーション法を利用した金属構造体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07329188A true JPH07329188A (ja) | 1995-12-19 |
| JP3579798B2 JP3579798B2 (ja) | 2004-10-20 |
Family
ID=15006094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12929794A Expired - Fee Related JP3579798B2 (ja) | 1994-06-10 | 1994-06-10 | 光造形ファブリケーション法及びこれを利用した金属構造体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3579798B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6245249B1 (en) | 1997-05-01 | 2001-06-12 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Micro-structure and manufacturing method and apparatus |
| JP2006035602A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Yokohama National Univ | 微小構造体の製造方法 |
| CN106378939A (zh) * | 2015-08-07 | 2017-02-08 | 优克材料科技股份有限公司 | 三维打印装置 |
| CH711890A1 (de) * | 2015-12-04 | 2017-06-15 | Coobx Ag | Additive Fertigungsvorrichtung. |
| US20220048254A1 (en) * | 2018-12-10 | 2022-02-17 | Bmf Precision Technology (Wuxi) Inc. | Methods of controlling dimensions in projection micro stereolithography |
-
1994
- 1994-06-10 JP JP12929794A patent/JP3579798B2/ja not_active Expired - Fee Related
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