JPH0499899A - メッキ装置 - Google Patents

メッキ装置

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JPH0499899A
JPH0499899A JP21563790A JP21563790A JPH0499899A JP H0499899 A JPH0499899 A JP H0499899A JP 21563790 A JP21563790 A JP 21563790A JP 21563790 A JP21563790 A JP 21563790A JP H0499899 A JPH0499899 A JP H0499899A
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JP
Japan
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plating
insoluble electrode
anode
power supply
insoluble
Prior art date
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Pending
Application number
JP21563790A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Usuda
仁志 薄田
Yoshinaga Yamakawa
山川 良永
Kenichi Ueno
賢一 上野
Kazuhiro Hirao
和宏 平尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ARUMETSUKUSU KK
Almex Inc
De Nora Permelec Ltd
Original Assignee
ARUMETSUKUSU KK
Permelec Electrode Ltd
Almex Inc
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Publication date
Application filed by ARUMETSUKUSU KK, Permelec Electrode Ltd, Almex Inc filed Critical ARUMETSUKUSU KK
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、不溶解性陽極を用いたメッキ装置に関する。
詳しくは、マスキングプレートを一掃しながら実質的陽
極面積を加減選択して単位面積当りの電流分布を自動調
整できるようにしたメッキ装置に関する。
[従来の技術] 例えば、硫酸銅溶液中でプリント基板に銅メッキを施す
場合に供されるメッキ装置を、その陽極構造から大別す
ると、溶解性陽極型と不溶解性陽極型とに区分できる。
前者は、第3図に示す如く、メッキ槽1の両端に給電バ
ー乃至支持棒2で保持された溶解性陽極3′を配設し、
この中間に搬送枠4で吊下したメッキ対象物5を浸漬さ
せつつ給電してメッキを施すように形成されている。こ
の溶解性陽極3′は、メツシュ状チタン製筒体に多数の
銅ボールを収容させたものであるから、銅イオン補給か
自動的に行われる。しかし、陽極3′の消耗による電流
変化が生じ易いので、電流分布を均一とするためには極
間距離jを大きくしなければならす槽長りか長大となる
欠点がある。また、陽極交換作業が煩わしく重労働でも
ある。
一方、後者は別槽で生成した銅イオンの注入を前提とし
て不溶解性陽極を用いる。したかって、メッキ対象物5
か平板形状の場合には、陽極(3)を対応する平板形状
にできるから、対極面積を大きく電流分布も均一とでき
、かつ極間路11jを短小とすることかできる。しかも
、陽1ji(3)の消耗による交換作業も一掃でき、メ
ッキ槽1へ装着作業も容易となり、前者の欠点を解消で
きる。しかしながら、平衡電位が高くなるので陽分極に
よる酸化分解が激しくなり、高価な添加剤や試薬の消費
量が増大しランニンクコスト高を招くという欠点がある
ここに、不溶解性陽極を用いた場合の長所を発揮させつ
つ上記短所を解消するものとして、第4図に示す如く、
不溶解性陽′J#13とメッキ対象物5との間を隔11
!7.7で分離する方式が提案されている。例えば、特
開平1−297884号公報が挙げられる。これによる
と、添加剤等を含むメッキ液が陽[1!3に直接接触す
ることが避けられる。
したがって、図示しない電源装置でメッキ対象物5の単
位面積当りの電流値(例えばIA/drrf’)を設定
すれば、両@3.5間に定電流が流れ電流分布−・定の
ちとに良質で均一なメッキ膜を形成することができる。
しかも、添加剤の分解もなく、また、極間路@Iも小さ
くメッキ槽1を小型化できる。
ところで、いずれの型の場合にもメッキ対象物5の大き
さに適応させるために、陽1if13’、3とメッキ対
象物5との間にマスキングプレート99を介装させてい
る。このマスキングプレー1−9は、例えば塩化ビニー
ル等の平板に当該メッキ対象物5の形態に応じた穴が設
けられた構成とされているのが一般的である。
このマスキングプレート9は搬送棒等に支持されメッキ
槽1の所定部所に装着される。
[発明か解決しようとする課題] しかしながら、各種少量生産等の多様化の現今では、メ
ッキ対象物5、詳しくはメッキ処理面積が変化するたび
に当該マスキングプレート9を交換・調整する作業は許
され難くなっている。生産性が低下し、マスキングプレ
ート9の単価数も膨大となりニス1〜的にもスペース的
にも不利益が多いからである。
しかも、上記生産性の低下、マスキングプレート9の多
数のストックを受忍したとしても、自動化か出来ないの
でその交換・作業に多大の労力・時間を必要とすること
から、作業要員確保そのものが至難となっている。
さらに、例えばメッキ対象物5がプリント基板の如きの
場合には、そのメッキ膜の均一性の向上かますまず求め
られており、また、メッキ処理面積が大枠において同一
ても、その部位によって回路密度に差異があることから
、従来マスキングプレート方式では、きめ細かな調整か
至難で実用的でないとの指摘がなされつつある。
さらにまた、均一で高品質のメッキ処理は当然としても
不必要部位にまで過剰なメッキ膜を形成することは、最
早セフティ−サイドといい難く許容されなくなっている
。その後の最終製品工程における廃液処理負担が過大と
なるからである。
ここに、本発明の目的は、従来のマスキングプレー1〜
を一掃しメッキ処理面積、メッキ処理部位に即応した電
流分布調整を自動的に行なえるメッキ装置を提供するこ
とにある。
[課題を解決するための手段] 本発明は、不溶解性隔膜電極構造を用いた幾多の試験・
研究を通じ例えばプリント基板等のメッキ処理に実用的
具現化ができると判断できたこと及び不溶解性電極自体
の特質に着目し、不溶解性電極自体の実質的有効面積を
自動選択切替可能に形成し、前記目的を達成するもので
ある。
すなわち、本発明は、陽極をマトリックス配設された複
数の不溶解性電極要素からなる平板形状に形成し、加電
すべき不溶解性電極要素を選択設定する選択設定手段と
、選択された不溶解性電極要素のみを電源装置に接続す
る選択給電手段とを設け、平板形状のメッキ対象物の単
位面積当りの通電量を選択自動調整できるように構成し
たことを特徴とする。
[作 用] 本発明によれば、選択設定手段によってメッキ処理すべ
き対象物の形態、大きさ、所定部位等に照し加電すべき
不溶解性電極要素を選択設定する。
すると、選択給電手段は選択設定された不溶解性電極要
素のみに電源装置を接続して通電する。
よって、平板形状のメッキ対象物の単位面積当りの通電
量を迅速かつ正確に自動調整でき所望品質のメッキ処理
を施すことができる。
[実施例] 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明する。
本メッキ装置は、基本的構成が前出第4図に示す従来構
造からマスキングプレート9.9を一掃したものとされ
、かつ第1図に示す如く、陽#13を複数の不溶解性電
極要素3Aから構成するとともに選択設定手段10と選
択給電手段20とを設は構成されている。
ます、陽@3は、この実施例の場合、チタン製平板の、
この平板面積をマトリックス状に小区分する部位に、酸
化イリジウムをコーティングして各不溶解性電極要素3
A、3A、・・・を形成した。
また、選択設定手段10は、各不溶解性電極要素3Aを
アドレス指定する手段で、例えばデジタルスイッチ等か
ら構成される。勿論、特定の複数の不溶解性電極要素3
A、3A、・・・を1グループとして選択設定可能と形
成しても実施できる。
一方、選択給電手段30は、−次側が定電流制御機能付
の電源装置30に接続され、2次側には各不溶解性電極
要素3Aに接続されたケーブル32の基端部が接続され
ており、選択設定手段10で設定された不溶解性電極要
素3Aのみに電源装置30を接続して加電する手段であ
る。この実施例では複数のスイッチング素子から形成さ
れている。なお、第1図において、ケーブル32の本数
は簡易表示している。
また、第1図中の31は電流微調整器(電圧微調整器で
もよい。)であって、当該不溶解性電極要素3Aへの通
電量を微調整可能とする手段である。
かかる構成のメッキ装置では、選択設定手段20を用い
てメッキ処理すべき対象物の形態、太きさ、所定部位等
に照し加電すべき任意数の不溶解性電極要素3Aを選択
設定する。すると、選択給電手段30は、選択設定され
た不溶解性電極要素3Aのみに電源装置30を接続して
通電する。
よって、平板形状のメッキ対象物5の単位面積当りの通
電量を迅速かつ正確に自動調整でき所望品質のメッキ処
理を施すことができる。
しかして、この実施例によれば、陽′Jif13をマト
リックス配設された複数の不溶解性電極要素3A3A 
・・・からなる平板形状に形成し、かつ選択設定手段2
0と選択給電手段30とを設けた構成であるから、選択
設定手段20で加電すべき不溶解性電極要素3Aのみを
設定するたけで、メッキ対象Th5の単位面積当りの通
電量を自動調整できる。
よって、従来マスキングプレート(9)及びその交換・
調整作業を一掃でき、メッキ対象物5の形態・大きさや
所定部位へ所望の均一電流を流すことができ、高品質メ
ッキ処理を能率良く行なえる。
また、マスキングプレート(9)を−掃できるから、メ
ッキ槽1を小型化できる6とともに、ストックによる経
済的、スペース的負担がなくなる。
また、陽極3はチタン製平板に酸化イリジウムをコーテ
ィングした構成であるから、多数の不溶解性電極要素3
A、3Aに小区分できるのできめ細かな電流分布調整が
できる。
なお、以上の実施例では選択設定手段20をデジタルス
イッチ等から、選択給電手段30をスイッチング素子か
ら構成されていたが、これら20゜30は、例えば第2
図に示す如く、電源装置30に接続された多数の給電子
25を有するドラム体26をモータ27て所定角度たけ
回転し、各不溶解性電極要素3Aに接続されたケーブル
32の端子33に接触する給電子25を選択するように
構成するなど適宜な4M造とすることができる。
[発明の効果] 本発明によれば、陽極を複数の不溶解性電極要素から形
成するとともに選択設定手段と選択給電手段とを設け、
選択された不溶解性電極要素のみに加電する構成である
から、従来のマスキングプレートとその交換・調整作業
を一掃し、メッキ対象物に即応して所望の電流分布に自
動調整できる。
よって、高品質メッキ処理を高能率に行なえる。
32・・・ケーブル。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)陽極をマトリックス配設された複数の不溶解性電
    極要素からなる平板形状に形成し、 加電すべき不溶解性電極要素を選択設定する選択設定手
    段と、選択された不溶解性電極要素のみを電源装置に接
    続する選択給電手段とを設け、平板形状のメッキ対象物
    の単位面積当りの通電量を選択自動調整できるように構
    成したことを特徴とするメッキ装置。
JP21563790A 1990-08-15 1990-08-15 メッキ装置 Pending JPH0499899A (ja)

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JP21563790A JPH0499899A (ja) 1990-08-15 1990-08-15 メッキ装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07150395A (ja) * 1993-11-29 1995-06-13 Nec Corp 分割電極めっき装置および電流値決定方法
JPH07173700A (ja) * 1993-12-17 1995-07-11 Nec Corp 分割アノードめっき装置および電流値決定方法
CN106868574A (zh) * 2015-12-14 2017-06-20 台湾先进系统股份有限公司 可调控式不溶性阳极板及其应用于铜柱电镀的方法

Citations (1)

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JPH02200800A (ja) * 1989-01-30 1990-08-09 Nec Corp 電気めっき装置

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