JPH0731804A - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
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- JPH0731804A JPH0731804A JP19882493A JP19882493A JPH0731804A JP H0731804 A JPH0731804 A JP H0731804A JP 19882493 A JP19882493 A JP 19882493A JP 19882493 A JP19882493 A JP 19882493A JP H0731804 A JPH0731804 A JP H0731804A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置の洗浄に際して分解することなく、洗浄
液を通液するだけでかつ短時間に液置換を行うことの可
能な装置を提供する。 【構成】 減圧チャンバー１１内に収容された複数本の
脱気チューブ７の内側に液体を流し、減圧チャンバーを
減圧に吸引することにより前記液体中の溶存ガスを脱気
する脱気装置において、前記減圧チャンバー内に脱気チ
ューブ支持筒８を設け、前記複数本の脱気チューブ７を
前記脱気チューブ支持筒に巻付け、複数本の脱気チュー
ブ７への液の供給及び排出を主管より複数本の枝管６又
は９を取り出しこれら枝管と脱気チューブ７とを接続す
ることにより行うと共に、枝管及び脱気チューブの両方
を減圧チャンバー１１内に配設した。尚、脱気チューブ
として溝付チューブを用いることによって脱気装置を小
さく作ることが出来かつ液ロスを少なくすることができ
る。
液を通液するだけでかつ短時間に液置換を行うことの可
能な装置を提供する。 【構成】 減圧チャンバー１１内に収容された複数本の
脱気チューブ７の内側に液体を流し、減圧チャンバーを
減圧に吸引することにより前記液体中の溶存ガスを脱気
する脱気装置において、前記減圧チャンバー内に脱気チ
ューブ支持筒８を設け、前記複数本の脱気チューブ７を
前記脱気チューブ支持筒に巻付け、複数本の脱気チュー
ブ７への液の供給及び排出を主管より複数本の枝管６又
は９を取り出しこれら枝管と脱気チューブ７とを接続す
ることにより行うと共に、枝管及び脱気チューブの両方
を減圧チャンバー１１内に配設した。尚、脱気チューブ
として溝付チューブを用いることによって脱気装置を小
さく作ることが出来かつ液ロスを少なくすることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は感光性塗布液を塗布装置
で塗布する際、塗布品質を改良するための該塗布液の脱
気装置に関するものであり、該塗布液が塗布される前に
該塗布液中に含まれる溶存空気及び微細気泡を同時に除
去するための該塗布液よりの脱気装置に関するものであ
る。
で塗布する際、塗布品質を改良するための該塗布液の脱
気装置に関するものであり、該塗布液が塗布される前に
該塗布液中に含まれる溶存空気及び微細気泡を同時に除
去するための該塗布液よりの脱気装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般にある種の液体は、塗布に際しては
該液体中に溶存する空気および含有される気泡を除去す
ることが必要である。例えば感光性塗布液は溶存空気及
び気泡が含まれたまゝ塗布装置により基材に塗布される
と、塗布装置によっては該感光性塗布液中の溶存空気の
析出や、通常の場合には該感光液に含まれる気泡によら
って縦すじ、ピンホール等塗布面に気泡による故障を生
じるので、基材に塗布される前に該感光性塗布液中に溶
存する空気及び含有される気泡を除去することが必要で
ある。従来これに対処する装置としては特開平１−１５
５９１０号公報にあるような多孔質高分子膜チューブ
（以下脱気チューブと称す。）を利用する装置が知られ
ている。通常これらの装置は図５に示すようにタンク２
内の感光性塗布液がポンプ３により脱気ユニット４に送
られ、脱気処理後、次工程に送液される。脱気ユニット
では塗布液は先ず液流入部１６に入り、続いて減圧チャ
ンバー内に配設された複数本の脱気チューブ７内を分配
されて流れ、続いて液流出部17に集合し、次工程へ送液
される。減圧チャンバー１１は真空ポンプ１５により通
常２０ＴＯＲＲ以下に減圧されている。脱気チューブ７
は多孔質高分子膜で出来ており、膜壁には分子レベルの
細孔が形成されており、ガス通過性はあるが膜を通して
液体が脱気チューブ７内よりチューブの外側に漏れるこ
とはない。塗布液が脱気チューブ内を流れる際に、チュ
ーブ内側（液側）界面に吸着する空気の分圧とチューブ
外側（減圧側）界面に吸着する空気の差圧により溶存空
気が膜中を移動し塗布液の脱気が行われる。従って脱気
能力は主に膜中のガスの拡散速度、膜の内外表面に吸着
するガスの分圧差及び膜表面積等により支配される。通
常液及び流量が決った時、所望の脱気度が得られるよう
に膜表面積及び減圧度を設計する。
該液体中に溶存する空気および含有される気泡を除去す
ることが必要である。例えば感光性塗布液は溶存空気及
び気泡が含まれたまゝ塗布装置により基材に塗布される
と、塗布装置によっては該感光性塗布液中の溶存空気の
析出や、通常の場合には該感光液に含まれる気泡によら
って縦すじ、ピンホール等塗布面に気泡による故障を生
じるので、基材に塗布される前に該感光性塗布液中に溶
存する空気及び含有される気泡を除去することが必要で
ある。従来これに対処する装置としては特開平１−１５
５９１０号公報にあるような多孔質高分子膜チューブ
（以下脱気チューブと称す。）を利用する装置が知られ
ている。通常これらの装置は図５に示すようにタンク２
内の感光性塗布液がポンプ３により脱気ユニット４に送
られ、脱気処理後、次工程に送液される。脱気ユニット
では塗布液は先ず液流入部１６に入り、続いて減圧チャ
ンバー内に配設された複数本の脱気チューブ７内を分配
されて流れ、続いて液流出部17に集合し、次工程へ送液
される。減圧チャンバー１１は真空ポンプ１５により通
常２０ＴＯＲＲ以下に減圧されている。脱気チューブ７
は多孔質高分子膜で出来ており、膜壁には分子レベルの
細孔が形成されており、ガス通過性はあるが膜を通して
液体が脱気チューブ７内よりチューブの外側に漏れるこ
とはない。塗布液が脱気チューブ内を流れる際に、チュ
ーブ内側（液側）界面に吸着する空気の分圧とチューブ
外側（減圧側）界面に吸着する空気の差圧により溶存空
気が膜中を移動し塗布液の脱気が行われる。従って脱気
能力は主に膜中のガスの拡散速度、膜の内外表面に吸着
するガスの分圧差及び膜表面積等により支配される。通
常液及び流量が決った時、所望の脱気度が得られるよう
に膜表面積及び減圧度を設計する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】最近、同一の脱気装置
で多種類の液を処理するニーズが高まっており、液の切
替え時に、洗浄を行うことが必須である。作業性の点か
ら装置を分解せずに洗浄液を通過するだけで短時間で液
置換が行われることが最も望ましい。従来の装置ではシ
ェルアンドチューブ型の装置が用いられているので脱気
チューブ７及び液の送液主管はいづれもパイプ状であ
り、層流状態で洗浄液が元の液を押し出す流れとなり、
洗浄が容易であるが、脱気装置４への液流入部１６及び
液流出部１７が円盤状あるいはコーン状の形状であり、
液の流速が部分的に極めて小さい部分、いわゆるデッド
ゾーンが発生するため、即ち従来装置では液流入部１６
及び液流出部１７は複数本の脱気チューブ７と接続する
ための接続短管を具備した分配部分と考えられるもので
ある。通常、円盤状あるいはコーン状に製作される。こ
の部分の液通過面積は、複数本の脱気チューブの液通過
面積即ち脱気チューブの断面積の和よりも相当大きくな
っていた。たとえば外径１０φの脱気チューブ９本を、
１００φの円盤状の液流入部１６よりとり出した短管に
接続した場合、液通過面積は脱気チューブの本で７ｃｍ
2 であるのに対し、円盤状の液流入部１６の面積は７
８．５ｃｍ2 となり約１１倍となっていた。このため液
流入部１６及び液流出部１７での液の流速は、脱気チュ
ーブ７内を流れる流速よりもはるかに小さくなり、なお
かつ周辺部に流速の極めて小さいデッドゾーンが発生し
ていた。これらのため洗浄液を流しても液が入れ変るま
で相当時間を要していた。特に沈降性のある分散系液を
送液した場合は周辺部に堆積物が発生し、分解洗浄する
必要があった。そのため洗浄性が悪く、時には分解洗浄
が必要であった。特に沈降性のある粒子の分散溶液の場
合は長時間の使用中にデッドゾーン部に粒子の堆積が発
生するという不都合も生じた。又脱気能力の面から脱気
膜チューブの長さを長くするために、設備も高いものに
なるが、チューブ内洗浄によって失なわれる液ロスも多
くなり不経済となる欠点を有していた。
で多種類の液を処理するニーズが高まっており、液の切
替え時に、洗浄を行うことが必須である。作業性の点か
ら装置を分解せずに洗浄液を通過するだけで短時間で液
置換が行われることが最も望ましい。従来の装置ではシ
ェルアンドチューブ型の装置が用いられているので脱気
チューブ７及び液の送液主管はいづれもパイプ状であ
り、層流状態で洗浄液が元の液を押し出す流れとなり、
洗浄が容易であるが、脱気装置４への液流入部１６及び
液流出部１７が円盤状あるいはコーン状の形状であり、
液の流速が部分的に極めて小さい部分、いわゆるデッド
ゾーンが発生するため、即ち従来装置では液流入部１６
及び液流出部１７は複数本の脱気チューブ７と接続する
ための接続短管を具備した分配部分と考えられるもので
ある。通常、円盤状あるいはコーン状に製作される。こ
の部分の液通過面積は、複数本の脱気チューブの液通過
面積即ち脱気チューブの断面積の和よりも相当大きくな
っていた。たとえば外径１０φの脱気チューブ９本を、
１００φの円盤状の液流入部１６よりとり出した短管に
接続した場合、液通過面積は脱気チューブの本で７ｃｍ
2 であるのに対し、円盤状の液流入部１６の面積は７
８．５ｃｍ2 となり約１１倍となっていた。このため液
流入部１６及び液流出部１７での液の流速は、脱気チュ
ーブ７内を流れる流速よりもはるかに小さくなり、なお
かつ周辺部に流速の極めて小さいデッドゾーンが発生し
ていた。これらのため洗浄液を流しても液が入れ変るま
で相当時間を要していた。特に沈降性のある分散系液を
送液した場合は周辺部に堆積物が発生し、分解洗浄する
必要があった。そのため洗浄性が悪く、時には分解洗浄
が必要であった。特に沈降性のある粒子の分散溶液の場
合は長時間の使用中にデッドゾーン部に粒子の堆積が発
生するという不都合も生じた。又脱気能力の面から脱気
膜チューブの長さを長くするために、設備も高いものに
なるが、チューブ内洗浄によって失なわれる液ロスも多
くなり不経済となる欠点を有していた。
【０００４】本発明の目的は、これらの問題点を解決す
る装置を提供するものである。即ち装置の洗浄に際して
分解することなく、洗浄液を通液するだけで短時間に液
置換を行うことの可能であり、脱気チューブの長さも短
く出来、しかも脱気能力も充分にありかつ洗浄によって
失なわれる液損失を少くする装置を提供する。
る装置を提供するものである。即ち装置の洗浄に際して
分解することなく、洗浄液を通液するだけで短時間に液
置換を行うことの可能であり、脱気チューブの長さも短
く出来、しかも脱気能力も充分にありかつ洗浄によって
失なわれる液損失を少くする装置を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の上記目
的は、 減圧チャンバー内に収容された複数本の脱気チュー
ブの内側に液体を流し、減圧チャンバーを減圧に吸引す
ることにより前記液体中の溶存ガスを脱気する脱記装置
において、前記減圧チャンバー内に脱気チューブ支持筒
を設け、前記複数本の脱気チューブを前記脱気チューブ
支持筒に巻付け、複数本の脱気チューブへの液の供給及
び排出を主管より複数本の枝管を取り出しこれら枝管と
脱気チューブとを接続することにより行うと共に、枝管
及び脱気チューブの両方を減圧チャンバー内に配設した
ことを特徴とする脱気装置。 減圧チャンバー内に収容された複数本の脱気チュー
ブの内側に液体を流し、減圧チャンバーを減圧に吸引す
ることにより前記液体中の溶存ガスを脱気する脱記装置
において、該脱気チューブの内壁あるいは外壁の少くと
も１方の断面形状が溝付き状であることを特徴とする脱
気装置により達成される。
的は、 減圧チャンバー内に収容された複数本の脱気チュー
ブの内側に液体を流し、減圧チャンバーを減圧に吸引す
ることにより前記液体中の溶存ガスを脱気する脱記装置
において、前記減圧チャンバー内に脱気チューブ支持筒
を設け、前記複数本の脱気チューブを前記脱気チューブ
支持筒に巻付け、複数本の脱気チューブへの液の供給及
び排出を主管より複数本の枝管を取り出しこれら枝管と
脱気チューブとを接続することにより行うと共に、枝管
及び脱気チューブの両方を減圧チャンバー内に配設した
ことを特徴とする脱気装置。 減圧チャンバー内に収容された複数本の脱気チュー
ブの内側に液体を流し、減圧チャンバーを減圧に吸引す
ることにより前記液体中の溶存ガスを脱気する脱記装置
において、該脱気チューブの内壁あるいは外壁の少くと
も１方の断面形状が溝付き状であることを特徴とする脱
気装置により達成される。
【０００６】次に図１により本発明による脱気システム
について説明する。感光性塗布液１は送液ポンプ３によ
りサービスタンク２より液供給主管５内を流れ脱気装置
４に送液される。主管５は途中で減圧チャンバー側板１
２ａを貫通し、減圧チャンバー１１内に入る。その後こ
の主管より直接複数本の枝管６に分配されさらに同数の
接続されている脱気チューブ７に連結され、脱気チュー
ブ支持筒８に支えられた長い脱気チューブ内を流れる。
この時脱気チューブ外側は、減圧チャンバー内全体が真
空ポンプ１５により０〜２０Ｔｏｒｒの真空に維持され
ているため、同じ圧力に保たれ、脱気チューブ内の液か
ら溶存ガスが脱気チューブ壁を内側から外側へ移動し脱
気される。その後、液排出主管１０の端末に設けられた
複数個の脱気チューブと接続する枝管９を通り、液排出
主管１０に集合後減圧チャンバー側板１２ｂを貫通する
主管に従い次工程へと送液される。液供給主管５及び液
排出主管は１０いづれも減圧チャンバー側板１２ａ，１
２ｂを貫通するのであるが、この貫通部はＯリングによ
り気密が保たれている。又減圧チャンバー内の複数本の
脱気チューブ７は脱気チューブ支持筒８の円周上に巻き
つけられコンパクトに収容されている。本発明の特徴
は、脱気チューブ７と接続する枝管６又は９を直接主管
より引出したことにより、枝管の流路断面積の総和は脱
気チューブの流路断面積の総和と同等としたことであ
る。このため送液流路内で最も流速が小さくなる点は枝
管内であるが、脱気チューブ内の流速とほゞ同等であ
り、従来の装置のような極端に流速が落ちる部分をなく
した点である。このため従来装置の欠点であった洗浄性
が大巾に改善することが出来た。さらにデッドゾーンが
存在しないため、沈降性分散液であっても、液流速を適
正に設定することにより実用上沈降、堆積が起らず、洗
浄のため分解の必要もなく洗浄液の送液だけで充分洗浄
が可能とすることが出来た。
について説明する。感光性塗布液１は送液ポンプ３によ
りサービスタンク２より液供給主管５内を流れ脱気装置
４に送液される。主管５は途中で減圧チャンバー側板１
２ａを貫通し、減圧チャンバー１１内に入る。その後こ
の主管より直接複数本の枝管６に分配されさらに同数の
接続されている脱気チューブ７に連結され、脱気チュー
ブ支持筒８に支えられた長い脱気チューブ内を流れる。
この時脱気チューブ外側は、減圧チャンバー内全体が真
空ポンプ１５により０〜２０Ｔｏｒｒの真空に維持され
ているため、同じ圧力に保たれ、脱気チューブ内の液か
ら溶存ガスが脱気チューブ壁を内側から外側へ移動し脱
気される。その後、液排出主管１０の端末に設けられた
複数個の脱気チューブと接続する枝管９を通り、液排出
主管１０に集合後減圧チャンバー側板１２ｂを貫通する
主管に従い次工程へと送液される。液供給主管５及び液
排出主管は１０いづれも減圧チャンバー側板１２ａ，１
２ｂを貫通するのであるが、この貫通部はＯリングによ
り気密が保たれている。又減圧チャンバー内の複数本の
脱気チューブ７は脱気チューブ支持筒８の円周上に巻き
つけられコンパクトに収容されている。本発明の特徴
は、脱気チューブ７と接続する枝管６又は９を直接主管
より引出したことにより、枝管の流路断面積の総和は脱
気チューブの流路断面積の総和と同等としたことであ
る。このため送液流路内で最も流速が小さくなる点は枝
管内であるが、脱気チューブ内の流速とほゞ同等であ
り、従来の装置のような極端に流速が落ちる部分をなく
した点である。このため従来装置の欠点であった洗浄性
が大巾に改善することが出来た。さらにデッドゾーンが
存在しないため、沈降性分散液であっても、液流速を適
正に設定することにより実用上沈降、堆積が起らず、洗
浄のため分解の必要もなく洗浄液の送液だけで充分洗浄
が可能とすることが出来た。
【０００７】更に脱気能力も充分であり、洗浄能力も充
分ある装置としては、使用する脱気チューブを例えば図
２のような内壁及び外壁の少くとも一方溝付き状にした
脱気チューブを用いることによるものである。本発明の
上記目的は実質的にチューブの表面積を増すことにより
チューブ本数及び長さを短くすることによって達成する
ことが出来る。従来の脱気チューブの断面は内壁、及び
外壁共、円形のチューブであり、そのチューブ１本当り
の内壁表面積Ｓｉ，及び外壁表面積ＳｏはそれぞれＳｉ
＝πＲｉＬ，Ｓｏ＝πＲｏＬ（Ｒｉ：チューブ内径，Ｒ
ｏ：チューブ外径，Ｌ：チューブ長）で与えられる。我
々はこの点に着眼し脱気チューブの断面形状を円形でな
く図２に示すように溝付形状とすることにより実質上の
ガス吸着面積を増すことにより、脱気性能を上げること
が可能なことを見出した。従来の脱気チューブは同心２
重円管の間にチューブの素材である樹脂の粉末を供給し
融点以上に加熱し、溶融した後、加圧により微小な同心
２重円管状になっている成型ノズルより押出すことによ
り製造される。本発明による脱気チューブの製造プロセ
スは、樹脂粉末の供給、加熱溶融は従来の同じである
が、成型ノズルが溝状になっているものを用いる。この
ようにして本発明のポイントとなる溝付状の脱気チュー
ブを作ることが出来る。このようにして得られた脱気チ
ューブは図１に示す本発明の脱気装置の脱気チューブ７
に置変えて使用することが可能である。このようにし
て断面形状を溝付き形状とした脱気チューブを使用する
ことによって、チューブの本数、及び長さを変えない場
合は、実質上のガスの吸着面積を増加させることにより
脱気性能を飛躍的に向上させることが出来る。本発明の
特徴はチューブ断面形状を凹凸のある溝付状とすること
により実質上のガス吸着面積を拡大させた点であり、形
状は山型，波型，矩型等色々考えられるが本発明は、こ
れら形の制限を受けるものではない。又溝付状とする面
はチューブの内壁，及び外壁の両面とした場合が最も効
果が大きいが、少なくとも、どちらか一方を溝付状とす
ることによっても効果があり、これらの制限を受けるも
のでもない。
分ある装置としては、使用する脱気チューブを例えば図
２のような内壁及び外壁の少くとも一方溝付き状にした
脱気チューブを用いることによるものである。本発明の
上記目的は実質的にチューブの表面積を増すことにより
チューブ本数及び長さを短くすることによって達成する
ことが出来る。従来の脱気チューブの断面は内壁、及び
外壁共、円形のチューブであり、そのチューブ１本当り
の内壁表面積Ｓｉ，及び外壁表面積ＳｏはそれぞれＳｉ
＝πＲｉＬ，Ｓｏ＝πＲｏＬ（Ｒｉ：チューブ内径，Ｒ
ｏ：チューブ外径，Ｌ：チューブ長）で与えられる。我
々はこの点に着眼し脱気チューブの断面形状を円形でな
く図２に示すように溝付形状とすることにより実質上の
ガス吸着面積を増すことにより、脱気性能を上げること
が可能なことを見出した。従来の脱気チューブは同心２
重円管の間にチューブの素材である樹脂の粉末を供給し
融点以上に加熱し、溶融した後、加圧により微小な同心
２重円管状になっている成型ノズルより押出すことによ
り製造される。本発明による脱気チューブの製造プロセ
スは、樹脂粉末の供給、加熱溶融は従来の同じである
が、成型ノズルが溝状になっているものを用いる。この
ようにして本発明のポイントとなる溝付状の脱気チュー
ブを作ることが出来る。このようにして得られた脱気チ
ューブは図１に示す本発明の脱気装置の脱気チューブ７
に置変えて使用することが可能である。このようにし
て断面形状を溝付き形状とした脱気チューブを使用する
ことによって、チューブの本数、及び長さを変えない場
合は、実質上のガスの吸着面積を増加させることにより
脱気性能を飛躍的に向上させることが出来る。本発明の
特徴はチューブ断面形状を凹凸のある溝付状とすること
により実質上のガス吸着面積を拡大させた点であり、形
状は山型，波型，矩型等色々考えられるが本発明は、こ
れら形の制限を受けるものではない。又溝付状とする面
はチューブの内壁，及び外壁の両面とした場合が最も効
果が大きいが、少なくとも、どちらか一方を溝付状とす
ることによっても効果があり、これらの制限を受けるも
のでもない。
【０００８】
（実施例−１，比較例−１）内径８ｍｍ長さ５ｍの脱気
チューブ５本からなる図１及び図２からなる脱気装置を
用いて、感光性塗布液（濃度１０％）を１０時間通液処
理後、洗浄液（メタノール）を１リットル／分で送液
し、脱気装置出側の液をサンプリングし吸光度計濃度を
測定し、洗浄時間と濃度の関係を求めた。洗浄ＯＫレベ
ル１０-3％まで濃度が下がるのに図３に示すように従来
装置では約３８分要したのに対し、本発明による装置で
は７分であった。
チューブ５本からなる図１及び図２からなる脱気装置を
用いて、感光性塗布液（濃度１０％）を１０時間通液処
理後、洗浄液（メタノール）を１リットル／分で送液
し、脱気装置出側の液をサンプリングし吸光度計濃度を
測定し、洗浄時間と濃度の関係を求めた。洗浄ＯＫレベ
ル１０-3％まで濃度が下がるのに図３に示すように従来
装置では約３８分要したのに対し、本発明による装置で
は７分であった。
【０００９】（実施例−２，比較例−２）内径８ｍｍ、
長さ５ｍの脱気チューブ５本からなる図１の装置で図２
の脱気チューブを用いたの脱気装置において沈降性分散
液（濃度１２％）を１リットル／分で３時間通液処理
後、洗浄液（メタノール）を１リットル／分で送液し、
脱気装置出側の液をサンプリングし濁度計で濃度を測定
し、洗浄時間と濃度の関係を求めた。図４に示すように
洗浄ＯＫレベル１０-3％まで濃度が下がるのに従来装置
約５５分要したのに対し本発明による装置では約１０分
であった。また、従来装置は６０分洗浄後、本発明によ
る装置は１０分洗浄後に流路を分解し沈降物の堆積をチ
ェックした所、従来装置の液流入部の底部に堆積が見ら
れた。本発明による装置の場合、枝管に堆積は見られな
かった。
長さ５ｍの脱気チューブ５本からなる図１の装置で図２
の脱気チューブを用いたの脱気装置において沈降性分散
液（濃度１２％）を１リットル／分で３時間通液処理
後、洗浄液（メタノール）を１リットル／分で送液し、
脱気装置出側の液をサンプリングし濁度計で濃度を測定
し、洗浄時間と濃度の関係を求めた。図４に示すように
洗浄ＯＫレベル１０-3％まで濃度が下がるのに従来装置
約５５分要したのに対し本発明による装置では約１０分
であった。また、従来装置は６０分洗浄後、本発明によ
る装置は１０分洗浄後に流路を分解し沈降物の堆積をチ
ェックした所、従来装置の液流入部の底部に堆積が見ら
れた。本発明による装置の場合、枝管に堆積は見られな
かった。
【００１０】
【発明の効果】本発明の脱気装置により装置の洗浄に際
して分解することなく、洗浄液を通液することだけで短
時間に液置換を行うことが可能になり、又脱気チューブ
の構造を溝付にすることと脱気装置を小型にしコストを
安くすることが出来るし、液ロスを減少させることが出
来る。又、設備稼働の合理化及び生産能率の向上を行う
ことが出来た。
して分解することなく、洗浄液を通液することだけで短
時間に液置換を行うことが可能になり、又脱気チューブ
の構造を溝付にすることと脱気装置を小型にしコストを
安くすることが出来るし、液ロスを減少させることが出
来る。又、設備稼働の合理化及び生産能率の向上を行う
ことが出来た。
【図１】本発明の脱気装置の一実施例の概略を表わす側
面図。
面図。
【図２】本発明の脱気チューブの溝付構造の一実施例を
示す断面図
示す断面図
【図３】本発明の脱気装置と従来の脱気装置との洗浄速
度を出側液濃度対洗浄搬送液時間の関係で示した実施例
−１と比較例−１のグラフ
度を出側液濃度対洗浄搬送液時間の関係で示した実施例
−１と比較例−１のグラフ
【図４】本発明の脱気装置と従来の脱気装置との洗浄速
度を出側液濃度対洗浄搬送液時間の関係で示した実施例
−２と比較例−２のグラフ
度を出側液濃度対洗浄搬送液時間の関係で示した実施例
−２と比較例−２のグラフ
【図５】従来の脱気装置の一例の側面図
１ 感光性塗布液 ２ サービスタンク ３ 送液ポンプ ４ 脱気装置 ５ 液供給主管 ６ 液供給枝管 ７ 脱気チューブ ８ 脱気チューブ支持筒 ９ 液排出枝管 １０ 液排出主管 １１ 減圧チャンバ １２ 減圧チャンバ側枝 １３，１４ Ｏリング １５ 真空ポンプ １６ 液流入部 １７ 液流出部
Claims (2)
- 【請求項１】 減圧チャンバー内に収容された複数本の
脱気チューブの内側に液体を流し、減圧チャンバーを減
圧に吸引することにより前記液体中の溶存ガスを脱気す
る脱気装置において、前記減圧チャンバー内に脱気チュ
ーブ支持筒を設け、前記複数本の脱気チューブを前記脱
気チューブ支持筒に巻付け、複数本の脱気チューブへの
液の供給及び排出を主管より複数本の枝管を取り出しこ
れら枝管と脱気チューブとを接続することにより行うと
共に、枝管及び脱気チューブの両方を減圧チャンバー内
に配設したことを特徴とする脱気装置。 - 【請求項２】 減圧チャンバー内に収容された複数本の
脱気チューブの内側に液体を流し、減圧チャンバーを減
圧に吸引することにより前記液体中の溶存ガスを脱気す
る脱気装置において、該脱気チューブの内壁あるいは外
壁の少くとも１方の断面形状が溝付き状であることを特
徴とする脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19882493A JPH0731804A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19882493A JPH0731804A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0731804A true JPH0731804A (ja) | 1995-02-03 |
Family
ID=16397529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19882493A Pending JPH0731804A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731804A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015009239A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-19 | アイデックス ヘルス アンド サイエンス エルエルシー | 螺旋膜を備える流体脱気モジュール |
-
1993
- 1993-07-19 JP JP19882493A patent/JPH0731804A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015009239A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-19 | アイデックス ヘルス アンド サイエンス エルエルシー | 螺旋膜を備える流体脱気モジュール |
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