JPH07321450A - 保護膜剥離方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】基板上の保護膜をむら無く除去できるようにす
る。 【構成】基板Ｐを截置する治具１と、基板Ｐの部品搭載
面に剥離液８を噴射するシャワーノズル６と、シャワー
ノズル６と治具１とを相対的に移動させる手段を設け
た。移動させる手段として、往復台４は治具１を直線往
復運動させ、回転台２は治具１を回転運動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、部品を搭載しその上に
保護膜を形成した基板から保護膜を剥離する方法および
装置に関し、特に、シャワーノズルによって剥離液を噴
き付けて保護膜を剥離、除去する保護膜剥離方法および
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、たとえばセラミック製のプリ
ント基板にＩＣチップ等の部品を実装し、その部品の保
護や放熱効果を高めるために、シリコン樹脂等からなる
保護膜で基板および部品を被覆することが行われてい
る。その場合、部品交換のためにはそのシリコン保護膜
を剥離する必要があり、その剥離のために用いられるの
が保護膜剥離装置である。

【０００３】従来の保護膜剥離装置は図５に示すように
プリント基板を固定する治具１１と、複数の治具が取付
可能な往復台１４と往復台１４を往復させる駆動部１５
と、プリント基板（図示せず）の上方からプリント基板
に剥離液を噴射する複数のシャワーノズル１６と、剥離
液１８をシャワーノズル１６に圧送する液送部１７と、
剥離液１８を回収、貯蔵する槽１９とを有している。

【０００４】シリコン樹脂を剥離するときは、予め剥離
液にプリント基板を浸漬、膨潤させた後、治具１１に固
定し、その治具１１を往復台１４に取り付ける。往復台
１４は、剥離液１８を噴射するシャワーノズル１６の下
を往復移動する。プリント基板上のシリコン樹脂は、シ
ャワーノズル１６の下を往復する間に噴射された剥離液
により徐々に剥離、除去される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この従来の保護膜剥離
装置ではプリント基板が往復運動のみであることから基
板全面が均一にシャワーされず剥離むらが生じるという
問題があった。本発明は以上の点にかんがみてなされた
もので、基板上の保護膜をむら無く除去できるようにす
ることを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、シャワーノズルから剥離液を基
板に噴き付けて基板上の保護膜を剥離する方法におい
て、シャワーノズルと基板とを少なくとも２方向に相対
移動させながら剥離液を噴射させるようにした。

【０００７】

【作用】シャワーノズルと基板とを少なくとも２方向に
相対移動させながら剥離液を噴射させるので、基板の各
箇所にむら無く剥離液が噴きかけられることになる。

【０００８】

【実施例】次に本発明について図を参照して説明する。
図１ないし図３は本発明の一実施例を示す斜視図、図４
は概略側面図である。本実施例の装置は、噴射された剥
離液８を回収、貯蔵する槽９と、槽９内に配置された往
復台４と、往復台４上に配置された回転台２と、往復台
４の下方に配置されたシャワーノズル６とを備えてい
る。

【０００９】往復台４は、２本のガイド棒４１に摺動自
在に取り付けられ、ガイド棒４１は槽９の側板に固定さ
れている。往復台４の一端部はガイドラック４２の一端
に連結され、ガイドラック４２の他端部は槽９の外へ延
び、ギアボックス４３を介してモータ５に連結されてい
る。

【００１０】回転台２は円板状に形成され、回転自在に
往復台４上に取り付けられている。回転台２上には複数
の治具１を治具固定爪２１によって固定することができ
る（図２）。治具１は基板Ｐを截置する截置台として機
能する。治具１の中央部は開口１２が形成され、開口１
０の縁部に２個の基板押え１３が設けられている（図
３）。回転台２の周部にはギアが形成され、回転台２
は、歯車２２，２３，２４、シャフト２５、ギアボック
ス２６を介してモータ３によって回転される。以上の回
転駆動機構は、往復台４が移動するときはそれとともに
移動する。なお、回転台２および往復台４において、治
具１の開口１２に対応する位置には、それぞれ同様に開
口が形成されている。

【００１１】シャワーノズル６は、槽９内の一定箇所に
固定されている。ノズル６には液送部７から圧縮された
剥離液８が送られてくるが、剥離液の圧力はプリント基
板Ｐに実装された部品に損傷を与えない程度に調整され
ている。また槽９に貯まった剥離液８は液送部７におい
て濾過されてノズル６から噴射されるので、シリコン樹
脂は液送部７で濾過されノズル６から噴射されることは
ない。

【００１２】次に上記実施例の作用について説明する。
まず、プリント基板Ｐを部品搭載面を下にして図２に示
すように治具１に取り付け基板押え１３で固定する。次
に、基板Ｐを取り付けた治具１を回転台２に固定爪２１
によって固定する。

【００１３】装置を始動させると、モータ５が正逆交互
に回転して、往復台４が往復動するとともに、モータ３
が回転して回転台２が往復台４上で回転する。したがっ
て、基板Ｐは直線方向と、回転方向の少なくとも２つの
方向に移動される。同時に、液送部７が駆動されて剥離
液がノズル６から上向きに噴射され、基板Ｐ上のシリコ
ン樹脂は基板Ｐから剥離され、槽９の底へ落下する。

【００１４】以上のようにすれば、治具１に固定された
プリント基板Ｐはシャワーノズル６の上方を回転しなが
ら往復し、基板全面に均一に剥離液８が噴射され、シリ
コン樹脂膜はむら無く剥離、除去される。

【００１５】シャワーノズル６は、基板Ｐの上に設けて
剥離液を基板Ｐの上方から下に向けて噴き付けてもよ
い。ただし、剥離液を上から噴射した場合、一旦剥離し
たシリコン樹脂塊が基板Ｐや台２，４上に残ったままに
なるおそれがあり、そうなると、後で基板Ｐや台２，４
の上を掃除しなければならなくなる。そこで、上記実施
例のように下から剥離液を噴射するようにすれば、剥離
したシリコン樹脂は自重で落下し、基板Ｐや台２，４上
に残留することがない。したがって、後で台２，４の上
を掃除したり、基板Ｐ上のシリコン樹脂塊を取り除いた
りする必要はない。

【００１６】以上の実施例の他に本発明は次のように実
施することもできる。 （１）回転台２の代りに、往復台４の直線移動と直交す
る方向に往復直線運動する機構を設ける。 （２）基板Ｐを移動させるのではなく、基板Ｐは静止さ
せて、ノズル６を少なくとも２方向に移動させてもよ
い。その移動は、往復直線運動と回転運動との組み合わ
せでもよいし、交差する２つの直線往復運動でもよい。 （３）基板Ｐを回転運動させ、ノズル６を直線往復運動
させる。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板上の保護膜をむら無く剥離、除去することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の斜視図である。

【図２】図１の装置の治具１を基板Ｐを取り付けた状態
で示す拡大斜視図である。

【図３】治具１を基板Ｐを外した状態で示す拡大斜視図
である。

【図４】図１の実施例の概略側面図である。

【図５】従来の保護膜剥離装置の概略側面図である。

【符号の説明】

１ 治具 ２ 回転台 ３ モータ ４ 往復台 ５ モータ ６ シャワーノズル ７ 液送部 ８ 剥離液 ９ 槽

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部品を搭載しその上に保護膜を形成した
   基板にシャワーノズルから剥離液を噴き付けて前記保護
   膜を基板から剥離する方法において、前記シャワーノズ
   ルと前記基板とを少なくとも２方向に相対移動させなが
   ら剥離液を噴射させることを特徴とする保護膜剥離方
   法。
2. 【請求項２】 基板を截置する截置台と、前記基板の部
   品搭載面に剥離液を噴射するシャワーノズルと、前記截
   置台と前記シャワーノズルとを少なくとも２方向に相対
   移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする保護膜
   剥離装置。
3. 【請求項３】 前記移動手段が、固定されたシャワーノ
   ズルに対して前記截置台を移動させる手段であって、前
   記截置台を直線往復運動させる手段と、前記截置台を回
   転運動させる手段とから成る請求項２に記載の保護膜剥
   離装置。