JPH0730366B2 - 高純度金属粉末の製造装置 - Google Patents
高純度金属粉末の製造装置Info
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- JPH0730366B2 JPH0730366B2 JP13285692A JP13285692A JPH0730366B2 JP H0730366 B2 JPH0730366 B2 JP H0730366B2 JP 13285692 A JP13285692 A JP 13285692A JP 13285692 A JP13285692 A JP 13285692A JP H0730366 B2 JPH0730366 B2 JP H0730366B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高純度金属からなる
粉末を正確な一定の大きさに製造することのできる高純
度金属粉末の製造装置に関する。
粉末を正確な一定の大きさに製造することのできる高純
度金属粉末の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】従来、高純度金属粉末の製
造装置（以下、粉末製造装置という。）として、ガスア
トマイズ法又はこれを改良した種々の方法を用いるべ
く、高純度金属を溶解する溶解用容器と、この溶解用容
器内で溶解された後、下方に落下せしめられる溶融金属
に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置とを備えたも
のが種々知られている。
造装置（以下、粉末製造装置という。）として、ガスア
トマイズ法又はこれを改良した種々の方法を用いるべ
く、高純度金属を溶解する溶解用容器と、この溶解用容
器内で溶解された後、下方に落下せしめられる溶融金属
に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置とを備えたも
のが種々知られている。
【０００３】これら従来の粉末製造装置においては、溶
解用容器の材料をタンタル、モリブデン、レニウム等の
耐火性金属から構成する等の改善がなされ、金属粉末の
純度向上が図られているが、金属粉末の大きさ（粒度）
を正確に均一にする技術においては未だ満足すべきもの
が得れらておらず、その向上が望まれていた。
解用容器の材料をタンタル、モリブデン、レニウム等の
耐火性金属から構成する等の改善がなされ、金属粉末の
純度向上が図られているが、金属粉末の大きさ（粒度）
を正確に均一にする技術においては未だ満足すべきもの
が得れらておらず、その向上が望まれていた。
【０００４】本発明は、上記の如き課題を解決し、高純
度金属からなる粉末を正確な一定の大きさに製造するこ
とのできる粉末製造装置を提供することを目的とするも
のである。
度金属からなる粉末を正確な一定の大きさに製造するこ
とのできる粉末製造装置を提供することを目的とするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、高純度金属粉
末の粒度を一定にするために、溶融金属が落下する際の
出口となる溶解用容器の底部の開口径の大きさ、又はガ
ス噴出装置を経て生成された金属粉末の粒度に着目して
なされたものであり、以下の各構成となる。
末の粒度を一定にするために、溶融金属が落下する際の
出口となる溶解用容器の底部の開口径の大きさ、又はガ
ス噴出装置を経て生成された金属粉末の粒度に着目して
なされたものであり、以下の各構成となる。
【０００６】（１） 高純度金属を溶解する溶解用容器
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下方に設け
られ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径検出手段
と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記冷却手段の
冷却率を調整する制御手段とを設ける。
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下方に設け
られ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径検出手段
と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記冷却手段の
冷却率を調整する制御手段とを設ける。
【０００７】（２） 高純度金属を溶解する溶解用容器
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下方に設け
られ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径検出手段
と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記ビーム発生
装置のビーム出力を調整する制御手段とを設ける。
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下方に設け
られ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径検出手段
と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記ビーム発生
装置のビーム出力を調整する制御手段とを設ける。
【０００８】（３） 高純度金属を溶解する溶解用容器
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下方に設け
られ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径検出手段
と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記冷却手段の
冷却率及び前記ビーム発生装置のビーム出力を調整する
制御手段とを設ける。
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下方に設け
られ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径検出手段
と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記冷却手段の
冷却率及び前記ビーム発生装置のビーム出力を調整する
制御手段とを設ける。
【０００９】（４） 高純度金属を溶解する溶解用容器
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出装置の下
方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検出する粒
度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づいて前記
冷却手段の冷却率を調整する制御手段とを設ける。
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出装置の下
方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検出する粒
度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づいて前記
冷却手段の冷却率を調整する制御手段とを設ける。
【００１０】（５） 高純度金属を溶解する溶解用容器
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出装置の下
方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検出する粒
度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づいて前記
ビーム発生装置のビーム出力を調整する制御手段とを設
ける。
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出装置の下
方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検出する粒
度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づいて前記
ビーム発生装置のビーム出力を調整する制御手段とを設
ける。
【００１１】（６） 高純度金属を溶解する溶解用容器
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出装置の下
方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検出する粒
度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づいて前記
冷却手段の冷却率及び前記ビーム発生装置のビーム出力
を調整する制御手段とを設ける。
と、この溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せし
められる溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出
装置とを備えた粉末製造装置において、前記溶解用容器
を、その底部に開口部が形成され、この開口部が被溶解
金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造とし、
前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段と、前記
蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向けてビー
ムを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出装置の下
方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検出する粒
度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づいて前記
冷却手段の冷却率及び前記ビーム発生装置のビーム出力
を調整する制御手段とを設ける。
【００１２】（７） 前記（１）〜（６）において、前
記ビーム発生装置を、レーザービーム、電子ビーム、プ
ラズマビーム又はアークビームを用いるものとする。
記ビーム発生装置を、レーザービーム、電子ビーム、プ
ラズマビーム又はアークビームを用いるものとする。
【００１３】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。図１は溶解用容器の底部に形成される穴径
（開口径）に基づく制御を行う粉末製造装置の構成を示
す図である。同図において、符号２は、容器本体４と蓋
体６とからなる溶解用容器である。
説明する。図１は溶解用容器の底部に形成される穴径
（開口径）に基づく制御を行う粉末製造装置の構成を示
す図である。同図において、符号２は、容器本体４と蓋
体６とからなる溶解用容器である。
【００１４】容器本体４は、内径部に略カップ状の凹部
８が形成された略有底円筒状の容器であり、銅から構成
され、その底部中央には、下方に向けて漸次縮径するテ
ーパ状の開口部１０が形成されている。また、この容器
本体４の内部には中空部１２が形成され、容器本体４の
側方に設けられたパイプ１４、１６の内径部と連通され
ている。
８が形成された略有底円筒状の容器であり、銅から構成
され、その底部中央には、下方に向けて漸次縮径するテ
ーパ状の開口部１０が形成されている。また、この容器
本体４の内部には中空部１２が形成され、容器本体４の
側方に設けられたパイプ１４、１６の内径部と連通され
ている。
【００１５】前記パイプ１４、１６は、冷却手段を構成
する冷却装置２０の冷却水の送り出し管２２と回収管２
４とにそれぞれ接続されており、パイプ１４から送られ
た冷却水が容器本体４の内面部を冷却した後、パイプ１
６を経て回収されるようになっている。冷却装置１６
は、一定温度の冷却水を容器本体４に送り出し、回収し
た冷却水の温度とその流量から、単位時間当りの冷却熱
量（冷却率）を測定する機能を有し、また、冷却水の初
期温度と、単位時間当りの冷却水を送り出す体積を調整
する機能とを有している。
する冷却装置２０の冷却水の送り出し管２２と回収管２
４とにそれぞれ接続されており、パイプ１４から送られ
た冷却水が容器本体４の内面部を冷却した後、パイプ１
６を経て回収されるようになっている。冷却装置１６
は、一定温度の冷却水を容器本体４に送り出し、回収し
た冷却水の温度とその流量から、単位時間当りの冷却熱
量（冷却率）を測定する機能を有し、また、冷却水の初
期温度と、単位時間当りの冷却水を送り出す体積を調整
する機能とを有している。
【００１６】蓋体６は、溶解用容器２によって溶解を行
う高純度金属（被溶解金属）と同一の材料から構成され
るものであり、その外周面６ａがテーパ状に形成され、
前記容器本体４に対して開口部１０を閉塞するように装
着固定されている。
う高純度金属（被溶解金属）と同一の材料から構成され
るものであり、その外周面６ａがテーパ状に形成され、
前記容器本体４に対して開口部１０を閉塞するように装
着固定されている。
【００１７】溶解用容器２の下方には、ガス噴出装置１
８，１８が配設されている。これらガス噴出装置１８，
１８は、溶解用容器２から下方に落下せしめられる溶融
金属に向けてノズル１８ａ，１８ａからＡｒガス等の不
活性ガスを一定圧力で噴出し、これにより溶融金属を粉
体とするためのものである。
８，１８が配設されている。これらガス噴出装置１８，
１８は、溶解用容器２から下方に落下せしめられる溶融
金属に向けてノズル１８ａ，１８ａからＡｒガス等の不
活性ガスを一定圧力で噴出し、これにより溶融金属を粉
体とするためのものである。
【００１８】また、溶解用容器２の下方近傍には、蓋体
６の中央部に形成される開口部の穴径を測定する、カメ
ラ等の測定装置２６が配置され、この測定装置２６は、
画像処理等を行う解析装置２８を介して制御装置（制御
手段に相当）３０に接続されている。これら測定装置２
６及び解析装置２８は、穴径検出手段を構成している。
また、制御装置３０は、ＣＰＵ、プログラムＲＯＭ、及
び各種Ｉ／Ｏインターフェース等から成るものである。
６の中央部に形成される開口部の穴径を測定する、カメ
ラ等の測定装置２６が配置され、この測定装置２６は、
画像処理等を行う解析装置２８を介して制御装置（制御
手段に相当）３０に接続されている。これら測定装置２
６及び解析装置２８は、穴径検出手段を構成している。
また、制御装置３０は、ＣＰＵ、プログラムＲＯＭ、及
び各種Ｉ／Ｏインターフェース等から成るものである。
【００１９】一方、蓋体６の直上部には、該蓋体６の中
央部に向けてビームを照射するビーム発生装置３２が配
設され、該ビーム発生装置３２は前記制御装置３０に接
続されている。このビーム発生装置３２は、レーザービ
ーム、電子ビーム、プラズマビーム、又はアークビーム
を用いるものであってもよい。
央部に向けてビームを照射するビーム発生装置３２が配
設され、該ビーム発生装置３２は前記制御装置３０に接
続されている。このビーム発生装置３２は、レーザービ
ーム、電子ビーム、プラズマビーム、又はアークビーム
を用いるものであってもよい。
【００２０】なお、前記制御装置３０は、前記冷却装置
２０にも接続され、この冷却装置２０の冷却率を調整可
能となっている。
２０にも接続され、この冷却装置２０の冷却率を調整可
能となっている。
【００２１】上記構成に係る粉末製造装置において、高
純度金属粉末を製造する場合には、まず、溶解用容器２
内に被溶解金属を入れ、冷却装置２０により溶解用容器
２の内面部を冷却しつつ、容器本体４と被溶解金属との
間に電圧を印加する等の方法により、被溶解金属を溶解
せしめる。
純度金属粉末を製造する場合には、まず、溶解用容器２
内に被溶解金属を入れ、冷却装置２０により溶解用容器
２の内面部を冷却しつつ、容器本体４と被溶解金属との
間に電圧を印加する等の方法により、被溶解金属を溶解
せしめる。
【００２２】このとき、容器本体４の内面部４ａには、
溶解した金属が該内面部４ａで冷却されて凝固し、該内
面部４ａ全体を薄く覆う凝固金属層を形成する。この凝
固金属層は、容器本体４の冷却を維持するする限り安定
して維持され、且つ、該凝固金属層は被溶解金属と同じ
材料からなるものであるから、容器本体４を構成する金
属が溶融金属（溶解された金属）中に溶解・流入して溶
融金属を汚染することがない。
溶解した金属が該内面部４ａで冷却されて凝固し、該内
面部４ａ全体を薄く覆う凝固金属層を形成する。この凝
固金属層は、容器本体４の冷却を維持するする限り安定
して維持され、且つ、該凝固金属層は被溶解金属と同じ
材料からなるものであるから、容器本体４を構成する金
属が溶融金属（溶解された金属）中に溶解・流入して溶
融金属を汚染することがない。
【００２３】また、容器本体４に装着された蓋体６も、
容器本体４の内面部とともに冷却されるため、ほとんど
溶解することがない。即ち、容器本体４の冷却は、該蓋
体６の維持機能をも満たすべく制御される。蓋体６の上
部側部分は一部溶解するが、該蓋体６は被溶解金属と同
一の材料で構成されているため、溶融金属を汚染するこ
とはない。
容器本体４の内面部とともに冷却されるため、ほとんど
溶解することがない。即ち、容器本体４の冷却は、該蓋
体６の維持機能をも満たすべく制御される。蓋体６の上
部側部分は一部溶解するが、該蓋体６は被溶解金属と同
一の材料で構成されているため、溶融金属を汚染するこ
とはない。
【００２４】次に、被溶解金属の溶解が定常状態に達し
た状態において、冷却装置２０による冷却を行いつつ、
ビーム発生装置３２から蓋体６の中央部に向けてビーム
を照射し、該蓋体６の中央部分６ｂを下方に溶出させて
開口部とする。すると、この開口部から溶解用容器２内
の溶融金属が下方に徐々に流出してゆき、ガス噴出装置
１８から噴出される不活性ガスに衝突して冷却固化され
るとともに粉砕され、金属粉末３４が順次製造されてゆ
く。
た状態において、冷却装置２０による冷却を行いつつ、
ビーム発生装置３２から蓋体６の中央部に向けてビーム
を照射し、該蓋体６の中央部分６ｂを下方に溶出させて
開口部とする。すると、この開口部から溶解用容器２内
の溶融金属が下方に徐々に流出してゆき、ガス噴出装置
１８から噴出される不活性ガスに衝突して冷却固化され
るとともに粉砕され、金属粉末３４が順次製造されてゆ
く。
【００２５】上記金属粉末３４の製造中において、制御
装置３０は、測定装置２６及び解析装置２８から得られ
た蓋体６の開口部の穴径の大きさに基づき、ビーム発生
装置３２のビーム出力又は冷却装置２０の冷却率の一
方、又はその双方を制御し、穴径がつねに一定となる状
態を保つ。
装置３０は、測定装置２６及び解析装置２８から得られ
た蓋体６の開口部の穴径の大きさに基づき、ビーム発生
装置３２のビーム出力又は冷却装置２０の冷却率の一
方、又はその双方を制御し、穴径がつねに一定となる状
態を保つ。
【００２６】即ち、制御装置３０は、穴径が適正値より
大きい場合には、ビーム出力に比べて冷却率を増加さ
せ、該冷却率の増加により蓋体６を冷却して開口部の穴
径を縮小せしめ、逆に、穴径が適正値より小さい場合に
は、冷却率に比べてビーム出力を大きくし、蓋体６の中
央部に加えられる熱量を大きくして穴径を拡大せしめ
る。
大きい場合には、ビーム出力に比べて冷却率を増加さ
せ、該冷却率の増加により蓋体６を冷却して開口部の穴
径を縮小せしめ、逆に、穴径が適正値より小さい場合に
は、冷却率に比べてビーム出力を大きくし、蓋体６の中
央部に加えられる熱量を大きくして穴径を拡大せしめ
る。
【００２７】従って、上記のような粉末製造装置によれ
ば、金属粉末の製造中において、蓋体６に形成される穴
径が常に一定となり、溶融金属の流れが一定に制御され
て、得られる金属粉末が正確に一定の大きさとなる。
ば、金属粉末の製造中において、蓋体６に形成される穴
径が常に一定となり、溶融金属の流れが一定に制御され
て、得られる金属粉末が正確に一定の大きさとなる。
【００２８】次に、図２を参照して、ガス噴出装置を経
て生成された金属粉末の粒度に基づく制御を行う粉末製
造装置について説明する。なお、同図において、上記図
１と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を
省略する。
て生成された金属粉末の粒度に基づく制御を行う粉末製
造装置について説明する。なお、同図において、上記図
１と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を
省略する。
【００２９】同図に示す粉末製造装置は、図１に示す粉
末製造装置において、測定装置２６及び解析装置２８に
代えて、粒度測定装置（粒度検出手段に相当）４０を設
けたものである。この粒度測定装置４０は、レーザー回
折等を用いて粉体の粒度を測定するものであり、ガス噴
出装置１８を経て生成された金属粉末３４の一部がこの
粒度測定装置によって粒度を測定され、その出力データ
が制御装置３０に送られるように構成されている。
末製造装置において、測定装置２６及び解析装置２８に
代えて、粒度測定装置（粒度検出手段に相当）４０を設
けたものである。この粒度測定装置４０は、レーザー回
折等を用いて粉体の粒度を測定するものであり、ガス噴
出装置１８を経て生成された金属粉末３４の一部がこの
粒度測定装置によって粒度を測定され、その出力データ
が制御装置３０に送られるように構成されている。
【００３０】このような粉末製造装置による金属粉末３
４の製造行程は上記図１に示すものと同様であるが、図
１に示すものが測定装置２６から得られる穴径データに
基づき、ビーム出力、冷却率を制御したのに対し、図２
に示す粉末製造装置においては、粒度測定装置４０から
得られた粒度の大きさに基づき、ビーム発生装置３２の
ビーム出力又は冷却装置２０の冷却率の一方、又はその
双方を制御し、粒度がつねに一定となる状態を保つ。
４の製造行程は上記図１に示すものと同様であるが、図
１に示すものが測定装置２６から得られる穴径データに
基づき、ビーム出力、冷却率を制御したのに対し、図２
に示す粉末製造装置においては、粒度測定装置４０から
得られた粒度の大きさに基づき、ビーム発生装置３２の
ビーム出力又は冷却装置２０の冷却率の一方、又はその
双方を制御し、粒度がつねに一定となる状態を保つ。
【００３１】即ち、制御装置３０は、粒度が適正値より
大きい場合には、ビーム出力に比べて冷却率を増加さ
せ、蓋体６の開口部の穴径を縮小せしめて溶融金属の流
出量を減少せしめ、逆に、粒度が適正値より小さい場合
には、冷却率に比べてビーム出力を大きくし、蓋体６の
穴径を拡大せしめて溶融金属の流出量を増加せしめる。
大きい場合には、ビーム出力に比べて冷却率を増加さ
せ、蓋体６の開口部の穴径を縮小せしめて溶融金属の流
出量を減少せしめ、逆に、粒度が適正値より小さい場合
には、冷却率に比べてビーム出力を大きくし、蓋体６の
穴径を拡大せしめて溶融金属の流出量を増加せしめる。
【００３２】従って、図２に示す粉末製造装置において
も、上記図１に示す粉末製造装置の場合と同様に、溶解
用容器からの溶融金属の流れを常に制御して、金属粉末
を正確に一定の大きさにすることができる。
も、上記図１に示す粉末製造装置の場合と同様に、溶解
用容器からの溶融金属の流れを常に制御して、金属粉末
を正確に一定の大きさにすることができる。
【００３３】なお、本明細書において、高純度金属と
は、合金、金属間化合物及びセラミックスなどの化合物
を含むものとする。
は、合金、金属間化合物及びセラミックスなどの化合物
を含むものとする。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、溶解用容器に形成される穴径又はガス噴出装置を経
て生成された金属粉末の粒度に基づいて、冷却率又はビ
ーム出力の一方、又は双方を調整するものであるので、
高純度金属粉末の製造中において、溶解用容器からの溶
融金属の流れを常に制御して、金属粉末を正確に一定の
大きさにすることができる。
ば、溶解用容器に形成される穴径又はガス噴出装置を経
て生成された金属粉末の粒度に基づいて、冷却率又はビ
ーム出力の一方、又は双方を調整するものであるので、
高純度金属粉末の製造中において、溶解用容器からの溶
融金属の流れを常に制御して、金属粉末を正確に一定の
大きさにすることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る粉末製造装置の構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】本発明の他の実施例に係る粉末製造装置の構成
を示す図である。
を示す図である。
【符号の説明】 ２ 溶解用容器 ６ 蓋体 １４ ガス噴出装置 ２０ 冷却装置 ２６ 測定装置 ２８ 解析装置 ３０ 制御装置 ３２ ビーム発生装置 ４０ 粒度測定装置
Claims (7)
- 【請求項１】 高純度金属を溶解する溶解用容器と、こ
の溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せしめられ
る溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置と
を備えた高純度金属粉末の製造装置において、前記溶解
用容器を、その底部に開口部が形成され、この開口部が
被溶解金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造
とし、前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段
と、前記蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向
けてビームを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下
方に設けられ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径
検出手段と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記冷
却手段の冷却率を調整する制御手段とを設けたことを特
徴とする高純度金属粉末の製造装置。 - 【請求項２】 高純度金属を溶解する溶解用容器と、こ
の溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せしめられ
る溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置と
を備えた高純度金属粉末の製造装置において、前記溶解
用容器を、その底部に開口部が形成され、この開口部が
被溶解金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造
とし、前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段
と、前記蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向
けてビームを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下
方に設けられ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径
検出手段と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記ビ
ーム発生装置のビーム出力を調整する制御手段とを設け
たことを特徴とする高純度金属粉末の製造装置。 - 【請求項３】 高純度金属を溶解する溶解用容器と、こ
の溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せしめられ
る溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置と
を備えた高純度金属粉末の製造装置において、前記溶解
用容器を、その底部に開口部が形成され、この開口部が
被溶解金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造
とし、前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段
と、前記蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向
けてビームを照射するビーム発生装置と、前記蓋体の下
方に設けられ、該蓋体に形成された穴径を検出する穴径
検出手段と、前記穴径検出手段の出力に基づいて前記冷
却手段の冷却率及び前記ビーム発生装置のビーム出力を
調整する制御手段とを設けたことを特徴とする高純度金
属粉末の製造装置。 - 【請求項４】 高純度金属を溶解する溶解用容器と、こ
の溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せしめられ
る溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置と
を備えた高純度金属粉末の製造装置において、前記溶解
用容器を、その底部に開口部が形成され、この開口部が
被溶解金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造
とし、前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段
と、前記蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向
けてビームを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出
装置の下方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検
出する粒度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づ
いて前記冷却手段の冷却率を調整する制御手段とを設け
たことを特徴とする高純度金属粉末の製造装置。 - 【請求項５】 高純度金属を溶解する溶解用容器と、こ
の溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せしめられ
る溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置と
を備えた高純度金属粉末の製造装置において、前記溶解
用容器を、その底部に開口部が形成され、この開口部が
被溶解金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造
とし、前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段
と、前記蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向
けてビームを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出
装置の下方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検
出する粒度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づ
いて前記ビーム発生装置のビーム出力を調整する制御手
段とを設けたことを特徴とする高純度金属粉末の製造装
置。 - 【請求項６】 高純度金属を溶解する溶解用容器と、こ
の溶解用容器内で溶解された後、下方に落下せしめられ
る溶融金属に向けてガス流を噴出させるガス噴出装置と
を備えた高純度金属粉末の製造装置において、前記溶解
用容器を、その底部に開口部が形成され、この開口部が
被溶解金属と同一の材料からなる蓋体で閉塞された構造
とし、前記溶解用容器の内面部の冷却を行う冷却手段
と、前記蓋体の直上部に設けられ、該蓋体の中央部に向
けてビームを照射するビーム発生装置と、前記ガス噴出
装置の下方に設けられ、生成された金属粉末の粒度を検
出する粒度検出手段と、前記粒度検出手段の出力に基づ
いて前記冷却手段の冷却率及び前記ビーム発生装置のビ
ーム出力を調整する制御手段とを設けたことを特徴とす
る高純度金属粉末の製造装置。 - 【請求項７】 前記ビーム発生装置は、レーザービー
ム、電子ビーム又はプラズマビーム、又はアークビーム
を用いることを特徴とする請求項１、２、３、４、５又
は６に記載の高純度金属粉末の製造装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13285692A JPH0730366B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 高純度金属粉末の製造装置 |
| EP93108457A EP0587993B1 (en) | 1992-05-25 | 1993-05-25 | High-purity metal melt vessel and the method of manufacturing thereof and purity metal powder producing apparatus |
| DE69320278T DE69320278T2 (de) | 1992-05-25 | 1993-05-25 | Gefäss für hochreine Metallschmelze, Verfahren seiner Herstellung sowie Vorrichtung zur Herstellung von hochreinem Metallpulver |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13285692A JPH0730366B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 高純度金属粉末の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05320720A JPH05320720A (ja) | 1993-12-03 |
| JPH0730366B2 true JPH0730366B2 (ja) | 1995-04-05 |
Family
ID=15091129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13285692A Expired - Lifetime JPH0730366B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 高純度金属粉末の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730366B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101448594B1 (ko) * | 2007-12-20 | 2014-10-13 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 비정질 합금 분말 제조장치 및 그 제조방법 |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP13285692A patent/JPH0730366B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101448594B1 (ko) * | 2007-12-20 | 2014-10-13 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 비정질 합금 분말 제조장치 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05320720A (ja) | 1993-12-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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