JPH07296948A - 液体加熱用ヒーターランプ装置 - Google Patents
液体加熱用ヒーターランプ装置Info
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- JPH07296948A JPH07296948A JP11191494A JP11191494A JPH07296948A JP H07296948 A JPH07296948 A JP H07296948A JP 11191494 A JP11191494 A JP 11191494A JP 11191494 A JP11191494 A JP 11191494A JP H07296948 A JPH07296948 A JP H07296948A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液体加熱用ヒーターランプ装置として、耐振
性、耐衝撃性のすぐれた、かつ使用寿命の長い取扱い容
易なものを提供する。 【構成】 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、
バルブ管軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラ
メントの両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部
材に連結される内部リード部材と前記導電部材から封止
部の外へ伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本
以上を束ね、管型ランプの少なくとも一方の端部におい
て、同一の側に属する外部リード部材を、屈曲可能な金
属部材で連結する。
性、耐衝撃性のすぐれた、かつ使用寿命の長い取扱い容
易なものを提供する。 【構成】 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、
バルブ管軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラ
メントの両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部
材に連結される内部リード部材と前記導電部材から封止
部の外へ伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本
以上を束ね、管型ランプの少なくとも一方の端部におい
て、同一の側に属する外部リード部材を、屈曲可能な金
属部材で連結する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造工程
におけるクリーニング装置やウエットエッチング装置な
どの洗浄用水や各種エッチング薬液などの液体を加熱す
るためのヒーターランプに関するものである。
におけるクリーニング装置やウエットエッチング装置な
どの洗浄用水や各種エッチング薬液などの液体を加熱す
るためのヒーターランプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の半導体製造工程において、半導体
の集積度が高まるにつれて、ドーパント元素、重金属元
素、エッチングや洗浄液の成分元素、有機汚染物、パー
ティクルなどの汚染物を除去する洗浄技術の重要度も増
している。代表的な洗浄工程は、イニシャル洗浄、酸化
前洗浄、拡散前洗浄、膜付前洗浄、レジスト剥離洗浄な
どであり、工程によって除去すべき内容も多少異なる
が、洗浄水は、初期に利用されたイオン交換水から超純
水と呼ばれる理論値に近い水が利用されるようになり、
収率の向上と微細化に貢献している。また、最近ではバ
クテリアの死骸や材料から出るイオン性の汚染さえも問
題視されるようになったので、洗浄水に直接接触する洗
浄装置の材料として、汚染物をほとんど含まない透明な
石英の使用が進められている。
の集積度が高まるにつれて、ドーパント元素、重金属元
素、エッチングや洗浄液の成分元素、有機汚染物、パー
ティクルなどの汚染物を除去する洗浄技術の重要度も増
している。代表的な洗浄工程は、イニシャル洗浄、酸化
前洗浄、拡散前洗浄、膜付前洗浄、レジスト剥離洗浄な
どであり、工程によって除去すべき内容も多少異なる
が、洗浄水は、初期に利用されたイオン交換水から超純
水と呼ばれる理論値に近い水が利用されるようになり、
収率の向上と微細化に貢献している。また、最近ではバ
クテリアの死骸や材料から出るイオン性の汚染さえも問
題視されるようになったので、洗浄水に直接接触する洗
浄装置の材料として、汚染物をほとんど含まない透明な
石英の使用が進められている。
【０００３】かかる洗浄工程において、洗浄水を加熱し
て温水にすると洗浄効果が大きく増大する。例えば純水
の温度が３０℃から５０℃に昇温すると汚染物の溶解度
は３倍に増大することが知られている。このため、洗浄
水は専用のヒーターランプで加熱されることが多い。ま
た、洗浄水に限らず、例えば選択拡散用の開口部の形成
やコンタクトホールの形成などのために実施するＳｉＯ
2 エッチングにおいて、ＨＦとＮＨ4 ＦとＨ2 Ｏの混合
物からなるエッチング薬液が使用されるが、かかる薬液
も洗浄水加熱用のヒーターランプと同様のヒーターラン
プによって最適温度に加熱される。
て温水にすると洗浄効果が大きく増大する。例えば純水
の温度が３０℃から５０℃に昇温すると汚染物の溶解度
は３倍に増大することが知られている。このため、洗浄
水は専用のヒーターランプで加熱されることが多い。ま
た、洗浄水に限らず、例えば選択拡散用の開口部の形成
やコンタクトホールの形成などのために実施するＳｉＯ
2 エッチングにおいて、ＨＦとＮＨ4 ＦとＨ2 Ｏの混合
物からなるエッチング薬液が使用されるが、かかる薬液
も洗浄水加熱用のヒーターランプと同様のヒーターラン
プによって最適温度に加熱される。
【０００４】薬液加熱器については、ＫＯＭＡＴＳＵ
ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＲＥＰＯＲＴ１９９２，ＶＯＬ．
３８，Ｎｏ．１３０，第１２１頁から第１３４頁にまた
がる論文「半導体製造用放射型薬液加熱器の開発」に詳
しく解説されているが、一般的に消費電力が１ＫＷから
６ＫＷ程度の長尺な管型ハロゲンランプが使用される。
これは、温度の立上がりが早く、放射熱量の制御が容易
なことによる。
ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＲＥＰＯＲＴ１９９２，ＶＯＬ．
３８，Ｎｏ．１３０，第１２１頁から第１３４頁にまた
がる論文「半導体製造用放射型薬液加熱器の開発」に詳
しく解説されているが、一般的に消費電力が１ＫＷから
６ＫＷ程度の長尺な管型ハロゲンランプが使用される。
これは、温度の立上がりが早く、放射熱量の制御が容易
なことによる。
【０００５】しかし、このような高出力のハロゲンラン
プ、例えば電源電圧がＡＣ２００Ｖ，電流２０Ａ，消費
電力４ｋＷのでは、ランプ設計において、 フィラメントを構成するタングステンワイヤの径が太
くなり、コイルの径も大きくなり、重量、熱容量共に増
大し、温度の立ち上がりスピードが小さくなってくる。
また、点灯時のランプへの突入電流も大きくなる欠点が
現われてくる。 突入電流により、コイルが変形しやすくなる。 バルブの管径が大きくなり、フィラメントを保持する
サポーターも大きくなり、したがって変形しやすい。し
たがって耐衝撃性、耐振性も小さくなってくる。 封止部に埋設されている導電部材は、一般的にモリブ
デン金属箔であるが、電流値が２０Ａ以上になると、ジ
ュール熱も無視できなくなり、封止部温度が昇温しやす
く、箔の使用寿命が短くなる。 中空石英管にランプを挿入する際、ランプの両端に被
覆リード線を取り付けていると、リード線が石英管の内
壁にひっかかったり、よじれたりして、挿入しにくい。 などの欠点が指摘されている。
プ、例えば電源電圧がＡＣ２００Ｖ，電流２０Ａ，消費
電力４ｋＷのでは、ランプ設計において、 フィラメントを構成するタングステンワイヤの径が太
くなり、コイルの径も大きくなり、重量、熱容量共に増
大し、温度の立ち上がりスピードが小さくなってくる。
また、点灯時のランプへの突入電流も大きくなる欠点が
現われてくる。 突入電流により、コイルが変形しやすくなる。 バルブの管径が大きくなり、フィラメントを保持する
サポーターも大きくなり、したがって変形しやすい。し
たがって耐衝撃性、耐振性も小さくなってくる。 封止部に埋設されている導電部材は、一般的にモリブ
デン金属箔であるが、電流値が２０Ａ以上になると、ジ
ュール熱も無視できなくなり、封止部温度が昇温しやす
く、箔の使用寿命が短くなる。 中空石英管にランプを挿入する際、ランプの両端に被
覆リード線を取り付けていると、リード線が石英管の内
壁にひっかかったり、よじれたりして、挿入しにくい。 などの欠点が指摘されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、液体加熱用ヒーターランプ装置として、上記欠
点を解決した、耐振性、耐衝撃性のすぐれた、かつ使用
寿命の長い、取扱い容易なものを提供することにある。
ころは、液体加熱用ヒーターランプ装置として、上記欠
点を解決した、耐振性、耐衝撃性のすぐれた、かつ使用
寿命の長い、取扱い容易なものを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決する手段】基本的には、消費電力の大きな
ハロゲンランプの設計に代えて、消費電力の小さなハロ
ゲンランプを設計し、それらのランプを束ねて使用する
こと、また、少なくとも一方の端部は、挿入に便利なよ
うにするため、被覆リード線の使用を止めることとす
る。
ハロゲンランプの設計に代えて、消費電力の小さなハロ
ゲンランプを設計し、それらのランプを束ねて使用する
こと、また、少なくとも一方の端部は、挿入に便利なよ
うにするため、被覆リード線の使用を止めることとす
る。
【０００８】具体的には、次のとうり構成するのが実用
である。 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、バルブ管
軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラメントの
両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部材に連結
される内部リード部材と前記導電部材から封止部の外へ
伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本以上を束
ね、管型ランプの少なくとも一方の端部において、同一
の側に属する外部リード部材を、屈曲可能な金属部材で
連結してなることを特徴とする。 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、バルブ管
軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラメントの
両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部材に連結
される内部リード部材と前記導電部材から封止部の外へ
伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本を束ね、
管型ランプの一方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材を、屈曲可能な金属部材で連結し、管型ラ
ンプの他方の端部において、同一の側に属する外部リー
ド部材を、ファストン端子（商品名）用舌片で連結して
なることを特徴とする。 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、バルブ管
軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラメントの
両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部材に連結
される内部リード部材と前記導電部材から封止部の外へ
伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本を束ね、
管型ランプの一方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材を屈曲させて連結するか、もしくは、屈曲
可能な金属部材で連結するかし、管型ランプの他方の端
部において、同一の側に属する外部リード部材に夫々被
覆リード線を連結し、この被覆リード線の先端を一箇の
共通端子で連結してなることを特徴とする。
である。 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、バルブ管
軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラメントの
両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部材に連結
される内部リード部材と前記導電部材から封止部の外へ
伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本以上を束
ね、管型ランプの少なくとも一方の端部において、同一
の側に属する外部リード部材を、屈曲可能な金属部材で
連結してなることを特徴とする。 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、バルブ管
軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラメントの
両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部材に連結
される内部リード部材と前記導電部材から封止部の外へ
伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本を束ね、
管型ランプの一方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材を、屈曲可能な金属部材で連結し、管型ラ
ンプの他方の端部において、同一の側に属する外部リー
ド部材を、ファストン端子（商品名）用舌片で連結して
なることを特徴とする。 両端に封止部を有する管型バルブの内部に、バルブ管
軸に沿ってフィラメントを配置し、このフィラメントの
両端から伸び、前記封止部に埋設された導電部材に連結
される内部リード部材と前記導電部材から封止部の外へ
伸びる外部リード部材を含む管型ランプの２本を束ね、
管型ランプの一方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材を屈曲させて連結するか、もしくは、屈曲
可能な金属部材で連結するかし、管型ランプの他方の端
部において、同一の側に属する外部リード部材に夫々被
覆リード線を連結し、この被覆リード線の先端を一箇の
共通端子で連結してなることを特徴とする。
【０００９】上記において、金属部材が、より線か、も
しくは、細い一本の金属線か、もしくは、薄い金属テー
プであって、当該端部に接着剤で固定されたベース部材
を具えているのが良い。
しくは、細い一本の金属線か、もしくは、薄い金属テー
プであって、当該端部に接着剤で固定されたベース部材
を具えているのが良い。
【００１０】あるいは、取扱い容易を優先した場合、管
型ランプの両端部において、同一の側に属する外部リー
ド部材をファストン端子（商品名）用舌片で連結してし
まう。
型ランプの両端部において、同一の側に属する外部リー
ド部材をファストン端子（商品名）用舌片で連結してし
まう。
【００１１】
【作用】個々のランプの消費電力を半分にできる。例え
ば、消費電力４ＫＷのハロゲンランプ１本を使うのでは
なく、消費電力２ＫＷのハロゲンランプ２本を使う。従
って、ランプの設計は、２ＫＷのハロゲンランプの設計
となる。これによって、 フィラメントコイルに使用するタングステンワイヤの
径を小さくでき、温度上昇の立ち上がりを早めることが
できる。 ランプ１本当たりの負荷が小さくなり、バルブ径を小
さくできる。バルブの体積で２分の１程度になる。 フィラメントの重量が軽く、バルブの径も細いので、
サポーターの設計が容易になり、耐振性、耐衝撃性が増
す。 突入電流によるフィラメントの変形が抑制できる。 並列点灯させた場合、電流を分流することになるの
で、封止部温度の上昇は小さくできる。したがって、箔
の使用寿命が伸びる。 ランプの片側を板状端子化、又は短絡化しているの
で、使い易い。
ば、消費電力４ＫＷのハロゲンランプ１本を使うのでは
なく、消費電力２ＫＷのハロゲンランプ２本を使う。従
って、ランプの設計は、２ＫＷのハロゲンランプの設計
となる。これによって、 フィラメントコイルに使用するタングステンワイヤの
径を小さくでき、温度上昇の立ち上がりを早めることが
できる。 ランプ１本当たりの負荷が小さくなり、バルブ径を小
さくできる。バルブの体積で２分の１程度になる。 フィラメントの重量が軽く、バルブの径も細いので、
サポーターの設計が容易になり、耐振性、耐衝撃性が増
す。 突入電流によるフィラメントの変形が抑制できる。 並列点灯させた場合、電流を分流することになるの
で、封止部温度の上昇は小さくできる。したがって、箔
の使用寿命が伸びる。 ランプの片側を板状端子化、又は短絡化しているの
で、使い易い。
【００１２】ここで重要なことは、管型ランプの一方の
端部において、同一の側の外部リード部材を連結するに
あたって使用する金属部材を、屈曲可能なより線、単
線、薄板状のリボンとすることである。ランプは、生産
上のバラツキの関係上、外部リード部材が、どれもきち
んと、バルブ管軸中心から伸び出ているとは限らないの
で、複数本のランプを同一平面上、もしくは同一曲面上
に束ねた場合、当該面からずれて伸びている外部リード
部材が存在する可能性は当然にある。したがって、この
場合、ランプの外部リード部材を結線したとき、結線に
使用する金属部材が「変形可能」であることが望まし
い。本発明においては、上記のとうり、変形可能な金属
部材を使用するので、結線において封止部の破損事故が
全く生じない。また、上記の結線後に、ランプが２本、
ねじれなく並んでいないことが発見されても、ランプの
位置を強制的に正しても、結線用金属部材が変形してく
れるので外部リード部材や封止部に大きな力が加わるこ
とがなく、封止部の破損事故はなくなる。
端部において、同一の側の外部リード部材を連結するに
あたって使用する金属部材を、屈曲可能なより線、単
線、薄板状のリボンとすることである。ランプは、生産
上のバラツキの関係上、外部リード部材が、どれもきち
んと、バルブ管軸中心から伸び出ているとは限らないの
で、複数本のランプを同一平面上、もしくは同一曲面上
に束ねた場合、当該面からずれて伸びている外部リード
部材が存在する可能性は当然にある。したがって、この
場合、ランプの外部リード部材を結線したとき、結線に
使用する金属部材が「変形可能」であることが望まし
い。本発明においては、上記のとうり、変形可能な金属
部材を使用するので、結線において封止部の破損事故が
全く生じない。また、上記の結線後に、ランプが２本、
ねじれなく並んでいないことが発見されても、ランプの
位置を強制的に正しても、結線用金属部材が変形してく
れるので外部リード部材や封止部に大きな力が加わるこ
とがなく、封止部の破損事故はなくなる。
【００１３】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明を詳細に説明す
る。図１は、本発明の液体加熱用ヒーターランプ装置の
実施例の説明図である。図において、１と２は電気定格
２００Ｖ，２ＫＷに設計されたハロゲンランプである。
３と４は一方の端部に属する圧潰封止部であり、夫々、
モリブデン棒からなる外部リード部材５，６が伸び出し
ており、それら両者が、一箇所の共通の端子であって、
ファストン端子（商品名）用の舌片７に接続されてい
る。８と９は、他方の端部に属する圧潰封止部であり、
夫々、モリブデン棒からなる外部リード部材１０，１１
が伸び出しており、それら両者が、ニッケルより線１２
で結線されている。このより線１２に、丸型端子１３を
有する屈曲自在な被覆リード線１４が接続されている。
この封止部８，９，外部リード部材１０，１１，より線
１２を含めて、ベース１５をかぶせ、その内部を接着剤
で固める。上記状態で、２本のハロゲンランプはしっか
りと束ね結っている。
る。図１は、本発明の液体加熱用ヒーターランプ装置の
実施例の説明図である。図において、１と２は電気定格
２００Ｖ，２ＫＷに設計されたハロゲンランプである。
３と４は一方の端部に属する圧潰封止部であり、夫々、
モリブデン棒からなる外部リード部材５，６が伸び出し
ており、それら両者が、一箇所の共通の端子であって、
ファストン端子（商品名）用の舌片７に接続されてい
る。８と９は、他方の端部に属する圧潰封止部であり、
夫々、モリブデン棒からなる外部リード部材１０，１１
が伸び出しており、それら両者が、ニッケルより線１２
で結線されている。このより線１２に、丸型端子１３を
有する屈曲自在な被覆リード線１４が接続されている。
この封止部８，９，外部リード部材１０，１１，より線
１２を含めて、ベース１５をかぶせ、その内部を接着剤
で固める。上記状態で、２本のハロゲンランプはしっか
りと束ね結っている。
【００１４】ところで、前記したように、ランプのバル
ブ部分を基準にして２本のランプを組み立てた時、４本
の外部リード部材５，６，１０，１１が理想的に同一平
面に並べば良いが、生産上のバラツキで必ずしもそのよ
うにならないことがある。同様に組み立て作業におい
て、一方の端部に属する外部リード部材５，６に、舌片
７を接続後、外部リード部材１０，１１をより線１２で
接続する時、理想平面からずれて接続されてしまうこと
がある。例えば、図２は、図２のより線部分を、ランプ
の長手方向から眺めた説明図であるが、図では、２本の
ランプが「ねじれた面」を構成するように結線されてし
まった場合である。この場合、より線１２が屈曲可能で
あるから、容易に図３に示すように、２本のランプの位
置を、正しい位置に直せる。このように正してから接着
剤とベースとで保護する。
ブ部分を基準にして２本のランプを組み立てた時、４本
の外部リード部材５，６，１０，１１が理想的に同一平
面に並べば良いが、生産上のバラツキで必ずしもそのよ
うにならないことがある。同様に組み立て作業におい
て、一方の端部に属する外部リード部材５，６に、舌片
７を接続後、外部リード部材１０，１１をより線１２で
接続する時、理想平面からずれて接続されてしまうこと
がある。例えば、図２は、図２のより線部分を、ランプ
の長手方向から眺めた説明図であるが、図では、２本の
ランプが「ねじれた面」を構成するように結線されてし
まった場合である。この場合、より線１２が屈曲可能で
あるから、容易に図３に示すように、２本のランプの位
置を、正しい位置に直せる。このように正してから接着
剤とベースとで保護する。
【００１５】より線１２の代わりに、薄い金属リボン
や、細い単線でも同様な矯正が可能である。したがっ
て、上記実施例では、半導体装置生産プロセスで使用す
る薬液や純水の加熱昇温にあたって、水槽中の石英パイ
プに上記ランプを挿入する場合、舌片側から挿入すると
非常に便利である。
や、細い単線でも同様な矯正が可能である。したがっ
て、上記実施例では、半導体装置生産プロセスで使用す
る薬液や純水の加熱昇温にあたって、水槽中の石英パイ
プに上記ランプを挿入する場合、舌片側から挿入すると
非常に便利である。
【００１６】図４は、他の実施例の説明図である。この
実施例においては、一方の端部に属する外部リード部材
５，６をあらかじめ屈曲しておき、舌片を使用しない
で、両者を接続している。石英パイプに挿入しやすい構
造である。
実施例においては、一方の端部に属する外部リード部材
５，６をあらかじめ屈曲しておき、舌片を使用しない
で、両者を接続している。石英パイプに挿入しやすい構
造である。
【００１７】図５は、他の実施例の説明図である。図に
おいて、一方の端部において外部リード部材５，６は、
ニッケルもしくは銅の薄板からなる金属リボン１６によ
って接続されている。他方の端部において外部リード部
材１０，１１には夫々被覆リード線が接続されている
が、その先端においては、一箇所の丸型端子１３によっ
て束ねられている。この実施例では、更に、ベース１５
を両端に装着し、しかも、このランプ装置が使用される
相手側装置の凹凸に対応して、ベース１５に前後進、回
転等に対する位置決め用凹凸を形成しておくと更に使い
易い。
おいて、一方の端部において外部リード部材５，６は、
ニッケルもしくは銅の薄板からなる金属リボン１６によ
って接続されている。他方の端部において外部リード部
材１０，１１には夫々被覆リード線が接続されている
が、その先端においては、一箇所の丸型端子１３によっ
て束ねられている。この実施例では、更に、ベース１５
を両端に装着し、しかも、このランプ装置が使用される
相手側装置の凹凸に対応して、ベース１５に前後進、回
転等に対する位置決め用凹凸を形成しておくと更に使い
易い。
【００１８】更に他の実施例を述べるならば、使い易さ
のみを考慮するならば、ランプ装置の両端において、外
部リード部材を、ファストン端子用舌片で連結してしま
うと良い。この場合、少なくとも一方の舌片は、ある程
度の柔軟性を具えている方が良い。
のみを考慮するならば、ランプ装置の両端において、外
部リード部材を、ファストン端子用舌片で連結してしま
うと良い。この場合、少なくとも一方の舌片は、ある程
度の柔軟性を具えている方が良い。
【００１９】なお、図面には示さなかったが、ハロゲン
ランプ類には通常チップと呼ばれる排気管残部が存在す
るが、ランプを２本以上束ねて使用する場合は、チップ
が同一側になるように束ねた方がランプ装置が使い易く
なるので良い。あるいは２本の場合は、相互に外側に向
くように束ねる方がランプ装置としてはコンパクトなも
のが得られる。
ランプ類には通常チップと呼ばれる排気管残部が存在す
るが、ランプを２本以上束ねて使用する場合は、チップ
が同一側になるように束ねた方がランプ装置が使い易く
なるので良い。あるいは２本の場合は、相互に外側に向
くように束ねる方がランプ装置としてはコンパクトなも
のが得られる。
【００２０】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも理解できるよ
うに、本発明では、液体加熱用ヒーターランプ装置とし
て、一本の大出力のランプを利用するのではなく、二本
以上にランプを分割して設計して、耐振性，耐衝撃性を
増大せしめ、また使用寿命の長いランプが得られるよう
にしたうえで、それらのランプを束ねて利用するもので
あり、その束ねにあたって、挿入等の使い易さ、作り易
さを考慮して、外部リード部材の接続構造を工夫するこ
とによって、良好な液体加熱用ヒーターランプ装置を提
供するものである。
うに、本発明では、液体加熱用ヒーターランプ装置とし
て、一本の大出力のランプを利用するのではなく、二本
以上にランプを分割して設計して、耐振性，耐衝撃性を
増大せしめ、また使用寿命の長いランプが得られるよう
にしたうえで、それらのランプを束ねて利用するもので
あり、その束ねにあたって、挿入等の使い易さ、作り易
さを考慮して、外部リード部材の接続構造を工夫するこ
とによって、良好な液体加熱用ヒーターランプ装置を提
供するものである。
【図１】本発明の液体加熱用ヒーターランプ装置の実施
例の説明図である。
例の説明図である。
【図２】外部リード部材の接続構造についての説明図で
ある。
ある。
【図３】外部リード部材の接続構造の説明図である。
【図４】外部リード部材の他の接続構造の説明図であ
る。
る。
【図５】本発明の液体加熱用ヒーターランプ装置の他の
実施例の説明図である。
実施例の説明図である。
１，２ ハロゲンランプ ３，４，８，９ 封止部 ５，６，１０，１１ 外部リード部材 １２ ニッケルより線 １３ 丸型端子 １４ 被覆リード １５ ベース １６ 金属リボン
Claims (7)
- 【請求項１】 両端に封止部を有する管型バルブの内部
に、バルブ管軸に沿ってフィラメントを配置し、このフ
ィラメントの両端から伸び、前記封止部に埋設された導
電部材に連結される内部リード部材と前記導電部材から
封止部の外へ伸びる外部リード部材を含む管型ランプの
２本以上を束ね、 管型ランプの少なくとも一方の端部において、同一の側
に属する外部リード部材を、屈曲可能な金属部材で連結
してなることを特徴とする液体加熱用ヒーターランプ装
置。 - 【請求項２】 金属部材が、より線か、もしくは、細い
１本の金属線か、もしくは、薄い金属テープであって、
当該端部に接着剤で固定されたベース部材を具えてなる
ことを特徴とする請求項１に記載の液体加熱用ヒーター
ランプ装置。 - 【請求項３】 両端に封止部を有する管型バルブの内部
に、バルブ管軸に沿ってフィラメントを配置し、このフ
ィラメントの両端から伸び、前記封止部に埋設された導
電部材に連結される内部リード部材と前記導電部材から
封止部の外へ伸びる外部リード部材を含む管型ランプの
２本を束ね、 管型ランプの一方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材を、屈曲可能な金属部材で連結し、 管型ランプの他方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材を、ファストン端子（商品名）用舌片で連
結してなることを特徴とする液体加熱用ヒーターランプ
装置。 - 【請求項４】 金属部材が、より線か、もしくは、細い
１本の金属線か、もしくは、薄い金属テープであって、
当該端部に接着剤で固定されたベース部材を具えてなる
ことを特徴とする請求項３に記載の液体加熱用ヒーター
ランプ装置。 - 【請求項５】 両端に封止部を有する管型バルブの内部
に、バルブ管軸に沿ってフィラメントを配置し、このフ
ィラメントの両端から伸び、前記封止部に埋設された導
電部材に連結される内部リード部材と前記導電部材から
封止部の外へ伸びる外部リード部材を含む管型ランプの
２本を束ね、 管型ランプの一方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材を屈曲させて連結するか、もしくは、屈曲
可能な金属部材で連結するかし、 管型ランプの他方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材に夫々被覆リード線を連結し、この被覆リ
ード線の先端を一箇の共通端子で連結してなることを特
徴とする液体加熱用ヒーターランプ装置。 - 【請求項６】 両端に封止部を有する管型バルブの内部
に、バルブ管軸に沿ってフィラメントを配置し、このフ
ィラメントの両端から伸び、前記封止部に埋設された導
電部材に連結される内部リード部材と前記導電部材から
封止部の外へ伸びる外部リード部材を含む管型ランプの
２本を束ね、 管型ランプの両方の端部において、同一の側に属する外
部リード部材をファストン端子（商品名）用舌片で連結
してなることを特徴とする液体加熱用ヒーターランプ装
置。 - 【請求項７】 管型ランプにチップがあり、そのチップ
が束ねられた管型ランプの同一側かもしくは相互に外側
に位置するように束ねられてなることを特徴とする請求
項３もしくは請求項５もしくは請求項６に記載の液体加
熱用ヒーターランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111914A JP3007266B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 液体加熱用ヒーターランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111914A JP3007266B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 液体加熱用ヒーターランプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07296948A true JPH07296948A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3007266B2 JP3007266B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=14573285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6111914A Expired - Fee Related JP3007266B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 液体加熱用ヒーターランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3007266B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002110326A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-04-12 | Heraeus Noblelight Gmbh | 放射装置および該装置の使用法および表面を処理するための方法 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP6111914A patent/JP3007266B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002110326A (ja) * | 2000-05-22 | 2002-04-12 | Heraeus Noblelight Gmbh | 放射装置および該装置の使用法および表面を処理するための方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3007266B2 (ja) | 2000-02-07 |
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