JPH07320264A - 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置及び製造方法Info
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- JPH07320264A JPH07320264A JP6108796A JP10879694A JPH07320264A JP H07320264 A JPH07320264 A JP H07320264A JP 6108796 A JP6108796 A JP 6108796A JP 10879694 A JP10879694 A JP 10879694A JP H07320264 A JPH07320264 A JP H07320264A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 保磁力などの磁気特性に優れた磁気記録媒体
を提供することを目的とする。 【構成】 支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄膜型
の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する支持
体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛来源
と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防着部
材と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射する
ノズルとを具備してなり、前記ノズルのノズル口は飛来
する磁性粒子を境にして前記防着部材と反対側の位置に
あり、しかも前記ノズル口から照射される酸化性のガス
が、前記飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積すること
が前記防着部材によって妨げられるか妨げられないかの
境界域における堆積部に向けられるよう、かつ、飛来す
る磁性粒子の流れに対して交差するようノズルの向きを
設定した磁気記録媒体の製造装置。
を提供することを目的とする。 【構成】 支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄膜型
の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する支持
体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛来源
と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防着部
材と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射する
ノズルとを具備してなり、前記ノズルのノズル口は飛来
する磁性粒子を境にして前記防着部材と反対側の位置に
あり、しかも前記ノズル口から照射される酸化性のガス
が、前記飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積すること
が前記防着部材によって妨げられるか妨げられないかの
境界域における堆積部に向けられるよう、かつ、飛来す
る磁性粒子の流れに対して交差するようノズルの向きを
設定した磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置及び製造方法に関するものである。
置及び製造方法に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャンロール、
２２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム２３の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の
巻取側ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は
真空容器である。そして、真空容器２６内を所定の真空
度のものに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４
内の磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対
して磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させること
によって磁気記録媒体が製造されている。
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャンロール、
２２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム２３の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の
巻取側ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は
真空容器である。そして、真空容器２６内を所定の真空
度のものに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４
内の磁性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対
して磁性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させること
によって磁気記録媒体が製造されている。
【０００４】ところで、このような装置により金属薄膜
型の磁気記録媒体を製造するに際して、磁性粒子の蒸着
部分に酸素を供給し、磁気特性の向上を図ろうとするこ
とが試みられた。すなわち、ＰＥＴフィルム２３の走行
方向とは逆方向（１８０°）に酸素を供給することが提
案（特公昭６１−５６５６３号公報）されたのである。
そして、このものは、それなりの特長を奏するものであ
った。
型の磁気記録媒体を製造するに際して、磁性粒子の蒸着
部分に酸素を供給し、磁気特性の向上を図ろうとするこ
とが試みられた。すなわち、ＰＥＴフィルム２３の走行
方向とは逆方向（１８０°）に酸素を供給することが提
案（特公昭６１−５６５６３号公報）されたのである。
そして、このものは、それなりの特長を奏するものであ
った。
【０００５】
【発明の開示】しかしながら、前記提案のものでは満足
できていなかったことから、更なる検討を鋭意押し進め
て行った結果、磁気特性の向上効果は磁性薄膜の堆積面
に対する酸素ガスの照射位置及び照射角度によって大き
く変わることが見出されるに至った。
できていなかったことから、更なる検討を鋭意押し進め
て行った結果、磁気特性の向上効果は磁性薄膜の堆積面
に対する酸素ガスの照射位置及び照射角度によって大き
く変わることが見出されるに至った。
【０００６】すなわち、特公昭６１−５６５６３号公報
の提案の如く、磁性薄膜の堆積面に対して平行方向に酸
素ガスを供給するのではなく、飛来する磁性粒子が支持
体に堆積することが防着部材によって妨げられるか妨げ
られないかの境界域における堆積部に向けられるよう、
かつ、飛来する磁性粒子の流れを斜めに突き切るよう制
御照射された場合には、磁気特性が格段に向上するに至
ることを見出したのである。
の提案の如く、磁性薄膜の堆積面に対して平行方向に酸
素ガスを供給するのではなく、飛来する磁性粒子が支持
体に堆積することが防着部材によって妨げられるか妨げ
られないかの境界域における堆積部に向けられるよう、
かつ、飛来する磁性粒子の流れを斜めに突き切るよう制
御照射された場合には、磁気特性が格段に向上するに至
ることを見出したのである。
【０００７】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、本発明は、保磁力などの磁気特性に優
れた磁気記録媒体を提供することを目的とする。この本
発明の目的は、支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄
膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する
支持体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛
来源と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防
着部材と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射
するノズルとを具備してなり、前記ノズルのノズル口は
飛来する磁性粒子を境にして前記防着部材と反対側の位
置にあり、しかも前記ノズル口から照射される酸化性の
ガスが、前記飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積する
ことが前記防着部材によって妨げられるか妨げられない
かの境界域における堆積部に向けられるよう、かつ、飛
来する磁性粒子の流れに対して交差するようノズルの向
きを設定したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置
によって達成される。
れたものであり、本発明は、保磁力などの磁気特性に優
れた磁気記録媒体を提供することを目的とする。この本
発明の目的は、支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄
膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する
支持体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛
来源と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防
着部材と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射
するノズルとを具備してなり、前記ノズルのノズル口は
飛来する磁性粒子を境にして前記防着部材と反対側の位
置にあり、しかも前記ノズル口から照射される酸化性の
ガスが、前記飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積する
ことが前記防着部材によって妨げられるか妨げられない
かの境界域における堆積部に向けられるよう、かつ、飛
来する磁性粒子の流れに対して交差するようノズルの向
きを設定したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置
によって達成される。
【０００８】又、走行する支持体上に磁性材料を堆積さ
せ、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法であっ
て、支持体に向かって磁性粒子が飛来し、堆積する堆積
工程と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射す
る照射工程とを具備してなり、照射される酸化性のガス
は、飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積することが防
着部材によって妨げられるか妨げられないかの境界域に
おける堆積部に向けられるよう、かつ、飛来する磁性粒
子の流れを斜めに突き切るよう制御されてなることを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成される。
せ、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法であっ
て、支持体に向かって磁性粒子が飛来し、堆積する堆積
工程と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射す
る照射工程とを具備してなり、照射される酸化性のガス
は、飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積することが防
着部材によって妨げられるか妨げられないかの境界域に
おける堆積部に向けられるよう、かつ、飛来する磁性粒
子の流れを斜めに突き切るよう制御されてなることを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成される。
【０００９】尚、これらの本発明において、防着部材に
よって支持体に堆積するのが妨げられるか妨げられない
かの境界域における磁性粒子の飛来ラインとノズルから
の酸化性のガス照射ラインとのなす角度θが１０〜９０
°、より望ましくは２０〜７５°であるよう構成される
ことが好ましい。例えば、θが２５〜７５°、より望ま
しくは３０〜５５°であるようノズルの向きを設定して
おくことが好ましい。
よって支持体に堆積するのが妨げられるか妨げられない
かの境界域における磁性粒子の飛来ラインとノズルから
の酸化性のガス照射ラインとのなす角度θが１０〜９０
°、より望ましくは２０〜７５°であるよう構成される
ことが好ましい。例えば、θが２５〜７５°、より望ま
しくは３０〜５５°であるようノズルの向きを設定して
おくことが好ましい。
【００１０】尚、酸化性のガスの吹付量は、磁性材料の
種類、磁性膜の厚さ、堆積膜の横幅などによっても多少
の相違は有るが、５〜１００ｃｃ／ｍｉｎ、望ましくは
５〜１５ｃｃ／ｍｉｎ程度である。以下、具体的な実施
例を挙げて説明する。
種類、磁性膜の厚さ、堆積膜の横幅などによっても多少
の相違は有るが、５〜１００ｃｃ／ｍｉｎ、望ましくは
５〜１５ｃｃ／ｍｉｎ程度である。以下、具体的な実施
例を挙げて説明する。
【００１１】
〔実施例１〕図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造
装置の概略図である。同図中、１は冷却キャンロール、
２ａは非磁性の支持体（例えば、ＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分
子材料）３の供給側ロール、２ｂは支持体３の巻取側ロ
ール、４は遮蔽板、５は酸素ガス導入管、６はルツボ、
７はルツボ６に入れられている磁性合金（例えば、Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ
−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、
Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、
あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等）、
８は電子銃、９は真空容器である。
装置の概略図である。同図中、１は冷却キャンロール、
２ａは非磁性の支持体（例えば、ＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分
子材料）３の供給側ロール、２ｂは支持体３の巻取側ロ
ール、４は遮蔽板、５は酸素ガス導入管、６はルツボ、
７はルツボ６に入れられている磁性合金（例えば、Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ
−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、
Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、
あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等）、
８は電子銃、９は真空容器である。
【００１２】尚、本発明においては、酸素ガス導入管
（ノズル）５の位置及び傾きに特徴があり、その他の点
については良く知られているから、詳細な説明は省略す
る。そして、上記のように構成させてなる磁気記録媒体
製造装置を用いた金属薄膜型の磁気記録媒体の製造につ
いて説明する。先ず、真空容器９内を１０-4〜１０-6Ｔ
ｏｒｒ程度、例えば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気
する。そして、供給側ロール２ａから繰り出され、冷却
キャンロール１に添接され、そして巻取側ロール２ｂに
支持体３は巻き取られて行く。この状態において、電子
銃８からは電子ビームが矢印で示す如く発射され、ルツ
ボ６内のＣｏ−Ｎｉ（８０：２０）磁性合金７に照射さ
れ、これによってＣｏ−Ｎｉ磁性合金７の粒子が蒸発
し、冷却キャンロール１に添接されている支持体３に付
着し、１５００Å厚さ堆積する。
（ノズル）５の位置及び傾きに特徴があり、その他の点
については良く知られているから、詳細な説明は省略す
る。そして、上記のように構成させてなる磁気記録媒体
製造装置を用いた金属薄膜型の磁気記録媒体の製造につ
いて説明する。先ず、真空容器９内を１０-4〜１０-6Ｔ
ｏｒｒ程度、例えば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気
する。そして、供給側ロール２ａから繰り出され、冷却
キャンロール１に添接され、そして巻取側ロール２ｂに
支持体３は巻き取られて行く。この状態において、電子
銃８からは電子ビームが矢印で示す如く発射され、ルツ
ボ６内のＣｏ−Ｎｉ（８０：２０）磁性合金７に照射さ
れ、これによってＣｏ−Ｎｉ磁性合金７の粒子が蒸発
し、冷却キャンロール１に添接されている支持体３に付
着し、１５００Å厚さ堆積する。
【００１３】この磁性薄膜の形成に際しては、ノズル５
のノズル口５ａから酸素ガス（純度９９．９９％）が磁
性合金の蒸着部分に５ｃｃ／ｍｉｎ程度の割合で照射さ
れ、磁性薄膜は強制酸化させられる。尚、図１からも判
る通り、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの照射目
標点は、走行する支持体３の表面に磁性合金７の粒子が
堆積する終了位置（飛来する磁性合金の粒子が支持体３
に堆積することが遮蔽板４によって妨げられるか妨げら
れないかの境界域における磁性合金７の堆積部）に向け
られるよう、かつ、飛来する磁性合金７の粒子の流れに
対して斜めに交差するよう制御されている。つまり、こ
のような条件を満たすようにノズル５がセットされてい
るのである。例えば、一点鎖線で示すノズル５からの酸
素ガス照射ラインとルツボ６からの磁性合金の粒子の蒸
発ラインとのなす角度θが３０°であり、かつ、酸素ガ
スの照射目標点が磁性合金７の粒子の堆積終了位置Ｐに
向けられているよう、そして遮蔽板４とは反対側の位置
に存在するようノズル５がセッティングされている。
尚、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの方向と支持
体３の走行方向とは、図１に示す如く、順方向にある。
のノズル口５ａから酸素ガス（純度９９．９９％）が磁
性合金の蒸着部分に５ｃｃ／ｍｉｎ程度の割合で照射さ
れ、磁性薄膜は強制酸化させられる。尚、図１からも判
る通り、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの照射目
標点は、走行する支持体３の表面に磁性合金７の粒子が
堆積する終了位置（飛来する磁性合金の粒子が支持体３
に堆積することが遮蔽板４によって妨げられるか妨げら
れないかの境界域における磁性合金７の堆積部）に向け
られるよう、かつ、飛来する磁性合金７の粒子の流れに
対して斜めに交差するよう制御されている。つまり、こ
のような条件を満たすようにノズル５がセットされてい
るのである。例えば、一点鎖線で示すノズル５からの酸
素ガス照射ラインとルツボ６からの磁性合金の粒子の蒸
発ラインとのなす角度θが３０°であり、かつ、酸素ガ
スの照射目標点が磁性合金７の粒子の堆積終了位置Ｐに
向けられているよう、そして遮蔽板４とは反対側の位置
に存在するようノズル５がセッティングされている。
尚、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの方向と支持
体３の走行方向とは、図１に示す如く、順方向にある。
【００１４】このようにして磁性薄膜が形成され、又、
酸化処理が施され、巻取側ロール２ｂに巻き取られた
後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そして平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥厚さが０．
５μｍのバックコート層を設ける。
酸化処理が施され、巻取側ロール２ｂに巻き取られた
後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そして平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥厚さが０．
５μｍのバックコート層を設ける。
【００１５】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００１６】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プにする。 〔実施例２〕実施例１において、一点鎖線で示すノズル
５からの酸素ガス照射ラインとルツボ６からの磁性合金
の粒子の蒸発ラインとのなす角度θが４０°となるよう
ノズル５をセッティングし、その他は同様に行って磁気
テープを得た。
プにする。 〔実施例２〕実施例１において、一点鎖線で示すノズル
５からの酸素ガス照射ラインとルツボ６からの磁性合金
の粒子の蒸発ラインとのなす角度θが４０°となるよう
ノズル５をセッティングし、その他は同様に行って磁気
テープを得た。
【００１７】〔実施例３〕実施例１において、一点鎖線
で示すノズル５からの酸素ガス照射ラインとルツボ６か
らの磁性合金の粒子の蒸発ラインとのなす角度θが５５
°となるようノズル５をセッティングし、その他は同様
に行って磁気テープを得た。 〔実施例４〕実施例２において、酸素ガスの照射量を８
ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行って磁気テープを得
た。
で示すノズル５からの酸素ガス照射ラインとルツボ６か
らの磁性合金の粒子の蒸発ラインとのなす角度θが５５
°となるようノズル５をセッティングし、その他は同様
に行って磁気テープを得た。 〔実施例４〕実施例２において、酸素ガスの照射量を８
ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行って磁気テープを得
た。
【００１８】〔実施例５〕実施例２において、酸素ガス
の照射量を１０ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行って磁
気テープを得た。 〔実施例６〕実施例２において、酸素ガスの照射量を１
５ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行って磁気テープを得
た。
の照射量を１０ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行って磁
気テープを得た。 〔実施例６〕実施例２において、酸素ガスの照射量を１
５ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行って磁気テープを得
た。
【００１９】〔特性〕上記各例で得た磁気テープについ
て、その磁気特性（保磁力、飽和磁束密度）、耐久性並
びに耐蝕性を調べたので、その結果を表−１に示す。 表−１ 酸素ガス 角度θ 保磁力 飽和磁束密度 耐久性 耐蝕性 吹付量 (°) （Oe) （Ｇ） (dB) (％) 実施例１ ５cc/min ３０ １２００ ５０００ -1.6 ７ 実施例２ ５cc/min ４０ １２７０ ５１００ -1.5 ７ 実施例３ ５cc/min ５５ １３００ ４８００ -1.6 ７ 実施例４ ８cc/min ４０ １４３０ ４７００ -1.6 ７ 実施例５ 10cc/min ４０ １３５０ ４３００ -1.7 ７ 実施例６ 15cc/min ４０ １２６０ ３９５０ -1.7 ９ 比較例１ 40cc/min １１８０ ５３００ -1.8 ９ 比較例２ ５cc/min ９３０ ３２００ -2.2 １３ 比較例３ ４６０ ８８００ １６ ＊比較例１は、特公昭６１−５６５６３号公報提案の技
術の如くにした場合 ＊比較例２は、図１のＱ点（堆積開始点と堆積終了点と
の中間位置）向けて酸素ガスを照射 ＊比較例３は、酸素ガスを吹き付けない場合 ＊耐久性は３時間スチル再生した場合の再生出力の低下
で表示 ＊耐蝕性は温度６０℃、湿度９０％ＲＨ下に３０日間放
置後の飽和磁束密度の低下で表示 これによれば、蒸着手段で磁性薄膜を形成するに際し
て、酸素ガスの照射具合によって磁気特性などが大幅に
変わることが判り、しかも本発明の如くに照射すれば電
磁変換特性に優れた磁気記録媒体の得られることが判
る。
て、その磁気特性（保磁力、飽和磁束密度）、耐久性並
びに耐蝕性を調べたので、その結果を表−１に示す。 表−１ 酸素ガス 角度θ 保磁力 飽和磁束密度 耐久性 耐蝕性 吹付量 (°) （Oe) （Ｇ） (dB) (％) 実施例１ ５cc/min ３０ １２００ ５０００ -1.6 ７ 実施例２ ５cc/min ４０ １２７０ ５１００ -1.5 ７ 実施例３ ５cc/min ５５ １３００ ４８００ -1.6 ７ 実施例４ ８cc/min ４０ １４３０ ４７００ -1.6 ７ 実施例５ 10cc/min ４０ １３５０ ４３００ -1.7 ７ 実施例６ 15cc/min ４０ １２６０ ３９５０ -1.7 ９ 比較例１ 40cc/min １１８０ ５３００ -1.8 ９ 比較例２ ５cc/min ９３０ ３２００ -2.2 １３ 比較例３ ４６０ ８８００ １６ ＊比較例１は、特公昭６１−５６５６３号公報提案の技
術の如くにした場合 ＊比較例２は、図１のＱ点（堆積開始点と堆積終了点と
の中間位置）向けて酸素ガスを照射 ＊比較例３は、酸素ガスを吹き付けない場合 ＊耐久性は３時間スチル再生した場合の再生出力の低下
で表示 ＊耐蝕性は温度６０℃、湿度９０％ＲＨ下に３０日間放
置後の飽和磁束密度の低下で表示 これによれば、蒸着手段で磁性薄膜を形成するに際し
て、酸素ガスの照射具合によって磁気特性などが大幅に
変わることが判り、しかも本発明の如くに照射すれば電
磁変換特性に優れた磁気記録媒体の得られることが判
る。
【００２０】又、酸素量が少なくて済み、真空雰囲気の
変動が少なく、排気ポンプとして高能力なものでなくと
も済むようになる。
変動が少なく、排気ポンプとして高能力なものでなくと
も済むようになる。
【００２１】
【効果】本発明によれば、電磁変換特性に優れた高性能
な磁気記録媒体が簡単に得られる。
な磁気記録媒体が簡単に得られる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図
明図
【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ 冷却キャンロール ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 非磁性支持体 ４ 遮蔽板 ５ 酸素ガス導入管（ノズル） ６ ルツボ ６ａ ノズル口 ７ 磁性合金 ８ 電子銃
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄
膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する
支持体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛
来源と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防
着部材と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射
するノズルとを具備してなり、前記ノズルのノズル口は
飛来する磁性粒子を境にして前記防着部材と反対側の位
置にあり、しかも前記ノズル口から照射される酸化性の
ガスが、前記飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積する
ことが前記防着部材によって妨げられるか妨げられない
かの境界域における堆積部に向けられるよう、かつ、飛
来する磁性粒子の流れに対して交差するようノズルの向
きを設定したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装
置。 - 【請求項２】 防着部材によって支持体に堆積するのが
妨げられるか妨げられないかの境界域における磁性粒子
の飛来ラインとノズルからの酸化性のガス照射ラインと
のなす角度θが１０〜９０°であるようノズルの向きを
設定したことを特徴とする請求項１の磁気記録媒体の製
造装置。 - 【請求項３】 走行する支持体上に磁性材料を堆積さ
せ、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法であっ
て、支持体に向かって磁性粒子が飛来し、堆積する堆積
工程と、磁性粒子の堆積に際して酸化性のガスを照射す
る照射工程とを具備してなり、照射される酸化性のガス
は、飛来する磁性粒子が前記支持体に堆積することが防
着部材によって妨げられるか妨げられないかの境界域に
おける堆積部に向けられるよう、かつ、飛来する磁性粒
子の流れを斜めに突き切るよう制御されてなることを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6108796A JPH07320264A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6108796A JPH07320264A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07320264A true JPH07320264A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=14493708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6108796A Pending JPH07320264A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07320264A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009235545A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Toray Ind Inc | 金属酸化物薄膜形成装置ならびに金属酸化物薄膜付きシートの製造方法 |
-
1994
- 1994-05-23 JP JP6108796A patent/JPH07320264A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009235545A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Toray Ind Inc | 金属酸化物薄膜形成装置ならびに金属酸化物薄膜付きシートの製造方法 |
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