JPH07321441A - 電子回路装置 - Google Patents

電子回路装置

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JPH07321441A
JPH07321441A JP10945694A JP10945694A JPH07321441A JP H07321441 A JPH07321441 A JP H07321441A JP 10945694 A JP10945694 A JP 10945694A JP 10945694 A JP10945694 A JP 10945694A JP H07321441 A JPH07321441 A JP H07321441A
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JP
Japan
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circuit device
integrated circuit
semiconductor integrated
wiring board
lead
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Application number
JP10945694A
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Toshio Kanno
利夫 管野
Seiichiro Tsukui
誠一郎 津久井
Tomoshi Chikada
智志 近田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/181Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/301Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor by means of a mounting structure
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3421Leaded components

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  • Mounting Components In General For Electric Apparatus (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体集積回路装置を高密度に配線基板に実
装できる電子回路装置を提供する。 【構成】 一側面からリード3aが取り出された面実装
タイプの半導体集積回路装置3と、この半導体集積回路
装置3が実装される配線基板2と、半導体集積回路装置
3を保持しつつ配線基板2に固定される保持ブロック4
a,4bとから構成する。半導体集積回路装置3は、こ
の保持ブロック4a,4bによって配線基板2に立てか
けた姿勢で保持されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子回路装置に関し、特
に面実装タイプの半導体集積回路装置が配線基板へ実装
された電子回路装置に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】リードが配線基板の実装面に対して平面
的に接続される面実装タイプの半導体集積回路装置で
は、リードの取り出し方向は2方向あるいは4方向であ
り、したがって、配線基板には半導体集積回路装置その
ものが平面的に実装されている。
【0003】なお、面実装タイプの半導体集積回路装置
における高密度実装技術を詳しく述べている例として
は、たとえば、工業調査会発行、「電子材料」1992
年9月号のP22〜P57がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような面実装タイ
プの半導体集積回路装置では、両面実装による高密度実
装が可能ではあるものの、配線基板の一方面だけをとら
えてみると、前記のように平面的な実装形態のために、
実装数量は半導体集積回路装置の平面積に依存して制限
されることになる。したがって、平面的な実装形態では
実装密度を一層向上させることは困難である。
【0005】のみならず、実装される半導体集積回路装
置は2方向リードや4方向リードであるために、配線基
板に形成される配線のレイアウトが複雑化し、配線自体
も長くなってノイズ発生の一因となり、電気的特性を悪
化させるという問題点がある。
【0006】また、半導体集積回路装置の一方面は配線
基板と接触しているために、動作時において発生する熱
の放熱効率が良くないという問題点もある。
【0007】そこで、本発明の目的は、面実装タイプの
半導体集積回路装置を高密度に配線基板に実装すること
のできる技術を提供することにある。
【0008】本発明の他の目的は、配線基板に形成され
た配線のレイアウトを簡素化し、配線長を短縮化して、
配線に起因するノイズの発生を抑制することのできる技
術を提供することにある。
【0009】本発明のさらに他の目的は、動作時におけ
る半導体集積回路装置の放熱効率を向上させることので
きる技術を提供することにある。
【0010】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【0011】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を説明すれば、次の通
りである。
【0012】すなわち、本発明に係る電子回路装置は、
一側面からリードが取り出された面実装タイプの半導体
集積回路装置と、この半導体集積回路装置が実装される
配線基板と、半導体集積回路装置を保持しつつ配線基板
に実装する保持部材とから構成されたものである。そし
て、半導体集積回路装置は、この保持部材によって配線
基板に立てかけた姿勢で実装されている。この場合にお
いて、半導体集積回路装置のリードをフレキシブルリー
ドとすることができる。
【0013】また、上記の場合において、半導体集積回
路装置のリード取出面と隣接する2つの側面に被係合部
を形成し、保持部材を、この被係合部と係合して半導体
集積回路装置を保持する係合部を内側面の対向位置に形
成した一対の保持ブロックとすることができる。このと
き、前記した被係合部を半導体集積回路装置の側面にお
いて突出して設けられたダミーリードとし、保持ブロッ
クの係合部をこのダミーリードと係合する係合溝とする
ことができる。
【0014】さらに、上記の場合において、保持部材
を、半導体集積回路装置のリード取出面と隣接する2つ
の被係合面と係合して保持する係合部を内側面に形成し
た一対の保持ブロックとすることができる。
【0015】これらの保持ブロックの外側面には放熱フ
ィンを形成することが可能である。
【0016】そして、上記の場合において、保持部材
を、半導体集積回路装置を支持しつつこれを配線基板に
実装する支持脚とすることができる。この場合の支持脚
は、半導体集積回路装置のリードが取り出された側面と
隣接する2つの側面から延在された支持リードで形成す
ることが可能である。
【0017】なお、半導体集積回路装置は、配線基板の
実装面に対して傾斜して、あるいは垂直に実装すること
ができる。
【0018】
【作用】保持部材によって半導体集積回路装置が配線基
板に立てかけられた姿勢で装着された電子回路装置によ
れば、半導体集積回路装置を配線基板に立体的に実装す
ることが可能になるので、配線基板への実装数量を飛躍
的に増加させることができ、実装密度の向上を図ること
ができる。また、実装される半導体集積回路装置は1方
向リードであるので、必然的に配線基板の配線レイアウ
トが簡素化され、配線長の短縮化を図ることができ、電
気的なノイズの発生を抑制することができる。
【0019】リードがフレキシブルリードである場合に
は、リードを任意の位置において任意の角度に屈撓する
ことができるので、配線基板に立てかけられて実装され
た際における配線基板の電極との接触面積を十分に確保
することができる。
【0020】そして、半導体集積回路装置の両面をとも
に配線基板と非接触状態とすることによって大気との接
触面積が増加しているので、動作時における放熱効率が
向上される。特に、保持ブロックの外側面に放熱フィン
が形成された電子回路装置では放熱効率を一層向上させ
ることが可能である。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて詳
細に説明する。
【0022】(実施例1)図1は本発明の一実施例であ
る電子回路装置を示す斜視図、図2はその電子回路装置
に用いられた半導体集積回路装置を示す斜視図、図3
は、その半導体集積回路装置を保持する保持ブロックの
一方を示す斜視図、そして、図4はその半導体集積回路
装置が実装される配線基板を示す平面図である。
【0023】図1に示すように、本実施例の電子回路装
置1は、配線2a(図4)が形成された配線基板2に複
数の半導体集積回路装置3が、たとえば半導体チップの
封止用に使用されるエポキシ樹脂よりなる一対の保持ブ
ロック(保持部材)4a,4bによって傾斜して立てか
けられた姿勢で保持されて実装されたものである。
【0024】すなわち、配線基板2に実装される半導体
集積回路装置3は、図2に示すように、実装面に対して
平面的な状態で接続される面実装タイプのリード3aが
一側面から取り出された1方向リードである。このリー
ド3aは、配線基板2に立てかけられて実装された際に
おける配線基板2の電極2b(図4)との接触面積が十
分に確保されるようにフレキシブルリードからなってい
る。なお、本明細書でいうフレキシブルリードとは、通
常の剛性を有するリードとは違って、任意の位置で任意
の角度に屈撓が可能なリードを意味するものである。ま
た、リード3aが取り出された側面と隣接する2つの側
面には、電気的導通用としては使用されないリードすな
わちダミーリード(被係合部)3bが突出して設けられ
ている。
【0025】この半導体集積回路装置3を保持する一対
の保持ブロック4a,4bの内側面の対向する位置に
は、前記したダミーリード3bが係合する係合溝(係合
部)4a1,4b1 が形成されている。一方の保持ブロッ
ク4aの形状を示す図3から明らかなように、係合溝4
1 は上縁から斜め下方に延びたものであり、したがっ
て他方の保持ブロック4bの内壁面にも前記係合溝4a
1 に対向する係合溝4b1 が形成されている。そして、
半導体集積回路装置3は、ダミーリード3bが係合溝4
1,4b1 に係合されて配線基板2に固定された一対の
保持ブロック4a,4bに挟み込まれることで、配線基
板2に対して斜めに立てかけられた姿勢で保持されるよ
うになっている。
【0026】図4に示すように、1方向リードの半導体
集積回路装置3が実装される配線基板2の電極2bは、
対応するそれぞれの半導体集積回路装置3のグループご
とに集合され、且つ配線基板2の一辺に形成された複数
の接続端子2cと平行に配置されている。
【0027】このように本実施例に示す電子回路装置1
は、半導体集積回路装置3のダミーリード3bが保持ブ
ロック4a,4bの係合溝4a1,4b1 と係合すること
によってよって、半導体集積回路装置3が配線基板2に
対して平面的ではなく、立てかけられた立体的な姿勢で
実装されるようになる。したがって、半導体集積回路装
置3の実装数量を飛躍的に増加させることができ、実装
密度の向上を図ることが可能になる。
【0028】また、このリード3aは任意に屈撓が可能
なフレキシブルリードとされているので、半導体集積回
路装置3を配線基板2に立てかけた際における配線基板
2の電極2bとリード3aとの接触面積を十分に確保す
ることができ、実装後における電気的な信頼性を向上さ
せることができる。
【0029】さらに、前述のように配線基板2に実装さ
れている半導体集積回路装置は1方向リードのために配
線基板2の電極2bの配置を単純化することができるの
で、必然的に配線基板に形成された配線2aのレイアウ
トが簡素化され、配線長の短縮化を図ることができ、こ
れによって電気的なノイズの発生を抑制することが可能
になる。
【0030】そして、半導体集積回路装置3の両平面は
ともに配線基板2と非接触状態とされて大気との接触面
積が増加されているので、動作時における放熱効率が向
上される。
【0031】(実施例2)図5は本発明の他の実施例で
ある電子回路装置を示す斜視図である。
【0032】本実施例の電子回路装置11は、配線基板
2に固定されて半導体集積回路装置3を保持している保
持ブロック(保持部材)14a,14bの外側面に動作
時に発生した熱を逃がすための放熱フィン14a2,14
2 が形成されているものである。その他の部材は、前
記した実施例の電子回路装置と同様であり、同一の部材
には同一の符号が付されている。
【0033】本実施例に示す電子回路装置11のよう
に、保持ブロック14a,14bに放熱フィン14a2,
14b2 を設けることによって、動作時における放熱効
率を一層向上させることができる。
【0034】(実施例3)図6は本発明のさらに他の実
施例である電子回路装置を示す斜視図である。
【0035】図示するように、本実施例の電子回路装置
21は、保持ブロック(保持部材)24a,24bに形
成された係合溝(係合部)24a1,24b1 が、上縁か
ら下方に向けて垂直に形成されたものである。したがっ
て、ダミーリードがこの係合溝24a1,24b1 と係合
して保持される半導体集積回路装置3は、配線基板2に
対して垂直に立てかけられている。なお、本実施例にお
いても、前記実施例と同一の部材には同一の符号が付さ
れている。
【0036】このように、係合溝24a1,24b1 の角
度を調整することによって、半導体集積回路装置3を配
線基板2に対して斜めまたは垂直に立てかけることが可
能である。
【0037】(実施例4)図7は、本発明のさらに他の
実施例である電子回路装置を示す斜視図である。
【0038】本実施例の電子回路装置31においては、
保持ブロック(保持部材)34a,34bに形成された
係合溝(係合部)34a1,34b1 と半導体集積回路装
置33のリード33aが取り出された側面と隣接する2
つの被係合面33b1,33b2 とが係合して半導体集積
回路装置33が保持されているものである。
【0039】すなわち、本実施例における半導体集積回
路装置33は前記実施例に示すダミーリードのような突
出部を形成せず、2つの被係合面33b1,33b2 を直
接保持ブロック34a,34bに保持させたものであ
り、このようにしても半導体集積回路装置33を配線基
板2に対して立てかけた姿勢で保持することが可能であ
る。
【0040】(実施例5)図8は本発明のさらに他の実
施例である電子回路装置を示す斜視図、図9はその電子
回路装置に用いられた半導体集積回路装置を示す斜視図
である。
【0041】本実施例の電子回路装置41における半導
体集積回路装置43は、図9に示すように、リード43
aが取り出された側面と隣接する2側面から外方向に、
導通用としては使用されないリードすなわちダミーリー
ドが延在されている。そして、このダミーリードを所定
の形状に折り曲げることによって、実装時において半導
体集積回路装置43を支持する支持リードである支持脚
(保持部材)44a,44bとしたものである。
【0042】したがって、図8に示すように、この支持
脚44a,44bを配線基板2に固定することによって
半導体集積回路装置43を立てかけた姿勢で保持するこ
とができる。
【0043】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0044】たとえば、前記実施例で示すように半導体
集積回路装置3,33,43は斜めまたは垂直に立てか
けて配線基板2に実装されているが、その傾斜角は任意
に設定することができる。なお、この場合、実装密度を
一層向上させるためには傾斜角を大きくするか垂直に立
てかけることが望ましい。一方、電子回路装置自体の高
さを抑えるためには、半導体集積回路装置を傾斜して立
てかけ、且つその傾斜角を小さくすることが望ましい。
【0045】また、この半導体集積回路装置3,33,
43のリード3a,33a,43aはいずれもフレキシ
ブルリードであるが、通常のスタンピング加工によるリ
ードを折り曲げて用いることも可能である。保持部材と
しての保持ブロック4a,4b・・・は、本実施例にお
いては別体に形成されているが、一体的に形成すること
もできる。
【0046】保持ブロック4a,4b・・・に形成され
た係合溝、および半導体集積回路装置3に形成された被
係合部としてのダミーリード3bは両者を係合可能にす
るための一態様に過ぎず、たとえば保持ブロック4a,
4b・・・側に突出部を形成し、半導体集積回路装置3
側に溝を形成することも可能である。ここで、前記実施
例においては被係合部としてダミーリード3bが用いら
れているが、これに限定されるものではなく、たとえば
樹脂モールドによってこのダミーリード3bに相当する
突出部を形成することなども可能である。なお、本実施
例においてはエポキシ樹脂によって保持ブロック4a,
4b・・・が形成されているが、これに限定されるもの
ではなく、半導体集積回路装置3,33を立てかけた姿
勢で保持できるものであればよく、したがって種々の材
質で形成することができる。たとえば42アロイや銅な
どの金属、あるいはシリコンゴムなどような非金属を用
いることが可能である。
【0047】さらに、実施例2における放熱フィン14
2,14b2 は、保持ブロック4a,4b・・・に一体
的に形成することも可能であるし、放熱フィン14a2,
14b2 の部分を42アロイで構成し、他の部分をエポ
キシ樹脂で構成するというように別体に形成することも
できる。なお、放熱効率を向上させるための他の手段と
しては、放熱フィン14a2,14b2 を設けることなく
保持ブロック4a,4b・・・の表面を梨地仕上げとし
て表面積を広くすることや放熱効率の良好な材料で保持
ブロック4a,4bを形成することなどが考えられる。
【0048】実施例5における支持脚44a,44bと
しての支持リードも、これに限定されるものではなく、
半導体集積回路装置43を支持することのできるもので
あれば、種々のものを用いることができる。さらに、支
持脚44a,44bをダミーリードではなく、導通用と
して用いられる通常のリードで形成することもできる。
この場合には、該リードも配線基板2の電極2bと電気
的に接続されることは勿論である。
【0049】なお、前記実施例1〜4において、保持ブ
ロック4a,4b・・・は複数個の半導体集積回路装置
3,33が保持可能とされているが、1個のみ保持可能
な保持ブロックとすることも可能である。
【0050】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下の通りである。
【0051】(1).すなわち、本発明の電子回路装置によ
れば、保持部材によって半導体集積回路装置が配線基板
に立てかけられた姿勢で立体的に装着されているので、
配線基板への実装数量を飛躍的に増加させることがで
き、実装密度の向上を図ることが可能になる。
【0052】(2).また、実装される半導体集積回路装置
は1方向リードであるので、これが実装される配線基板
の配線レイアウトが簡素化され、配線長の短縮化を図る
ことができる。したがって、電気的なノイズの発生を抑
制することが可能になる。
【0053】(3).そして、半導体集積回路装置の両面が
ともに配線基板と非接触状態とされて大気との接触面積
が増加しているので、装置の動作時における放熱効率が
向上される。
【0054】(4).特に、保持ブロックの外側面に放熱フ
ィンが形成された電子回路装置によれば、放熱効率を一
層向上させることが可能である。
【0055】(5).リードがフレキシブルリードである場
合には、リードを任意の位置で任意の角度に屈撓して配
線基板に実装することができるので、実装時における配
線基板の電極との接触面積を十分に確保することができ
る。
【0056】(6).半導体集積回路装置が配線基板の実装
面に対して傾斜して実装された電子回路装置によれば、
電子回路装置自体の高さを抑えることができる。
【0057】(7).さらに、半導体集積回路装置が配線基
板の実装面に対して傾斜して実装された電子回路装置に
よれば、通常のリードを折り曲げて用いた場合に、該リ
ードが変形などして所望の角度に折れ曲がっていないと
きでも、リード自体の弾性により配線基板の電極とは平
面的に接触するので、良好な接触状態を実現することが
できる。
【0058】(8).半導体集積回路装置が配線基板の実装
面に対して垂直に実装された電子回路装置によれば、幅
方向の寸法が縮小されるので、実装密度を一層向上させ
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1による電子回路装置を示す斜
視図である。
【図2】その電子回路装置に用いられた半導体集積回路
装置を示す斜視図である。
【図3】その半導体集積回路装置を保持する保持ブロッ
クの一方を示す斜視図である。
【図4】その半導体集積回路装置が実装される配線基板
を示す平面図である。
【図5】本発明の実施例2による電子回路装置を示す斜
視図である。
【図6】本発明の実施例3による電子回路装置を示す斜
視図である。
【図7】本発明の実施例4による電子回路装置を示す斜
視図である。
【図8】本発明の実施例5による電子回路装置を示す斜
視図である。
【図9】その電子回路装置に用いられた半導体集積回路
装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 電子回路装置 2 配線基板 2a 配線 2b 電極 2c 接続端子 3 半導体集積回路装置 3a リード 3b ダミーリード(被係合部) 4a 保持ブロック(保持部材) 4a1 係合溝(係合部) 4b 保持ブロック(保持部材) 4b1 係合溝(係合部) 11 電子回路装置 14a 保持ブロック(保持部材) 14a2 放熱フィン 14b 保持ブロック(保持部材) 14b2 放熱フィン 21 電子回路装置 24a 保持ブロック(保持部材) 24a1 係合溝(係合部) 24b 保持ブロック(保持部材) 24b1 係合溝(係合部) 31 電子回路装置 33 半導体集積回路装置 33a リード 33b1 被係合面 33b2 被係合面 34a 保持ブロック(保持部材) 34a1 係合溝(係合部) 34b 保持ブロック(保持部材) 34b1 係合溝(係合部) 41 電子回路装置 43 半導体集積回路装置 43a リード 44a 支持脚(保持部材) 44b 支持脚(保持部材)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近田 智志 埼玉県入間郡毛呂山町大字旭台15番地 日 立東部セミコンダクタ株式会社内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 実装面に対して平面的な状態で電気的に
    接続されるリードが一側面から取り出された半導体集積
    回路装置と、 前記半導体集積回路装置が実装される配線基板と、 前記半導体集積回路装置を前記配線基板に立てかけた姿
    勢で保持しつつ前記配線基板に実装する保持部材とから
    なることを特徴とする電子回路装置。
  2. 【請求項2】 前記半導体集積回路装置のリードがフレ
    キシブルリードであることを特徴とする請求項1記載の
    電子回路装置。
  3. 【請求項3】 前記半導体集積回路装置の前記リードが
    取り出された側面と隣接する2つの側面に被係合部がそ
    れぞれ形成され、前記保持部材は、前記被係合部と係合
    して前記半導体集積回路装置を保持する係合部が内側面
    の対向する位置にそれぞれ形成された一対の保持ブロッ
    クであることを特徴とする請求項1または2記載の電子
    回路装置。
  4. 【請求項4】 前記半導体集積回路装置の被係合部は、
    前記半導体集積回路装置の側面において突出して設けら
    れたダミーリードであり、前記保持ブロックの係合部
    は、前記ダミーリードと係合する係合溝であることを特
    徴とする請求項3記載の電子回路装置。
  5. 【請求項5】 前記保持部材は、前記半導体集積回路装
    置の前記リードが取り出された側面と隣接する2つの被
    係合面と係合して前記半導体集積回路装置を保持する係
    合部が内側面にそれぞれ形成された一対の保持ブロック
    であることを特徴とする請求項1または2記載の電子回
    路装置。
  6. 【請求項6】 前記保持ブロックの外側面に放熱フィン
    を有することを特徴とする請求項3、4または5記載の
    電子回路装置。
  7. 【請求項7】 前記保持部材は、前記半導体集積回路装
    置を支持しつつ前記配線基板に実装する支持脚であるこ
    とを特徴とする請求項1または2記載の電子回路装置。
  8. 【請求項8】 前記支持脚は、前記半導体集積回路装置
    の前記リードが取り出された側面と隣接する2つの側面
    から延在された支持リードであることを特徴とする請求
    項7記載の電子回路装置。
  9. 【請求項9】 前記半導体集積回路装置は、前記配線基
    板の実装面に対して傾斜して、または垂直に実装されて
    いることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記
    載の電子回路装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6163070A (en) * 1997-06-02 2000-12-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor package utilizing a flexible wiring substrate
US6169325B1 (en) 1997-12-17 2001-01-02 Hitachi, Ltd. Semiconductor device

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