JPH07301569A - ２つのフィルタを使用した赤外線温度画像処理方法及び装置 - Google Patents
２つのフィルタを使用した赤外線温度画像処理方法及び装置Info
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- JPH07301569A JPH07301569A JP6116054A JP11605494A JPH07301569A JP H07301569 A JPH07301569 A JP H07301569A JP 6116054 A JP6116054 A JP 6116054A JP 11605494 A JP11605494 A JP 11605494A JP H07301569 A JPH07301569 A JP H07301569A
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- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 特定波長領域の赤外線のみを透過させるフィ
ルターを介して物体が放射する赤外線の放射強度を異な
る赤外線波長領域で計測することにより、画素毎に物体
温度を画像化すること。 【構成】 赤外線温度画像処理装置１０は、フィルタ１
２，１４を収納する断熱性容器１６、赤外線温度画像装
置１８及び画像処理用計算機２０を有してなる。断熱性
容器１６は、冷媒流入口２２及び冷媒流出口２４を介し
て気化した液体窒素により冷却される。物体が放射する
赤外線は第１のフィルタ１２又は第２のフィルター１４
を通じて赤外線温度画像装置１８に入射される。赤外線
温度画像装置１８は、フィルタ１２，１４を透過した輻
射の強度を各画素ごとに計測し、その結果を画像処理用
計算機２０に送信する。画像処理用計算機２０では、２
色温度計の原理に基づき、各画素ごとに温度を算出し、
その結果をディスプレイ２１に画像化する。
ルターを介して物体が放射する赤外線の放射強度を異な
る赤外線波長領域で計測することにより、画素毎に物体
温度を画像化すること。 【構成】 赤外線温度画像処理装置１０は、フィルタ１
２，１４を収納する断熱性容器１６、赤外線温度画像装
置１８及び画像処理用計算機２０を有してなる。断熱性
容器１６は、冷媒流入口２２及び冷媒流出口２４を介し
て気化した液体窒素により冷却される。物体が放射する
赤外線は第１のフィルタ１２又は第２のフィルター１４
を通じて赤外線温度画像装置１８に入射される。赤外線
温度画像装置１８は、フィルタ１２，１４を透過した輻
射の強度を各画素ごとに計測し、その結果を画像処理用
計算機２０に送信する。画像処理用計算機２０では、２
色温度計の原理に基づき、各画素ごとに温度を算出し、
その結果をディスプレイ２１に画像化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物体が放射する赤外線
を、赤外線温度画像装置及び画像処理用計算機を利用し
て画像処理する方法及びその方法を実施するための装置
に関する。本発明は、放射率が未知の物体、又は、その
放射率が時間と共に変化する物体の温度を画像化するの
に好適である。本発明は、鋼板製造ラインのように、温
度が時間に伴って変化する鋼板の温度を測定する方法及
び装置、人体等が発する赤外線を検知してその赤外線を
画像化する方法及び装置（防犯分野や医療分野）に好適
である。
を、赤外線温度画像装置及び画像処理用計算機を利用し
て画像処理する方法及びその方法を実施するための装置
に関する。本発明は、放射率が未知の物体、又は、その
放射率が時間と共に変化する物体の温度を画像化するの
に好適である。本発明は、鋼板製造ラインのように、温
度が時間に伴って変化する鋼板の温度を測定する方法及
び装置、人体等が発する赤外線を検知してその赤外線を
画像化する方法及び装置（防犯分野や医療分野）に好適
である。
【０００２】
【従来の技術】赤外線温度画像装置及び画像処理用計算
機を利用して物体の温度を測定する場合、物体が放射す
る輻射の強度と、物体の放射率および温度との関係は既
知であるとして、赤外線領域の輻射強度の計測データか
ら、上記関係を利用して物体の温度を決定している。そ
して、温度の画像は、コンピュータの画面に画像として
映し出される物体が放射する輻射の強度分布を、画像を
構成する各画素ごとに記録し、各画素ごとに温度に換算
することによって得られている。
機を利用して物体の温度を測定する場合、物体が放射す
る輻射の強度と、物体の放射率および温度との関係は既
知であるとして、赤外線領域の輻射強度の計測データか
ら、上記関係を利用して物体の温度を決定している。そ
して、温度の画像は、コンピュータの画面に画像として
映し出される物体が放射する輻射の強度分布を、画像を
構成する各画素ごとに記録し、各画素ごとに温度に換算
することによって得られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の方法
では、以下の問題があって、画素毎に温度を画像化する
ができず、逐次変化する物体温度等を画像化することが
できない。 (1) 上記方法では、物体が放射する輻射の強度が温度と
放射率に依存するため、放射率が既知でないと温度は決
定されない。 (2) 放射率の異なる複数の物体の温度は、画像化される
物体の放射率を各画素ごとに個別に与えることができな
いので、一度に画像化できない。すなわち、放射率の異
なる複数物体を１つの画像に表わすことができない。 (3) 放射率が時間と共に変化する物体の温度は、放射率
を実時間で与えることができないため、画像化すること
ができない。
では、以下の問題があって、画素毎に温度を画像化する
ができず、逐次変化する物体温度等を画像化することが
できない。 (1) 上記方法では、物体が放射する輻射の強度が温度と
放射率に依存するため、放射率が既知でないと温度は決
定されない。 (2) 放射率の異なる複数の物体の温度は、画像化される
物体の放射率を各画素ごとに個別に与えることができな
いので、一度に画像化できない。すなわち、放射率の異
なる複数物体を１つの画像に表わすことができない。 (3) 放射率が時間と共に変化する物体の温度は、放射率
を実時間で与えることができないため、画像化すること
ができない。
【０００４】本発明の目的は、特定波長領域の赤外線の
みを透過させるフィルタを介して物体が放射する赤外線
の放射強度を異なる赤外線波長領域で計測し、２色温度
計の原理を利用することにより、それぞれの波長領域に
おいて計測した放射強度から画素毎の温度を画像化する
ことである。
みを透過させるフィルタを介して物体が放射する赤外線
の放射強度を異なる赤外線波長領域で計測し、２色温度
計の原理を利用することにより、それぞれの波長領域に
おいて計測した放射強度から画素毎の温度を画像化する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、第
１の特定波長領域の赤外線のみを透過させる第１のフィ
ルタを介して物体が放射する赤外線の放射強度を検知
し、第１の特定波長領域と異なる第２の特定波長領域の
赤外線のみを透過させる第２のフィルタを介して物体が
放射する赤外線の放射強度を検知し、それぞれの放射強
度から演算して得られた画素毎の温度を画像化すること
を特徴とする、赤外線温度画像処理方法と、物体が放射
する赤外線のうち第１の特定波長領域の赤外線のみを透
過させる第１のフィルタと、第１の特定波長領域と異な
る第２の特定波長領域の赤外線のみを透過させる第２の
フィルタとを交換可能に具え、前記第１又は前記第２の
フィルタを透過したそれぞれの特定波長領域の赤外線が
入射する赤外線温度画像装置と、該赤外線温度画像装置
の信号を画像化する画像処理用計算機を有してなる、赤
外線温度画像処理装置により、前記課題を解決した。
１の特定波長領域の赤外線のみを透過させる第１のフィ
ルタを介して物体が放射する赤外線の放射強度を検知
し、第１の特定波長領域と異なる第２の特定波長領域の
赤外線のみを透過させる第２のフィルタを介して物体が
放射する赤外線の放射強度を検知し、それぞれの放射強
度から演算して得られた画素毎の温度を画像化すること
を特徴とする、赤外線温度画像処理方法と、物体が放射
する赤外線のうち第１の特定波長領域の赤外線のみを透
過させる第１のフィルタと、第１の特定波長領域と異な
る第２の特定波長領域の赤外線のみを透過させる第２の
フィルタとを交換可能に具え、前記第１又は前記第２の
フィルタを透過したそれぞれの特定波長領域の赤外線が
入射する赤外線温度画像装置と、該赤外線温度画像装置
の信号を画像化する画像処理用計算機を有してなる、赤
外線温度画像処理装置により、前記課題を解決した。
【０００６】フィルタを交換したり、ミラーを使用した
りする替わりに、各フィルタ毎に赤外線温度画像装置を
設け、それぞれのフィルタを透過する赤外線の放射強度
を計測することにより画像処理用計算機によって画素毎
の温度を画像化することができる。
りする替わりに、各フィルタ毎に赤外線温度画像装置を
設け、それぞれのフィルタを透過する赤外線の放射強度
を計測することにより画像処理用計算機によって画素毎
の温度を画像化することができる。
【０００７】なお、本発明では赤外線を計測の対象とし
ているので、フィルタが放射する赤外線が計測の妨げに
ならないように、第１及び第２のフィルタを測定対象物
体よりも低温に冷やす冷却装置を設けることが望まし
い。
ているので、フィルタが放射する赤外線が計測の妨げに
ならないように、第１及び第２のフィルタを測定対象物
体よりも低温に冷やす冷却装置を設けることが望まし
い。
【０００８】
【作用】物体が放射する赤外線は、第１の特定波長領域
の赤外線のみを透過させる第１のフィルタを介し赤外線
温度画像装置に入射する。また、物体が放射する赤外線
は、第２の特定波長領域の赤外線のみを透過させる第２
のフィルタを介し赤外線温度画像装置に入射する。赤外
線温度画像装置は、第１又は第２のフィルタを介して入
射した赤外線の放射強度を検知する。赤外線温度画像装
置は、画素毎に放射強度を検知する。
の赤外線のみを透過させる第１のフィルタを介し赤外線
温度画像装置に入射する。また、物体が放射する赤外線
は、第２の特定波長領域の赤外線のみを透過させる第２
のフィルタを介し赤外線温度画像装置に入射する。赤外
線温度画像装置は、第１又は第２のフィルタを介して入
射した赤外線の放射強度を検知する。赤外線温度画像装
置は、画素毎に放射強度を検知する。
【０００９】本発明においては、２色温度計の原理を利
用して、画素毎の物体の温度が演算される。２色温度計
の原理は以下の通りである。物体から放射される単色輻
射強度は、物体の単色放射率とPlanckの黒体単色輻射強
度を用いて
用して、画素毎の物体の温度が演算される。２色温度計
の原理は以下の通りである。物体から放射される単色輻
射強度は、物体の単色放射率とPlanckの黒体単色輻射強
度を用いて
【数１】 のように書き表わせる。赤外線温度画像装置では、或る
波長領域（λ，λ＋△λ）における輻射強度Ｅ（数１の
区間（λ，λ＋△λ）における積分量）を計測し温度を
決定しているが、正しい温度計測には、その波長領域に
おける単体放射率の分布が既知でなければならない。し
かし現実には、輻射計測センサーの検地波長がさほど広
くないことから、その波長領域におけ単色放射率を一つ
の値εで代表し、そのεと計測した放射強度Ｅを与える
ことによって、次式から温度を決定している。
波長領域（λ，λ＋△λ）における輻射強度Ｅ（数１の
区間（λ，λ＋△λ）における積分量）を計測し温度を
決定しているが、正しい温度計測には、その波長領域に
おける単体放射率の分布が既知でなければならない。し
かし現実には、輻射計測センサーの検地波長がさほど広
くないことから、その波長領域におけ単色放射率を一つ
の値εで代表し、そのεと計測した放射強度Ｅを与える
ことによって、次式から温度を決定している。
【数２】 一方、２色温度計では二つの波長領域（λ１，λ１＋△
λ１），（λ２，λ２＋△λ２）で輻射強度Ｅ１，Ｅ２
を計測し、それをもとに物体温度Ｔを算出する。例え
ば、計測した２つの波長領域で放射率ε１とε２が等し
いとすると、未知な量は物体温度Ｔである。輻射強度は
２つの波長領域で計測されるので、
λ１），（λ２，λ２＋△λ２）で輻射強度Ｅ１，Ｅ２
を計測し、それをもとに物体温度Ｔを算出する。例え
ば、計測した２つの波長領域で放射率ε１とε２が等し
いとすると、未知な量は物体温度Ｔである。輻射強度は
２つの波長領域で計測されるので、
【数３】
【数４】 の２つの方程式が得られ、これらを連立して解けば温度
Ｔが導かれる。
Ｔが導かれる。
【００１０】輻射強度は、赤外線温度画像装置により同
一の画素毎に計測されるので、画像全体に複数の物体が
存在するときでも、さらに、物体温度の経時変化に伴っ
て放射率が変化しても、画素毎の放射率は等しいため
に、その画素毎に温度が求められる。
一の画素毎に計測されるので、画像全体に複数の物体が
存在するときでも、さらに、物体温度の経時変化に伴っ
て放射率が変化しても、画素毎の放射率は等しいため
に、その画素毎に温度が求められる。
【００１１】なお、数３及び数４は放射率が等しいとの
仮定の上に立つので、前記第１のフィルタが透過させる
第１の特定波長領域と前記第２のフィルタが透過させる
第２の特定波長領域は、隣合う波長領域となるようにし
て、検知波長領域における放射率に大きな差が生じない
ようにすることが望ましい。
仮定の上に立つので、前記第１のフィルタが透過させる
第１の特定波長領域と前記第２のフィルタが透過させる
第２の特定波長領域は、隣合う波長領域となるようにし
て、検知波長領域における放射率に大きな差が生じない
ようにすることが望ましい。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明による赤外線検知式画像処理装置
の第１実施例の概略図である。この装置１０は、フィル
タ１２，１４を交換可能に収納する断熱性容器１６と、
赤外線温度画像装置１８及び画像処理用計算機２０を有
してなる。
する。図１は、本発明による赤外線検知式画像処理装置
の第１実施例の概略図である。この装置１０は、フィル
タ１２，１４を交換可能に収納する断熱性容器１６と、
赤外線温度画像装置１８及び画像処理用計算機２０を有
してなる。
【００１３】断熱性容器１６は、赤外線を透過させる例
えばポリエチレン製の窓（図示せず）、冷媒流入口２２
及び冷媒流出口２４を有する。本実施例で使用される冷
媒は液体窒素である。液体窒素は容器内で気化し、その
際の気化した窒素がフィルタ１２，１４を低温に保つ。
本発明では、赤外線を検知するために、フィルタ１２，
１４が照射する赤外線が測定の妨げにならないように、
断熱性容器１６内を冷却している。この温度は、−５０
℃〜−１８０℃の範囲が好適である。
えばポリエチレン製の窓（図示せず）、冷媒流入口２２
及び冷媒流出口２４を有する。本実施例で使用される冷
媒は液体窒素である。液体窒素は容器内で気化し、その
際の気化した窒素がフィルタ１２，１４を低温に保つ。
本発明では、赤外線を検知するために、フィルタ１２，
１４が照射する赤外線が測定の妨げにならないように、
断熱性容器１６内を冷却している。この温度は、−５０
℃〜−１８０℃の範囲が好適である。
【００１４】図２の実施例では、フィルタをいちいち交
換しなくてすむように、一対の可動ミラー２６，２８
と、一対の固定ミラー３０，３２が設けられている。ミ
ラー２６，２８，３０，３２は赤外線を反射する性質を
有するものである。ミラー２６，２８が非作動位置にあ
るとき、物体が照射する赤外線は、第１のフィルタ１２
を通じて赤外線温度画像装置１８に入射される。ミラー
２６，２８が作動位置にあるとき、物体が照射する赤外
線は、第２のフィルタ１４を通じて赤外線温度画像装置
１８に入射される。赤外線温度画像装置１８は検知波長
3.0〜5.4μｍを有するものである。
換しなくてすむように、一対の可動ミラー２６，２８
と、一対の固定ミラー３０，３２が設けられている。ミ
ラー２６，２８，３０，３２は赤外線を反射する性質を
有するものである。ミラー２６，２８が非作動位置にあ
るとき、物体が照射する赤外線は、第１のフィルタ１２
を通じて赤外線温度画像装置１８に入射される。ミラー
２６，２８が作動位置にあるとき、物体が照射する赤外
線は、第２のフィルタ１４を通じて赤外線温度画像装置
１８に入射される。赤外線温度画像装置１８は検知波長
3.0〜5.4μｍを有するものである。
【００１５】第１のフィルタ１２は波長3.0〜4.1μｍの
赤外線のみを透過させ、第２のフィルタ１４は波長4.4
〜5.4μｍの赤外線のみを透過させる。本発明では、放
射率が等しいとして温度を求めるため、赤外線温度画像
装置１８の検知波長を２分して、実質的に放射率εが異
ならないようにすることが望ましい。
赤外線のみを透過させ、第２のフィルタ１４は波長4.4
〜5.4μｍの赤外線のみを透過させる。本発明では、放
射率が等しいとして温度を求めるため、赤外線温度画像
装置１８の検知波長を２分して、実質的に放射率εが異
ならないようにすることが望ましい。
【００１６】赤外線温度画像装置は各画素ごとに計測し
た輻射強度のデータを画像処理用計算機に送信できる機
能を持つ。また、計算機からの画像データを受信、表示
する機能をもつ。このような赤外線温度画像装置は市場
で入手可能である。なお、検知した赤外線から温度への
画像処理自体、演算処理自体については、公知であり、
本発明の要旨でもないので、説明は省略する。
た輻射強度のデータを画像処理用計算機に送信できる機
能を持つ。また、計算機からの画像データを受信、表示
する機能をもつ。このような赤外線温度画像装置は市場
で入手可能である。なお、検知した赤外線から温度への
画像処理自体、演算処理自体については、公知であり、
本発明の要旨でもないので、説明は省略する。
【００１７】次に動作を説明する。まず、断熱性容器１
６が冷却され、フィルタ１２，１４から放射される赤外
線が測定の妨げにならないようにする。次いで、物体が
放射する赤外線を第１又は第２のフィルタを介して赤外
線温度画像装置に入射させる。
６が冷却され、フィルタ１２，１４から放射される赤外
線が測定の妨げにならないようにする。次いで、物体が
放射する赤外線を第１又は第２のフィルタを介して赤外
線温度画像装置に入射させる。
【００１８】第１のフィルタ１２は、物体が放射する輻
射赤外線の内、一部分の波長領域（本実施例の場合、3.
0〜4.1μｍ）だけを透過させる。赤外線温度画像装置１
８にその波長領域の赤外線のみが入射される。第２のフ
ィルタ１４は、別の波長領域（本実施例の場合、4.4〜
5.4μｍ）の輻射赤外線だけを透過させる。赤外線温度
画像装置１８にその波長領域の赤外線のみが入射され
る。
射赤外線の内、一部分の波長領域（本実施例の場合、3.
0〜4.1μｍ）だけを透過させる。赤外線温度画像装置１
８にその波長領域の赤外線のみが入射される。第２のフ
ィルタ１４は、別の波長領域（本実施例の場合、4.4〜
5.4μｍ）の輻射赤外線だけを透過させる。赤外線温度
画像装置１８にその波長領域の赤外線のみが入射され
る。
【００１９】赤外線温度画像装置１８は、フィルタ１
２，１４を透過した輻射の強度を各画素毎に計測、記録
し、その結果を画像処理用計算機２０に送信する。画像
処理用計算機２０では、２色温度計の原理に基づき、各
画素ごとに温度を算出し、その結果をディスプレイ２１
に画像化する。
２，１４を透過した輻射の強度を各画素毎に計測、記録
し、その結果を画像処理用計算機２０に送信する。画像
処理用計算機２０では、２色温度計の原理に基づき、各
画素ごとに温度を算出し、その結果をディスプレイ２１
に画像化する。
【００２０】なお図示は省略したが、図１のようにフィ
ルタを交換可能に設けたり、図２のようにミラーを設け
たりする替わりに、請求項４の構成のように、各フィル
タに対応させて、赤外線温度画像装置と画像処理用計算
機を設けてもよい。
ルタを交換可能に設けたり、図２のようにミラーを設け
たりする替わりに、請求項４の構成のように、各フィル
タに対応させて、赤外線温度画像装置と画像処理用計算
機を設けてもよい。
【００２１】図３は、本発明による効果を具体的に示し
たもので、表面状態が異なり、そのため放射率が異なる
２つの物体が並んで存在している場合、従来であれば、
画素ごとに異なる放射率を与えることができないため、
画像としては同一の温度として現われてしまうのに対
し、本発明によれば、両者が異なる温度であることが、
実際の画像として表示できることを示している。
たもので、表面状態が異なり、そのため放射率が異なる
２つの物体が並んで存在している場合、従来であれば、
画素ごとに異なる放射率を与えることができないため、
画像としては同一の温度として現われてしまうのに対
し、本発明によれば、両者が異なる温度であることが、
実際の画像として表示できることを示している。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、特定波長領域の赤外線
のみを透過させる２つフィルタを介して物体が放射する
赤外線の放射強度を異なる赤外線波長領域で計測し、２
色温度計の原理を利用することにより、それぞれの波長
領域において計測した放射強度Ｅから画素毎の温度を画
像化することによって、放射率が未知な物体の温度を画
像化することができる。また、放射率の異なる複数の物
体の温度を一度に画像化できるほか、時間と共に放射率
が変化する物体の温度を画像化することができる。
のみを透過させる２つフィルタを介して物体が放射する
赤外線の放射強度を異なる赤外線波長領域で計測し、２
色温度計の原理を利用することにより、それぞれの波長
領域において計測した放射強度Ｅから画素毎の温度を画
像化することによって、放射率が未知な物体の温度を画
像化することができる。また、放射率の異なる複数の物
体の温度を一度に画像化できるほか、時間と共に放射率
が変化する物体の温度を画像化することができる。
【００２３】なお、請求項５の構成では、フィルタを冷
却するようにしたから、フィルタ自体から発する赤外線
が測定の妨げにならず、対象物体の温度を正確に計測す
ることができる。
却するようにしたから、フィルタ自体から発する赤外線
が測定の妨げにならず、対象物体の温度を正確に計測す
ることができる。
【図１】 本発明による赤外線温度画像処理装置の第１
実施例の概略図である。
実施例の概略図である。
【図２】 ミラーを使用してフィルタの交換の必要をな
くした第２実施例の作動説明図である。
くした第２実施例の作動説明図である。
【図３】 本発明の効果を示す画像の例である。
１０ 赤外線検知式画像処理装置 １２ 第１のフィルタ １４ 第２のフィルタ １６ 断熱性容器 １８ 赤外線温度画像装置 ２０ 画像処理用計算機 ２６，２８，３０，３２ ミラー
Claims (5)
- 【請求項１】 第１の特定波長領域の赤外線のみを透過
させる第１のフィルタを介して物体が放射する赤外線の
放射強度を検知し、 第１の特定波長領域と異なる第２の特定波長領域の赤外
線のみを透過させる第２のフィルタを介して物体が放射
する赤外線の放射強度を検知し、 それぞれの放射強度から演算して得られた画素毎の温度
を画像化することを特徴とする、 赤外線温度画像処理方法。 - 【請求項２】 物体が放射する赤外線のうち第１の特定
波長領域の赤外線のみを透過させる第１のフィルタと、
第１の特定波長領域と異なる第２の特定波長領域の赤外
線のみを透過させる第２のフィルタとを交換可能に具
え、前記第１又は前記第２のフィルタを透過したそれぞ
れの特定波長領域の赤外線が入射する赤外線温度画像装
置と、該赤外線温度画像装置の信号を画像化する画像処
理用計算機を有してなる、 赤外線温度画像処理装置。 - 【請求項３】 物体が放射する赤外線のうち第１の特定
波長領域の赤外線のみを透過させる第１のフィルタと、
第１の特定波長領域と異なる第２の特定波長領域の赤外
線のみを透過させる第２のフィルタと、物体が放射する
赤外線を前記第１のフィルタ又は前記第２のフィルタに
向けるミラーと、前記第１又は前記第２のフィルタを透
過したそれぞれの特定波長領域の赤外線が入射する赤外
線温度画像装置と、該赤外線温度画像装置の信号を画像
化する画像処理用計算機を有してなる、 赤外線温度画像処理装置。 - 【請求項４】 物体が放射する赤外線のうち第１の特定
波長領域の赤外線のみを透過させる第１のフィルタと、
第１の特定波長領域と異なる第２の特定波長領域の赤外
線のみを透過させる第２のフィルタと、前記第１のフィ
ルタを透過した特定波長領域の赤外線が入射する第１の
赤外線温度画像装置と、前記第２のフィルタを透過した
特定波長領域の赤外線が入射する第２の赤外線温度画像
装置と、前記第１及び第２の赤外線温度画像装置の信号
を画像化する画像処理用計算機を有してなる、 赤外線温度画像処理装置。 - 【請求項５】 前記第１及び第２のフィルタを測定対象
物体よりも低温に冷やす冷却装置を具えている、第２
項、第３項又は第４項の画像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116054A JPH07301569A (ja) | 1994-05-06 | 1994-05-06 | ２つのフィルタを使用した赤外線温度画像処理方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6116054A JPH07301569A (ja) | 1994-05-06 | 1994-05-06 | ２つのフィルタを使用した赤外線温度画像処理方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07301569A true JPH07301569A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14677567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6116054A Pending JPH07301569A (ja) | 1994-05-06 | 1994-05-06 | ２つのフィルタを使用した赤外線温度画像処理方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07301569A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001073384A1 (en) * | 2000-03-31 | 2001-10-04 | Oseir Oy | Method for imaging measurement, imaging measuring device and use of measured information in process control |
| EP1302759A2 (en) * | 2001-10-11 | 2003-04-16 | Noritake Co., Limited | Temperature distribution measuring method and apparatus |
| GB2390501A (en) * | 2001-01-17 | 2004-01-07 | Noritake Co Ltd | Temperature distribution measuring |
| US6817758B2 (en) | 2001-04-04 | 2004-11-16 | Noritake Co., Limited | Temperature distribution measuring method and apparatus |
| JP2012193976A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Hochiki Corp | エチルアルコール検知装置及び検知方法 |
| CN113966311A (zh) * | 2019-06-11 | 2022-01-21 | 瓦克化学股份公司 | 生产多晶硅的方法 |
-
1994
- 1994-05-06 JP JP6116054A patent/JPH07301569A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6927856B2 (en) | 2000-03-31 | 2005-08-09 | Oseir Oy | Method for imaging measurement, imaging measurement device and use of measured information in process control |
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| EP1302759A3 (en) * | 2001-10-11 | 2005-01-12 | Noritake Co., Limited | Temperature distribution measuring method and apparatus |
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