JPH07314292A - 静圧軸受の軸負荷検出装置 - Google Patents

静圧軸受の軸負荷検出装置

Info

Publication number
JPH07314292A
JPH07314292A JP11506094A JP11506094A JPH07314292A JP H07314292 A JPH07314292 A JP H07314292A JP 11506094 A JP11506094 A JP 11506094A JP 11506094 A JP11506094 A JP 11506094A JP H07314292 A JPH07314292 A JP H07314292A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
shaft
output
load
machining
displacement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11506094A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoyuki Uchiyama
尚行 内山
Yoshitaka Nagano
佳孝 永野
Yoshio Fujikawa
芳夫 藤川
Shoji Fujii
章二 藤井
Shizuka Yamazaki
静 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP11506094A priority Critical patent/JPH07314292A/ja
Publication of JPH07314292A publication Critical patent/JPH07314292A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 軸に加わった力による変位のみを検出し、そ
の状態が正常であるかあるいは異常であるかなどの判断
を自動的に行なえる静圧軸受の軸負荷検出装置を提供す
る。 【構成】 変位センサ9,10の出力信号11をA/D
コンバータ12でデジタル信号に変換してCPU13に
入力する。CPU13は変位センサの変動率の急増分の
みを取出し、負荷による軸変位を検知し、レベルメータ
14に表示し、信号出力回路16からオープンコレクタ
の態様で出力する。軸変位を予め設定した基準値と比較
し、設定値オーバの信号を出力したり、軸が変位してい
る時間を検知し、この時間と軸変位量から工具の異常な
どを検知する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は静圧軸受の軸負荷検出
装置に関し、特に、タッチセンサや穴開け加工などに利
用されるエアースピンドルの負荷状態を検出するような
軸負荷検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、たとえば小径の穴開け加工を
するために、エアースピンドルが用いられるが、工具の
径が小さいため、加工時に工具が折損しやすいという問
題がある。このため、従来から加工状態を監視すること
により、工具の折損を検出あるいは予知しようとする試
みがなされており、その1つにスピンドルに変位センサ
を組込み、加工反力を主軸の変位によって検出するもの
がある。
【0003】図7はそのようなエアースピンドルの縦断
面図である。図7において、主軸1の先端にはチャック
2が設けられていて、このチャック2にワークWを穴開
けするためのドリルTが取付けられている。主軸1には
ロータ3が設けられ、このロータ3に対向するようにス
テータ4がハウジング5に取付けられている。エアー注
入口6からエアーが注入されると、上部の静圧流体軸受
7と下部の静圧流体軸受8から主軸1にエアーが吹付け
られ、主軸1がハウジング5に対して非接触で支持さ
れ、ステータ4が駆動されることによってロータ3が回
転し、ドリルTによってワークWが穴開け加工される。
ハウジング5の上部と下部には非接触型の変位センサ
9,10が設けられていて、これらの変位センサ9,1
0によって主軸1の変位が検知される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図7に示し
たようなスピンドルにおいては、回転時にモータからの
発熱があり、高速回転時には軸受部7の摩擦損失による
発熱なども生じる。また、周囲の温度変化によるハウジ
ング5と静圧流体軸受7,8との温度差なども生じる。
さらに、主軸1とハウジング5の材質の違いによる熱膨
張差もある。したがって、これらにより主軸1とハウジ
ング7との間の相対変位が生じ、主軸1の変位として検
出される。
【0005】しかも、変位センサ9,10自身の温度ド
リフトもあり、単にスピンドルに変位センサ9,10を
組込んだのみでは、主軸1に加わった負荷によって主軸
1が変位したのか、それとも上述の他の影響によるのか
の判断が困難である場合が多い。また、この出力から現
状態が異常であるかあるいは正常であるかの判断を自動
的に行なうことも困難である。
【0006】それゆえに、この発明の主たる目的は、主
軸に加わった力による変位のみを検出し、かつその状態
が正常であるか異常であるかなどの判断を自動的に行な
うことができるような静圧軸受の軸負荷検出装置を提供
することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
ジャーナルおよびスラスト軸受の少なくともいずれか一
方を空気軸受で軸支し、これによって支持される軸のラ
ジアル方向またはスラスト方向の変位を非接触で検知す
るセンサを内蔵したスピンドルにおいて、軸負荷を検出
する軸負荷検出装置であって、センサの検出出力が急激
に変動したとき、軸に負荷が加わったものとして判断す
る判断手段と、負荷が加わったものとして判断された直
前のセンサ出力を基準値とし、判断手段によって負荷が
加わったと判断されたときのセンサ出力と基準値との差
を軸変位量として出力する軸変位検出手段を備えて構成
される。
【0008】請求項2に係る発明では、さらに軸変位検
出手段から出力された軸変位量を表示するための軸変位
量表示手段と、1つの穴の加工中に軸変位検出手段から
出力された軸変位量の最大値を次の負荷が加わるまで保
持して軸変位量表示手段に表示させる表示制御手段とを
含む。
【0009】請求項3に係る発明は、軸変位検出手段か
ら出力された軸変位量が予め定める限界値を越えたと
き、軸受異常信号を出力する軸受異常信号出力手段と、
その軸受異常を表示する軸受異常表示手段とを含む。
【0010】請求項4に係る発明では、請求項1のスピ
ンドルは工具を回転させてワークを加工するものであっ
て、軸の基準変位量を設定するための設定手段と、出力
された軸の基準変位量と設定された軸の基準変位量とを
比較し、出力された軸の基準変位量が設定された軸変位
量を越えたとき、設定された軸の基準変位量を越えたも
のとして設定値オーバ信号を出力する設定値オーバ信号
出力手段と、その出力に応じて、設定値オーバを表示す
る設定値オーバ表示手段とを含む。
【0011】請求項5に係る発明では、軸変位検出手段
は、軸が負荷を受けて変位している間、変位検出中を示
す変位検出中信号を出力する。
【0012】請求項6に係る発明では、工具によってワ
ークの複数箇所を加工するとき、ある箇所を加工してい
るときの軸変位量の最大値をその加工時間で除算した値
を算出し、その値が前の加工時に比べて急増しているこ
とに応じて工具異常を判別する。
【0013】請求項7に係る発明では、ワークの1ヶ所
を加工中における軸変位量の最大値が前の箇所の加工時
に比較して激減したことに応じて、工具異常を判別す
る。
【0014】請求項8に係る発明では、ワークの複数箇
所を加工するときある箇所の加工から次の箇所の加工ま
での時間が予め定める時間以上となったことに応じて、
工具異常を判別する。
【0015】請求項9に係る発明では、工具によってワ
ークの複数箇所を加工するとき、スピンドルを取付ける
軸の切込信号が出力中において、変位検出中信号が出力
されていないことに応じて、工具異常を判別する。
【0016】
【作用】請求項1に係る発明は、センサの検出出力が急
激に変動したとき、軸の負荷が加わったものとして判断
し、直前のセンサ出力を基準とし、負荷が加わったと判
断されたときのセンサ出力と基準値との差を軸変位量と
して出力する。
【0017】請求項2に係る発明では、出力された軸変
位量の最大値を次の負荷が加わるまで保持して表示す
る。
【0018】請求項3に係る発明は、出力された軸変位
量が予め定める限界値を越えたとき軸受異常として表示
する。
【0019】請求項4に係る発明は、軸の基準変位量を
予め設定しておき、出力された軸変位量と設定された軸
の基準変位量とを比較して、出力された軸の基準変位量
が設定された軸変位量を越えたとき、設定値をオーバし
たものとして表示する。
【0020】請求項5に係る発明は、軸が負荷を受けて
変位している間変位検出中を示す変位検出信号を出力す
る。
【0021】請求項6に係る発明では、ワークの複数箇
所を加工するときに、ある箇所を加工しているときの軸
変位量の最大値をその加工時間で除算した値を算出し、
その値が前の加工時に比べて急増していれば工具異常で
あると判別する。
【0022】請求項7に係る発明では、ワークのある箇
所を加工中における軸変位量の最大値が前の箇所の加工
時に比較して激減していれば工具異常であると判別す
る。
【0023】請求項8に係る発明では、ある箇所の加工
から次の箇所の加工までの時間が予め定める値以上であ
れば工具異常であると判別する。
【0024】請求項9に係る発明では、スピンドルを取
付ける軸の切込信号が出力中において、変位検出中信号
が出力されていないことに応じて、工具異常を判別す
る。
【0025】
【実施例】図1はこの発明に一実施例の概略ブロック図
である。図1において、図7に示した変位センサ9,1
0からのセンサ出力11はA/Dコンバータ12に与え
られ、デジタル信号に変換されてCPU13に与えられ
る。CPU13にはA/Dコンバータ12の他に、レベ
ルメータ14とD/Aコンバータ15と信号出力回路1
6と液晶表示器17と入力キー18とが接続される。レ
ベルメータ14は主軸のスラスト変位を発光ダイオード
で表示するものであり、D/Aコンバータ15は主軸の
スラスト変位をアナログ信号として出力する。信号出力
回路16はCPU13からの指令に応じて、後述の図2
に示す発光ダイオード(LED)20を表示させるとと
もに、オープンコレクタで外部に信号を出力する。液晶
表示器17は入力キー18から各種パラメータを入力す
るときの指示を表示する。
【0026】図2はこの発明の一実施例の外観図であ
る。図2において、操作面には図1で説明したレベルメ
ータ14と液晶表示器17と入力キー18と発光ダイオ
ード20とが設けられている。発光ダイオード20は電
源の投入を表示する表示器21と、変位検出を表示する
表示器22と、設定値オーバを表示する表示器23と、
工具異常を表示する表示器24と、システム異常を表示
する表示器25と、軸受異常を表示する表示器26とを
含む。
【0027】ここで、図1および図2を参照して、この
発明の一実施例の概要について説明する。図7に示した
変位センサ9,10からのセンサ出力11は通常6ms
ec間隔でA/Dコンバータ12に与えられてデジタル
信号に変換され、CPU13に取込まれる。取込まれた
変位センサ出力V1 は180msec前のデータV0
逐次比較され、その差がたとえば40mV以上になった
とき、CPU13はスピンドルに負荷が加わったものと
判断し、負荷が加わっている間は2msec間隔でサン
プリングを行なう。CPU13はスピンドルに負荷が加
わったと判断した場合、その時点でのデータをV0 を基
準点とし、逐次取込まれた変位センサ出力V1 との差を
負荷による軸変位量として信号出力回路16に出力す
る。また、CPU13はそれを視覚的に確認できるよう
に、レベルメータ14に表示させる。レベルメータ14
のレンジは1LEDにつき、0.5μm,1.0μm,
2.0μmの3段階で切換え可能となっている。各種パ
ラメータは、液晶表示器17の指示に従って、入力キー
18から入力される。レベルメータ14の表示は、各切
込みごとの軸変位の表示最大値を保持していて、次の負
荷が加わるまで点灯表示する。
【0028】図3〜図6はこの発明の一実施例の具体的
な動作を説明するためのフローチャートである。
【0029】次に、図1〜図6を参照して、この発明の
一実施例の具体的な動作について説明する。この実施例
では、液晶表示器17からの指示に従って、数種類のパ
ラメータを入力キー18から入力可能となっている。図
3に示すステップ(図示ではSPと略称する)SP1に
おいて、CPU13はセンサ出力11をA/Dコンバー
タ12で変換したデジタル信号を取込み、それをデータ
INとする。CPU13はステップSP2において軸受
が正常であるか否かを検出する。これは、前述のごと
く、予め軸変位量の限界値がROM内に設定されてお
り、センサ出力11が設定値を越えていればステップS
P3において軸受異常信号を信号出力回路16に出力す
る。応じて、信号出力回路16はオープンコレクタ出力
をオンさせて、軸受異常信号を出力するとともに、図2
に示す発光ダイオード26を点灯させる。軸受が異常で
なければ、ステップSP4において軸受異常信号をオフ
にするとともに、発光ダイオード26をオフにする。
【0030】ステップSP5において、センサ機能を継
続させるか否かを確認し、継続であればステップをSP
6において、変位検出信号により加工中であるかを確認
する。加工中でなければ図4に示すステップSP7に進
む。
【0031】ステップSP7において、CPU13はセ
ンサ出力VINを取込み180msec前のセンサ出力V
DATAと現在のセンサ出力VINとの差が加工開始判定のた
めの設定値よりも大きくなったか否かを判別する。この
設定値は、予め図示しないROMに設定されており、た
とえば40mVに設定されている。もし、180mse
c前のセンサ出力VDATAと現在のセンサ出力VINとの差
が40mV以下であれば、ステップSP8において、V
DATAを消去し、現在のセンサ出力INを保存し、このセン
サ出力VINを新たなVDATAとする。
【0032】ステップSP7において、VDATA−VIN
40mVを越えていれば、ステップSP9において、V
DATAを基準値VBASEとし、ステップSP10において変
位検出信号を出力するとともに、発光ダイオード22を
点灯させ、初期状態に戻る。そして、前述のステップS
P1〜SP6の動作を繰返し、ステップSP6において
変位検出信号によって加工中であることを確認すると、
ステップSP11に進む。
【0033】ステップSP11において、CPU13は
基準電圧VBASEと現在のセンサ出力VINの差を求めて軸
変位量VOUT を算出し、ステップSP12において、軸
変位量VOUT が加工終了判定のための設定値VEND より
も小さくなったか否かを判別する。加工終了判定のため
の設定値VEND は予めCPU13に設定されている。C
PU13は軸変位量VOUT が設定値VEND よりも大きけ
れば、図5に示すステップSP13に進み、軸変位量V
OUT を信号出力回路16に出力する。また、CPU13
はステップSP14において軸変位量VOUT をレベルメ
ータ14にも出力し、軸変位量を表示させる。ステップ
SP15において、CPU13は軸変位量VOUT と設定
値VLEVEL とを比較し、軸変位量VOUT が設定値V
LEVEL よりも小さければ、ステップSP17において設
定値オーバ信号をオフにするとともに、発光ダイオード
23を消灯させる。軸変位量VOUT が設定値VLEVEL
りも大きければ、ステップSP18において、設定値オ
ーバ信号をオンにするとともに、発光ダイオード23を
点灯させる。設定値オーバ判定のための設定値VLEVEL
は予め入力キー18から入力されて設定されている。
【0034】その後、CPU13はステップSP1に戻
り、前述の説明と同様にして、ステップSP1〜SP1
2に進み、ステップSP12において、軸変位量VOUT
が設定値VEND よりも小さくなったことを判別すると、
ステップSP19において、変位検出信号をオフにする
とともに、発光ダイオード22を消灯させる。そして、
CPU13はステップSP20に進み、折損検出モード
であるか否かを判別する。折損検出モードでなければス
テップSP1に戻り、折損検出モードであれば、次に述
べる3種類の方法で検出を行ない、いずれにおいて検出
しても異常と判断する。
【0035】すなわち、ドリルTの先端が折損した場
合、加工時の軸変位量が増加し、またドリル折損分だけ
正常時と比較して被削材に接触し始める時間が遅れ、ド
リルTの切込み時間が減少する。両者の変化を際立たせ
るために、各穴の加工における軸変位量の最大値(ステ
ップ加工の場合は1つの穴加工内での各ステップの最大
軸変位量の平均値)をそのときの切込み時間(ステップ
加工の場合は1つの穴加工におけるステップ回数)で割
り、この値をkとするとき、現在のkの値とその前数個
分のkの平均値との比を逐次算出し、その比が大きく変
化したときを折損とする。
【0036】現在の穴加工時の最大軸変位量をpi ,加
工時間をti とすると、現在のkの値ki は ki =pi /ti また、現在よりも数個分前までのkの平均値をkA とす
るとき、 K=ki /kA …(1) とし、第(1)式におけるKの上限値を設定しておき、
現在のそれと比較することにより折損判定を行なう。な
お、Kの上限値は加工条件により予め入力キー18によ
って設定される。
【0037】 工具先端が折損した場合、加工中の軸
変位量が極端に減少する現象が見られることがある。現
在の最大軸変位量をpi とし、それ以前の最大軸変位量
の数個の平均をpA とするとき、 H=pi /pA …(2) とし、第(2)式におけるHの下限界値を設定してお
き、現在のそれと比較することにより折損判定を行な
う。Hの下限値は予め入力キー18によって設定され
る。
【0038】 工具折損量が大きい場合、加工機がス
ピンドルを切込み量だけ送っても工具がワークに切込ま
ない。正常な加工の場合、工具が負荷を受けていない時
間M t がテーブルの最大移動時間よりも大きいと工具折
損と推定される。Mt の限界値は加工条件により予め入
力キー18によって設定しておき、現在のそれと比較す
ることにより、折損判定を行なう。
【0039】以上の方法でステップSP21で工具異常
と判定した場合、ステップSP22において、工具異常
信号を出力するとともに、発光ダイオード24を点灯し
て初期状態に戻る。ステップSP5において、終了であ
ることを判別すれば、ステップSP23において、工具
異常信号、設定値オーバ信号、変位検出信号のそれぞれ
の出力をオフにする。
【0040】なお、切込み深さの異なる工具異常検出方
法として、加工機において、本スピンドルを取付けたZ
軸の加工信号と軸変位信号とを比較し、Z軸加工時間内
に軸変位が生じなかった場合を工具異常として検出する
ようにしてもよい。
【0041】また、上述の実施例では、説明の都合上主
として穴開けスピンドルをこの発明に適用し、主軸のス
ラスト変位を検出する方法を中心に説明したが、変位セ
ンサによる検出は軸のラジアル変位の検出においても同
様であり、またスピンドルの用途も研削用,ルータ加工
用などの他の加工用スピンドルや軸を回転させずに軸に
他の物体が接触したかどうかを検知するためのタッチセ
ンサなどにおいても応用可能である。
【0042】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、セン
サの検出出力が急激に変動したとき、回転軸に負荷が加
わったものとして判断し、直前のセンサ出力を基準と
し、負荷が加わったと判断したときのセンサ出力との差
を軸変位量として出力するようにしたので、センサの温
度ドリフトや温度差および熱膨張による相対変位などの
影響を受けることなく、変位センサの変動率の急増分の
みを取出して軸変位を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例の概略ブロック図である。
【図2】この発明の一実施例の外観図である。
【図3】この発明の一実施例の具体的な動作を説明する
ためのフローチャートである。
【図4】この発明の一実施例における変位検出信号を出
力するフローチャートを示す図である。
【図5】この発明の一実施例の変位信号が設定値をオー
バしたときの動作を説明するためのフローチャートであ
る。
【図6】この発明の一実施例における折損検出モードを
説明するためのフローチャートである。
【図7】従来のエアースピンドルの構造を示す要部縦断
面図である。
【符号の説明】
11 センサ出力 12 A/Dコンバータ 13 CPU 14 レベルメータ 15 D/Aコンバータ 16 信号出力回路 17 液晶表示器 18 入力キー
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G01L 5/00 K (72)発明者 山崎 静 静岡県磐田市東貝塚1251番地の35

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ジャーナルおよびスラスト軸受の少なく
    ともいずれか一方を空気軸受で軸支し、これによって支
    持される軸のラジアル方向またはスラスト方向の変位を
    非接触で検知するセンサを内蔵したスピンドルにおい
    て、前記軸の負荷状態を検出する静圧軸受の軸負荷検出
    装置であって、 前記センサの検出出力が急激に変動したとき、前記回転
    軸に負荷が加わったものとして判断する判断手段、およ
    び前記判断手段によって負荷が加わったものとして判断
    された直前のセンサ出力を基準値とし、前記判断手段に
    よって負荷が加わったと判断されたときのセンサ出力と
    前記基準値との差を軸変位量として出力する軸変位検出
    手段を備えた、静圧軸受の軸負荷検出装置。
  2. 【請求項2】 さらに、前記軸変位検出手段から出力さ
    れた軸変位量を表示するための軸変位量表示手段と、 1つの穴の加工中に、前記軸変位検出手段から出力され
    た軸変位量の最大値を次の負荷が加わるまで保持して前
    記軸変位量表示手段に表示させる表示制御手段を含む、
    請求項1の静圧軸受の軸負荷検出装置。
  3. 【請求項3】 前記軸変位検出手段から出力された軸変
    位量が予め定める限界値を越えたとき、軸受異常信号を
    出力する軸受異常信号出力手段と、 前記軸受異常信号出力手段の出力に応じて軸受異常を表
    示する軸受異常表示手段とを含む、請求項1の静圧軸受
    の軸負荷検出装置。
  4. 【請求項4】 前記スピンドルは工具を回転させてワー
    クを加工するものであって、 軸の基準変位量を設定するための設定手段と、 前記軸変位検出手段から出力された軸変位量と前記設定
    手段によって設定された軸の基準変位量とを比較し、前
    記出力された軸変位量が前記設定された軸の基準変位量
    を越えたとき、前記設定された軸の基準変位量を越えた
    ことを知らせる設定値オーバ信号出力手段と、 前記設定値オーバ信号出力手段の出力に応じて、設定値
    のオーバを表示する設定値オーバ表示手段とを含む、請
    求項1の静圧軸受の軸負荷検出装置。
  5. 【請求項5】 前記軸変位検出手段は、前記回転軸が負
    荷を受けて変位している間、変位検出中を示す変位検出
    中信号を出力することを特徴とする、請求項1の静圧軸
    受の軸負荷検出装置。
  6. 【請求項6】 前記工具によって前記ワークの複数箇所
    を加工するとき、ある箇所を加工しているときの軸変位
    量の最大値をその加工時間で除算した値を算出し、その
    値が前の加工時に比べて急増していることに応じて工具
    異常を判別することを特徴とする、請求項1の静圧軸受
    の軸負荷検出装置。
  7. 【請求項7】 前記工具によって前記ワークの複数箇所
    を加工するとき、ある箇所の加工中における軸変位量の
    最大値が前の箇所の加工時に比較して激減したことに応
    じて、工具異常を判別することを特徴とする、請求項1
    の静圧軸受の軸負荷検出装置。
  8. 【請求項8】 前記工具によって前記ワークの複数箇所
    を加工するとき、ある箇所の加工から次の箇所の加工ま
    での時間が予め定める値以上になったことに応じて、工
    具異常を判別することを特徴とする、請求項1の静圧軸
    受の軸負荷検出装置。
  9. 【請求項9】 前記工具によって前記ワークの複数箇所
    を加工するとき、前記スピンドルを取付ける軸の切込信
    号が出力中において、前記変位検出中信号が出力されて
    いないことに応じて、工具異常を判別することを特徴と
    する、請求項5の静圧軸受の軸負荷検出装置。
JP11506094A 1994-05-27 1994-05-27 静圧軸受の軸負荷検出装置 Pending JPH07314292A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11506094A JPH07314292A (ja) 1994-05-27 1994-05-27 静圧軸受の軸負荷検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11506094A JPH07314292A (ja) 1994-05-27 1994-05-27 静圧軸受の軸負荷検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07314292A true JPH07314292A (ja) 1995-12-05

Family

ID=14653189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11506094A Pending JPH07314292A (ja) 1994-05-27 1994-05-27 静圧軸受の軸負荷検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07314292A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000263375A (ja) * 1999-03-17 2000-09-26 Ntn Corp スピンドル装置
JP2000263376A (ja) * 1999-03-17 2000-09-26 Ntn Corp 静圧磁気複合軸受スピンドル装置
JP2001150244A (ja) * 1999-10-07 2001-06-05 Liebherr-Verzahntechnik Gmbh 歯車形削り盤の動作方法
JP2006095656A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Doshisha プリント基板用穴あけ加工機およびそれを用いたプリント基板の穴あけ加工条件決定方法
JP2011021896A (ja) * 2009-07-13 2011-02-03 Ntn Corp センサ付車輪用軸受
JP2011189459A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Howa Mach Ltd ツールホルダ装着異常検出方法及び工作機械
CN104165719A (zh) * 2013-05-17 2014-11-26 臻越自动化技术(上海)有限公司 拉压力检测装置及其检测方法
CN114623159A (zh) * 2022-03-25 2022-06-14 西安热工研究院有限公司 一种防止出现穴蚀的静压轴承

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000263375A (ja) * 1999-03-17 2000-09-26 Ntn Corp スピンドル装置
JP2000263376A (ja) * 1999-03-17 2000-09-26 Ntn Corp 静圧磁気複合軸受スピンドル装置
JP2001150244A (ja) * 1999-10-07 2001-06-05 Liebherr-Verzahntechnik Gmbh 歯車形削り盤の動作方法
JP4707813B2 (ja) * 1999-10-07 2011-06-22 リープヘル−フェアツァーンテヒニーク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 歯車形削り盤とその動作方法
JP2006095656A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Doshisha プリント基板用穴あけ加工機およびそれを用いたプリント基板の穴あけ加工条件決定方法
JP2011021896A (ja) * 2009-07-13 2011-02-03 Ntn Corp センサ付車輪用軸受
JP2011189459A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Howa Mach Ltd ツールホルダ装着異常検出方法及び工作機械
CN104165719A (zh) * 2013-05-17 2014-11-26 臻越自动化技术(上海)有限公司 拉压力检测装置及其检测方法
CN114623159A (zh) * 2022-03-25 2022-06-14 西安热工研究院有限公司 一种防止出现穴蚀的静压轴承

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5027280A (en) Machining apparatus having a main spindle supported by magnetic bearings
US7092786B2 (en) Tool damage/abnormality detecting device
US4694686A (en) Cutting tool wear monitor
JP5536611B2 (ja) 工作機械のモニタ方法及びモニタ装置、工作機械
Grossi et al. Spindle speed ramp-up test: A novel experimental approach for chatter stability detection
CN102554685A (zh) 机床中的振动抑制方法以及振动抑制装置
US6565293B2 (en) Pneumatic machine tool
JP2003326438A (ja) 工具異常検出装置
JP3645353B2 (ja) 工具磨耗検出機能付工作機械
US20180136629A1 (en) Industrial machinery and control method thereof
JPH09300176A (ja) 切削加工装置およびその異常検出方法
JPH07314292A (ja) 静圧軸受の軸負荷検出装置
JP6664986B2 (ja) 加工装置
CN105988417B (zh) 进行螺纹孔检查的数值控制装置
JP2020159752A (ja) 主軸振動測定システム、主軸振動測定方法、およびプログラム
US4697964A (en) Boring machine
JP2006062081A (ja) 金型加工装置
JPH1029102A (ja) 工作機械用磁気軸受スピンドル装置
CA1243744A (en) Cutting tool wear monitor
EP0357798A1 (en) Method for detecting thrust force of main spindle of machine tool
JPH0819939A (ja) 加工負荷の監視装置
US20220274244A1 (en) Method for Detecting a Slip Clutch Release Event, and Power Tool
JP3446518B2 (ja) 回転工具の異常検出方法およびその装置
JP3138062B2 (ja) 穿孔加工装置
Kawaji et al. Control of cutting torque in the drilling process using disturbance observer

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20030630