JPH073000B2 - 電気めっき装置 - Google Patents
電気めっき装置Info
- Publication number
- JPH073000B2 JPH073000B2 JP1020619A JP2061989A JPH073000B2 JP H073000 B2 JPH073000 B2 JP H073000B2 JP 1020619 A JP1020619 A JP 1020619A JP 2061989 A JP2061989 A JP 2061989A JP H073000 B2 JPH073000 B2 JP H073000B2
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- Japan
- Prior art keywords
- anode
- plating
- plated
- small
- frame
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- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電気めっきにおけるめっき膜厚分布均一化を
図る電気めっき装置、特に微細パターン選択電気めっき
工法における、複数の個別に電流値設定可能な小陽極の
組織体を用いてめっきを行う電気めっき装置に関する。
図る電気めっき装置、特に微細パターン選択電気めっき
工法における、複数の個別に電流値設定可能な小陽極の
組織体を用いてめっきを行う電気めっき装置に関する。
従来、電気めっきにおけるめっき膜厚分布の均一化は、
一般に電流が集中する（即ちめっき膜の厚くなる）めっ
きエリア周囲部分に、電流集中を緩和する補助陰極や遮
蔽板を設ける方法によって行われていた。そして高度に
均一なめっき膜厚を必要とするLSI搭載用等の高密度配
線基板を、選択電気めっき工法により製造する場合にお
いても、めっきのエリアの周囲部分の中央部分のめっき
膜厚差の改善を主目的とした、めっきエリア全体を巨視
的に捉えた電流分布調節方法が行われていた。
一般に電流が集中する（即ちめっき膜の厚くなる）めっ
きエリア周囲部分に、電流集中を緩和する補助陰極や遮
蔽板を設ける方法によって行われていた。そして高度に
均一なめっき膜厚を必要とするLSI搭載用等の高密度配
線基板を、選択電気めっき工法により製造する場合にお
いても、めっきのエリアの周囲部分の中央部分のめっき
膜厚差の改善を主目的とした、めっきエリア全体を巨視
的に捉えた電流分布調節方法が行われていた。
上述した従来の電流分布調節方法は、めっきエリア全体
について巨視的に捉え電流分布を調節しようとしている
ので、年々微細高密度化しさらに大型化するLSI搭載用
等の高密度配線基板を、選択電気めっき法により製造す
る場合においては、めっきエリア内の配線パターンの濃
淡（即ちめっきエリアを小面積に区切って見た場合に、
各製品毎に固有の、設計ルールが許す最大限度いっぱい
まで高密度に配線が有る部分や、反対にほとんど配線の
無い部分等があること）によって発生する、めっき電流
の局所的分配不良（即ちめっき膜厚の不均一）を解決で
きないという欠点があった。また補助陰極や遮蔽板を、
小区分しためっきエリア毎に電流分布を調節できるよう
に改良することは、被めっき物毎にそれらを交換しなけ
ればならない欠点が有り、さらに電流分布を調節する効
果を充分発揮させるために、それらを被めっき物に極め
て接近させなければならず、めっき液の循環不良による
めっき析出不良が発生する欠点が有った。
について巨視的に捉え電流分布を調節しようとしている
ので、年々微細高密度化しさらに大型化するLSI搭載用
等の高密度配線基板を、選択電気めっき法により製造す
る場合においては、めっきエリア内の配線パターンの濃
淡（即ちめっきエリアを小面積に区切って見た場合に、
各製品毎に固有の、設計ルールが許す最大限度いっぱい
まで高密度に配線が有る部分や、反対にほとんど配線の
無い部分等があること）によって発生する、めっき電流
の局所的分配不良（即ちめっき膜厚の不均一）を解決で
きないという欠点があった。また補助陰極や遮蔽板を、
小区分しためっきエリア毎に電流分布を調節できるよう
に改良することは、被めっき物毎にそれらを交換しなけ
ればならない欠点が有り、さらに電流分布を調節する効
果を充分発揮させるために、それらを被めっき物に極め
て接近させなければならず、めっき液の循環不良による
めっき析出不良が発生する欠点が有った。
本発明の目的は前記課題を解決した電気めっき装置を提
供することにある。
供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係る電気めっき装置
は、複合陽極を有する電気めっき装置であって、 前記複合陽極は、陽極枠と小陽極とを含み、 前記陽極枠は、複数の仕切りを有する無蓋・無底の枠で
あり、 前記小陽極は、めっき液が通過可能な陽極板であり、前
記陽極枠の各仕切り内に個々に独立して電気的に絶縁さ
れて設置されたものである。
は、複合陽極を有する電気めっき装置であって、 前記複合陽極は、陽極枠と小陽極とを含み、 前記陽極枠は、複数の仕切りを有する無蓋・無底の枠で
あり、 前記小陽極は、めっき液が通過可能な陽極板であり、前
記陽極枠の各仕切り内に個々に独立して電気的に絶縁さ
れて設置されたものである。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る電気めっき装置に用い
た複合陽極を示す正面図である。本実施例では16個の小
陽極１を組み合わせ四角形の複合陽極としているが、本
発明の範囲はそれに限定するものでないことは無論であ
る。図中、３は陽極フレーム,4は陽極リード線である。
た複合陽極を示す正面図である。本実施例では16個の小
陽極１を組み合わせ四角形の複合陽極としているが、本
発明の範囲はそれに限定するものでないことは無論であ
る。図中、３は陽極フレーム,4は陽極リード線である。
第２図は第１図の縦断面図である。小陽極１は例えば白
金めっきチタンメッシュ等で製作した網状の陽極板であ
る。陽極枠２は例えば耐熱性塩化ビニル等で製作した、
16分割の仕切りを有する蓋及び底のない枠である。小陽
極１は陽極枠２の仕切られた各枠内に取り付け固定さ
れ、さらに電気的に各々絶縁されている。陽極フレーム
３は例えば耐熱性塩化ビニル等で製作した、陽極枠２を
めっき槽等に取り付けるための支持具である。陽極リー
ド線４は例えば白金めっきチタンワイヤーに樹脂コーテ
ィングした電線であり、小陽極１の個々に接続された陽
極フレーム３を貫通し外部に引き出される。
金めっきチタンメッシュ等で製作した網状の陽極板であ
る。陽極枠２は例えば耐熱性塩化ビニル等で製作した、
16分割の仕切りを有する蓋及び底のない枠である。小陽
極１は陽極枠２の仕切られた各枠内に取り付け固定さ
れ、さらに電気的に各々絶縁されている。陽極フレーム
３は例えば耐熱性塩化ビニル等で製作した、陽極枠２を
めっき槽等に取り付けるための支持具である。陽極リー
ド線４は例えば白金めっきチタンワイヤーに樹脂コーテ
ィングした電線であり、小陽極１の個々に接続された陽
極フレーム３を貫通し外部に引き出される。
第３図は、第１図及び第２図に示す複合陽極を用いた電
気めっき装置の一実施例を示す縦断面図である。複合陽
極５は前記第１図及び第２図で説明した本発明による陽
極である。めっき電源６は小陽極１の数に対応したチャ
ネル数を持つめっき電流の供給源である。＋給電線７は
めっき電源６のプラス側各チャネルを、小陽極１から各
々引き出された陽極リード線４に接続するリード線であ
る。尚、第３図では繁雑になるので１本の＋給電線７を
示し、他は省略した。−給電母線８はめっき電源６のマ
イナス側を一括し被めっき基板側に接続するリード線で
ある。陰極端子９は被めっき基板11に良好な電気的接触
を行うための端子である。被めっき面10は、めっきする
部分である。被めっき基板11は被めっき面10を有する部
品である。尚、第４図及び第５図で更に詳細を説明す
る。ホルダー12は被めっき基板11を複合陽極５に対し適
正な位置に保持するための治具である。めっき液13は被
めっき面10に所定のめっき膜を析出させるための電解液
である。めっき槽14はサービスタンク，めっき液循環配
管及びめっきチャンバーから成る電気めっき装置本体で
ある。ポンプ15はめっき液を循環させるためのポンプで
ある。
気めっき装置の一実施例を示す縦断面図である。複合陽
極５は前記第１図及び第２図で説明した本発明による陽
極である。めっき電源６は小陽極１の数に対応したチャ
ネル数を持つめっき電流の供給源である。＋給電線７は
めっき電源６のプラス側各チャネルを、小陽極１から各
々引き出された陽極リード線４に接続するリード線であ
る。尚、第３図では繁雑になるので１本の＋給電線７を
示し、他は省略した。−給電母線８はめっき電源６のマ
イナス側を一括し被めっき基板側に接続するリード線で
ある。陰極端子９は被めっき基板11に良好な電気的接触
を行うための端子である。被めっき面10は、めっきする
部分である。被めっき基板11は被めっき面10を有する部
品である。尚、第４図及び第５図で更に詳細を説明す
る。ホルダー12は被めっき基板11を複合陽極５に対し適
正な位置に保持するための治具である。めっき液13は被
めっき面10に所定のめっき膜を析出させるための電解液
である。めっき槽14はサービスタンク，めっき液循環配
管及びめっきチャンバーから成る電気めっき装置本体で
ある。ポンプ15はめっき液を循環させるためのポンプで
ある。
次にその作用を説明する。まず、めっき液の循環経路に
ついて説明する。めっき液13はポンプ15によって循環配
管を矢印の方向に流れ複合陽極５に達する。複合陽極５
に組み込まれている小陽極１は網状であるので、めっき
液13は小陽極１に接触しながら複合陽極５を通過しさら
に上昇し、被めっき面10に接触する。被めっき面10に達
しためっき液13は被めっき基板11とホルダー12の隙間か
ら溢れ出て下部のサービスタンクに戻る。
ついて説明する。めっき液13はポンプ15によって循環配
管を矢印の方向に流れ複合陽極５に達する。複合陽極５
に組み込まれている小陽極１は網状であるので、めっき
液13は小陽極１に接触しながら複合陽極５を通過しさら
に上昇し、被めっき面10に接触する。被めっき面10に達
しためっき液13は被めっき基板11とホルダー12の隙間か
ら溢れ出て下部のサービスタンクに戻る。
次に、めっき電流の流れを説明する。めっき電源６から
＋給電線７を通じて各々の小陽極１に送られた電流は、
めっき液13を通じて被めっき面10に送られる。さらに陰
極端子９に集められ、−給電母線８を通じてめっき電源
６に戻る。
＋給電線７を通じて各々の小陽極１に送られた電流は、
めっき液13を通じて被めっき面10に送られる。さらに陰
極端子９に集められ、−給電母線８を通じてめっき電源
６に戻る。
第４図は被めっき基板11を示す正面図である。めっきパ
ターン16は配線として形成するため、めっきを析出させ
る部分であり、被めっき基板11上に偏在している。
ターン16は配線として形成するため、めっきを析出させ
る部分であり、被めっき基板11上に偏在している。
第５図は被めっき基板11を示す断面図である。電極薄膜
17は例えばスパッタリング等によって形成するめっき電
極となる金属薄膜である。絶縁基板18は高密度配線基板
のベースとなる基板である。スルーホール19は外部出力
等のための絶縁基板18を貫通する導体である。めっきレ
ジスト20は選択めっきを行うためのコーティング膜であ
り、フォトリソグラフィ等により配線パターンが描かれ
る。
17は例えばスパッタリング等によって形成するめっき電
極となる金属薄膜である。絶縁基板18は高密度配線基板
のベースとなる基板である。スルーホール19は外部出力
等のための絶縁基板18を貫通する導体である。めっきレ
ジスト20は選択めっきを行うためのコーティング膜であ
り、フォトリソグラフィ等により配線パターンが描かれ
る。
以上説明したように本発明によれば、各小陽極は陽極枠
の各仕切り内に個々に独立して設置されているため、陽
極枠は各小陽極を通過しためっき液の混合を防ぎ、被め
っき面直前までめっき液が混合しないため、めっき膜厚
を正確に調整することができる。さらに、小陽極と被め
っき面とを十分に離すこともでき、小陽極と被めっき面
とを充分離隔してめっき液の循環不良による析出不良を
防止できる効果を有する。
の各仕切り内に個々に独立して設置されているため、陽
極枠は各小陽極を通過しためっき液の混合を防ぎ、被め
っき面直前までめっき液が混合しないため、めっき膜厚
を正確に調整することができる。さらに、小陽極と被め
っき面とを十分に離すこともでき、小陽極と被めっき面
とを充分離隔してめっき液の循環不良による析出不良を
防止できる効果を有する。
第１図は本発明の一実施例に係る電気めっき装置に用い
る複合陽極を示す正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断
面図、第３図は本発明の複合陽極を用いた電気めっき装
置を示す断面図、第４図は被めっき基板を示す正面図、
第５図は被めっき基板を示す断面図である。 １……小陽極、２……陽極枠 ３……陽極フレーム、４……陽極リード線 ５……複合陽極、６……めっき電源 ７……＋給電線、８……−給電母線 ９……陰極端子、10……めっき面 11……被めっき基板、12……ホルダー 13……めっき液、14……めっき槽 15……ポンプ、16……めっきパターン 17……電極薄膜、18……絶縁基板 19……スルーホール、20……めっきレジスト
る複合陽極を示す正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断
面図、第３図は本発明の複合陽極を用いた電気めっき装
置を示す断面図、第４図は被めっき基板を示す正面図、
第５図は被めっき基板を示す断面図である。 １……小陽極、２……陽極枠 ３……陽極フレーム、４……陽極リード線 ５……複合陽極、６……めっき電源 ７……＋給電線、８……−給電母線 ９……陰極端子、10……めっき面 11……被めっき基板、12……ホルダー 13……めっき液、14……めっき槽 15……ポンプ、16……めっきパターン 17……電極薄膜、18……絶縁基板 19……スルーホール、20……めっきレジスト
Claims (1)
- 【請求項１】複合陽極を有する電気めっき装置であっ
て、 前記複合陽極は、陽極枠と小陽極とを含み、 前記陽極枠は、複数の仕切りを有する無蓋・無底の枠で
あり、 前記小陽極は、めっき液が通過可能な陽極板であり、前
記陽極枠の各仕切り内に個々に独立して電気的に絶縁さ
れて設置されたものであることを特徴とする電気めっき
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1020619A JPH073000B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 電気めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1020619A JPH073000B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 電気めっき装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02200800A JPH02200800A (ja) | 1990-08-09 |
| JPH073000B2 true JPH073000B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=12032261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1020619A Expired - Lifetime JPH073000B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 電気めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073000B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0499899A (ja) * | 1990-08-15 | 1992-03-31 | Arumetsukusu:Kk | メッキ装置 |
| US7794573B2 (en) | 2003-12-05 | 2010-09-14 | Semitool, Inc. | Systems and methods for electrochemically processing microfeature workpieces |
| JP4976120B2 (ja) * | 2006-06-14 | 2012-07-18 | 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 | ウェハーめっき方法 |
| JP6672572B2 (ja) * | 2015-12-25 | 2020-03-25 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | プリント配線板用めっき装置及びプリント配線板の製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0312843Y2 (ja) * | 1985-08-20 | 1991-03-26 | ||
| JPS63259098A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-26 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 連続電気メツキ設備のメツキ電流制御方法 |
| JPH0270099A (ja) * | 1988-09-05 | 1990-03-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 電気めっき方法及び装置 |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP1020619A patent/JPH073000B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02200800A (ja) | 1990-08-09 |
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