JPH07322005A - 画像入出力素子及び画像入出力装置 - Google Patents

画像入出力素子及び画像入出力装置

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JPH07322005A
JPH07322005A JP13387594A JP13387594A JPH07322005A JP H07322005 A JPH07322005 A JP H07322005A JP 13387594 A JP13387594 A JP 13387594A JP 13387594 A JP13387594 A JP 13387594A JP H07322005 A JPH07322005 A JP H07322005A
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滋 山本
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 画像入出力素子において、構造を簡易にして
小型化及び軽量化を図るとともに、製造プロセスを簡略
化して歩留りの向上を図る。 【構成】 画像入出力素子において、同一基板(回路基
板10)上に形成された表示素子(液晶セル1)及び光
電変換素子(フォトダイオード2)と、スキャンライン
102の信号の印加によりオン・オフ制御される第1の
スイッチング素子(TFT4)によりデータライン10
1の信号に応じた電圧を維持する補助容量3と、該補助
容量3端の電圧により前記表示素子の動作を制御する第
2のスイッチング素子(TFT5)と、入出力切り替え
信号の印加によりオン・オフ制御し前記光電変換素子に
発生する電荷を前記補助容量に蓄積させる第3のスイッ
チング素子(TFT6)と、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、原稿上の画像を読み取
る画像読取部と、画像の表示を行う画像表示部とを備え
る画像入出力素子及びこの素子を使用した画像入出力装
置に係り、特に、同一基板上に画像入力部及び画像表示
部を一体的に形成して、装置の小型及び軽量化を図る構
造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、画像入出力装置としては、例えば
特開平5−100645号公報に示されるように、ディ
スプレイ部とスキャナ部とを表裏に一体的に形成した装
置が提案されている。前記スキャナ部は、リニアイメー
ジセンサを用いて機械的走査を行なうことにより画像情
報を読み取るようになっている。ディスプレイ部は、液
晶表示装置(LCD)や、エレクトロルミネッセンス表
示装置(ELD)等の平面表示装置(特開平4−558
19号公報参照)で構成されている。上記画像入出力装
置によれば、スキャナ部若しくは外部からの画像情報を
ディスプレイ部上に表示することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の画像入出力装置のスキャナ部は、リニアイメージセ
ンサを用いて機械的走査を行なうことにより画像情報を
読み取るので、駆動系を必要として装置全体が大型化す
るという問題点があった。また、小型化を図るため機械
的走査を行う駆動系を使用しない場合においては、手動
で装置を原稿面上を移動させる必要があり、移動速度と
方向を正確に操作しなければならず、画像を正確に読み
取ることが困難であった。一方、別個の基板上にそれぞ
れ形成された2次元イメージセンサと液晶ディスプレイ
とを使用して画像入出力装置とすることも考えられる
が、2次元イメージセンサで読み取った画像を液晶ディ
スプレイで表示するには、2次元イメージセンサと液晶
ディスプレイとの間にメモリ部や制御部を必要として構
造が複雑になり、重量が増加する。また、2次元イメー
ジセンサの基板と液晶ディスプレイの基板とを貼り合せ
る工程が必要となる。
【0004】本発明は上記実情に鑑みてなされたもの
で、構造を簡易にして小型化及び軽量化を図ることがで
きる画像入出力素子及びこの素子を使用した画像入出力
装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するため請求項1記載の画像入出力素子は、同一基板
上に形成された表示素子及び光電変換素子と、スキャン
ラインの信号の印加によりオン・オフ制御される第1の
スイッチング素子によりデータラインの信号に応じた電
圧を維持する補助容量と、該補助容量端の電圧により前
記表示素子の動作を制御する第2のスイッチング素子
と、入出力切り替え信号の印加によりオン・オフ制御し
前記光電変換素子に発生する電荷を前記補助容量に蓄積
させる第3のスイッチング素子と、を具備することを特
徴としている。
【0006】請求項2の画像入出力装置は、請求項1の
画像入出力素子を一画素としてマトリクス状に配置し、
スキャン駆動回路と、データ駆動回路と、読取回路と、
を備えたことを特徴としている。スキャン駆動回路は、
各画素のスキャンラインに順次信号を印加するよう接続
される。データ駆動回路は、各画素のデータラインに画
像データを印加するよう接続される。読取回路は、各画
素のデータラインに第4のスイッチング素子を介して接
続される容量部を設け、各画素の補助容量の蓄積電荷を
スキャンライン毎に前記容量部に転送し、転送電荷を順
次時系列的に読み取るように構成されている。
【0007】
【作用】請求項1記載の画像入出力素子によれば、同一
基板上に形成された表示素子及び光電変換素子により画
像表示及び画像読取を行なうことができる。すなわち、
ディスプレイとして動作させる場合には、入出力切り替
え信号により第3のスイッチング素子をオフし、光電変
換素子の影響を受けないようにする。この状態でスキャ
ンラインの信号の印加により第1のスイッチング素子を
オンさせると、データラインの信号に応じた電圧が補助
容量で維持され、該補助容量端の電圧により第2のスイ
ッチング素子をオンさせる。表示素子に、第2のスイッ
チング素子を介して交流電源が印加されるように接続す
れば、第2のスイッチング素子のオン・オフ制御により
表示素子の明暗を切り換えることができる。
【0008】また、センサとして動作させる場合には、
入出力切り替え信号により第3のスイッチング素子を常
時オン状態とする。この状態でスキャンラインの信号の
印加を行なわないと第1のスイッチング素子がオフとな
り、光電変換素子に入射する光量に応じて光電流が流
れ、補助容量端の電圧が上昇し、この電圧により第2の
スイッチング素子がオンする。表示素子に、前記したよ
うに第2のスイッチング素子を介して交流電源が印加さ
れるように接続されていれば、第2のスイッチング素子
のオン・オフ制御により表示素子の明暗を切り換えるこ
とができる。
【0009】請求項2の画像入出力装置によれば、請求
項1の画像入出力素子を一画素としてマトリクス状に配
置し、スキャン駆動回路とデータ駆動回路とにより、各
画素のスキャンラインに順次信号を印加し、各画素のデ
ータラインに画像データを印加するようにしたので、2
次元での画像表示及び画像読取を行なうことができる。
また、各画素のスキャンラインに、各画素の補助容量の
蓄積電荷を第4のスイッチング素子を介してライン毎に
容量部に転送し、転送電荷を順次時系列的に読み取る読
取回路を接続したので、読み取った画像を画像信号とし
て出力させることができる。すなわち、請求項1記載の
画像入出力素子をセンサとして動作させる際に、スキャ
ンラインの信号の印加により第1のスイッチング素子を
オンさせると、各画素の補助容量の蓄積電荷をデータラ
インに導いて第4のスイッチング素子を介して容量部に
転送することができ、この電荷による電位を順次時系列
的に読取回路で読み取る。
【0010】
【実施例】本発明に係る画像入出力素子の一実施例につ
いて、図1を参照しながら説明する。画像入出力素子
は、液晶セル(表示素子)1,フォトダイオード2で構
成された光電変換素子,補助容量3,及び、薄膜トラン
ジスタで構成される第1のスイッチング素子(TFT)
4,第2のスイッチング素子(TFT)5,第3のスイ
ッチング素子(TFT)6から成り、それぞれを薄膜プ
ロセスで同一基板上に一体的に形成して構成されてい
る。
【0011】液晶セル1は、画素電極1aと対向電極1
bとで液晶層を挟んで構成され、画素電極1a側にはT
FT5(第2のスイッチング素子)が接続され、TFT
5の他端側はグランド線100に接続されている。液晶
セル1の対向電極1b側には、グランド線100との間
に交流電源7が接続され、前記TFT5のオン・オフ制
御により、液晶セル1の動作を制御するようになってい
る。
【0012】TFT5のゲート電極はTFT4(第1の
スイッチング素子)を介してデータライン101に接続
され、TFT4のゲート電極はスキャンライン102に
接続されている。また、TFT5のゲート電極とグラン
ド線100との間には、補助容量3が接続されている。
従って、スキャンライン102の信号の印加によりTF
T4がオン・オフ制御され、データライン101の信号
に応じた電圧が補助容量3端部に維持されるようになっ
ている。
【0013】また、フォトダイオード2のカソード側は
TFT6(第1のスイッチング素子)を介してTFT5
のゲート電極に接続され、フォトダイオード2のアノー
ド側はグランド線100に接続されている。TFT6の
ゲート電極は、入出力切り替え線103に接続され、切
り替え信号の印加によりTFT6がオン・オフ制御さ
れ、前記フォトダイオード2に発生する電荷を補助容量
3に蓄積されるようになっている。
【0014】次に、上記画像入出力素子の具体的な構造
について、図2を参照しながら説明する。図2は、画像
入出力素子における液晶セル1,フォトダイオード2,
TFT5,TFT6の断面を示している。液晶セル1
は、フォトダイオード2やTFTが形成された回路基板
10の最上部に形成された配向膜(画素電極1a)と、
ガラス基板30上に形成された配向膜(対向電極1b)
とで液晶層40を挟んで構成されている。液晶層40の
材料としてネマチック液晶のゲストホスト型の材料を用
い、TFT5がオン状態で液晶セル1に電圧が印加され
たときには白が表示される。また、TFT5がオフ状態
で液晶セル1に電圧が印加されないときには黒が表示さ
れる。
【0015】フォトダイオード2は、ITO膜から成る
透明電極16とCr膜から成る上部電極24とで、a−
Si膜から成る光電変換層20を挟んで構成されてい
る。各TFT5,6は、チャネル部を挟んでソース・ド
レイン電極14が形成された島状半導体層11と、これ
を覆うゲート絶縁層12、ゲート電極13で構成され、
フォトダイオード2の上部電極24は、TFT6のドレ
イン電極14に接続され、TFT6のソース電極14と
TFT5のゲート電極13とは配線層23を介して接続
されている。TFT5のソース・ドレイン電極14の一
方は、フォトダイオード2及びTFT5,6を遮光する
Al膜で構成される反射電極28に配線層22を介して
接続され、この反射電極28は前記配向膜(画素電極1
a)に接続されている。ソース・ドレイン電極14の他
方は、配線層17を介してグランド線に接続されてい
る。また、フォトダイオード2の上方は、ガラス基板3
0側より光が入射し、この光が回路基板10の下方に配
置される原稿50に導かれるように光入射部29が形成
されている。そして、原稿50での反射光はフォトダイ
オード2の透明電極16に導かれ、画像の濃淡に応じた
光電流が発生するようになっている。
【0016】次に、上記画像入出力素子の動作について
説明する。ディスプレイとして動作させる場合には、入
出力切り替え線103に印加される入出力切り替え信号
によりTFT6をオフし、画像入出力素子がフォトダイ
オード(光電変換素子)2の影響を受けないようにす
る。この状態でスキャンライン102に印加される信号
によりTFT4をオンさせると、データライン101の
信号に応じた電圧が補助容量3で維持され、この補助容
量3端部の電圧によりTFT5をオンさせる。液晶セル
1には、TFT5を介して交流電源7が接続されている
ので、TFT5のオン・オフにより白又は黒が表示さ
れ、表示の明暗を切り換えることができる。
【0017】また、センサとして動作させる場合には、
入出力切り替え信号によりTFT6(第3のスイッチン
グ素子)を常時オン状態とする。この状態でスキャンラ
イン102の信号の印加を行なわないとTFT4(第1
のスイッチング素子)がオフとなり、フォトダイオード
2(光電変換素子)に入射する光量に応じて光電流が流
れ、補助容量3端の電圧が上昇し、この電圧によりTF
T5(第2のスイッチング素子)がオンする。液晶セル
1には、TFT5を介して交流電源7が印加されている
ので、TFT5のオン・オフ制御により表示の明暗を切
り換えることができる。従って、上記画像入出力素子に
よれば、回路基板10上に一体的に形成された液晶セル
1及びフォトダイオード2により画像表示及び画像読取
を行なうことができる。
【0018】次に、上記画像入出力素子の回路基板側の
製造方法について、図2の断面図に対応する図3を参照
しながら説明する。ガラス等の透明基板から構成される
回路基板10上にpoly-Siを1000オングストローム
の膜厚にLCPCVD法で着膜し、エキシマレーザでア
ニール処理を行なった後、エッチングによりパターニン
グして各TFTに対応する島状半導体層11を形成する
(図3(a))。島状半導体層11を覆うようにSiO
2 膜を1000オングストロームの膜厚にLPCVD法
により着膜してゲート絶縁層12を形成する(図3(b
a))。Crを1000オングストロームの膜厚に着膜
し、エッチングによりパターニングして各TFTに対応
するゲート電極13を島状半導体層11上に形成する
(図3(c))。イオンドーピングにより島状半導体層
11に不純物を打ち込み、ソース電極・ドレイン電極1
4を形成してTFTを形成する(図3(d))。
【0019】TFT5の一方のソース・ドレイン電極1
4′上のゲート絶縁層12に、BHFでエッチングして
コンタクトホール15を形成する(図4(a))。IT
Oをスパッタ法により着膜し、フォトリソグラフィー及
びエッチングによって所定の形状にパターニングして、
フォトダイオードの下部電極となる透明電極16及びT
FT5のソース・ドレイン電極14′に接続される配線
層17を形成する(図4(b))。SiO2 を3000
オングストロームの膜厚にLCPCVD法で着膜して絶
縁層18を形成し、エッチングによりパターニングして
フォトダイオードを形成する位置にコンタクトホール1
9を形成する(図4(c))。
【0020】a−Si膜20′を1μmの膜厚に着膜し
(図5(a))、SF6 とO2 を用いた混合ガスにより
ドライエッチングしてフォトダイオードの光電変換層2
0を形成する(図5(b))。TFT5のゲート電極1
3及びソース・ドレイン電極14、TFT6のソース・
ドレイン電極14、透明電極16に接続するためのコン
タクトホール21を絶縁層18及びゲート絶縁層12の
エッチングにより形成する(図5(c))。
【0021】Crを1000オングストロームの膜厚に
スパッタリングにより着膜し、エッチングによりパター
ニングし、TFT5のソース・ドレイン電極14と液晶
セル1の配向膜1aとを接続する配線層22、TFT5
のゲート電極13とTFTの6のソース電極14とを接
続する配線層23、TFT6のドレイン電極14と接続
されるフォトダイオード2の上部電極24、透明電極1
6に接続される配線層25をそれぞれ形成する(図6
(a))。SiO2 を6000オングストロームの膜厚
に着膜して層間絶縁層26を形成し、エッチングにより
パターニングして配線層25上にコンタクトホール27
を形成する(図6(b))。Alを着膜及びパターニン
グして、配線層22を介してTFT5に接続される反射
電極28及び光入射部29を形成する(図6(c))。
全面に液晶セル1の画素電極1aとして配向膜を被覆
し、ラビング処理を行なって画像入出力素子の回路基板
側を得る(図7)。
【0022】上記製造方法によれば、回路基板10上に
画像入出力素子の画像入力及び画像表示のための回路を
一体的に構成することができるので、小型且つ軽量な構
成とすることができるとともに、実装工程の簡略化を図
ることができる。また、センサ部(画像読取)と液晶パ
ネル(画像表示)とを別個に作製する場合に比較して、
作製に必要なマスク数とプロセス数を減少させることが
でき、歩留りの向上を図ることができる。
【0023】また、上記実施例において、スイッチング
素子としてpoly−SiのTFTを用いたが、a−Siの
TFTや、Se系のTFTを使用してもよい。また、光
電変換素子としては、サンドイッチ型a−Siフォトダ
イオードを用いたが、プレーナ型、ギャップ型を使用し
てもよい。あるいは、トランジスタとフォトダイオード
とを一体化したフォトトランジスタ構造を用いてもよ
い。また、半導体材料としては、多結晶シリコン、単結
晶シリコン、Se、等の材料を使用してもよい。
【0024】上記構造の画像入出力素子を使用した画像
入出力装置について、図8を参照しながら説明する。図
1と同じ構成をとる部分については同一符号を付してい
る。この画像入出力装置は、画像入出力素子を一画素と
して回路基板上にマトリクス状に配置し、回路基板と別
の基板上にそれぞれ形成されたスキャン駆動回路200
と、データ駆動回路300と、読取回路400と、を備
えている。スキャン駆動回路200のシフトレジスタ2
01の各出力には、左右方向に配置された各画素が一の
スキャンライン102にドライバ202を介して接続さ
れ、各ドライバ202を介して各スキャンライン102
に順次信号を印加することにより、左右方向に配置され
たライン毎にTFT4がオンするようになっている。
【0025】データ駆動回路300は、シフトレジスタ
301、バッファ回路302、複数個のドライバ303
及びTFT304で構成され、画像データはバッファ回
路302に入力され、シフトレジスタ301で駆動され
ることにより各ドライバ303及びTFT304側に各
データ信号を出力するようになっている。すなわち、バ
ッファ回路302には、上下方向に配置された各画素が
一のデータライン101にドライバ303及びTFT3
04を介して接続され、TFT304がオンの時に各ド
ライバ303を介して各データライン101にデータ信
号が一括して印加されるようになっている。各TFT3
04はゲート電極に印加される信号Vsにより同時にオ
ンするように構成されている。
【0026】読取回路400は、各画素のデータライン
101にTFT401を介して接続された容量部402
と、この容量部402に蓄積された電荷による電位を順
次時系列的に読み取るアナログマルチプレクサ403と
から構成されている。前記容量部402は読み出し信号
線404を介してアンプ部405に接続され、アンプ部
405の出力側に接続されるスイッチング素子406を
切り替えることにより、容量部402による電位(デー
タラインの電位)を順次時系列的に共通信号線407に
出力する。また、読み出し信号線404にはリセット電
位Vbを印加するためのスイッチング素子408が接続
されている。容量部402の一端側には、リセット電位
Vbが常時供給されている。また、容量部402及びT
FT404は、液晶セル1やフォトダイオード2を形成
した回路基板10上に形成されている。
【0027】上記画像入出力装置によれば、画像入出力
素子を一画素としてマトリクス状に配置し、スキャン駆
動回路200とデータ駆動回路300とにより、2次元
での画像表示及び画像読取を行なうことができる。すな
わち、ディスプレイを行なう場合には、入出力切り替え
線103に印加される入出力切り替え信号(Vsが
「L」)によりTFT6をオフし、画像入出力素子がフ
ォトダイオード2の影響を受けないようにし、更にTF
T401もオフ状態とする。この状態でスキャンライン
102に各ドライバより印加される信号により左右方向
に配設された各TFT4をオンさせると、データ駆動回
路300の各TFT304のゲート電極にVs2を印加
して一括してオン動作することにより各データライン1
01にドライバ303を介して画像データが印加され、
データライン101の信号に応じた電圧が補助容量3で
維持され、この補助容量3端部の電圧によりTFT5を
オンさせる。液晶セル1には、TFT5を介して交流電
源7が接続されているので、TFT5のオン・オフによ
り白又は黒が表示され、表示の明暗を切り換えることが
できる。
【0028】また、センサとして動作させる場合には、
入出力切り替え信号(Vsが「H」)によりTFT6
を、Vs3の印加により読取回路400のTFT401
をそれぞれ常時オン状態とし、データ駆動回路300の
TFT304はオフ状態となっている。この状態でスキ
ャンライン102の信号の印加を行なわないとTFT4
がオフとなり、フォトダイオード2に入射する光量に応
じて光電流が流れ、補助容量3端の電圧が上昇し、この
電圧によりTFT5がオンする。液晶セル1には、TF
T5を介して交流電源7が印加されているので、TFT
5のオン・オフ制御により表示の明暗を切り換えること
ができ、読取画像を直ちに表示することができる。
【0029】そして、読取画像を信号として読み取る場
合には、スキャンライン102に各ドライバ202より
印加される信号により左右方向に配設された各TFT4
をオンさせ、スキャンライン202毎に各画素の補助容
量3に蓄積された電荷をオン状態となっているTFT4
01を介して容量部402に転送する。そして、転送電
荷による容量部402の電位をスイッチング素子406
の切り替えにより順次時系列的に出力信号線407に抽
出することにより、画像信号として出力させることがで
きる。画像信号の読み取り後、スイッチング素子408
をオンさせてデータライン101の電位を正バイアス電
位にリセットし、次のフレームでの読み取りにそなえ
る。
【0030】上記実施例においては、スキャン駆動回路
200、データ駆動回路300、読取回路400のアナ
ログマルチプレクサ403をそれぞれ回路基板10とは
別の基板に形成したが、薄膜トランジスタを用いて回路
基板上に一体的に形成すれば、更なる小型化を図ること
ができる。
【0031】
【発明の効果】本発明によれば、画像入出力素子及び画
像入出力装置において、同一基板上に読取部及び表示部
を一体的に形成可能とすることにより、構造を簡易にし
て小型化及び軽量化を図るとともに、製造プロセスを簡
略化して歩留りの向上を図ることができ、信頼性の向上
を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る画像入出力素子の等
価回路図である。
【図2】 実施例に係る画像入出力素子の断面説明図で
ある。
【図3】 (a)ないし(d)は、画像入出力素子の製
造方法の一部を示す断面説明図である。
【図4】 (a)ないし(c)は、画像入出力素子の製
造方法の一部を示す断面説明図である。
【図5】 (a)ないし(c)は、画像入出力素子の製
造方法の一部を示す断面説明図である。
【図6】 (a)ないし(c)は、画像入出力素子の製
造方法の一部を示す断面説明図である。
【図7】 画像入出力素子の製造方法の一部を示す断面
説明図である。
【図8】 本発明の画像入出力素子を使用した画像入出
力装置の実施例を示す等価回路図である。
【符号の説明】 1…液晶セル、 2…フォトダイオード、 3…補助容
量、 4…TFT(第1のスイッチング素子)、 5…
TFT(第2のスイッチング素子)、 6…TFT(第
3のスイッチング素子)、 7…交流電源、 10…回
路基板、 30…ガラス基板、 40…液晶層、 10
0…グランド線、 101…データライン、 102…
スキャンライン、 200…スキャン駆動回路、 20
1…シフトレジスタ、 300…データ駆動回路、 4
00…読取回路、 401…TFT(第4のスイッチン
グ素子)、 402…容量部、 403…アナログマル
チプレクサ、 407…出力信号線

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同一基板上に形成された表示素子及び光
    電変換素子と、 スキャンラインの信号の印加によりオン・オフ制御され
    る第1のスイッチング素子によりデータラインの信号に
    応じた電圧を維持する補助容量と、 該補助容量端の電圧により前記表示素子の動作を制御す
    る第2のスイッチング素子と、 入出力切り替え信号の印加によりオン・オフ制御し前記
    光電変換素子に発生する電荷を前記補助容量に蓄積させ
    る第3のスイッチング素子と、を具備することを特徴と
    する画像入出力素子。
  2. 【請求項2】 請求項1の画像入出力素子を一画素とし
    てマトリクス状に複数個配置し、 各画素のスキャンラインに順次信号を印加するスキャン
    駆動回路と、 各画素のデータラインに画像データを印加するデータ駆
    動回路と、 各画素のデータラインに第4のスイッチング素子を介し
    て接続される容量部を設け、各画素の補助容量の蓄積電
    荷をスキャンライン毎に前記容量部に転送し、転送電荷
    を順次時系列的に読み取る読取回路と、を備えたことを
    特徴とする画像入出力装置。
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