JPH0730054A - Manufacture of lead frame - Google Patents

Manufacture of lead frame

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JPH0730054A
JPH0730054A JP17546093A JP17546093A JPH0730054A JP H0730054 A JPH0730054 A JP H0730054A JP 17546093 A JP17546093 A JP 17546093A JP 17546093 A JP17546093 A JP 17546093A JP H0730054 A JPH0730054 A JP H0730054A
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JP
Japan
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lead frame
resin
insulator
leads
photosensitive resin
Prior art date
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Application number
JP17546093A
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Japanese (ja)
Inventor
Tatsuhiro Okano
達広 岡野
Atsushi Mizuno
敦 水野
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent insulator from being left on the resin feed side of a lead by a method wherein photosensitive resin fed onto a lead frame is made to start being exposed to light from its side opposite to its other feed side, and an insulator is formed to link leads together. CONSTITUTION:Insulating, photosensitive resin 20 cured by ultraviolet ray or the like is fed over a lead frame 10. The photosensitive resin 20 fed onto the lead frame 10 is made to start being exposed to light to be cured from its side opposite to its other feed side, whereby an insulator formed of photosensitive resin 20 is formed. Uncured photosensitive resin 20 is removed by cleaning. As mentioned above, the photosensitive resin 20 is made to start being exposed to light to be cured from its side opposite to its other feed side, so that the feed side of resin 20 fed onto the lead frame 10 is not exposed to light, only resin filled in between leads due to its own weight is cured by light exposure to link the leads together. Therefore, insulator is hardly left on the resin feed side of leads.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、リード間を連結する絶
縁体を具備するリードフレームの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a lead frame having an insulator connecting leads.

【0002】[0002]

【従来の技術】リードフレームのリード間を絶縁体で連
結する場合、次に挙げるインナーリードを連結するもの
と、アウターリードを連結するものの2つの形式があ
る。まず第1のインナーリードを連結するものは、特開
平2−222569号公報に開示されたごときリードフ
レームであって、このようなリードフレームが必要とさ
れる理由としては、狭ピッチ化が進むリードフレームに
あっては、リードとリードの間隔が非常に狭くなってき
ており、リードフレームの状態での運搬などの取扱時
や、半導体チップを搭載後に樹脂封止する際にインナー
リードが変形して、隣接するリードとショートすること
などを防止するものである。この際の絶縁体は、ポリイ
ミドなどのテープを用いる場合が多いが、近年生産性、
コストなどの問題から、絶縁性の樹脂、例えば前記特開
平2−222569号公報に示されるような、シリコー
ン樹脂やエポキシ樹脂などが用いられることが多い。
2. Description of the Related Art When connecting the leads of a lead frame with an insulator, there are two types, one for connecting inner leads and one for connecting outer leads. First, the one that connects the first inner leads is a lead frame as disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-222569, and the reason why such a lead frame is required is that the lead pitch is becoming narrower. In the frame, the distance between the leads is becoming very narrow, and the inner leads are deformed during handling such as transportation in the state of the lead frame or during resin sealing after mounting the semiconductor chip. This is to prevent short-circuiting with the adjacent lead. Insulators at this time are often tapes such as polyimide, but in recent years productivity,
Insulating resins, such as silicone resins and epoxy resins as disclosed in JP-A-2-222569, are often used because of problems such as cost.

【0003】第2のアウターリードを連結するものとし
ては、特開平1−302756号公報に開示されたごと
き、樹脂封止ラインの外側に絶縁体を設けるものであ
る。このようなリードフレームが必要とされる理由とし
ては、樹脂封止の際に樹脂が本来封止されるべき境界の
外へ、リード間からもれることを防止するためであり、
ダムバーまたはタイバー等と称されている。ダムバーは
金属板からリードフレームをエッチング、スタンピング
などによって加工する際にダムバー部の金属を残して形
成され、樹脂封止後に金型によってダムバーをカットす
るという方法がとられていたが、狭ピッチ化が進むにつ
れ、ダムバーをカットすることが困難になり、絶縁性の
樹脂によってダムバーが設けられるようになったという
背景がある。
To connect the second outer lead, an insulator is provided outside the resin sealing line as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-203756. The reason why such a lead frame is required is to prevent the resin from leaking from between the leads to the outside of the boundary where the resin should be originally sealed at the time of resin sealing,
It is called a dam bar or tie bar. The dam bar was formed by leaving the metal of the dam bar part when processing the lead frame from a metal plate by etching, stamping, etc., and the method of cutting the dam bar with a mold after resin sealing was adopted, but narrowing the pitch As it progresses, it becomes difficult to cut the dam bar, and there is a background that the dam bar is provided by the insulating resin.

【0004】以上のような理由でリード間を絶縁体で連
結することが開発されているが、その製造方法において
は、特公平4−64468号公報などに示されるよう
に、ディスペンサーで供給後、押圧板で挟むという方法
や、特開平2−222569号公報に示されるようにリ
ード間の段差を磁力で修正するという方法がが採用され
ていた。
For the above reasons, it has been developed to connect the leads with an insulator, but in the manufacturing method thereof, as shown in Japanese Patent Publication No. 4-64468, after supplying with a dispenser, A method of sandwiching with a pressing plate and a method of correcting the step between the leads by magnetic force as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 222522/1989 have been adopted.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし上記のような製
造方法では、リードの間だけではなく、樹脂の供給面側
にも樹脂が残ってしまうという問題があった。即ち前記
の特開平2−222569号公報、特開平1−3027
56号公報、特公平4−64468号公報に開示された
技術における樹脂は、リード間に充填されるために適度
な粘度が必要であるが、そのような粘度を持った樹脂を
ディスペンサ−で供給すると、発明者らが実験したとこ
ろ、供給面側のリードフレーム上には通常100μmか
ら150μm程度の樹脂が残存した。このように、樹脂
の供給面側のリードフレーム上に樹脂が残存している
と、まずインナーリード側に絶縁体を設ける形式のもの
では、樹脂封止の際に封止樹脂の流れを妨げる原因とな
り、封止樹脂にボイドが発生してパッケージの信頼性を
低下させてしまい、具体的にはICパッケージ実装時の
熱でパッケージにクラックが発生したり、ボイド部に経
時的に水分が溜まり、絶縁不良の原因となるという問題
があった。
However, the manufacturing method as described above has a problem that the resin remains not only between the leads but also on the resin supply surface side. That is, the above-mentioned JP-A-2-222569 and JP-A-1-3027.
The resin in the technology disclosed in Japanese Patent Publication No. 56 and Japanese Patent Publication No. 4-64468 requires an appropriate viscosity in order to be filled between the leads, but a resin having such viscosity is supplied by a dispenser. Then, as a result of an experiment conducted by the inventors, a resin of about 100 μm to 150 μm usually remained on the lead frame on the supply surface side. In this way, if the resin remains on the lead frame on the resin supply surface side, in the type in which the insulator is first provided on the inner lead side, the cause of obstructing the flow of the sealing resin at the time of resin sealing Then, voids are generated in the sealing resin and the reliability of the package is lowered. Specifically, heat is generated during mounting of the IC package to crack the package, or moisture is accumulated in the void portion over time. There was a problem of causing insulation failure.

【0006】またダムバーとして絶縁体を設ける形式の
ものでは、樹脂封止の際に封止用の金型で挟んだとき
に、リードフレーム上の樹脂は金型で押されてつぶれ
る。樹脂は大きくつぶされ、粉砕されて、金型に付着し
てしまい、連続的に生産されるにつれ、金型がよく嵌合
しなくなったり、隙間ができ、封止樹脂のもれが生じた
り、パッケージ厚にバラツキが生じるという問題点があ
った。また、粉砕された樹脂片によって金型に無理な力
がかかり、金型の精度に影響を与えるという恐れもあっ
た。近年、特にTABなどではパッケージの薄型化が急
速に進んでおり、1mm程度のパッケージ厚のものまで
用いられている。特にこのような薄型のパッケージで
は、リードフレームの樹脂供給面側のリードフレーム上
に残存する100μmから150μm程度の樹脂が粉砕
され、飛散することはパッケージ厚の信頼性に重大な影
響をあたえる。
Further, in the type in which the insulator is provided as the dam bar, the resin on the lead frame is pressed by the mold and crushed when sandwiched by the mold for sealing at the time of resin sealing. The resin is greatly crushed, crushed, and adheres to the mold, and as it is continuously manufactured, the mold does not fit well, there is a gap, leakage of the sealing resin occurs, There is a problem that the package thickness varies. Further, the crushed resin pieces may impose an excessive force on the mold, which may affect the accuracy of the mold. In recent years, particularly in TAB and the like, thinning of packages has been rapidly advanced, and even packages having a package thickness of about 1 mm are used. Particularly in such a thin package, the resin of 100 μm to 150 μm remaining on the resin supply surface side of the lead frame is crushed and scattered, which seriously affects the reliability of the package thickness.

【0007】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、リード間を連
結する絶縁体を具備するリードフレームにおいて、リー
ドの樹脂供給側の面に絶縁体が残存しないリードフレー
ムの製造方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to insulate the surface of the leads on the resin supply side in a lead frame having an insulator for connecting the leads. It is to provide a method for manufacturing a lead frame in which the body does not remain.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】即ち本発明において前述
の問題を解決するために、第1の発明では、互いに独立
した複数のリードと、このリード間を連結する絶縁体を
具備するリードフレームの製造方法において、 絶縁性でかつ紫外線などにより硬化する感光性樹脂を
リードフレーム上に供給する工程。 前記リードフレーム上に供給された感光性樹脂を供給
側とは逆の面から露光して硬化させることにより、硬化
した感光性樹脂よりなる絶縁体を形成する工程。 未硬化の感光性樹脂を洗浄して除去する工程。 の工程を含むことを特徴とするリードフレームの製造方
法としたものである。
That is, in order to solve the above problems in the present invention, in the first invention, a lead frame having a plurality of leads independent from each other and an insulator connecting the leads is provided. In the manufacturing method, a step of supplying a photosensitive resin, which is insulative and hardened by ultraviolet rays, onto the lead frame. A step of forming an insulator made of the cured photosensitive resin by exposing and curing the photosensitive resin supplied onto the lead frame from the surface opposite to the supply side. A step of washing and removing the uncured photosensitive resin. The present invention provides a method for manufacturing a lead frame, including the steps of.

【0009】また、第2の発明では、第1の発明におい
て、絶縁体は、少なくともその一部が樹脂封止ラインよ
り外側に形成されることを特徴とするリードフレームの
製造方法としたものである。
According to a second aspect of the present invention, the method of manufacturing the lead frame according to the first aspect is characterized in that at least a part of the insulator is formed outside a resin sealing line. is there.

【0010】また、第3の発明では、第1の発明におい
て、絶縁体は、インナーリードの先端部近傍に形成され
ることを特徴とするリードフレームの製造方法としたも
のである。
A third aspect of the present invention is the method for manufacturing a lead frame according to the first aspect, wherein the insulator is formed in the vicinity of the tip of the inner lead.

【0011】[0011]

【作用】本発明の請求項第1項に係る発明によれば、感
光性樹脂を供給側とは逆の面から露光し、硬化している
ため、供給側のリードフレーム上の樹脂は露光されるこ
とがなく、自重でリード間に埋まった樹脂のみが感光、
硬化し、リード間を連結するので、リードの樹脂供給側
の面に絶縁体が残存することはない。また、請求項第2
項に係る発明によれば、請求項第1項に係る発明を前提
とし、絶縁体は少なくともその一部が樹脂封止ラインよ
り外側に形成されているため、絶縁体は樹脂封止のため
のモールド樹脂が、リードの間から流れ出すことを防ぐ
ことができ、良好な形状のパッケージを得ることができ
る。更にまた、請求項第3項に係る発明によれば、請求
項第1項に係る発明を前提とし、絶縁体は、インナーリ
ード近傍に形成されているため、樹脂封止時に絶縁体が
樹脂の流れを妨げることなく、インナーリード先端を固
定し、インナーリード同士が接触することを防ぐことが
できるという良好なリード固定のための絶縁体を得るこ
とができる。
According to the first aspect of the present invention, since the photosensitive resin is exposed and cured from the surface opposite to the supply side, the resin on the lead frame on the supply side is exposed. Only the resin buried between the leads under its own weight is exposed,
Since it hardens and connects the leads, the insulator does not remain on the surface of the leads on the resin supply side. Also, claim 2
According to the invention of claim 1, on the premise of the invention of claim 1, at least a part of the insulator is formed outside the resin sealing line. The mold resin can be prevented from flowing out between the leads, and a package having a good shape can be obtained. Furthermore, according to the invention according to claim 3, on the premise of the invention according to claim 1, since the insulator is formed in the vicinity of the inner lead, the insulator is made of resin when the resin is sealed. It is possible to obtain an excellent insulator for fixing the leads, which can fix the tips of the inner leads and prevent the inner leads from contacting each other without obstructing the flow.

【0012】[0012]

【実施例】【Example】

〈実施例1〉板厚が0.15mmの銅合金のリードフレ
ームをエッチングにより形成したのち、インナーリード
先端の平坦幅を確保するため、コイニング加工を施し
た。このようにして得られたリードフレームのインナー
リード先端の平坦幅は120μm、インナーリード先端
のピッチは220μmであった。このリードフレーム
(10)を保持して、リードフレームの上方から、ディ
スペンサー(30)を用い、樹脂封止ラインの水平方向
外側に感光性樹脂の内周と樹脂封止ラインの間が0.5
mmになるような位置に、粘度60psの紫外線硬化型
の感光性樹脂(20)(商品名;UC310、東洋イン
キ製造株式会社製)を幅300μmで供給した。感光性
樹脂形成部のアウターリードの幅は250μmであり、
ピッチは500μmであった。感光性樹脂は自重でアウ
ターリード間に充填された。 このようにして感光性樹
脂(20)をリードフレーム(10)に供給したのち、
リードフレームの下方から高圧水銀ランプを用いて紫外
光を露光した。この際の光量は2000mJであった。
その後、エタノールを用いて洗浄して、リードフレーム
(10)の上面の未硬化の感光性樹脂(22)を取り除
いた。その結果、リードフレーム上面に樹脂が残存する
ことなく、アウターリード間にのみ硬化した感光性樹脂
よりなる絶縁体(24)が形成された。その後、130
℃、30分程度のベーキングを加えた。このようにし
て、アウターリードのリード間を絶縁体(24)で連結
されたリードフレーム(10)を得た。なおこの実施例
では、感光性樹脂の内周と樹脂封止ラインの間が0.5
mmとなる位置に絶縁体を設けたが、絶縁体の少なくと
も一部が樹脂封止ラインより外側に形成されていれば特
に限定されない。しかし、感光性樹脂の内周と、樹脂封
止ラインの間隙には封止のための樹脂がはみ出すので、
その間隙はなるべく小さい方が好ましく、感光性樹脂の
内周が樹脂封止ラインの内側にあることが好ましい。
Example 1 A copper alloy lead frame having a plate thickness of 0.15 mm was formed by etching, and then coining was performed to secure a flat width at the tip of the inner lead. The thus obtained lead frame had a flat width of 120 μm at the tips of the inner leads and a pitch of 220 μm at the tips of the inner leads. While holding this lead frame (10), a dispenser (30) is used from above the lead frame, and the distance between the inner circumference of the photosensitive resin and the resin sealing line is 0.5 outside the resin sealing line in the horizontal direction.
An ultraviolet curable photosensitive resin (20) (trade name; UC310, manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) having a viscosity of 60 ps was supplied in a width of 300 μm at a position such that the width became mm. The width of the outer lead of the photosensitive resin forming portion is 250 μm,
The pitch was 500 μm. The photosensitive resin was filled between the outer leads by its own weight. After the photosensitive resin (20) is supplied to the lead frame (10) in this way,
Ultraviolet light was exposed from below the lead frame using a high pressure mercury lamp. The amount of light at this time was 2000 mJ.
Then, it wash | cleaned using ethanol and the uncured photosensitive resin (22) on the upper surface of the lead frame (10) was removed. As a result, the resin (24) did not remain on the upper surface of the lead frame, and the insulator (24) made of the cured photosensitive resin was formed only between the outer leads. Then 130
Baking was performed at 30 ° C. for about 30 minutes. In this way, a lead frame (10) in which the leads of the outer leads were connected by the insulator (24) was obtained. In this embodiment, the distance between the inner circumference of the photosensitive resin and the resin sealing line is 0.5.
The insulator is provided at a position of mm, but it is not particularly limited as long as at least a part of the insulator is formed outside the resin sealing line. However, since the resin for sealing protrudes into the gap between the inner circumference of the photosensitive resin and the resin sealing line,
The gap is preferably as small as possible, and the inner periphery of the photosensitive resin is preferably inside the resin sealing line.

【0013】〈実施例2〉実施例1と同様の材料、工程
で、感光性樹脂の供給位置をインナーリード部に行っ
た。供給位置はインナーリードの先端から約3mmの位
置にディスペンサーを用いて供給した。この際のインナ
ーリードの先端からの位置は、先端にボンディング用の
エリアが残されていればよいが、先端からあまり離れす
ぎていても、本来のインナーリードの変形を防ぐという
目的を損なうことになる。その後、実施例1と同様に、
リードフレームの下方から紫外光で露光し、エタノール
を用いて洗浄、除去し、130℃、30分程度のベーキ
ングを加えた。このようにして、インナーリードのリー
ド間を絶縁体(24)で連結されたリードフレーム(1
0)を得た。なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、例えば前記実施例においてはリードフレー
ムの材料は銅合金の実施例であったが、42合金などで
あっても良い。
Example 2 The same material and process as in Example 1 were used to feed the photosensitive resin to the inner lead portion. The supply position was about 3 mm from the tip of the inner lead using a dispenser. At this time, the position of the inner lead from the tip may be such that the bonding area is left at the tip, but even if it is too far from the tip, the original purpose of preventing deformation of the inner lead is impaired. Become. Then, as in Example 1,
It was exposed to ultraviolet light from below the lead frame, washed and removed with ethanol, and baked at 130 ° C. for about 30 minutes. In this way, the lead frame (1) in which the leads of the inner lead are connected by the insulator (24)
0) was obtained. It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, although the material of the lead frame is the embodiment of the copper alloy in the above-mentioned embodiment, it may be 42 alloy or the like.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明によれば、リードフレームのリー
ド間にのみ樹脂の絶縁体が形成されるため、良好な樹脂
封止性をもったリードフレームを製造することができ
る。即ちインナーリード側に絶縁体を設ける形式のもの
では、樹脂封止の際に封止樹脂の流れを妨げることがな
く、従ってICパッケージ実装時の熱でパッケージにク
ラックが発生したり、ボイド部に経時的に水分が溜まっ
たりすることがないリードフレームが得られる。またダ
ムバーとして絶縁体を設ける形式のものでは、樹脂封止
の際に封止用の金型で挟んだときに、樹脂が金型で押さ
れてつぶれ、金型に付着して、金型がよく嵌合しなくな
ったり、隙間ができ、封止樹脂のもれが生じたり、パッ
ケージ厚にバラツキが生じるということがない。
According to the present invention, since the resin insulator is formed only between the leads of the lead frame, it is possible to manufacture a lead frame having a good resin sealing property. That is, in the type in which the insulator is provided on the inner lead side, the flow of the sealing resin is not obstructed at the time of resin sealing, and therefore the package cracks due to the heat when mounting the IC package or the void portion is It is possible to obtain a lead frame in which water does not accumulate over time. Further, in the type in which an insulator is provided as a dam bar, when sandwiched by a mold for sealing at the time of resin sealing, the resin is pressed by the mold and crushed and adheres to the mold, and the mold is There are no problems such as poor fitting, gaps, leakage of sealing resin, and variation in package thickness.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示すもので、(A)は
感光性樹脂をリードフレームに供給する工程を示す断面
で現した説明図であり、(B)は露光工程を示す断面で
現した説明図であり、(C)は絶縁体の形成されたリー
ドフレームの断面で現した説明図である。
1A and 1B show a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is an explanatory view represented by a cross section showing a step of supplying a photosensitive resin to a lead frame, and FIG. 1B shows an exposure step. It is an explanatory view expressed in a section, and (C) is an explanatory view expressed in a section of a lead frame in which an insulator is formed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10‥‥リードフレーム 20‥‥感光性樹脂 22‥‥未硬化の感光性樹脂 24‥‥絶縁体 30‥‥ディスペンサー 10 Lead frame 20 Photosensitive resin 22 Unhardened photosensitive resin 24 Insulator 30 Dispenser

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/31 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location H01L 23/31

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】互いに独立した複数のリードと、このリー
ド間を連結する絶縁体を具備するリードフレームの製造
方法において、 絶縁性でかつ紫外線などにより硬化する感光性樹脂を
リードフレーム上に供給する工程。 前記リードフレーム上に供給された感光性樹脂を供給
側とは逆の面から露光して硬化させることにより、硬化
した感光性樹脂よりなる絶縁体を形成する工程。 未硬化の感光性樹脂を洗浄して除去する工程。 の工程を含むことを特徴とするリードフレームの製造方
法。
1. A method of manufacturing a lead frame comprising a plurality of leads independent of each other and an insulator connecting the leads to each other, wherein a photosensitive resin which is insulative and hardened by ultraviolet rays is supplied onto the lead frame. Process. A step of forming an insulator made of the cured photosensitive resin by exposing and curing the photosensitive resin supplied onto the lead frame from the surface opposite to the supply side. A step of washing and removing the uncured photosensitive resin. A method of manufacturing a lead frame, the method including:
【請求項2】絶縁体は、少なくともその一部が樹脂封止
ラインより外側に形成されることを特徴とする請求項第
1項に記載のリードフレームの製造方法。
2. The method for manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein at least a part of the insulator is formed outside the resin sealing line.
【請求項3】絶縁体は、インナーリードの先端部近傍に
形成されることを特徴とする請求項第1項に記載のリー
ドフレームの製造方法。
3. The method for manufacturing a lead frame according to claim 1, wherein the insulator is formed near the tip of the inner lead.
JP17546093A 1993-07-15 1993-07-15 Manufacture of lead frame Pending JPH0730054A (en)

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