JPH0729186A - 光学的情報記録媒体及びそれを用いた記録・再生方法 - Google Patents
光学的情報記録媒体及びそれを用いた記録・再生方法Info
- Publication number
- JPH0729186A JPH0729186A JP5198934A JP19893493A JPH0729186A JP H0729186 A JPH0729186 A JP H0729186A JP 5198934 A JP5198934 A JP 5198934A JP 19893493 A JP19893493 A JP 19893493A JP H0729186 A JPH0729186 A JP H0729186A
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- Japan
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- groove
- laser
- focused beam
- recording medium
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 グルーブとランドの両方にトラッキングして
記録・再生が可能な光学的情報記録媒体であって、記録
媒体中に存在するプリピットで構成されるプリフォーマ
ット情報を再生する際、隣接トラックからのクロストー
ク信号を低減すること及びプッシュプル信号に発生する
オフセット電圧をなくすことが可能な光学的情報記録媒
体を提供する。 【構成】 媒体表面には情報を記録・再生する領域であ
るグルーブ３及びランド２と、各データのアドレス情報
を含んだプリピット４の列が形成されている。プリピッ
ト列は、グルーブ間隔（トラックピッチ）をＰとしたと
き、その中心線がグルーブ３の中心線に対してＰ／４だ
けずれるように配置されており、ランド２は、その中心
線が隣接する両グルーブの中心線と中心線の中間にくる
ように配置されている。また、プリピット列で構成され
ているプリフォーマット領域には、グルーブは存在しな
いようになっている。
記録・再生が可能な光学的情報記録媒体であって、記録
媒体中に存在するプリピットで構成されるプリフォーマ
ット情報を再生する際、隣接トラックからのクロストー
ク信号を低減すること及びプッシュプル信号に発生する
オフセット電圧をなくすことが可能な光学的情報記録媒
体を提供する。 【構成】 媒体表面には情報を記録・再生する領域であ
るグルーブ３及びランド２と、各データのアドレス情報
を含んだプリピット４の列が形成されている。プリピッ
ト列は、グルーブ間隔（トラックピッチ）をＰとしたと
き、その中心線がグルーブ３の中心線に対してＰ／４だ
けずれるように配置されており、ランド２は、その中心
線が隣接する両グルーブの中心線と中心線の中間にくる
ように配置されている。また、プリピット列で構成され
ているプリフォーマット領域には、グルーブは存在しな
いようになっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ集光ビームを用
いて情報を記録・再生する光ディスク、光カード、光テ
ープなどの光学的情報記録媒体及びそれを用いた記録・
再生方法に関する。
いて情報を記録・再生する光ディスク、光カード、光テ
ープなどの光学的情報記録媒体及びそれを用いた記録・
再生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学的情報記録媒体として、透明
なディスク基板の表面に記録・再生光の波長の１／８程
度の深さのグルーブ（案内溝）を形成するとともに、こ
れらグルーブ間のランドにプリピット列を形成し、その
上にレーザ集光ビームで記録可能な光吸収反射性の記録
膜を設けたものが知られている。この記録媒体では、レ
ーザ集光ビームがグルーブの回折作用により回折され、
その反射光の分布を検出することによりトラックずれを
検知し、それに基づいてトラッキング制御を行い、凹凸
のプリピット情報を読み取ったり、プリピット情報に関
連づけて記録膜に記録ピットを形成することが行われ
る。
なディスク基板の表面に記録・再生光の波長の１／８程
度の深さのグルーブ（案内溝）を形成するとともに、こ
れらグルーブ間のランドにプリピット列を形成し、その
上にレーザ集光ビームで記録可能な光吸収反射性の記録
膜を設けたものが知られている。この記録媒体では、レ
ーザ集光ビームがグルーブの回折作用により回折され、
その反射光の分布を検出することによりトラックずれを
検知し、それに基づいてトラッキング制御を行い、凹凸
のプリピット情報を読み取ったり、プリピット情報に関
連づけて記録膜に記録ピットを形成することが行われ
る。
【０００３】ところが、このようなタイプの光学的情報
記録媒体では、トラッキングを行うのにグルーブ及びラ
ンドのいずれか一方しか利用することができないため、
情報の記録密度を上げることが困難であった。すなわ
ち、トラッキングをグルーブで行うか、ランドで行うか
はトラッキングの極性を逆にするだけで可能であるが、
上記のようにプリピット列がランドにだけ存在している
と、グルーブをトラッキングしたのではアドレス情報等
が記録されたプリピットを読み出すことができないた
め、プリピットの情報に関連づけて追加記録ピットを形
成できないとう欠点があり、そのため、情報記録密度を
上げることができなかった。
記録媒体では、トラッキングを行うのにグルーブ及びラ
ンドのいずれか一方しか利用することができないため、
情報の記録密度を上げることが困難であった。すなわ
ち、トラッキングをグルーブで行うか、ランドで行うか
はトラッキングの極性を逆にするだけで可能であるが、
上記のようにプリピット列がランドにだけ存在している
と、グルーブをトラッキングしたのではアドレス情報等
が記録されたプリピットを読み出すことができないた
め、プリピットの情報に関連づけて追加記録ピットを形
成できないとう欠点があり、そのため、情報記録密度を
上げることができなかった。
【０００４】本出願人は、このような問題を解決するた
め、特開平４−１９５９３９号公報において新規な光学
的情報記録媒体を提案した。この記録媒体は、図１に示
すように、トラッキング用のグルーブ３とプリピット４
の列（以降プリピット列と記す）を有し、グルーブ間隔
（トラックピッチ）をＰとしたとき、プリピット列をそ
の中心線がグルーブの中心線よりほぼＰ／４だけ左右い
ずれか一方の側にずれるように形成したことを特徴とす
るものである。この記録媒体は光吸収反射性の光学的記
録膜（図示せず）を情報記録面に有しており、この光学
的記録膜に対して、レーザ集光ビーム６を照射し、グル
ーブ２またはランド３の中間をトラッキングしながら、
前記プリピット列を再生し、それに基づいて情報を記録
するようになっている。なお、図中１はディスク基板、
５は記録ピットである。
め、特開平４−１９５９３９号公報において新規な光学
的情報記録媒体を提案した。この記録媒体は、図１に示
すように、トラッキング用のグルーブ３とプリピット４
の列（以降プリピット列と記す）を有し、グルーブ間隔
（トラックピッチ）をＰとしたとき、プリピット列をそ
の中心線がグルーブの中心線よりほぼＰ／４だけ左右い
ずれか一方の側にずれるように形成したことを特徴とす
るものである。この記録媒体は光吸収反射性の光学的記
録膜（図示せず）を情報記録面に有しており、この光学
的記録膜に対して、レーザ集光ビーム６を照射し、グル
ーブ２またはランド３の中間をトラッキングしながら、
前記プリピット列を再生し、それに基づいて情報を記録
するようになっている。なお、図中１はディスク基板、
５は記録ピットである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、さらに
検討を重ねたところ、上記公報にて提案した光学的情報
記録媒体及びそれを用いた記録・再生方法には、以下の
点につき改善の余地があることがわかった。 (1)該記録媒体では、図１に示すように、プリピット列
がグルーブとランドの中間に位置しているため、プリピ
ットの形状は非対称となり、グルーブとランドの中間を
トラッキングする際、プッシュプル信号にオフセット電
圧が発生する。このため、プリピット列にそって正確に
トラッキングすることが困難である。 (2)上述の如くプリピットの形状は非対称であり、かな
り複雑な断面形状を有している。このため、該記録媒体
の基板として射出成形法で作製したポリカーボネイト基
板（以降ＰＣ基板と記す）を用いる場合、その基板作製
時に正確にスタンパのプリピット形状を転写することが
できない。その結果、転写不良が原因で、プリピット列
で構成されるプリフォーマット情報を誤再生する可能性
があるとともに、プリピット列に隣接するグルーブ及び
ランドで構成されるデータ領域に正確に情報を記録でき
ないという問題点がある。 (3)さらに、図１に示すように、プリピットに隣接して
グルーブが存在するため、単独でプリピットが存在する
場合に比べ反射光量の低下が大きい。その結果、レーザ
集光ビームを用いてプリピットから光学的に得られるプ
リピット列の信号振幅が小さいという問題がある。
検討を重ねたところ、上記公報にて提案した光学的情報
記録媒体及びそれを用いた記録・再生方法には、以下の
点につき改善の余地があることがわかった。 (1)該記録媒体では、図１に示すように、プリピット列
がグルーブとランドの中間に位置しているため、プリピ
ットの形状は非対称となり、グルーブとランドの中間を
トラッキングする際、プッシュプル信号にオフセット電
圧が発生する。このため、プリピット列にそって正確に
トラッキングすることが困難である。 (2)上述の如くプリピットの形状は非対称であり、かな
り複雑な断面形状を有している。このため、該記録媒体
の基板として射出成形法で作製したポリカーボネイト基
板（以降ＰＣ基板と記す）を用いる場合、その基板作製
時に正確にスタンパのプリピット形状を転写することが
できない。その結果、転写不良が原因で、プリピット列
で構成されるプリフォーマット情報を誤再生する可能性
があるとともに、プリピット列に隣接するグルーブ及び
ランドで構成されるデータ領域に正確に情報を記録でき
ないという問題点がある。 (3)さらに、図１に示すように、プリピットに隣接して
グルーブが存在するため、単独でプリピットが存在する
場合に比べ反射光量の低下が大きい。その結果、レーザ
集光ビームを用いてプリピットから光学的に得られるプ
リピット列の信号振幅が小さいという問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、以下のこと
を目的とするものである。 (i)グルーブとランドの両方にトラッキングして記録・
再生が可能な光学的情報記録媒体であって、記録媒体中
に存在するプリピットで構成されるプリフォーマット情
報を再生する際、隣接トラックからのクロストーク信号
を低減すること及びプッシュプル信号に発生するオフセ
ット電圧をなくすことが可能な光学的情報記録媒体を提
供すること。 (ii)上記(i)の光学的情報記録媒体の基板として射出成
形法により作製された基板を用いる場合に、グルーブ及
びプリピットで構成される凹凸形状が正確に転写可能な
形状を有しているものを使用可能にすること。 (iii)プリピットから光学的に検出されるプリピット信
号振幅が十分に大きく、正確に再生・復調できること。 (iv)グルーブもしくはランドから光学的に検出される信
号出力値がグルーブとランド間で差を小さくできるこ
と。 (v)正確にプリフォーマット領域の位置を検出できるプ
リフォーマット構成を有すること。 (vi)グルーブとランドで構成されるデータ領域を正確に
トラッキングすること及びプリピット列で構成されるプ
リフォーマット情報を正確に再生・復調できるトラッキ
ングサーボが行えること。 (v)データ領域とプリフォーマット領域において正確に
タイミング良くトラッキングサーボの切換えが行えるこ
と。 (vi)上記光学的情報記録媒体用ＰＣ基板を作製するため
のスタンパを原盤露光する際、グルーブ及びプリピット
の配列位置、溝形状を正確に作製できる原盤露光装置を
提供すること。
従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、以下のこと
を目的とするものである。 (i)グルーブとランドの両方にトラッキングして記録・
再生が可能な光学的情報記録媒体であって、記録媒体中
に存在するプリピットで構成されるプリフォーマット情
報を再生する際、隣接トラックからのクロストーク信号
を低減すること及びプッシュプル信号に発生するオフセ
ット電圧をなくすことが可能な光学的情報記録媒体を提
供すること。 (ii)上記(i)の光学的情報記録媒体の基板として射出成
形法により作製された基板を用いる場合に、グルーブ及
びプリピットで構成される凹凸形状が正確に転写可能な
形状を有しているものを使用可能にすること。 (iii)プリピットから光学的に検出されるプリピット信
号振幅が十分に大きく、正確に再生・復調できること。 (iv)グルーブもしくはランドから光学的に検出される信
号出力値がグルーブとランド間で差を小さくできるこ
と。 (v)正確にプリフォーマット領域の位置を検出できるプ
リフォーマット構成を有すること。 (vi)グルーブとランドで構成されるデータ領域を正確に
トラッキングすること及びプリピット列で構成されるプ
リフォーマット情報を正確に再生・復調できるトラッキ
ングサーボが行えること。 (v)データ領域とプリフォーマット領域において正確に
タイミング良くトラッキングサーボの切換えが行えるこ
と。 (vi)上記光学的情報記録媒体用ＰＣ基板を作製するため
のスタンパを原盤露光する際、グルーブ及びプリピット
の配列位置、溝形状を正確に作製できる原盤露光装置を
提供すること。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、トラッキング用のグルーブとプリ
ピット列を有する光学的情報記録媒体であって、グルー
ブの間隔をＰとしたとき、プリピット列はその中心線が
グルーブの中心線よりほぼＰ／４だけ左右いずれか一方
の側にずれるように形成され、かつプリピット列で構成
されるプリフォーマット領域にはグルーブが形成されて
いないことを特徴とする光学的情報記録媒体が提供され
る。また、本発明によれば、上記構成において、プリピ
ットの位相深さＤｐとグルーブの位相深さＤｇがほぼ等
しく、かつ両位相深さＤｐ及びＤｇが、０．１×（２ｎ
＋１）λ〜０．２×（２ｎ＋１）λ［ただし、ｎ＝０，
１，２，・・・、λは記録・再生用のレーザ集光ビーム
の波長である］の範囲にあることを特徴とする光学的情
報記録媒体が提供される。また、本発明によれば、上記
構成において、プリピットの深さに対する半値溝幅Ｗｐ
と記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径ＢＤとの
関係が、０．１９≦Ｗｐ／ＢＤ≦０．４４［ただし、Ｂ
Ｄは１／ｅ2値である］であることを特徴とする光学的
情報記録媒体が提供される。また、本発明によれば、上
記構成において、グルーブの深さに対する半値溝幅Ｗｇ
と記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径ＢＤとの
関係が、０．３８≦Ｗｇ／ＢＤ≦０．５６であることを
特徴とする光学的情報記録媒体が提供される。また、本
発明によれば、上記構成において、プリピット列で構成
されるプリフォーマット領域内に、グルーブ及びプリピ
ットが存在しないミラーマーク部分からなるプリフォー
マットマークを有することを特徴とする光学的情報記録
媒体が提供される。また、本発明によれば、上記構成に
おいて、プリピット列で構成されるプリフォーマット領
域内に、グルーブの中心線とランドの中心線上にそれぞ
れプリピット列からなる同一パタンのプリフォーマット
マークを有することを特徴とする光学的情報記録媒体が
提供される。また、本発明によれば、上記の光学的情報
記録媒体を用い、グルーブあるいはランドで構成される
データ領域を再生するときには、レーザ集光ビームをグ
ルーブあるいはランドの中心線上にトラッキングサーボ
をかけながら走査させ、プリピット列で構成されるプリ
フォーマット領域を再生するときには、データ領域から
プリフォーマット領域へ切り換わる付近でトラッキング
サーボをはずし、レーザ集光ビームをプリピット列の中
心へずらした後、再びトラッキングサーボをかけながら
走査させ、次にプリフォーマット領域からデータ領域へ
切り換わる付近でトラッキングサーボをはずし、レーザ
集光ビームをグルーブあるいはランドの中心へずらした
後、トラッキングサーボをかけながら走査させることを
特徴とする記録・再生方法が提供される。また、本発明
によれば、上記光学的情報記録媒体を用い、グルーブあ
るいはランドで構成されるデータ領域を再生するときに
は、レーザ集光ビームをグルーブあるいはランドの中心
線上にトラッキングサーボをかけながら走査させ、プリ
ピット列で構成されるプリフォーマット領域を再生する
ときには、データ領域からプリフォーマット領域へ切り
換わる付近でトラッキングサーボをはずし、レーザ集光
ビームをプリピット列の中心へずらした後、トラッキン
グサーボをかけずに走査させ、次にプリフォーマット領
域からデータ領域へ切り換わる付近でレーザ集光ビーム
をグルーブあるいはランドの中心へずらした後、トラッ
キングサーボをかけながら走査させることを特徴とする
記録・再生方法が提供される。また、本発明によれば、
上記光学的情報記録媒体を用い、グルーブあるいはラン
ドで構成されるデータ領域を再生するときには、レーザ
集光ビームをグルーブあるいはランドの中心線上にトラ
ッキングサーボをかけながら走査させ、プリピット列で
構成されるプリフォーマット領域を再生するときには、
データ領域からプリフォーマット領域へ切り換わる付近
でトラッキングサーボをはずし、レーザ集光ビームをグ
ルーブあるいはランドの中心線上に固定した状態で走査
させ、次にプリフォーマット領域からデータ領域の切り
換わる付近で再びトラッキングサーボをかけながら走査
させることを特徴とする記録・再生方法が提供される。
また、本発明によれば、上記構成仁尾いて、プリフォー
マット領域中に設けられたプリフォーマットマークをレ
ーザ集光ビームを用いて光学的に検出し、このプリフォ
ーマットマークの信号からプリフォーマット中のヘッダ
領域の位置を推定し、トラッキングサーボのオン／オフ
切換えを行うことを特徴とする記録・再生方法が提供さ
れる。また、本発明によれば、上記光学的情報記録媒体
に使用する基板を射出成形法により製造するためのスタ
ンパを作製する原盤露光装置であって、（１）グルーブ
及びプリピットを原盤露光するための１本のレーザ集光
ビームを形成する系を有すること、（２）前記レーザ集
光ビームの光路中に、グルーブ及びプリピットのパター
ンに合わせてレーザ集光ビームを照射・遮光するための
信号変調器を有すること、（３）前記レーザ集光ビーム
の光路中に、グルーブ及びプリピットのパターンに合わ
せてレーザビームの光強度を調整するための光量変調器
を有すること、（４）前記レーザ集光ビームの光路中
に、レーザ集光ビームの位置をＰ／４だけずらす光偏向
器を有すること、を特徴とする原盤露光装置が提供され
る。また、本発明によれば、上記光学的情報記録媒体に
使用する基板を射出成形法により製造するためのスタン
パを作製する原盤露光装置であって、（１）グルーブを
原盤露光するための第１のレーザ集光ビームと、プリピ
ットを原盤露光するための第２のレーザ集光ビームを形
成する系を有すること、（２）第１のレーザ集光ビーム
の光路中に、断続的なグルーブパターンに合わせて第１
のレーザ集光ビームを照射・遮断するための信号変調器
を有すること、（３）第１のレーザ集光ビームの光路中
に、第１のレーザ集光ビームの光強度を調整するための
光量変調器を有すること、（４）レーザ集光面におい
て、第１及び第２のレーザ集光ビームのビーム間隔をＰ
／４に調整するための光偏向器を、第１又は第２のレー
ザ集光ビームの光路中に有すること、（５）第２のレー
ザ集光ビームの光路中に、プリピット列のパターンに合
わせて第２のレーザ集光ビームを照射・遮断するための
信号変調器を有すること、（６）第２のレーザ集光ビー
ムの光路中に、第２のレーザ集光ビームの光強度を調整
するための光量変調器を有すること、を特徴とする原盤
露光装置が提供される。さらに、本発明によれば、上記
光学的情報記録媒体に使用する基板を射出成形法により
製造するためのスタンパを作製する原盤露光装置であっ
て、（１）グルーブ、グルーブの中心線上にあるプリピ
ット列で構成されたプリフォーマットマーク及びグルー
ブの中心線よりＰ／４だけずらして配置されたプリピッ
ト列を原盤露光するための第１のレーザ集光ビームと、
ランドの中心線上にあるプリピット列で構成されたプリ
フォーマットマークを原盤露光するための第２のレーザ
集光ビームを形成する系を有すること、（２）第１のレ
ーザ集光ビームの光路中に、断続的なグルーブパター
ン、プリピットパターンに合わせて第１のレーザ集光ビ
ームを照射・遮断するための信号変調器を有すること、
（３）第１のレーザ集光ビームの光路中に、第１のレー
ザ集光ビームの光強度を調整するための変量変調器を有
すること、（４）レーザ集光面において、第１及び第２
のレーザ集光ビームのビーム間隔をＰ／２に調整するた
めの手段を有すること、（５）第１のレーザ集光ブーム
の光路中に、レーザ集光面において、第１のレーザ集光
ビームをＰ／４だけずらす光偏向器を有すること、
（６）第２のレーザ集光ビームの光路中に、プリピット
列のパターンに合わせてレーザ集光ビームを照射・遮断
するための信号変調器を有すること、（７）第２のレー
ザ集光ビームの光路中に、第２のレーザ集光ビームの光
強度を調整するための光量変調器を有すること、を特徴
とする原盤露光装置が提供される。
め、本発明によれば、トラッキング用のグルーブとプリ
ピット列を有する光学的情報記録媒体であって、グルー
ブの間隔をＰとしたとき、プリピット列はその中心線が
グルーブの中心線よりほぼＰ／４だけ左右いずれか一方
の側にずれるように形成され、かつプリピット列で構成
されるプリフォーマット領域にはグルーブが形成されて
いないことを特徴とする光学的情報記録媒体が提供され
る。また、本発明によれば、上記構成において、プリピ
ットの位相深さＤｐとグルーブの位相深さＤｇがほぼ等
しく、かつ両位相深さＤｐ及びＤｇが、０．１×（２ｎ
＋１）λ〜０．２×（２ｎ＋１）λ［ただし、ｎ＝０，
１，２，・・・、λは記録・再生用のレーザ集光ビーム
の波長である］の範囲にあることを特徴とする光学的情
報記録媒体が提供される。また、本発明によれば、上記
構成において、プリピットの深さに対する半値溝幅Ｗｐ
と記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径ＢＤとの
関係が、０．１９≦Ｗｐ／ＢＤ≦０．４４［ただし、Ｂ
Ｄは１／ｅ2値である］であることを特徴とする光学的
情報記録媒体が提供される。また、本発明によれば、上
記構成において、グルーブの深さに対する半値溝幅Ｗｇ
と記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径ＢＤとの
関係が、０．３８≦Ｗｇ／ＢＤ≦０．５６であることを
特徴とする光学的情報記録媒体が提供される。また、本
発明によれば、上記構成において、プリピット列で構成
されるプリフォーマット領域内に、グルーブ及びプリピ
ットが存在しないミラーマーク部分からなるプリフォー
マットマークを有することを特徴とする光学的情報記録
媒体が提供される。また、本発明によれば、上記構成に
おいて、プリピット列で構成されるプリフォーマット領
域内に、グルーブの中心線とランドの中心線上にそれぞ
れプリピット列からなる同一パタンのプリフォーマット
マークを有することを特徴とする光学的情報記録媒体が
提供される。また、本発明によれば、上記の光学的情報
記録媒体を用い、グルーブあるいはランドで構成される
データ領域を再生するときには、レーザ集光ビームをグ
ルーブあるいはランドの中心線上にトラッキングサーボ
をかけながら走査させ、プリピット列で構成されるプリ
フォーマット領域を再生するときには、データ領域から
プリフォーマット領域へ切り換わる付近でトラッキング
サーボをはずし、レーザ集光ビームをプリピット列の中
心へずらした後、再びトラッキングサーボをかけながら
走査させ、次にプリフォーマット領域からデータ領域へ
切り換わる付近でトラッキングサーボをはずし、レーザ
集光ビームをグルーブあるいはランドの中心へずらした
後、トラッキングサーボをかけながら走査させることを
特徴とする記録・再生方法が提供される。また、本発明
によれば、上記光学的情報記録媒体を用い、グルーブあ
るいはランドで構成されるデータ領域を再生するときに
は、レーザ集光ビームをグルーブあるいはランドの中心
線上にトラッキングサーボをかけながら走査させ、プリ
ピット列で構成されるプリフォーマット領域を再生する
ときには、データ領域からプリフォーマット領域へ切り
換わる付近でトラッキングサーボをはずし、レーザ集光
ビームをプリピット列の中心へずらした後、トラッキン
グサーボをかけずに走査させ、次にプリフォーマット領
域からデータ領域へ切り換わる付近でレーザ集光ビーム
をグルーブあるいはランドの中心へずらした後、トラッ
キングサーボをかけながら走査させることを特徴とする
記録・再生方法が提供される。また、本発明によれば、
上記光学的情報記録媒体を用い、グルーブあるいはラン
ドで構成されるデータ領域を再生するときには、レーザ
集光ビームをグルーブあるいはランドの中心線上にトラ
ッキングサーボをかけながら走査させ、プリピット列で
構成されるプリフォーマット領域を再生するときには、
データ領域からプリフォーマット領域へ切り換わる付近
でトラッキングサーボをはずし、レーザ集光ビームをグ
ルーブあるいはランドの中心線上に固定した状態で走査
させ、次にプリフォーマット領域からデータ領域の切り
換わる付近で再びトラッキングサーボをかけながら走査
させることを特徴とする記録・再生方法が提供される。
また、本発明によれば、上記構成仁尾いて、プリフォー
マット領域中に設けられたプリフォーマットマークをレ
ーザ集光ビームを用いて光学的に検出し、このプリフォ
ーマットマークの信号からプリフォーマット中のヘッダ
領域の位置を推定し、トラッキングサーボのオン／オフ
切換えを行うことを特徴とする記録・再生方法が提供さ
れる。また、本発明によれば、上記光学的情報記録媒体
に使用する基板を射出成形法により製造するためのスタ
ンパを作製する原盤露光装置であって、（１）グルーブ
及びプリピットを原盤露光するための１本のレーザ集光
ビームを形成する系を有すること、（２）前記レーザ集
光ビームの光路中に、グルーブ及びプリピットのパター
ンに合わせてレーザ集光ビームを照射・遮光するための
信号変調器を有すること、（３）前記レーザ集光ビーム
の光路中に、グルーブ及びプリピットのパターンに合わ
せてレーザビームの光強度を調整するための光量変調器
を有すること、（４）前記レーザ集光ビームの光路中
に、レーザ集光ビームの位置をＰ／４だけずらす光偏向
器を有すること、を特徴とする原盤露光装置が提供され
る。また、本発明によれば、上記光学的情報記録媒体に
使用する基板を射出成形法により製造するためのスタン
パを作製する原盤露光装置であって、（１）グルーブを
原盤露光するための第１のレーザ集光ビームと、プリピ
ットを原盤露光するための第２のレーザ集光ビームを形
成する系を有すること、（２）第１のレーザ集光ビーム
の光路中に、断続的なグルーブパターンに合わせて第１
のレーザ集光ビームを照射・遮断するための信号変調器
を有すること、（３）第１のレーザ集光ビームの光路中
に、第１のレーザ集光ビームの光強度を調整するための
光量変調器を有すること、（４）レーザ集光面におい
て、第１及び第２のレーザ集光ビームのビーム間隔をＰ
／４に調整するための光偏向器を、第１又は第２のレー
ザ集光ビームの光路中に有すること、（５）第２のレー
ザ集光ビームの光路中に、プリピット列のパターンに合
わせて第２のレーザ集光ビームを照射・遮断するための
信号変調器を有すること、（６）第２のレーザ集光ビー
ムの光路中に、第２のレーザ集光ビームの光強度を調整
するための光量変調器を有すること、を特徴とする原盤
露光装置が提供される。さらに、本発明によれば、上記
光学的情報記録媒体に使用する基板を射出成形法により
製造するためのスタンパを作製する原盤露光装置であっ
て、（１）グルーブ、グルーブの中心線上にあるプリピ
ット列で構成されたプリフォーマットマーク及びグルー
ブの中心線よりＰ／４だけずらして配置されたプリピッ
ト列を原盤露光するための第１のレーザ集光ビームと、
ランドの中心線上にあるプリピット列で構成されたプリ
フォーマットマークを原盤露光するための第２のレーザ
集光ビームを形成する系を有すること、（２）第１のレ
ーザ集光ビームの光路中に、断続的なグルーブパター
ン、プリピットパターンに合わせて第１のレーザ集光ビ
ームを照射・遮断するための信号変調器を有すること、
（３）第１のレーザ集光ビームの光路中に、第１のレー
ザ集光ビームの光強度を調整するための変量変調器を有
すること、（４）レーザ集光面において、第１及び第２
のレーザ集光ビームのビーム間隔をＰ／２に調整するた
めの手段を有すること、（５）第１のレーザ集光ブーム
の光路中に、レーザ集光面において、第１のレーザ集光
ビームをＰ／４だけずらす光偏向器を有すること、
（６）第２のレーザ集光ビームの光路中に、プリピット
列のパターンに合わせてレーザ集光ビームを照射・遮断
するための信号変調器を有すること、（７）第２のレー
ザ集光ビームの光路中に、第２のレーザ集光ビームの光
強度を調整するための光量変調器を有すること、を特徴
とする原盤露光装置が提供される。
【０００８】以下本発明について詳細に説明する。先
ず、本発明による光学的情報記録媒体について説明す
る。図２は本発明による光学的情報記録媒体を示す一部
斜視断面図、図３は同平面図である。これらの図におい
て、１はディスク基板、２はランド、３はグルーブ、４
はプリピット、５は記録ピット、６はレーザ集光ビー
ム、７は光吸収反射記録層である。図示の如く、媒体表
面には情報を記録・再生する領域であるグルーブ３及び
ランド２と、各データのアドレス情報を含んだプリピッ
ト４の列が形成されている。プリピット列は、グルーブ
間隔（トラックピッチ）をＰとしたとき、その中心線が
グルーブ３の中心線に対してＰ／４だけずれるように配
置されており、ランド２は、その中心線が隣接する両グ
ルーブの中心線と中心線の中間にくるように配置されて
いる。また、プリピット列で構成されている（アドレス
情報を含む）プリフォーマット領域には、グルーブは存
在しないようになっている。
ず、本発明による光学的情報記録媒体について説明す
る。図２は本発明による光学的情報記録媒体を示す一部
斜視断面図、図３は同平面図である。これらの図におい
て、１はディスク基板、２はランド、３はグルーブ、４
はプリピット、５は記録ピット、６はレーザ集光ビー
ム、７は光吸収反射記録層である。図示の如く、媒体表
面には情報を記録・再生する領域であるグルーブ３及び
ランド２と、各データのアドレス情報を含んだプリピッ
ト４の列が形成されている。プリピット列は、グルーブ
間隔（トラックピッチ）をＰとしたとき、その中心線が
グルーブ３の中心線に対してＰ／４だけずれるように配
置されており、ランド２は、その中心線が隣接する両グ
ルーブの中心線と中心線の中間にくるように配置されて
いる。また、プリピット列で構成されている（アドレス
情報を含む）プリフォーマット領域には、グルーブは存
在しないようになっている。
【０００９】グルーブ３及びプリピット２の形状はレー
ザ集光ビーム６を利用して光学的に得られる溝信号特性
の値からその範囲が規定される。図４（ａ）〜（ｄ）は
それぞれ、グルーブ形状とグルーブレベルとの関係、グ
ルーブ形状とランドレベルとの関係、グルーブ形状とト
ラッキングに利用するプッシュプル信号との関係、プリ
ピット形状とプリピット振幅との関係を示したものであ
る。本発明の光学的情報記録媒体では、グルーブ３とラ
ンド２に情報を記録するために、未記録状態でのグルー
ブレベル（レーザ集光ビーム６がグルーブ３の中心線上
を走査したときの反射光強度）とランドレベル（レーザ
集光ビーム６がランド２の中心線上を走査したときの反
射光強度）はなるべく近い値の方が良い。このグルーブ
レベルとランドレベルの差が大きいと、記録ピットのＣ
／Ｎに差が生じるためである。
ザ集光ビーム６を利用して光学的に得られる溝信号特性
の値からその範囲が規定される。図４（ａ）〜（ｄ）は
それぞれ、グルーブ形状とグルーブレベルとの関係、グ
ルーブ形状とランドレベルとの関係、グルーブ形状とト
ラッキングに利用するプッシュプル信号との関係、プリ
ピット形状とプリピット振幅との関係を示したものであ
る。本発明の光学的情報記録媒体では、グルーブ３とラ
ンド２に情報を記録するために、未記録状態でのグルー
ブレベル（レーザ集光ビーム６がグルーブ３の中心線上
を走査したときの反射光強度）とランドレベル（レーザ
集光ビーム６がランド２の中心線上を走査したときの反
射光強度）はなるべく近い値の方が良い。このグルーブ
レベルとランドレベルの差が大きいと、記録ピットのＣ
／Ｎに差が生じるためである。
【００１０】図４（ａ）と（ｂ）から、グルーブ形状は
０．１×（２ｎ＋１）λ≦Ｄｇ≦０．２×（２ｎ＋１）
λ、０．３８≦Ｗｇ／ＢＤ≦０．５６を満足するときに
グルーブレベルとランドレベルがほとんど等しい状態が
得られることがわかる。ただし、Ｄｇはグルーブの位相
深さ、Ｗｇはグルーブの深さに対する半値溝幅、ＢＤは
記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径（１／ｅ2
値）、λは該レーザ集光ビームの波長、ｎ＝０，１，
２，・・・であり、グルーブ形状を示すパラメータは図
５（ｂ）のように定義する。上記条件を満たすグルーブ
形状によれば、図４（ｃ）で示すように、０．４〜０．
７のプッシュプル信号値が得られ、トラッキングサーボ
上問題のない出力信号値となる。
０．１×（２ｎ＋１）λ≦Ｄｇ≦０．２×（２ｎ＋１）
λ、０．３８≦Ｗｇ／ＢＤ≦０．５６を満足するときに
グルーブレベルとランドレベルがほとんど等しい状態が
得られることがわかる。ただし、Ｄｇはグルーブの位相
深さ、Ｗｇはグルーブの深さに対する半値溝幅、ＢＤは
記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径（１／ｅ2
値）、λは該レーザ集光ビームの波長、ｎ＝０，１，
２，・・・であり、グルーブ形状を示すパラメータは図
５（ｂ）のように定義する。上記条件を満たすグルーブ
形状によれば、図４（ｃ）で示すように、０．４〜０．
７のプッシュプル信号値が得られ、トラッキングサーボ
上問題のない出力信号値となる。
【００１１】プリピット形状は、スタンパ作製工法（後
述の実施例参照）の関係から、該プリピットの位相深さ
Ｄｐがグルーブの位相深さＤｇとほぼ等しいことが望ま
しい。また、プリピット形状は０．１×（２ｎ＋１）λ
≦Ｄｐ≦０．２×（２ｎ＋１）λ、０．１９≦Ｗｐ／Ｂ
Ｄ≦０．４４を満足することが望ましい。ただしＷｐは
プリピットの深さに対する半値溝幅であり、プリピット
形状を示すパラメータは図５（ａ）のように定義する。
上記条件を満たす形状のプリピットによれば、図４
（ｄ）で示すように、プリピット振幅は０．２〜０．６
の信号値が得られ、信号再生上問題のない数値となる。
述の実施例参照）の関係から、該プリピットの位相深さ
Ｄｐがグルーブの位相深さＤｇとほぼ等しいことが望ま
しい。また、プリピット形状は０．１×（２ｎ＋１）λ
≦Ｄｐ≦０．２×（２ｎ＋１）λ、０．１９≦Ｗｐ／Ｂ
Ｄ≦０．４４を満足することが望ましい。ただしＷｐは
プリピットの深さに対する半値溝幅であり、プリピット
形状を示すパラメータは図５（ａ）のように定義する。
上記条件を満たす形状のプリピットによれば、図４
（ｄ）で示すように、プリピット振幅は０．２〜０．６
の信号値が得られ、信号再生上問題のない数値となる。
【００１２】また、本発明の光学的情報記録媒体は、プ
リピット列で構成されるプリフォーマット領域内に、プ
リピットフォーマットマークを設けたものとすることが
できる。このプリピットフォーマットマークは、グルー
ブ及びプリピットが存在しないミラーマーク部分あるい
はグルーブの中心線とランドの中心線上に設けられた同
一パタンのプリピット列で構成することができる。この
プリフォーマットマークについては、以下の記録・再生
方法の説明において併せて詳述する。
リピット列で構成されるプリフォーマット領域内に、プ
リピットフォーマットマークを設けたものとすることが
できる。このプリピットフォーマットマークは、グルー
ブ及びプリピットが存在しないミラーマーク部分あるい
はグルーブの中心線とランドの中心線上に設けられた同
一パタンのプリピット列で構成することができる。この
プリフォーマットマークについては、以下の記録・再生
方法の説明において併せて詳述する。
【００１３】次に、上記光学的情報記録媒体の記録・再
生方法について説明する。図６（ａ）及び（ｂ）に本発
明の光学的情報記録媒体に対して記録・再生を行うする
際のレーザ集光ビームの走査軌跡を示す。図６（ａ）は
グルーブ３を記録・再生する場合、図６（ｂ）はランド
２を記録・再生する場合を示している。情報を記録・再
生する領域であるグルーブ３あるいはランド２では、そ
れぞれグルーブ３あるいはランド２の各中心線上をレー
ザ集光ビームは走査するが、プリピット列で構成される
プリフォーマット領域ではプリピット列の中心線上をレ
ーザ集光ビームは走査する。これは、データ領域の記録
ピットあるいはプリフォーマット領域のプリピットの中
心線上をレーザ集光ビームが走査しないと、安定な記録
ピットあるいはプリピット信号が得られず、正確に信号
再生ができないためである。このように、プリフォーマ
ット領域でプリピット列の中心線上にレーザ集光ビーム
をタイミング良く合わせるためには、正確にプリフォー
マット領域の位置を検出する必要がある。このために、
本発明の光学的情報記録媒体には、プリフォーマット領
域中にプリフォーマットの存在を示すマークであるプリ
フォーマットマーク（以降ＰＦＭと記す）を設けてお
く。このＰＦＭは、トラッキングサーボをかけない状態
でも正確に検出できることが望ましい。その理由は、あ
るアドレスのデータ領域を再生する際、トラッキングサ
ーボをはずしてシークする必要があり、このトラッキン
グサーボをはずした状態でも正確にＰＦＭが検出できな
いと、シーク直後に再びトラッキングサーボをかけタイ
ミング良くプリフォーマット領域でレーザ集光ビームを
ずらすことができなくなるためである。
生方法について説明する。図６（ａ）及び（ｂ）に本発
明の光学的情報記録媒体に対して記録・再生を行うする
際のレーザ集光ビームの走査軌跡を示す。図６（ａ）は
グルーブ３を記録・再生する場合、図６（ｂ）はランド
２を記録・再生する場合を示している。情報を記録・再
生する領域であるグルーブ３あるいはランド２では、そ
れぞれグルーブ３あるいはランド２の各中心線上をレー
ザ集光ビームは走査するが、プリピット列で構成される
プリフォーマット領域ではプリピット列の中心線上をレ
ーザ集光ビームは走査する。これは、データ領域の記録
ピットあるいはプリフォーマット領域のプリピットの中
心線上をレーザ集光ビームが走査しないと、安定な記録
ピットあるいはプリピット信号が得られず、正確に信号
再生ができないためである。このように、プリフォーマ
ット領域でプリピット列の中心線上にレーザ集光ビーム
をタイミング良く合わせるためには、正確にプリフォー
マット領域の位置を検出する必要がある。このために、
本発明の光学的情報記録媒体には、プリフォーマット領
域中にプリフォーマットの存在を示すマークであるプリ
フォーマットマーク（以降ＰＦＭと記す）を設けてお
く。このＰＦＭは、トラッキングサーボをかけない状態
でも正確に検出できることが望ましい。その理由は、あ
るアドレスのデータ領域を再生する際、トラッキングサ
ーボをはずしてシークする必要があり、このトラッキン
グサーボをはずした状態でも正確にＰＦＭが検出できな
いと、シーク直後に再びトラッキングサーボをかけタイ
ミング良くプリフォーマット領域でレーザ集光ビームを
ずらすことができなくなるためである。
【００１４】トラッキングサーボをかけない状態でも正
確にＰＦＭを検出するために、本発明において採用する
プリフォーマット構成を図７（ａ）と（ｂ）に示す。図
７（ａ）ではＰＦＭはグルーブ３及びプリピット２の存
在しないミラーマークで構成されている。このミラーマ
ークによれば、トラッキングサーボの有無にかかわらず
一定のミラーレベル出力が得られるため、トラッキング
サーボをかけなくても正確にＰＦＭを検出することが可
能となる。また、図７（ｂ）では、ＰＦＭはピット列の
間隔がＰ／２で各プリピット列の中心線がグルーブ３と
ランド２の中心線上と同じになるように配置されてい
る。この各トラックに形成されたＰＦＭのプリピット列
は同一パターンで構成されている。この場合、ＰＦＭか
ら得られるプリピット振幅は、隣接トラックからのクロ
ストーク信号が大きいため、トラックサーボをかけなく
とも、安定した信号振幅を得ることができる。従って、
このプリフォーマット構成を用いれば、トラッキングサ
ーボをかけなくとも正確にプリフォーマット領域の位置
を検出することが可能となる。
確にＰＦＭを検出するために、本発明において採用する
プリフォーマット構成を図７（ａ）と（ｂ）に示す。図
７（ａ）ではＰＦＭはグルーブ３及びプリピット２の存
在しないミラーマークで構成されている。このミラーマ
ークによれば、トラッキングサーボの有無にかかわらず
一定のミラーレベル出力が得られるため、トラッキング
サーボをかけなくても正確にＰＦＭを検出することが可
能となる。また、図７（ｂ）では、ＰＦＭはピット列の
間隔がＰ／２で各プリピット列の中心線がグルーブ３と
ランド２の中心線上と同じになるように配置されてい
る。この各トラックに形成されたＰＦＭのプリピット列
は同一パターンで構成されている。この場合、ＰＦＭか
ら得られるプリピット振幅は、隣接トラックからのクロ
ストーク信号が大きいため、トラックサーボをかけなく
とも、安定した信号振幅を得ることができる。従って、
このプリフォーマット構成を用いれば、トラッキングサ
ーボをかけなくとも正確にプリフォーマット領域の位置
を検出することが可能となる。
【００１５】また、光学的情報記録媒体の偏心が大きい
場合は、プリピット列の中心へトラッキングサーボする
必要があり、グルーブ、ランドそしてプリピット列の中
心へ正確にレーザ集光ビームを走査させるためには、プ
リピット列の中心へレーザ集光ビームを移動する動作が
問題となる。
場合は、プリピット列の中心へトラッキングサーボする
必要があり、グルーブ、ランドそしてプリピット列の中
心へ正確にレーザ集光ビームを走査させるためには、プ
リピット列の中心へレーザ集光ビームを移動する動作が
問題となる。
【００１６】図８はグルーブ３及びランド２で構成され
るデータ領域及び該領域におけるプッシュプル信号の波
形を示し、図９はプリピット列で構成されるプリフォー
マット領域及び該領域におけるプッシュプル信号の波形
を示したものである。図９に示すように、プリピット列
はグルーブ３に対してＰ／４だけその中心線がずれてい
るために、プッシュプル信号のｓｉｎ波形は図８の場合
に比べて位相がπ／２だけずれている。このため、レー
ザ集光ビーム６がトラッキングサーボをかけた状態でグ
ルーブ３からプリピット列へ進入した場合、プッシュプ
ル信号は０から−Ｖofs’まで変化してしまう。トラッ
キングサーボをかけた状態では、このプッシュプル信号
の変化に対応し、プッシュプル信号を０となるように対
物レンズを駆動させる。その際、レーザ集光ビーム６の
トラッキングが、走査すべきプリピット列へ復帰すれば
良いが、走査すべきプリピット列に隣接するプリピット
列へレーザ集光ビームがずれてしまう可能性がある。こ
のような不具合が起こらないように、本発明では、グル
ーブ及びランドで構成されるデータ領域の終了ととも
に、トラッキングサーボをはずし、レーザ集光ビームを
Ｐ／４だけプリピット列の中心線上へずらした後、プリ
ピット列の開始とともに、再びトラッキングサーボをか
ける。この方法だと、グルーブからプリピット列へ進入
した際のプッシュプル信号の変化に影響されずに、正確
にプリピット列の中心線上にトラッキングサーボを復帰
させることができる。また、プリピット列からグルーブ
へのトラッキング切換えも前述したプッシュプル信号の
変化が発生するため、プリピット列の終了とともにトラ
ッキングサーボをはずし、レーザ集光ビームをＰ／４だ
けグルーブの中心線上へずらした後、グルーブの開始と
ともにトラッキングサーボをかける。このトラッキング
切換えのタイミングチャートを図１０に示す。
るデータ領域及び該領域におけるプッシュプル信号の波
形を示し、図９はプリピット列で構成されるプリフォー
マット領域及び該領域におけるプッシュプル信号の波形
を示したものである。図９に示すように、プリピット列
はグルーブ３に対してＰ／４だけその中心線がずれてい
るために、プッシュプル信号のｓｉｎ波形は図８の場合
に比べて位相がπ／２だけずれている。このため、レー
ザ集光ビーム６がトラッキングサーボをかけた状態でグ
ルーブ３からプリピット列へ進入した場合、プッシュプ
ル信号は０から−Ｖofs’まで変化してしまう。トラッ
キングサーボをかけた状態では、このプッシュプル信号
の変化に対応し、プッシュプル信号を０となるように対
物レンズを駆動させる。その際、レーザ集光ビーム６の
トラッキングが、走査すべきプリピット列へ復帰すれば
良いが、走査すべきプリピット列に隣接するプリピット
列へレーザ集光ビームがずれてしまう可能性がある。こ
のような不具合が起こらないように、本発明では、グル
ーブ及びランドで構成されるデータ領域の終了ととも
に、トラッキングサーボをはずし、レーザ集光ビームを
Ｐ／４だけプリピット列の中心線上へずらした後、プリ
ピット列の開始とともに、再びトラッキングサーボをか
ける。この方法だと、グルーブからプリピット列へ進入
した際のプッシュプル信号の変化に影響されずに、正確
にプリピット列の中心線上にトラッキングサーボを復帰
させることができる。また、プリピット列からグルーブ
へのトラッキング切換えも前述したプッシュプル信号の
変化が発生するため、プリピット列の終了とともにトラ
ッキングサーボをはずし、レーザ集光ビームをＰ／４だ
けグルーブの中心線上へずらした後、グルーブの開始と
ともにトラッキングサーボをかける。このトラッキング
切換えのタイミングチャートを図１０に示す。
【００１７】上記トラッキング切換えは具体的には以下
のようにして行う。回路Ｒｆ信号（和信号）を再生し、
ＰＦＭをＰＦＭデコーダにより検出し、ＰＦＭウィンド
ウ信号Ａを生成する。ＰＦＭウィンドウ信号Ａよりヘッ
ダウィンドウ信号Ｂを生成し、このＰＦＭウィンドウ信
号Ａとヘッダウィンドウ信号Ｂを用いてプリフォーマッ
トウィンドウ信号Ｃを生成する。ＰＦＭウィンドウ信号
Ａの遅延回路の組合せから、プリフォーマットの前後で
トラッキングサーボをはずすためのトラッキングサーボ
ＯＮ／ＯＦＦ切換え信号Ｄを生成する。またプリピット
列の前後で、レーザ集光ビームをＰ／４だけずらすため
に、図８で示したＶofsあるいは、−Ｖofsに相当する電
圧を対物レンズ駆動用アクチュエイタに付加する必要が
ある。このため、図８のＶofsと−Ｖofsに相当する電圧
をサンプルホールドし、この電圧信号とトラッキングサ
ーボＯＮ／ＯＦＦ切換え信号Ｄより、トラックオフセッ
ト信号Ｅを生成する。以上のタイミングチャートを図１
０に示す。また、図１０のタイミングチャートで示した
各信号（Ａ〜Ｅ）を生成するための回路ブロック図を図
１１に示す。
のようにして行う。回路Ｒｆ信号（和信号）を再生し、
ＰＦＭをＰＦＭデコーダにより検出し、ＰＦＭウィンド
ウ信号Ａを生成する。ＰＦＭウィンドウ信号Ａよりヘッ
ダウィンドウ信号Ｂを生成し、このＰＦＭウィンドウ信
号Ａとヘッダウィンドウ信号Ｂを用いてプリフォーマッ
トウィンドウ信号Ｃを生成する。ＰＦＭウィンドウ信号
Ａの遅延回路の組合せから、プリフォーマットの前後で
トラッキングサーボをはずすためのトラッキングサーボ
ＯＮ／ＯＦＦ切換え信号Ｄを生成する。またプリピット
列の前後で、レーザ集光ビームをＰ／４だけずらすため
に、図８で示したＶofsあるいは、−Ｖofsに相当する電
圧を対物レンズ駆動用アクチュエイタに付加する必要が
ある。このため、図８のＶofsと−Ｖofsに相当する電圧
をサンプルホールドし、この電圧信号とトラッキングサ
ーボＯＮ／ＯＦＦ切換え信号Ｄより、トラックオフセッ
ト信号Ｅを生成する。以上のタイミングチャートを図１
０に示す。また、図１０のタイミングチャートで示した
各信号（Ａ〜Ｅ）を生成するための回路ブロック図を図
１１に示す。
【００１８】図１２に本発明の記録・再生方法において
トラッキングサーボを行うための回路ブロック図を示
す。このトラッキングサーボ回路では、トラッキングサ
ーボのＯＮ／ＯＦＦ切換えを前述の信号Ｄを用い、また
レーザ集光ビームをＰ／４だけずらすために、対物レン
ズ駆動用アクチュエイタに対してトラックオフセット信
号Ｅを付加する構成になっている。本発明の光学的情報
記録媒体では、グルーブとランドに情報を記録すること
が必要となるため、図１２ではランド（Ｌ）／グルーブ
（Ｇ）トラッキング極性切換え回路が含まれている。こ
のＬ／Ｇトラッキング極性切換えは、必要に応じて記録
・再生を制御するドライブのホストコントローラからの
信号によって行われる。またトラッキングサーボ用とし
て使われるプッシュプル信号（図中ではＰＰと略記）の
代わりに、ＰＰ信号出力で割り算して規格したDivided
Push-pull信号（以降ＤＰＰと略記する）を使っても良
い。このＤＰＰを使うことにより、光学的情報記録媒体
の反射率変化、レーザダイオードの光量変動などの外乱
因子を除去して、確実にトラッキングサーボをかけるこ
とが可能となる。
トラッキングサーボを行うための回路ブロック図を示
す。このトラッキングサーボ回路では、トラッキングサ
ーボのＯＮ／ＯＦＦ切換えを前述の信号Ｄを用い、また
レーザ集光ビームをＰ／４だけずらすために、対物レン
ズ駆動用アクチュエイタに対してトラックオフセット信
号Ｅを付加する構成になっている。本発明の光学的情報
記録媒体では、グルーブとランドに情報を記録すること
が必要となるため、図１２ではランド（Ｌ）／グルーブ
（Ｇ）トラッキング極性切換え回路が含まれている。こ
のＬ／Ｇトラッキング極性切換えは、必要に応じて記録
・再生を制御するドライブのホストコントローラからの
信号によって行われる。またトラッキングサーボ用とし
て使われるプッシュプル信号（図中ではＰＰと略記）の
代わりに、ＰＰ信号出力で割り算して規格したDivided
Push-pull信号（以降ＤＰＰと略記する）を使っても良
い。このＤＰＰを使うことにより、光学的情報記録媒体
の反射率変化、レーザダイオードの光量変動などの外乱
因子を除去して、確実にトラッキングサーボをかけるこ
とが可能となる。
【００１９】一方、光学的情報記録媒体の偏心が１つの
プリフォーマット領域内で無視できる程度に小さけれ
ば、プリフォーマット領域内でトラッキングサーボをか
ける必要はない。この場合は、図１１のプリフォーマッ
トウィンドウ信号Ｃを使って、トラッキングサーボのＯ
Ｎ／ＯＦＦ切換えを行えば良い。図１３は、このプリフ
ォーマットウィンドウ信号Ｃを使ってトラッキングサー
ボのＯＮ／ＯＦＦ切換えを行う場合のタイミングチャー
トを示したものである。ヘッダ領域中では、プリピット
列のほぼ中心線上にレーザ集光ビームを走査させるため
に、トラッキングサーボをはずしている間、オフセット
電圧Ｖofsを対物レンズ駆動用アクチュエイタに付加す
る。 図１４は、タイミング良くトラックオフセット信
号Ｅ’を生成させるための回路ブロック図である。ま
た、図１５は、図１２に対してトラッキングサーボ信号
として図１３の信号Ｃを用い、トラックオフセット信号
として図１３の信号Ｅ’を用いた回路ブロック図であ
る。
プリフォーマット領域内で無視できる程度に小さけれ
ば、プリフォーマット領域内でトラッキングサーボをか
ける必要はない。この場合は、図１１のプリフォーマッ
トウィンドウ信号Ｃを使って、トラッキングサーボのＯ
Ｎ／ＯＦＦ切換えを行えば良い。図１３は、このプリフ
ォーマットウィンドウ信号Ｃを使ってトラッキングサー
ボのＯＮ／ＯＦＦ切換えを行う場合のタイミングチャー
トを示したものである。ヘッダ領域中では、プリピット
列のほぼ中心線上にレーザ集光ビームを走査させるため
に、トラッキングサーボをはずしている間、オフセット
電圧Ｖofsを対物レンズ駆動用アクチュエイタに付加す
る。 図１４は、タイミング良くトラックオフセット信
号Ｅ’を生成させるための回路ブロック図である。ま
た、図１５は、図１２に対してトラッキングサーボ信号
として図１３の信号Ｃを用い、トラックオフセット信号
として図１３の信号Ｅ’を用いた回路ブロック図であ
る。
【００２０】また、光学情報記録媒体の偏心が１つのプ
リフォーマット領域内で無視できる程度に小さければ図
１３のトラックオフセット信号Ｅ’を常に０（Ｖ）とし
ても良い。つまり、これはプリピット列の中心線上では
なく、グルーブあるいはランドの中心線上をレーザ集光
ビームが走査することを意味する。図１６は、このよう
にグルーブあるいはランドの中心線上をレーザ集光ビー
ムを走査させて、プリピット列で構成されるプリフォー
マット情報を再生する様子を示している。この場合、図
１４のピークホールド回路とトラックオフセットパルス
生成回路は不必要となり、図１５ではＥ’信号の入力は
不必要となる。図１６の状態で再生されるプリピット振
幅は、図６（ａ）及び図６（ｂ）の状態で再生されるプ
リピット振幅の大きさよりも１割程度その大きさが小さ
くなる。これは、レーザ集光ビームがプリピット列の中
心線に対してＰ／４だけずれた状態で信号再生するため
である。しかし、本発明の光学的情報記録媒体では、十
分に大きいプリピット振幅が得られるため、１割程度小
さくなっても信号再生上問題は発生しない。
リフォーマット領域内で無視できる程度に小さければ図
１３のトラックオフセット信号Ｅ’を常に０（Ｖ）とし
ても良い。つまり、これはプリピット列の中心線上では
なく、グルーブあるいはランドの中心線上をレーザ集光
ビームが走査することを意味する。図１６は、このよう
にグルーブあるいはランドの中心線上をレーザ集光ビー
ムを走査させて、プリピット列で構成されるプリフォー
マット情報を再生する様子を示している。この場合、図
１４のピークホールド回路とトラックオフセットパルス
生成回路は不必要となり、図１５ではＥ’信号の入力は
不必要となる。図１６の状態で再生されるプリピット振
幅は、図６（ａ）及び図６（ｂ）の状態で再生されるプ
リピット振幅の大きさよりも１割程度その大きさが小さ
くなる。これは、レーザ集光ビームがプリピット列の中
心線に対してＰ／４だけずれた状態で信号再生するため
である。しかし、本発明の光学的情報記録媒体では、十
分に大きいプリピット振幅が得られるため、１割程度小
さくなっても信号再生上問題は発生しない。
【００２１】次に、上記構成の光学的情報記録媒体の基
板を製造するためのスタンパの作製方法及び原盤露光装
置について説明する。通常、光学的情報記録媒体の基板
の凹凸形状は、スタンパと呼ばれる金型から射出成形法
により転写されたＰＣ基板が用いられる。図１７にこの
スタンパの一般的な作製フロー図を示す。図１７（ａ）
はガラス盤の上へフォトレジストをスピンコートしたも
のである（以降、このフォトレジスト付ガラス盤をレジ
スト原盤と記す）。このレジスト原盤を回転させながら
同心円もしくはスパイラル状にＡｒ+レーザ集光ビーム
を走査させて、フォトレジストに潜像を形成させる（図
１７（ｂ））。次に、この潜像を現像処理し、フォトレ
ジストに凹凸パタンを形成する（図１７（ｃ））。次
に、このフォトレジスト面に導電皮膜としてＮｉスパッ
タ膜を形成する（図１７（ｄ））。次に、このＮｉ膜付
レジスト原盤を電鋳法により積層し、約０．３ｍｍ程度
の厚さにする（図１７（ｅ））。次に、このＮｉ電鋳板
を研磨し、成形時に必要な内、外径加工を行い、フォト
レジストを除去する等の洗浄を行うことにより、Ｎｉス
タンパが完成する（図１７（ｆ））。このＮｉスタンパ
から射出成形法により転写されたＰＣ基板はスタンパと
は凹凸形状が反転しており、また、フォトレジスト面に
形成された凹凸形状とはほぼ同一の形状を有する（図１
７（ｇ））。
板を製造するためのスタンパの作製方法及び原盤露光装
置について説明する。通常、光学的情報記録媒体の基板
の凹凸形状は、スタンパと呼ばれる金型から射出成形法
により転写されたＰＣ基板が用いられる。図１７にこの
スタンパの一般的な作製フロー図を示す。図１７（ａ）
はガラス盤の上へフォトレジストをスピンコートしたも
のである（以降、このフォトレジスト付ガラス盤をレジ
スト原盤と記す）。このレジスト原盤を回転させながら
同心円もしくはスパイラル状にＡｒ+レーザ集光ビーム
を走査させて、フォトレジストに潜像を形成させる（図
１７（ｂ））。次に、この潜像を現像処理し、フォトレ
ジストに凹凸パタンを形成する（図１７（ｃ））。次
に、このフォトレジスト面に導電皮膜としてＮｉスパッ
タ膜を形成する（図１７（ｄ））。次に、このＮｉ膜付
レジスト原盤を電鋳法により積層し、約０．３ｍｍ程度
の厚さにする（図１７（ｅ））。次に、このＮｉ電鋳板
を研磨し、成形時に必要な内、外径加工を行い、フォト
レジストを除去する等の洗浄を行うことにより、Ｎｉス
タンパが完成する（図１７（ｆ））。このＮｉスタンパ
から射出成形法により転写されたＰＣ基板はスタンパと
は凹凸形状が反転しており、また、フォトレジスト面に
形成された凹凸形状とはほぼ同一の形状を有する（図１
７（ｇ））。
【００２２】Ａｒ+レーザ集光ビームを用いて図７
（ａ）のグルーブ、ランドそしてプリピット列をフォト
レジストに形成するためのフォトレジスト原盤用露光機
（以降、原盤露光機と記す）について、図１８に原盤露
光機光学系のブロック図を、図１９にＡｒ+レーザ集光
ビームを制御するためのタイミングチャートを示す。図
１８の原盤露光機光学系の特徴は、(1)グルーブとプリ
ピット列を形成するために１本のＡｒ+レーザ集光ビー
ムを用いること、(2)グルーブを形成する際には連続的
に前記ビームを照射し、プリピット列を形成する際には
プリピット列のパタンに合わせて前記ビームを照射／遮
断するための信号変調器２３を有すること、(3)溝幅の
異なるグルーブとプリピットを形成するために各溝によ
って前記ビームの光強度を変えるための光量変調器２５
を有すること、及び(4)中心線上の異なるグルーブとプ
リピット列を形成するために前記ビームを偏向するため
の光偏向器２７を有することである。
（ａ）のグルーブ、ランドそしてプリピット列をフォト
レジストに形成するためのフォトレジスト原盤用露光機
（以降、原盤露光機と記す）について、図１８に原盤露
光機光学系のブロック図を、図１９にＡｒ+レーザ集光
ビームを制御するためのタイミングチャートを示す。図
１８の原盤露光機光学系の特徴は、(1)グルーブとプリ
ピット列を形成するために１本のＡｒ+レーザ集光ビー
ムを用いること、(2)グルーブを形成する際には連続的
に前記ビームを照射し、プリピット列を形成する際には
プリピット列のパタンに合わせて前記ビームを照射／遮
断するための信号変調器２３を有すること、(3)溝幅の
異なるグルーブとプリピットを形成するために各溝によ
って前記ビームの光強度を変えるための光量変調器２５
を有すること、及び(4)中心線上の異なるグルーブとプ
リピット列を形成するために前記ビームを偏向するため
の光偏向器２７を有することである。
【００２３】図１９のＡｒ+レーザ集光ビームを制御す
るためのタイミングチャートで示したように、信号変調
器（以降Ｄ Ａ／Ｏと記す）２３に与える信号は、図中
に示したグルーブ及びプリピット列に合わせてＯＮ、Ｏ
ＦＦが切換わる。光量変調器（以降Ａ Ａ／Ｏと記す）
２５に与える信号は、グルーブを露光するときには入力
電圧がＶ1にセットされ、プリピットを露光するときに
は入力電圧がＶ2にセットされる。電圧Ｖ1は電圧Ｖ2よ
りも大きくセットされているため、結果的にグルーブを
露光するときのレーザ集光ビームの光強度Ｐｇは、プリ
ピットを露光するときのレーザ集光ビームの光強度Ｐｐ
に比べ大きくなる（Ｖ1＞Ｖ2⇒Ｐｇ＞Ｐｐ）。光偏向器
（以降Ｗ Ａ／Ｏと記す）２７に与える信号は、グルー
ブを露光するときには２．５（Ｖ）にセットされ、プリ
ピットを露光するときには入力電圧がＷ1にセットされ
る。このＷ Ａ／Ｏ２７へ入力される電圧値に対応し
て、Ａｒ+レーザ集光ビームはフォトレジスト面上で偏
向される。前記入力電圧Ｗ1と２．５（Ｖ）の差は、フ
ォトレジスト面上でのＡｒ+レーザ集光ビームの位置と
して、Ｐ／４にセットされている（Ｗ−２．５（Ｖ）→
Ｐ／４のビーム位置差）。
るためのタイミングチャートで示したように、信号変調
器（以降Ｄ Ａ／Ｏと記す）２３に与える信号は、図中
に示したグルーブ及びプリピット列に合わせてＯＮ、Ｏ
ＦＦが切換わる。光量変調器（以降Ａ Ａ／Ｏと記す）
２５に与える信号は、グルーブを露光するときには入力
電圧がＶ1にセットされ、プリピットを露光するときに
は入力電圧がＶ2にセットされる。電圧Ｖ1は電圧Ｖ2よ
りも大きくセットされているため、結果的にグルーブを
露光するときのレーザ集光ビームの光強度Ｐｇは、プリ
ピットを露光するときのレーザ集光ビームの光強度Ｐｐ
に比べ大きくなる（Ｖ1＞Ｖ2⇒Ｐｇ＞Ｐｐ）。光偏向器
（以降Ｗ Ａ／Ｏと記す）２７に与える信号は、グルー
ブを露光するときには２．５（Ｖ）にセットされ、プリ
ピットを露光するときには入力電圧がＷ1にセットされ
る。このＷ Ａ／Ｏ２７へ入力される電圧値に対応し
て、Ａｒ+レーザ集光ビームはフォトレジスト面上で偏
向される。前記入力電圧Ｗ1と２．５（Ｖ）の差は、フ
ォトレジスト面上でのＡｒ+レーザ集光ビームの位置と
して、Ｐ／４にセットされている（Ｗ−２．５（Ｖ）→
Ｐ／４のビーム位置差）。
【００２４】また、２本のＡｒ+レーザ集光ビームを用
いて図９（ａ）のグルーブ、ランドそしてプリピット列
をフォトレジスト原盤上に形成することも可能である。
図２０は、この２本のＡｒ+レーザ集光ビームを用いた
場合の原盤露光機の光学系ブロック図であり、図２１は
Ａｒ+レーザ集光ビームを制御するためのタイミングチ
ャート図を示したものである。これらの図中図１８、図
１９と同様な要素には同じ符号を付してある。この光学
系の特徴は、グルーブを露光するためのビーム１とプリ
ピットを露光するためのビーム２を２分割するためのハ
ーフミラー３５を有し、ビーム１の光学系においては、
グルーブを断続的に形成するためのＤＡ／Ｏ２３と、光
強度を調整するためのＡ Ａ／Ｏ２５と、フォトレジス
ト面におけるビーム１とビーム２の間隔をＰ／４にセッ
トするためのＷ Ａ／Ｏを有し、ビーム２の光学系にお
いては、プリピット列のパタンに合わせてＡｒ+レーザ
集光ビームに信号変調をかけるためのＤ Ａ／Ｏ３７
と、光強度を調整するためのＡ Ａ／Ｏ３８を有してい
る点である。
いて図９（ａ）のグルーブ、ランドそしてプリピット列
をフォトレジスト原盤上に形成することも可能である。
図２０は、この２本のＡｒ+レーザ集光ビームを用いた
場合の原盤露光機の光学系ブロック図であり、図２１は
Ａｒ+レーザ集光ビームを制御するためのタイミングチ
ャート図を示したものである。これらの図中図１８、図
１９と同様な要素には同じ符号を付してある。この光学
系の特徴は、グルーブを露光するためのビーム１とプリ
ピットを露光するためのビーム２を２分割するためのハ
ーフミラー３５を有し、ビーム１の光学系においては、
グルーブを断続的に形成するためのＤＡ／Ｏ２３と、光
強度を調整するためのＡ Ａ／Ｏ２５と、フォトレジス
ト面におけるビーム１とビーム２の間隔をＰ／４にセッ
トするためのＷ Ａ／Ｏを有し、ビーム２の光学系にお
いては、プリピット列のパタンに合わせてＡｒ+レーザ
集光ビームに信号変調をかけるためのＤ Ａ／Ｏ３７
と、光強度を調整するためのＡ Ａ／Ｏ３８を有してい
る点である。
【００２５】図２１のタイミングチャートでは、ビーム
１とビーム２それぞれにおいて、グルーブあるいはプリ
ピットに合わせて各Ｄ Ａ／Ｏに与えられる信号のＯ
Ｎ、ＯＦＦを切換え、またグルーブあるいはプリピット
を露光する際に必要な光強度に合わせて、各Ａ Ａ／Ｏ
に与える電圧をセットする。
１とビーム２それぞれにおいて、グルーブあるいはプリ
ピットに合わせて各Ｄ Ａ／Ｏに与えられる信号のＯ
Ｎ、ＯＦＦを切換え、またグルーブあるいはプリピット
を露光する際に必要な光強度に合わせて、各Ａ Ａ／Ｏ
に与える電圧をセットする。
【００２６】図２２は、図７（ｂ）におけるグルーブ、
ランド、そしてＰＦＭ及びヘッダ領域のプリピット列を
フォトレジスト原盤に形成するためのタイミングチャー
トである。この場合も図２０で示した原盤露光機光学系
を用いる。図７（ａ）の場合と異なる点は、ＰＦＭのプ
リピット列がグルーブとランドの各中心線上に位置して
いる点である。ビーム１及びビーム２はグルーブもしく
はプリピットのパタンに合わせてＤ Ａ／Ｏ２３、３７
で信号変調がかけられる。また、ビーム１では溝幅の異
なるグルーブとプリピットを形成する必要があるためグ
ルーブ領域とプリピット列で構成されるプリフォーマッ
ト領域でビーム１の光強度を切り換えるためにＡ Ａ／
Ｏ２５に電圧Ｖ1とＶ2が切り換えて入力される。ビーム
２の光強度はビーム１で形成されるプリピット形状と同
じにするためにＡ Ａ／Ｏ３８に電圧Ｖ3がセットされ
る。また、ビーム１とビーム２のフォトレジスト面上で
の間隔はグルーブ及びＰＦＭ部分ではＰ／２にセットさ
れ、プリピット列をグルーブの中心に対してＰ／４ずら
すために、グルーブではＷ Ａ／Ｏ２７に２．５（Ｖ）
がセットされ、プリピット列では電圧Ｗ1（Ｖ）がセッ
トされる。
ランド、そしてＰＦＭ及びヘッダ領域のプリピット列を
フォトレジスト原盤に形成するためのタイミングチャー
トである。この場合も図２０で示した原盤露光機光学系
を用いる。図７（ａ）の場合と異なる点は、ＰＦＭのプ
リピット列がグルーブとランドの各中心線上に位置して
いる点である。ビーム１及びビーム２はグルーブもしく
はプリピットのパタンに合わせてＤ Ａ／Ｏ２３、３７
で信号変調がかけられる。また、ビーム１では溝幅の異
なるグルーブとプリピットを形成する必要があるためグ
ルーブ領域とプリピット列で構成されるプリフォーマッ
ト領域でビーム１の光強度を切り換えるためにＡ Ａ／
Ｏ２５に電圧Ｖ1とＶ2が切り換えて入力される。ビーム
２の光強度はビーム１で形成されるプリピット形状と同
じにするためにＡ Ａ／Ｏ３８に電圧Ｖ3がセットされ
る。また、ビーム１とビーム２のフォトレジスト面上で
の間隔はグルーブ及びＰＦＭ部分ではＰ／２にセットさ
れ、プリピット列をグルーブの中心に対してＰ／４ずら
すために、グルーブではＷ Ａ／Ｏ２７に２．５（Ｖ）
がセットされ、プリピット列では電圧Ｗ1（Ｖ）がセッ
トされる。
【００２７】
【実施例】次に、本発明による光学的情報記録媒体の作
製例について述べる。本実施例では、プリフォーマット
情報として、９０ｍｍ及び１３０ｍｍの光磁気ディスク
のＩＳＯ規格フォーマット（９０ｍｍ：ＩＳＯ／ＩＥＣ
１００９０、１３０ｍｍ：ＩＳＯ／ＩＥＣ ＤＩＳ１０
０８９）に準拠したものを用い、以下のようにして光磁
気ディスクを作製した。
製例について述べる。本実施例では、プリフォーマット
情報として、９０ｍｍ及び１３０ｍｍの光磁気ディスク
のＩＳＯ規格フォーマット（９０ｍｍ：ＩＳＯ／ＩＥＣ
１００９０、１３０ｍｍ：ＩＳＯ／ＩＥＣ ＤＩＳ１０
０８９）に準拠したものを用い、以下のようにして光磁
気ディスクを作製した。
【００２８】先ず、下記の条件で図１７の方法によりフ
ォトレジスト原盤を作製した。 〈フォトレジスト原盤の作製条件〉 ガラス基板 板厚６ｍｍ、φ２５０ｍｍ フォトレジスト ＯＦＰＲ８００（東京応化製）粘度２
ｃｐをシンナーにて６０％に希釈 膜形成 スピンコート法 第１回転 １５０ｒｐｍ、２０ｓｅｃ 第２回転 ４００〜４５０ｒｐｍ、９０ｓｅｃ プリベーク ９０℃、３０ｍｉｎ 原盤露光 テーブル回転数 ３００ｒｐｍ ｒ＝３０ｍｍにおける露光光量 グルーブ ４．０ｍＷ プリピット２．０ｍＷ 現像液 ＤＥ−３（東京応化製）３３％希釈 スピン現像法 現像 ５００ｒｐｍ、６０ｓｅｃ 純水リンス ５００ｒｐｍ、１８０ｓｅｃ 乾燥 １０００ｒｐｍ、３０ｓｅｃ ポストベーク １３０、３０ｍｉｎ
ォトレジスト原盤を作製した。 〈フォトレジスト原盤の作製条件〉 ガラス基板 板厚６ｍｍ、φ２５０ｍｍ フォトレジスト ＯＦＰＲ８００（東京応化製）粘度２
ｃｐをシンナーにて６０％に希釈 膜形成 スピンコート法 第１回転 １５０ｒｐｍ、２０ｓｅｃ 第２回転 ４００〜４５０ｒｐｍ、９０ｓｅｃ プリベーク ９０℃、３０ｍｉｎ 原盤露光 テーブル回転数 ３００ｒｐｍ ｒ＝３０ｍｍにおける露光光量 グルーブ ４．０ｍＷ プリピット２．０ｍＷ 現像液 ＤＥ−３（東京応化製）３３％希釈 スピン現像法 現像 ５００ｒｐｍ、６０ｓｅｃ 純水リンス ５００ｒｐｍ、１８０ｓｅｃ 乾燥 １０００ｒｐｍ、３０ｓｅｃ ポストベーク １３０、３０ｍｉｎ
【００２９】原盤露光機の光学系構成は図１８の１ビー
ム露光光学系を使用した。トラックピッチはＰ＝１．６
μｍとし、グルーブとプリピット列の中心線との間隔は
Ｐ／４＝０．４μｍとした。Ａｒ+レーザ波長は４５
７．９ｎｍ、対物レンズのＮＡは０．９であり、Ｄ Ａ
／Ｏ、Ａ Ａ／Ｏ、Ｗ Ａ／Ｏへ入力する信号は、ＩＳＯ
規格フォーマットに準じてエンコードされているものを
使用した。また前記条件で作製されたグルーブ及びプリ
ピットの溝形状は下記の通りであった。 グルーブ Ｄｇ＝９００〜１０００（Å）、Ｗｇ＝
０．７〜０．８（μｍ） プリピット Ｄｐ＝９００〜１０００（Å）、Ｗｐ＝
０．３〜０．４（μｍ） グルーブとプリピットの溝深さは等しく、この深さはフ
ォトレジスト原盤に塗布されたフォトレジスト膜厚と同
じとした。図１７（ａ）及び図１７（ｂ）で示したよう
に、グルーブ及びプリピットの溝断面形状は台形とし
た。Ａｒ+レーザ集光ビームの光強度分布はガウス分布
を持つため、フォトレジスト膜厚よりも小さい溝深さを
もつ溝を形成した場合、Ｖ字形もしくはＵ字形にしかな
らない。グルーブあるいはプリピットの溝断面形状がＶ
字あるいはＵ字の場合、光学的情報記録媒体での良好な
記録・再生信号が得られないため、グルーブ及びプリピ
ットの溝断面形状が台形である必要がある。このため本
実施例では該溝断面形状を台形とした。
ム露光光学系を使用した。トラックピッチはＰ＝１．６
μｍとし、グルーブとプリピット列の中心線との間隔は
Ｐ／４＝０．４μｍとした。Ａｒ+レーザ波長は４５
７．９ｎｍ、対物レンズのＮＡは０．９であり、Ｄ Ａ
／Ｏ、Ａ Ａ／Ｏ、Ｗ Ａ／Ｏへ入力する信号は、ＩＳＯ
規格フォーマットに準じてエンコードされているものを
使用した。また前記条件で作製されたグルーブ及びプリ
ピットの溝形状は下記の通りであった。 グルーブ Ｄｇ＝９００〜１０００（Å）、Ｗｇ＝
０．７〜０．８（μｍ） プリピット Ｄｐ＝９００〜１０００（Å）、Ｗｐ＝
０．３〜０．４（μｍ） グルーブとプリピットの溝深さは等しく、この深さはフ
ォトレジスト原盤に塗布されたフォトレジスト膜厚と同
じとした。図１７（ａ）及び図１７（ｂ）で示したよう
に、グルーブ及びプリピットの溝断面形状は台形とし
た。Ａｒ+レーザ集光ビームの光強度分布はガウス分布
を持つため、フォトレジスト膜厚よりも小さい溝深さを
もつ溝を形成した場合、Ｖ字形もしくはＵ字形にしかな
らない。グルーブあるいはプリピットの溝断面形状がＶ
字あるいはＵ字の場合、光学的情報記録媒体での良好な
記録・再生信号が得られないため、グルーブ及びプリピ
ットの溝断面形状が台形である必要がある。このため本
実施例では該溝断面形状を台形とした。
【００３０】上記で作製したフォトレジスト原盤を用
い、下記の条件で図１７の方法によりスタンパを作製し
た。 〈スタンパ作製条件〉 スパッタ膜 Ｎｉ ＤＣスパッタ膜厚約５００（Å） 電鋳 電鋳液 スルファミン酸Ｎｉ 電鋳後 板厚約０．３ｍｍ 研磨 研磨後 表面粗さＲｍａｘ０．３μｍ以下
い、下記の条件で図１７の方法によりスタンパを作製し
た。 〈スタンパ作製条件〉 スパッタ膜 Ｎｉ ＤＣスパッタ膜厚約５００（Å） 電鋳 電鋳液 スルファミン酸Ｎｉ 電鋳後 板厚約０．３ｍｍ 研磨 研磨後 表面粗さＲｍａｘ０．３μｍ以下
【００３１】上記で作製したスタンパを用い、射出成形
法によりＰＣ基板を作製し、その基板上に、誘電体層と
してＺｎＳｉＯ2、記録膜としてＴｂＦｅＣｏ、誘電体
層としてＺｎＳｉＯ2、反射膜としてＡｌ、さらに保護
層としてＵＶ硬化樹脂膜を積層して、光磁気ディスクを
作製した。なお、ここでは光磁気ディスクの作製例を述
べたが、これに限定されず、シアニン色素、フタロシア
ニン色素、ナフタロシアニン色素を用いた追記型の光学
的記録媒体や、ＧｅＳｂＴｅなどを用いた相変化型の光
学的記録媒体等にも本発明は適用可能である。
法によりＰＣ基板を作製し、その基板上に、誘電体層と
してＺｎＳｉＯ2、記録膜としてＴｂＦｅＣｏ、誘電体
層としてＺｎＳｉＯ2、反射膜としてＡｌ、さらに保護
層としてＵＶ硬化樹脂膜を積層して、光磁気ディスクを
作製した。なお、ここでは光磁気ディスクの作製例を述
べたが、これに限定されず、シアニン色素、フタロシア
ニン色素、ナフタロシアニン色素を用いた追記型の光学
的記録媒体や、ＧｅＳｂＴｅなどを用いた相変化型の光
学的記録媒体等にも本発明は適用可能である。
【００３２】次に、上記で作製した光磁気ディスクに情
報を記録し、記録情報を再生した結果について説明す
る。記録は常法により行い、再生は下記の条件で行っ
た。 〈再生条件〉 ピックアップ（ＰＵ） 半導体レーザ波長７８０ｎｍ 再生レーザパワー 約１．０ｍＷ ディスク回転数 １８００ｒｐｍ 本実施例では、グルーブ及びランドで構成されるデータ
領域ではトラッキングサーボをかけ、プリピットで構成
されるプリピット領域ではトラッキングサーボをかけな
いで再生した。また、プリフォーマット領域では、レー
ザ集光ビームをプリピット列の中心へずらすことなく再
生した。グルーブ上を再生するとき、データ領域とプリ
フォーマット情報を含むヘッダ領域（プリピット列で構
成されている）でレーザ集光ビームが走査した軌跡は図
２３に示した通りである。プリプォーマット領域を位置
検出するためのＰＦＭとしては、ミラー面で構成される
ＯＤＦ（Offset Dectection Flag）を使用した（図２５
参照）。このＯＤＦの検出信号から、図１４と同じ手段
でトラッキングサーボのＯＮ／ＯＦＦ切換え信号Ｃを得
た（図２４参照）。この信号Ｃにより、図２７で示すト
ラッキングサーボブロック図で構成されるトラッキング
サーボ回路を用いて、データ領域とプリフォーマット領
域のトラッキングサーボ切換えを行った。またランド上
の再生を図２４のようにして行った。この場合は、図２
７のＬ／Ｇトラッキング極性を切り換えるだけとした。
報を記録し、記録情報を再生した結果について説明す
る。記録は常法により行い、再生は下記の条件で行っ
た。 〈再生条件〉 ピックアップ（ＰＵ） 半導体レーザ波長７８０ｎｍ 再生レーザパワー 約１．０ｍＷ ディスク回転数 １８００ｒｐｍ 本実施例では、グルーブ及びランドで構成されるデータ
領域ではトラッキングサーボをかけ、プリピットで構成
されるプリピット領域ではトラッキングサーボをかけな
いで再生した。また、プリフォーマット領域では、レー
ザ集光ビームをプリピット列の中心へずらすことなく再
生した。グルーブ上を再生するとき、データ領域とプリ
フォーマット情報を含むヘッダ領域（プリピット列で構
成されている）でレーザ集光ビームが走査した軌跡は図
２３に示した通りである。プリプォーマット領域を位置
検出するためのＰＦＭとしては、ミラー面で構成される
ＯＤＦ（Offset Dectection Flag）を使用した（図２５
参照）。このＯＤＦの検出信号から、図１４と同じ手段
でトラッキングサーボのＯＮ／ＯＦＦ切換え信号Ｃを得
た（図２４参照）。この信号Ｃにより、図２７で示すト
ラッキングサーボブロック図で構成されるトラッキング
サーボ回路を用いて、データ領域とプリフォーマット領
域のトラッキングサーボ切換えを行った。またランド上
の再生を図２４のようにして行った。この場合は、図２
７のＬ／Ｇトラッキング極性を切り換えるだけとした。
【００３３】上記で測定したヘッダ部の各信号測定結果
を下記に示す。 ・グルーブ上再生時（図２３の場合） グルーブレベル Ｉｇ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．６〜０．
７ セクターマーク Ｉｓｍ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５〜
０．６ ＶＦＯ Ｉｖｆｏ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．３〜
０．４ ・ランド上再生時（図２４の場合） ランドレベル Ｉｌ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５５〜
０．６５ セクターマーク Ｉｓｍ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５〜
０．６ ＶＦＯ Ｉｖｆｏ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．３〜
０．４ また、プリピット列の中心をレーザ集光ビームを走査さ
せて測定したセクターマークとＶＦＯの信号振幅の大き
さは、Ｉｓｍ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５５〜０．６５、
Ｉｖｆｏ＝０．３４〜０．４３であり、本実施例では約
１割程度しか、信号振幅が低下しないことを確認でき
た。
を下記に示す。 ・グルーブ上再生時（図２３の場合） グルーブレベル Ｉｇ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．６〜０．
７ セクターマーク Ｉｓｍ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５〜
０．６ ＶＦＯ Ｉｖｆｏ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．３〜
０．４ ・ランド上再生時（図２４の場合） ランドレベル Ｉｌ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５５〜
０．６５ セクターマーク Ｉｓｍ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５〜
０．６ ＶＦＯ Ｉｖｆｏ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．３〜
０．４ また、プリピット列の中心をレーザ集光ビームを走査さ
せて測定したセクターマークとＶＦＯの信号振幅の大き
さは、Ｉｓｍ／（Ｉ1＋Ｉ2）ａ＝０．５５〜０．６５、
Ｉｖｆｏ＝０．３４〜０．４３であり、本実施例では約
１割程度しか、信号振幅が低下しないことを確認でき
た。
【００３４】本実施例の光学的情報記録媒体を用い、上
記のように記録・再生を行えば、グルーブとランド両方
に記録できる利点から従来に比べ２倍の記録容量を持つ
ことが可能となり、グルーブ及びプリピット列のトラッ
クピッチを再生ビーム径に対して十分に広くとれること
から、クロストーク信号によるプリフォーマット信号の
劣化がなく、正確にプリフォーマット情報を再生するこ
とができる。
記のように記録・再生を行えば、グルーブとランド両方
に記録できる利点から従来に比べ２倍の記録容量を持つ
ことが可能となり、グルーブ及びプリピット列のトラッ
クピッチを再生ビーム径に対して十分に広くとれること
から、クロストーク信号によるプリフォーマット信号の
劣化がなく、正確にプリフォーマット情報を再生するこ
とができる。
【００３５】
【発明の効果】本発明によれば、前記構成としたので以
下のような顕著なる効果が得られる。 (1)グルーブとランドの１組のデータトラックにおい
て、１つのプリピット列を共有しているので、情報記録
密度が向上できる上、データ領域に記録される記録ピッ
ト密度よりもプリフォーマット領域に存在するプリピッ
トの密度を小さくすることができるため、プリフォーマ
ット情報の再生信頼性が高い。 (2)グルーブとプリピットの光学的位相深さを同じにし
ているので、ＰＣ基板を作製するためのスタンパを原盤
露光する際、台形形状を有するグルーブ及びプリピット
を同時に露光することができ、凹凸形状が正確に転写さ
れた基板を有する媒体を得ることが可能となる。 (3)プリピットの溝幅を調整することだけで、光学的に
再生可能なプリピット信号振幅を得ることができるの
で、原盤露光を含むスタンパ作製が簡単である。 (4)グルーブの溝幅を調整することだけで光学的に信号
差の少ないグルーブとランドを得ることができるので、
原盤露光を含むスタンパ作製が簡単である。 (5)レーザ集光ビームが、再生すべきトラックの中心に
位置しなくても信号振幅変動が少ないプリフォーマット
構成になっているので、トラッキングサーボの有無にか
かわらず、プリフォーマット領域の位置を示す信号を検
出させることができる。 (6)グルーブ及びランドで構成されるデータ領域とプリ
ピット列で構成されるプリフォーマット領域でトラッキ
ングサーボ状態を切り換えるので、プリピット列の中心
線がグルーブの中心線に対してＰ／４だけずれているこ
とで発生するトラックサーボはずれや、隣接トラックへ
のトラック飛びを防止したトラッキングサーボを実現す
ることができる。 (7)プリフォーマットマークを有する光学的情報記録媒
体を使用することによりプリフォーマット領域の位置を
示す信号出力を得られるので、この信号出力から正確に
プリフォーマット領域でトラッキングサーボ状態を切り
換えるためのトラッキングサーボ切換信号を生成するこ
とができる。 (8)グルーブ及びプリピット形状を１つのレーザ集光ビ
ームで原盤露光する手法の採用により、原盤露光装置の
光学系を簡略化することが可能となる。 (9)グルーブを露光する１本のレーザビームとプリピッ
トを露光する１本のレーザビームを用いる手法の採用に
より、原盤露光装置のグルーブ及びプリピットを露光す
るためのレーザビーム制御（照射・遮光、光量調整）を
実行する信号生成回路を簡略化できる。 (10)グルーブ及びプリピット列を露光する１本のレーザ
ビームと、ランドの中心線上に存在するプリピット列を
露光する１本のレーザビームを用いる手法の採用によ
り、原盤露光装置のレーザビーム制御を行う信号生成回
路を簡略化できる。
下のような顕著なる効果が得られる。 (1)グルーブとランドの１組のデータトラックにおい
て、１つのプリピット列を共有しているので、情報記録
密度が向上できる上、データ領域に記録される記録ピッ
ト密度よりもプリフォーマット領域に存在するプリピッ
トの密度を小さくすることができるため、プリフォーマ
ット情報の再生信頼性が高い。 (2)グルーブとプリピットの光学的位相深さを同じにし
ているので、ＰＣ基板を作製するためのスタンパを原盤
露光する際、台形形状を有するグルーブ及びプリピット
を同時に露光することができ、凹凸形状が正確に転写さ
れた基板を有する媒体を得ることが可能となる。 (3)プリピットの溝幅を調整することだけで、光学的に
再生可能なプリピット信号振幅を得ることができるの
で、原盤露光を含むスタンパ作製が簡単である。 (4)グルーブの溝幅を調整することだけで光学的に信号
差の少ないグルーブとランドを得ることができるので、
原盤露光を含むスタンパ作製が簡単である。 (5)レーザ集光ビームが、再生すべきトラックの中心に
位置しなくても信号振幅変動が少ないプリフォーマット
構成になっているので、トラッキングサーボの有無にか
かわらず、プリフォーマット領域の位置を示す信号を検
出させることができる。 (6)グルーブ及びランドで構成されるデータ領域とプリ
ピット列で構成されるプリフォーマット領域でトラッキ
ングサーボ状態を切り換えるので、プリピット列の中心
線がグルーブの中心線に対してＰ／４だけずれているこ
とで発生するトラックサーボはずれや、隣接トラックへ
のトラック飛びを防止したトラッキングサーボを実現す
ることができる。 (7)プリフォーマットマークを有する光学的情報記録媒
体を使用することによりプリフォーマット領域の位置を
示す信号出力を得られるので、この信号出力から正確に
プリフォーマット領域でトラッキングサーボ状態を切り
換えるためのトラッキングサーボ切換信号を生成するこ
とができる。 (8)グルーブ及びプリピット形状を１つのレーザ集光ビ
ームで原盤露光する手法の採用により、原盤露光装置の
光学系を簡略化することが可能となる。 (9)グルーブを露光する１本のレーザビームとプリピッ
トを露光する１本のレーザビームを用いる手法の採用に
より、原盤露光装置のグルーブ及びプリピットを露光す
るためのレーザビーム制御（照射・遮光、光量調整）を
実行する信号生成回路を簡略化できる。 (10)グルーブ及びプリピット列を露光する１本のレーザ
ビームと、ランドの中心線上に存在するプリピット列を
露光する１本のレーザビームを用いる手法の採用によ
り、原盤露光装置のレーザビーム制御を行う信号生成回
路を簡略化できる。
【図１】本出願人が先に提案した光学的情報記録媒体の
構成を示す一部斜視断面図である。
構成を示す一部斜視断面図である。
【図２】本発明による光学的情報記録媒体の構成を示す
一部斜視断面図である。
一部斜視断面図である。
【図３】図２の媒体の平面図である。
【図４】グルーブ形状とグルーブレベルとの関係、グル
ーブ形状とランドレベルとの関係、グルーブ形状とトラ
ッキングに利用するプッシュプル信号との関係、プリピ
ット形状とプリピット振幅との関係を示した図である。
ーブ形状とランドレベルとの関係、グルーブ形状とトラ
ッキングに利用するプッシュプル信号との関係、プリピ
ット形状とプリピット振幅との関係を示した図である。
【図５】プリピット及びグルーブの形状を示すパラメー
タの定義を示す図である。
タの定義を示す図である。
【図６】記録・再生時のレーザ集光ビームの走査軌跡を
示す図である。
示す図である。
【図７】プリフォーマット構成の説明図である。
【図８】グルーブ及びランドで構成されるプリフォーマ
ット領域及び該領域におけるプッシュプル信号の波形の
説明図である。
ット領域及び該領域におけるプッシュプル信号の波形の
説明図である。
【図９】プリピット列で構成されるプリフォーマット領
域及び該領域におけるプッシュプル信号の波形の説明図
である。
域及び該領域におけるプッシュプル信号の波形の説明図
である。
【図１０】トラッキング切換えに使用する信号のタイミ
ングチャートである。
ングチャートである。
【図１１】トラッキング切換えに使用する各信号を生成
する回路ブロック図である。
する回路ブロック図である。
【図１２】本発明において使用するトラッキングサーボ
回路を示すブロック図である。
回路を示すブロック図である。
【図１３】プリフォーマットウインドウ信号Ｃを使って
トラッキングサーボのＯＮ／ＯＦＦ切換えを行う場合の
タイミングチャートである。
トラッキングサーボのＯＮ／ＯＦＦ切換えを行う場合の
タイミングチャートである。
【図１４】タイミング良くトラックオフセット信号Ｅ’
を生成させるための回路ブロック図である。
を生成させるための回路ブロック図である。
【図１５】図１２の回路に対し、トラッキングサーボ信
号として図１３のプリフォーマットウインドウ信号Ｃを
用い、トラックオフセット信号として図１３の信号Ｅ’
を用いた場合の回路ブロック図である。
号として図１３のプリフォーマットウインドウ信号Ｃを
用い、トラックオフセット信号として図１３の信号Ｅ’
を用いた場合の回路ブロック図である。
【図１６】プリフォーマット情報の再生の説明図であ
る。
る。
【図１７】ＰＣ基板を射出成形で作製する方法の説明図
である。
である。
【図１８】原盤露光機光学系のブロック図である。
【図１９】Ａｒ+レーザ集光ビームを制御するためのタ
イミングチャートである。
イミングチャートである。
【図２０】２本のＡｒ+レーザ集光ビームを用いた原盤
露光機光学系のブロック図である。
露光機光学系のブロック図である。
【図２１】図２０の原盤露光機を使用した場合の動作タ
イミングチャートである。
イミングチャートである。
【図２２】図２０の原盤露光機を使用した場合の別の動
作タイミングチャートである。
作タイミングチャートである。
【図２３】実施例においてヘッダ領域でレーザ集光ビー
ムが走査した軌跡の説明図である。
ムが走査した軌跡の説明図である。
【図２４】実施例においてランド上をレーザ集光ビーム
が走査した軌跡の説明図である。
が走査した軌跡の説明図である。
【図２５】実施例におけるトラッキングサーボのＯＮ／
ＯＦＦ切換えの説明図である。
ＯＦＦ切換えの説明図である。
【図２６】トラッキングサーボのＯＮ／ＯＦＦ切換え信
号Ｃを得るための回路ブロック図である。
号Ｃを得るための回路ブロック図である。
【図２７】トラッキングサーボ回路のブロック図であ
る。
る。
１ ディスク基板 ２ ランド ３ グルーブ ４ プリピット ５ 記録ピット ６ レーザ集光ビ
ーム ７ 光吸収反射記録層 Ｐ グルーブ間隔
（トラックピッチ） ２３、３７ 信号変調器（Ｄ Ａ／Ｏ） ２５、３８ 光量変調器（Ａ Ａ／Ｏ） ２７ 光偏向器（Ｗ Ａ／Ｏ） ３５ ハーフミラ
ー
ーム ７ 光吸収反射記録層 Ｐ グルーブ間隔
（トラックピッチ） ２３、３７ 信号変調器（Ｄ Ａ／Ｏ） ２５、３８ 光量変調器（Ａ Ａ／Ｏ） ２７ 光偏向器（Ｗ Ａ／Ｏ） ３５ ハーフミラ
ー
Claims (13)
- 【請求項１】 トラッキング用のグルーブとプリピット
列を有する光学的情報記録媒体であって、グルーブの間
隔をＰとしたとき、プリピット列はその中心線がグルー
ブの中心線よりほぼＰ／４だけ左右いずれか一方の側に
ずれるように形成され、かつプリピット列で構成される
プリフォーマット領域にはグルーブが形成されていない
ことを特徴とする光学的情報記録媒体。 - 【請求項２】 プリピットの位相深さＤｐとグルーブの
位相深さＤｇがほぼ等しく、かつ両位相深さＤｐ及びＤ
ｇが、０．１×（２ｎ＋１）λ〜０．２×（２ｎ＋１）
λ［ただし、ｎ＝０，１，２，・・・、λは記録・再生
用のレーザ集光ビームの波長である］の範囲にあること
を特徴とする請求項１に記載の光学的情報記録媒体。 - 【請求項３】 プリピットの深さに対する半値溝幅Ｗｐ
と記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径ＢＤとの
関係が、０．１９≦Ｗｐ／ＢＤ≦０．４４［ただし、Ｂ
Ｄは１／ｅ2値である］であることを特徴とする請求項
１又は２に記載の光学的情報記録媒体。 - 【請求項４】 グルーブの深さに対する半値溝幅Ｗｇと
記録・再生用のレーザ集光ビームのビーム径ＢＤとの関
係が、０．３８≦Ｗｇ／ＢＤ≦０．５６であることを特
徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学的情
報記録媒体。 - 【請求項５】 プリピット列で構成されるプリフォーマ
ット領域内に、グルーブ及びプリピットが存在しないミ
ラーマーク部分からなるプリフォーマットマークを有す
ることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載
の光学的情報記録媒体。 - 【請求項６】 プリピット列で構成されるプリフォーマ
ット領域内に、グルーブの中心線とランドの中心線上に
それぞれプリピット列からなる同一パタンのプリフォー
マットマークを有することを特徴とする請求項１〜４の
いずれか一項に記載の光学的情報記録媒体。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかの光学的情報記
録媒体を用い、グルーブあるいはランドで構成されるデ
ータ領域を再生するときには、レーザ集光ビームをグル
ーブあるいはランドの中心線上にトラッキングサーボを
かけながら走査させ、プリピット列で構成されるプリフ
ォーマット領域を再生するときには、データ領域からプ
リフォーマット領域へ切り換わる付近でトラッキングサ
ーボをはずし、レーザ集光ビームをプリピット列の中心
へずらした後、再びトラッキングサーボをかけながら走
査させ、次にプリフォーマット領域からデータ領域へ切
り換わる付近でトラッキングサーボをはずし、レーザ集
光ビームをグルーブあるいはランドの中心へずらした
後、トラッキングサーボをかけながら走査させることを
特徴とする記録・再生方法。 - 【請求項８】 請求項１〜６のいずれかの光学的情報記
録媒体を用い、グルーブあるいはランドで構成されるデ
ータ領域を再生するときには、レーザ集光ビームをグル
ーブあるいはランドの中心線上にトラッキングサーボを
かけながら走査させ、プリピット列で構成されるプリフ
ォーマット領域を再生するときには、データ領域からプ
リフォーマット領域へ切り換わる付近でトラッキングサ
ーボをはずし、レーザ集光ビームをプリピット列の中心
へずらした後、トラッキングサーボをかけずに走査さ
せ、次にプリフォーマット領域からデータ領域へ切り換
わる付近でレーザ集光ビームをグルーブあるいはランド
の中心へずらした後、トラッキングサーボをかけながら
走査させることを特徴とする記録・再生方法。 - 【請求項９】 請求項１〜６のいずれかの光学的情報記
録媒体を用い、グルーブあるいはランドで構成されるデ
ータ領域を再生するときには、レーザ集光ビームをグル
ーブあるいはランドの中心線上にトラッキングサーボを
かけながら走査させ、プリピット列で構成されるプリフ
ォーマット領域を再生するときには、データ領域からプ
リフォーマット領域へ切り換わる付近でトラッキングサ
ーボをはずし、レーザ集光ビームをグルーブあるいはラ
ンドの中心線上に固定した状態で走査させ、次にプリフ
ォーマット領域からデータ領域の切り換わる付近で再び
トラッキングサーボをかけながら走査させることを特徴
とする記録・再生方法。 - 【請求項１０】 プリフォーマット領域中に設けられた
プリフォーマットマークをレーザ集光ビームを用いて光
学的に検出し、このプリフォーマットマークの信号から
プリフォーマット中のヘッダ領域の位置を推定し、トラ
ッキングサーボのオン／オフ切換えを行うことを特徴と
する請求項７〜９のいずれか一項に記載の記録・再生方
法。 - 【請求項１１】 請求項１〜５のいずれかの光学的情報
記録媒体に使用する基板を射出成形法により製造するた
めのスタンパを作製する原盤露光装置であって、 （１）グルーブ及びプリピットを原盤露光するための１
本のレーザ集光ビームを形成する系を有すること、 （２）前記レーザ集光ビームの光路中に、グルーブ及び
プリピットのパターンに合わせてレーザ集光ビームを照
射・遮光するための信号変調器を有すること、 （３）前記レーザ集光ビームの光路中に、グルーブ及び
プリピットのパターンに合わせてレーザビームの光強度
を調整するための光量変調器を有すること、 （４）前記レーザ集光ビームの光路中に、レーザ集光ビ
ームの位置をＰ／４だけずらす光偏向器を有すること、
を特徴とする原盤露光装置。 - 【請求項１２】 請求項１〜５のいずれかの光学的情報
記録媒体に使用する基板を射出成形法により製造するた
めのスタンパを作製する原盤露光装置であって、 （１）グルーブを原盤露光するための第１のレーザ集光
ビームと、プリピットを原盤露光するための第２のレー
ザ集光ビームを形成する系を有すること、 （２）第１のレーザ集光ビームの光路中に、断続的なグ
ルーブパターンに合わせて第１のレーザ集光ビームを照
射・遮断するための信号変調器を有すること、 （３）第１のレーザ集光ビームの光路中に、第１のレー
ザ集光ビームの光強度を調整するための光量変調器を有
すること、 （４）レーザ集光面において、第１及び第２のレーザ集
光ビームのビーム間隔をＰ／４に調整するための光偏向
器を、第１又は第２のレーザ集光ビームの光路中に有す
ること、 （５）第２のレーザ集光ビームの光路中に、プリピット
列のパターンに合わせて第２のレーザ集光ビームを照射
・遮断するための信号変調器を有すること、 （６）第２のレーザ集光ビームの光路中に、第２のレー
ザ集光ビームの光強度を調整するための光量変調器を有
すること、を特徴とする原盤露光装置。 - 【請求項１３】 請求項１〜４及び請求項６のうちのい
ずれかの光学的情報記録媒体に使用する基板を射出成形
法により製造するためのスタンパを作製する原盤露光装
置であって、 （１）グルーブ、グルーブの中心線上にあるプリピット
列で構成されたプリフォーマットマーク及びグルーブの
中心線よりＰ／４だけずらして配置されたプリピット列
を原盤露光するための第１のレーザ集光ビームと、ラン
ドの中心線上にあるプリピット列で構成されたプリフォ
ーマットマークを原盤露光するための第２のレーザ集光
ビームを形成する系を有すること、 （２）第１のレーザ集光ビームの光路中に、断続的なグ
ルーブパターン、プリピットパターンに合わせて第１の
レーザ集光ビームを照射・遮断するための信号変調器を
有すること、 （３）第１のレーザ集光ビームの光路中に、第１のレー
ザ集光ビームの光強度を調整するための変量変調器を有
すること、 （４）レーザ集光面において、第１及び第２のレーザ集
光ビームのビーム間隔をＰ／２に調整するための手段を
有すること、 （５）第１のレーザ集光ブームの光路中に、レーザ集光
面において、第１のレーザ集光ビームをＰ／４だけずら
す光偏向器を有すること、 （６）第２のレーザ集光ビームの光路中に、プリピット
列のパターンに合わせてレーザ集光ビームを照射・遮断
するための信号変調器を有すること、 （７）第２のレーザ集光ビームの光路中に、第２のレー
ザ集光ビームの光強度を調整するための光量変調器を有
すること、を特徴とする原盤露光装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19893493A JP3150014B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 光学的情報記録媒体 |
| US08/276,518 US5638354A (en) | 1993-07-16 | 1994-07-15 | Optical information recording medium |
| US08/539,319 US5737307A (en) | 1993-07-16 | 1995-10-04 | Method for recording-regenerating information from optical recording mediums |
| US08/939,677 US5812520A (en) | 1993-07-16 | 1997-09-29 | Optical disk unit, control method thereof, optical information recording medium and recording-regenerating method using this optical information recording medium |
| US08/940,102 US5822286A (en) | 1993-07-16 | 1997-09-29 | Optical disk unit, control method thereof, optical information recording medium and recording-regenerating method using this optical information recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19893493A JP3150014B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 光学的情報記録媒体 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000017505A Division JP3219398B2 (ja) | 1993-07-16 | 2000-01-26 | 光学的情報記録媒体及びそれを用いた記録・再生方法 |
| JP2000017513A Division JP3273148B2 (ja) | 1993-07-16 | 2000-01-26 | スタンパ製造用露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729186A true JPH0729186A (ja) | 1995-01-31 |
| JP3150014B2 JP3150014B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=16399404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19893493A Expired - Lifetime JP3150014B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 光学的情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3150014B2 (ja) |
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-
1993
- 1993-07-16 JP JP19893493A patent/JP3150014B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| WO2002001556A1 (fr) * | 2000-06-28 | 2002-01-03 | Seiko Epson Corporation | Procede d'usinage d'une matrice de pressage de disque optique, procede de fabrication d'une matrice de pressage de disque optique, matrice de pressage de disque optique, procede de fabrication d'un substrat de disque optique, substrat de disque optique et appareil d'usinage d'une matrice de pressage de disque optique |
| US6665251B2 (en) | 2000-06-28 | 2003-12-16 | Seiko Epson Corporation | Processing and manufacturing method of a master for optical disk, the master for optical disk, a manufacturing method of an optical disk substrate, the optical disk substrate, and a processing device of a master for optical disk |
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