JPH07314463A

JPH07314463A - 加硫金型の清浄方法

Info

Publication number: JPH07314463A
Application number: JP10652494A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Naka; 淳仲; Yoshio Nohara; 義夫野原
Original assignee: Bridgestone Corp
Current assignee: Bridgestone Corp
Priority date: 1994-05-20
Filing date: 1994-05-20
Publication date: 1995-12-05

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、エラストマー物品に使用する加硫
金型の清浄方法に関するものであり、金型を傷めること
なく金型に付着したエラストマーの加硫残滓を除去す
る。【構成】プラズマ環境下の処理槽２内に加硫金型３を
装入することにより、加硫金型３に付着したエラストマ
ー加硫残滓の除去処理をした後、前記加硫金型３を液中
で高圧気液混合噴射による洗浄処理を行う。また、大気
中での高圧液体噴射法等による洗浄処理を併用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エラストマー物品に使
用する加硫金型の清浄方法に関するものであり、金型を
傷めることなく金型に付着したエラストマーの加硫残滓
を除去する清浄方法に関するものである。なお、エラス
トマーとは、金型による加硫成形前のゴムまたはゴム状
弾性材料配合組成物をさし、加硫残滓とは、エラストマ
ーとこれに配合したカーボンブラック、亜鉛華などの配
合剤が加硫工程の反復によって加硫金型のキャビティー
表面などに堆積してこびりついた汚損物を意味する。

【０００２】

【従来の技術】加硫金型の代表的なものにタイヤ加硫成
形用金型があり、この金型の一つにインサーターモール
ドがある。インサーターモールドは、例えば特開平４−
２２３１０８号公報に記載されているように、各分割モ
ールドは、さらに多数のピースからなっていて、結果と
して数百個程度のピースから構成されている。インサー
ターモールドは、ピース間に形成した２／１００〜８／
１００ｍｍ程度のスリットがエアーベントの機能を果た
すことができるため、エアーベントのないスピューレス
タイプの金型である。

【０００３】加硫金型には、一般的に上述した加硫残滓
が金型のキャビティー表面やエアーベントおよびスリッ
ト内部等に付着したまま残留することが多く、この加硫
残滓の量は加硫工程の反復とともに増加する傾向にあ
る。この金型に付着した加硫残滓は、製品としてのエラ
ストマーの品質に悪影響を及ぼすため除去することが必
要であり、所定の加硫成形回数ごとに前記加硫残滓を除
去する清浄作業を行っている。

【０００４】加硫金型の清浄方法としては、代表的なも
のとして、ショットブラスト法および液体清浄法があ
る。ショットブラスト法は、プラスチックビーズを高圧
ガスで金型に吹き付けることにより清浄する方法であ
り、液体清浄法は、塩酸、硫酸、および硝酸等の強酸、
あるいは苛性ソーダ等の強アルカリの溶液、または有機
アルカリのアミン系の溶液を用いて清浄する方法であ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した金型
の清浄方法にはいずれも問題点がある。すなわち、ショ
ットブラスト法は、金型のキャビティー表面に加硫残滓
が付着している場合には、高圧ガスで吹き付けたプラス
チックビーズが直接当たった部分については清浄できる
ものの、例えばタイヤ用加硫金型のように、エアーベン
トやスリット内部のような部分についてはプラスチック
ビーズが直接当たらないため、この部分に加硫残滓が付
着していれば除去することができない。そのうえ、プラ
スチックビーズが粉砕しこの粉砕したビーズがエアーベ
ントに詰まることがあり、エアー抜き機能等を阻害する
恐れもあった。さらに、金型は通常アルミニュウムを主
体とした材質からできているため強度的に弱い面があ
り、ビーズの衝突による摩滅やエッジ部変形のような物
理的な損傷を生じやすく、金型の文字や刻印が不鮮明に
なったり、パターン形状のシャープさが失われるという
欠点を有していた。特に、インサーターモールドの場合
は、上述したようにピース間に形成したスリットが多数
あるため、このスリットに粉砕したプラスチックビーズ
が詰まったりはみ出しゴムが付着したりしやすく、また
エッジ部には変形バリが生じてスリットの隙間が狭くな
る等の傾向があり、ショットブラスト法ではこのスリッ
トに詰まったプラスチックビーズおよびはみ出しゴムを
除去できず、数百個のピースを分解清浄して再び組み立
てる作業を要し、またエッジ部の変形バリについてもバ
リ取り作業を要するため作業性を大きく悪化させてい
た。

【０００６】一方、液体清浄法は、ショットブラスト法
では除去できなかったエアーベントやスリット内部のよ
うな部分に付着した加硫残滓等を除去することができ、
しかもプラスチックビーズによる金型の摩滅や粉砕した
ビーズの目詰まりを生じることがない点ではショットブ
ラスト法よりも優れているが、酸・アルカリ溶液を用い
た場合は、アルミニュウム材質ベースの金型が大きく腐
食するため好ましくなくまた有機アルカリのアミン系溶
液を用いた場合は、第４類第３石油類の危険物になるた
め、安全上の対策が必要な他、コストが高いなどの欠点
があった。

【０００７】そこで本発明は、金型を傷めずに、しかも
安全性と作業性を低下させることなく金型の表面に付着
したエラストマーの加硫残滓を除去する清浄方法を開発
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、プラズマ環境
下の処理槽内に加硫金型を装入することにより、加硫金
型に付着したエラストマー加硫残滓の除去処理をした
後、前記加硫金型を液中で高圧気液混合噴射による洗浄
処理を行うことを特徴とする加硫金型の清浄方法であ
る。また、プラズマ環境下の処理槽内に加硫金型を装入
することにより、加硫金型に付着したエラストマー加硫
残滓の除去処理をした後、前記加硫金型を液中で高圧気
液混合噴射による洗浄処理を行う前後またはいずれか一
方で、前記加硫金型を大気中で高圧液体噴射による洗浄
処理を行うこと、また、プラズマ環境下の処理槽内に加
硫金型を装入することにより、加硫金型に付着したエラ
ストマー加硫残滓の除去処理をした後、前記加硫金型を
液中で高圧気液混合噴射による洗浄処理を行う前後また
はいずれか一方で、前記加硫金型を高圧気体噴射法、超
音波法、界面活性剤による方法、回転ブラシによる方
法、真空吸引法のいずれかの洗浄処理を行うこと、ま
た、プラズマ環境下の処理槽内に加硫金型を装入するこ
とにより、加硫金型に付着したエラストマー加硫残滓の
除去処理をした後、前記加硫金型を前記高圧気液混合噴
射による洗浄処理を行う前後またはいずれか一方で、前
記加硫金型を大気中で高圧液体噴射による洗浄処理を行
い、更に、前記高圧液体噴射による洗浄処理を行う前後
またはいずれか一方で、前記加硫金型を高圧気体噴射
法、超音波法、界面活性剤による方法、回転ブラシによ
る方法、真空吸引法のいずれかの洗浄処理を行うこと、
がより好ましい。また、プラズマ環境が、処理槽に反応
ガスを送り込み所定電源を用い電極間に電圧を印加する
ことにより生成した所定雰囲気であること、プラズマ環
境が、プラズマ発生炉に反応ガスを送り込み所定電源を
用い電極間に電圧を印加することにより生成した所定雰
囲気を処理槽内に導入することによるものであること、
所定雰囲気が、減圧雰囲気であること、反応ガスが、酸
素ガスであること、反応ガスが、ハロゲン族元素とＢ，
Ｃ，Ｎ，Ｓ，ＰおよびＳｉ元素のいずれか一種と化学的
に結合したハロゲン化物の一種以上からなるハロゲン化
物ガスであること、反応ガスが、酸素ガスとハロゲン化
物ガスとの混合ガスであること、所定電源が、高周波電
源であること、がより好ましい。

【０００９】図１に、本発明方法で使用した代表的なプ
ラズマ処理装置を加硫金型を装入した状態で示してい
る。図中の符号２は処理槽、符号３は加硫金型、符号４
はガス流入口、符号５はオーディオ波電源、符号６は電
極、符号７はガス排出口、符号８は真空ポンプ、符号９
は複数のガスボンベであり、全体でプラズマ処理装置１
を構成している。本発明方法は、まず図１に示すプラズ
マ処理装置１を用いて、プラズマ環境下の処理槽２内に
加硫金型３を装入することにより、加硫金型３に付着し
たエラストマー加硫残滓を除去するための処理をする。

【００１０】前記のプラズマ環境は、複数のガスボンベ
９から反応ガスをガス流入口４を経由して処理槽２に送
り込みオーディオ波電源５を用い電極６，６間に電圧を
印加することにより生成した減圧雰囲気である。この減
圧雰囲気は、処理槽２のガス排出口７を介して連結した
真空ポンプ８により維持され、１０^-1〜１０⁴ Ｐａの範
囲とすることが好ましい。反応ガスは、酸素ガスとハロ
ゲン化物ガスの混合ガスであることが好ましく、加硫金
型３に付着した加硫残滓の量や付着程度などからエッチ
ング力とアッシング力の調整の必要性に応じて、混合ガ
ス中のハロゲン化物の割合を適宜変えることができる。
また、酸素ガスまたはハロゲン化物ガスの単一ガスある
いはこの単一ガスに不活性ガスをそれぞれ添加したガス
または前記混合ガスに不活性ガスを添加したガスを反応
ガスとして使用してもよい。

【００１１】電極６，６間に電圧を印加するための電源
は、プラズマ雰囲気を生成できれば直流電源でもよいが
高周波電源の方が好ましく、特に図１で使用したオーデ
ィオ波電源５および図５で使用したマイクロ波電源１２
がより好ましい。オーディオ波電源５は、２０ｋＨｚや
１３．５６ＭＨｚの周波数が商業的に広く使用されてい
るため価格が安く性能が安定している点で有利である。
このオーディオ波電源５を用いたプラズマ処理装置１の
電極構造は、図１に示すように電極６，６間に加硫金型
３をセットする構造の他、図２に示すような加硫金型３
をアース電極１０とし電極６との間でプラズマを発生さ
せる構造、図３に示すような電極６をアース電極１０と
し加硫金型３との間でプラズマを発生させる構造、図４
に示すような処理槽１１を絶縁体としその処理槽１１の
外部にコンデンサー型（誘電型）またはコイル型（誘導
型）の電極６を備える構造が適している。またマイクロ
波電源１２（２．４５ＧＨｚ）を用いた場合は、プラズ
マ環境を、処理槽２外で生成してから処理槽２内に導入
でき、加硫金型３はプラズマ放電中に直接曝されないた
め、加硫金型３の温度を前記のオーディオ波電源５を用
いて加硫残滓を除去するときの金型の温度（２００℃程
度）に比べ低くすることができ、加硫金型３が熱的な影
響を受けやすい場合は有用である。

【００１２】次に、本発明による加硫金型３の清浄方法
は、前記プラズマ環境で加硫金型３に付着した加硫残滓
を除去した後、望ましくは、図６に示すように加硫金型
３を洗浄槽２０内の大気中で高圧液体噴射により洗浄処
理を行った後、洗浄槽２０内に液２２を導入しこの液２
２に加硫金型３が浸された状態で高圧気液混合噴射によ
り洗浄処理を行う。この洗浄処理を行うことで加硫金型
３を清浄する作用が高められる。なお、高圧液体噴射の
液体圧力は、液体が水の場合、１５〜２５ＭＰａである
ことが好ましい。なお、液２２は水、界面活性剤を含む
水、または弱酸液とすることが好ましく、高圧気液混合
噴射の圧力は液体を水とし気体を空気とした場合は１５
〜２０ＭＰａであることが好ましい。

【００１３】

【作用】加硫成形の反復により加硫金型に付着した加硫
残滓の構成成分は、例えば、タイヤ加硫成形用金型の場
合の一例を表１に示すが、ステアリン酸やパルミチン酸
などの有機成分、無機成分の硫化亜鉛、およびカーボン
ブラックである。発明者は、この加硫残滓の有機成分が
カーボンブラックおよび硫化亜鉛の粒状物の粘結剤とし
て作用して金型に強固にこびりつくこと、また加硫残滓
を金型から除去する方法としては酸化反応を利用した分
解法が有益であることを鋭意検討した結果、突き止め
た。以下に、各構成成分の酸化反応式を示す。有機物：Ｃ_X Ｈ_Y ＋〔Ｏ〕→ＣＯ₂ ＋Ｈ₂ Ｏ（１）カーボンブラック：Ｃ＋〔Ｏ〕→ＣＯ₂ （２）硫化亜鉛：ＺｎＳ＋〔Ｏ〕→ＺｎＳＯ₄ （３）すなわち、前記の酸化反応により有機物は二酸化炭素と
水に、またカーボンブラックは二酸化炭素にそれぞれ分
解して除去し、硫化亜鉛は水溶性の硫酸亜鉛に変化する
ため容易に除去できる状態にすることにより、金型にこ
びりついた加硫残滓を容易に除去できると考えた。しか
し、通常の酸化反応では、７００℃以上の高温で燃焼し
なければ前記の分解反応が生じないため融点が低いアル
ミニユゥム材質を主体とした金型に使用することができ
なかった。

【００１４】

【表１】

【００１５】これに対し、本発明方法ではまずプラズマ
環境下の処理槽２内に加硫金型３を装入し、加硫金型３
に付着した加硫残滓をプラズマ中に曝すことにより前記
した酸化反応を生じ加硫残滓を比較的低温でアッシュ化
し、分解することができ、このときの酸化反応は、約２
００℃程度の低温で生じるため加硫金型３を高温に曝さ
なくてよい。また、加硫金型３のエアーベントやスリッ
ト内部等に付着した加硫残滓についてもアッシュ化し、
分解することができ、従来のように分解等の作業をする
ことなく除去することができる。また、加硫金型３が熱
的に影響を受けやすいため、より低温のプラズマ中で除
去作業を行う必要がある場合は、プラズマ発生炉１３で
プラズマ環境を生成してから処理槽２内にプラズマ雰囲
気を導入することもできる。

【００１６】次に、本発明方法では、加硫残滓がプラズ
マ環境下で除去された後、さらに望ましくは、加硫金型
３を大気中で高圧液体噴射ノズルによる洗浄処理を行う
ことでまず金型のキャビティー表面に付着している加硫
残滓を効率よく重点的に洗浄処理した後、金型を液に浸
した状態で高圧気液混合噴射ノズルにより洗浄処理を行
うことで加硫金型３のエアーベントやスリット内部等に
付着しているアッシュ化した加硫残滓は除去される。高
圧気液混合噴射ノズルからは１５〜２０ＭＰａに加圧さ
れた高圧の例えば水と空気の混合体が噴射され、高圧下
の微細な気泡３２は流動性が良く図７に示すように、イ
ンサーターモールドのピース３０の表面側３０ａから裏
側３０ｂの方向に向ってピース３０，３０間に形成して
いるスリット３１に入り込む。噴射ノズルを出てスリッ
ト３１に入り込んだ気泡３２は、矢印方向に流れると同
時に周囲の圧力が低いので急激に体積が膨張して膨張し
た気泡３３となり、さらに膨張して崩壊した気泡群３４
となる。このように気泡３３が崩壊し気泡群３４となる
ときに発生する爆発的な衝撃力は、スリット３１の内壁
面にアッシュ化しこびりついていた加硫残滓である灰化
物３５を除去し、強力な洗浄作用を発揮する。このよう
に高圧気液混合噴射ノズルによる洗浄処理をすることで
加硫残滓を除去しやすくなり、更には、高圧液体噴射ノ
ズルによる洗浄処理を併用することで、加硫残滓をより
一層除去しやすくなる。

【００１７】

【実施例】本発明方法にしたがう加硫金型の清浄方法を
図面を参照しながら説明する。実施例１は、図１に示す
プラズマ処理装置を用い、加硫金型３を処理槽２内にセ
ットし、その処理槽２と接続された真空ポンプ８により
１３３Ｐａの減圧雰囲気に保持した後、複数のガスボン
ベ９内の酸素ガスを反応ガスとしてガス流入口４から処
理槽２に送り込む。そしてオーディオ波電源５を用い、
１３．５６ＭＨｚ、５００Ｗの条件で電極６，６間に電
圧を印加してプラズマを発生させ、３０分間加硫金型３
をプラズマ中に暴露した。その後、図６に示す処理槽２
０内に加硫金型３を移して１５ＭＰａの水圧で高圧液体
噴射ノズル２１による洗浄処理を大気中で１０分間行っ
た。（この時点ではまだ処理槽２０内に液２２を導入し
ていない）なお、加硫金型３の内側全面をもれなく洗浄するために
前記高圧液体噴射ノズル２１は上下およびおそい回転運
動をするようになっている。更にその後、前記高圧液体
噴射ノズル２１を上側に退避させた後で、処理槽２０内
に液２２として例えば水を導入し、加硫金型３を水に浸
した状態で１５ＭＰａの水圧で高圧気液混合噴射ノズル
２３による洗浄処理を水中で１０分間行った。なお、前
記高圧気液混合噴射ノズル２３も前記高圧液体噴射ノズ
ル２１と同様に上下およびおそい回転運動をするように
なっている。前記高圧気液混合噴射ノズル２３からはポ
ンプ２４により加圧された例えば水と空気２６との混合
体が噴射されるようになっている。そして、高圧気液混
合噴射ノズル２３から噴射された前記混合体は液体再処
理装置２７により水だけがポンプ２４により循環し再利
用されるようになっている。符号２５は補給水用のタン
クである。なお、前記加硫金型３は、アルミニュウムを
主材料とした金型を用いた。

【００１８】実施例２は、図５に示すプラズマ処理装置
１４を用い、プラズマ発生炉１３にガスボンベ９から酸
素ガスを反応ガスとして送り込んでマイクロ波電源１２
を用い、２．４５ＧＨｚ、１ｋｗの条件で電圧を印加す
ることにより生成したプラズマ環境を処理槽２内に導入
し３０分間、加硫金型３をプラズマ中に暴露し、その後
１５ＭＰａの水圧で図６に示す高圧液体噴射ノズル２１
による洗浄処理を大気中で１０分間行った。（この時点
ではまだ処理槽２０内に液２２を導入していない）更にその後、処理槽２０内に液２２として例えば水を導
入し加硫金型３を水に浸した状態で１５ＭＰａの水圧で
高圧気液混合噴射ノズル２３による洗浄処理を水中で１
０分間行った。なお、前記加硫金型３は、アルミニュウ
ムを主材料とした金型を用いた。

【００１９】実施例３は、反応ガスとしてＣＦ₄ ガスを
使用した以外は実施例１に記載した方法と同様である。
実施例４は、反応ガスとして９０％の酸素ガスと１０％
のＣＦ₄ ガスとの混合ガスを使用した以外は実施例１に
記載した方法と同様である。なお、この実施例１〜４で
は加硫金型３を処理槽２内でプラズマ処理後、別の処理
槽２０内に加硫金型３を移してから、高圧液体噴射ノズ
ル２１及び高圧気液混合噴射ノズル２３による洗浄処理
を行ったが、プラズマ処理後同一の処理槽内で高圧液体
噴射ノズル及び高圧気液混合噴射ノズルによる洗浄処理
を行なうようにしてもよい。

【００２０】従来例１は、ショットブラスト法により行
った。このときの条件は、プラスチックビーズを０．５
ＭＰａの高圧空気噴射による洗浄処理である。なお、加
硫金型は、アルミニュウムを主材料とした金型を用い
た。従来例２は、液体清浄法により行った。このときの
条件は、アミン系溶液に浸漬膨潤後１５ＭＰａの高水圧
噴射による洗浄処理である。なお、加硫金型は、アルミ
ニュウムを主材料とした金型を用いた。

【００２１】前記した方法で行った加硫金型の清浄状態
を評価するとともに、加硫金型の損傷状態および清浄方
法の安全性についても評価した。表２にこれらの評価結
果を示す。表２の結果から実施例１〜４は従来例１およ
び従来例２に比し、加硫金型の清浄性に優れている。ま
た、いずれの実施例とも、加硫金型の損傷が認められ
ず、清浄作業についても安全であった。

【００２２】

【表２】

【００２３】なお、プラズマ環境下で加硫残滓の除去処
理をした後、超音波による洗浄処理を行い、更にその後
液中で高圧気液混合噴射による洗浄処理を行うようにし
た、加硫金型清浄方法でもよい。また、プラズマ環境下
で加硫残滓の除去処理をした後、界面活性剤による洗浄
処理を行い、更にその後液中で高圧気液混合噴射による
洗浄処理を行うようにした、加硫金型清浄方法でもよ
い。さらに、プラズマ環境下で加硫残滓の除去処理をし
た後、高圧気体噴射による洗浄処理を行い、更にその後
液中で高圧気液混合噴射による洗浄処理を行うようにし
た、加硫金型清浄方法でもよい。さらに、プラズマ環境
下で加硫残滓の除去処理をした後、回転ブラシによる洗
浄処理を行い、更にその後液中で高圧気液混合噴射によ
る洗浄処理を行うようにした、加硫金型清浄方法でもよ
い。さらに、プラズマ環境下で加硫残滓の除去処理をし
た後、真空吸引による洗浄処理を行い、更にその後液中
で高圧気液混合噴射による洗浄処理を行うようにした、
加硫金型清浄方法でもよい。

【００２４】

【発明の効果】本発明方法は、まずプラズマ環境下の処
理槽内に加硫金型を装入し、加硫金型に付着した加硫残
滓をプラズマ中に曝すことにより前記した酸化反応を生
じさせて加硫残滓を比較的低温でアッシュ化し、分解す
ることができるため、加硫金型に付着した加硫残滓を容
易に除去することができる。また加硫金型は熱的損傷を
受けず、更に、従来の清浄方法であるショットブラスト
法や液体清浄法のような物理的または化学的な損傷も受
けないので金型の寿命が向上する。次に、本発明方法
は、加硫残滓をプラズマ環境下で除去した後に、加硫金
型を高圧気液混合噴射による洗浄処理をすることによ
り、加硫金型のエアーベントやスリット内部等に付着し
た加硫残滓についても従来のように分解・組み立てをす
ることなく除去することができる。これにより作業性に
有利であり、特に数百個のピースからなるインサーター
モールドを清浄するのに適している。更には、高圧液体
噴射法の他、高圧気体噴射法、超音波法、界面活性剤に
よる方法、回転ブラシによる方法、真空吸引法等の洗浄
処理を併用することで、加硫残滓をより一層容易に除去
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法にしたがう実施例で使用したプラズ
マ処理装置の該略図である。

【図２】本発明方法にしたがうプラズマ処理装置の該略
図である。

【図３】本発明方法にしたがうプラズマ処理装置の該略
図である。

【図４】本発明方法にしたがうプラズマ処理装置の該略
図である。

【図５】本発明方法にしたがう実施例で使用したプラズ
マ処理装置の該略図である。

【図６】本発明方法にしたがう洗浄処理を行っている状
態の該略図である。

【図７】本発明方法にしたがう気泡による洗浄作用のメ
カニズム説明図である。

【符号の説明】

１：プラズマ処理装置２：処理槽３：加硫金型４：ガス流入口５：オーディオ波電源６：電極７：ガス排出口８：真空ポンプ９：ガスボンベ１０：アース電極１１：処理槽１２：マイクロ
波電源１３：プラズマ発生炉１４：プラズマ
処理装置２０：処理槽２１：高圧液体
噴射ノズル２２：液２３：高圧気液
噴射ノズル２４：ポンプ２５：タンク２６：空気２７：液体再処
理装置３０：（モールドの）ピース３０ａ：表面側３０ｂ：裏側３１：スリット３２：気泡３３：膨張した
気泡３４：（崩壊した）気泡群３５：灰化物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラズマ環境下の処理槽内に加硫金型を
装入することにより、加硫金型に付着したエラストマー
加硫残滓の除去処理をした後、前記加硫金型を液中で高
圧気液混合噴射による洗浄処理を行うことを特徴とする
加硫金型の清浄方法。
【請求項２】前記高圧気液混合噴射による洗浄処理を
行う前後またはいずれか一方で、前記加硫金型を大気中
で高圧液体噴射による洗浄処理を行うことを特徴とする
請求項１に記載の加硫金型の清浄方法。
【請求項３】前記高圧気液混合噴射による洗浄処理を
行う前後またはいずれか一方で、高圧気体噴射法、超音
波法、界面活性剤による方法、回転ブラシによる方法、
真空吸引法のいずれかの洗浄処理を行うことを特徴とす
る請求項１又は請求項２に記載の加硫金型の清浄方法。
【請求項４】プラズマ環境が、処理槽に反応ガスを送
り込み所定電源を用い電極間に電圧を印加することによ
り生成した所定雰囲気であることを特徴とする請求項
１、２又は３に記載の方法。
【請求項５】プラズマ環境が、プラズマ発生炉に反応
ガスを送り込み所定電源を用い電極間に電圧を印加する
ことにより生成した所定雰囲気を処理槽内に導入するこ
とによるものであることを特徴とする請求項１、２又は
３に記載の方法。
【請求項６】所定雰囲気が、減圧雰囲気であることを
特徴とする請求項４又は請求項５に記載の方法。
【請求項７】反応ガスが、酸素ガスであることを特徴
とする請求項４〜６のいずれか一に記載の方法。
【請求項８】反応ガスが、ハロゲン族元素とＢ，Ｃ，
Ｎ，Ｓ，ＰおよびＳｉ元素のいずれか一種と化学的に結
合したハロゲン化物の一種以上からなるハロゲン化物ガ
スであることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一に
記載の方法。
【請求項９】反応ガスが、酸素ガスとハロゲン化物ガ
スとの混合ガスであることを特徴とする請求項４〜６の
いずれか一に記載の方法。
【請求項１０】所定電源が、高周波電源であることを
特徴とする請求項４〜９のいずれか一に記載の方法。