JPH07291669A - 熱線反射ガラス - Google Patents
熱線反射ガラスInfo
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- JPH07291669A JPH07291669A JP8671594A JP8671594A JPH07291669A JP H07291669 A JPH07291669 A JP H07291669A JP 8671594 A JP8671594 A JP 8671594A JP 8671594 A JP8671594 A JP 8671594A JP H07291669 A JPH07291669 A JP H07291669A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
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- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
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- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【構成】ガラス基板１０上に第１層として透明金属酸化
物膜１１、第２層として金属膜または金属窒化物膜１
２、第３層として透明金属酸化物膜１３をスパッタリン
グ法により順次積層させた熱線反射ガラスにおいて、ガ
ラス基板側からの可視光反射率が１０％以下である熱線
反射ガラス。 【効果】室外側からの反射率が通常の透明板ガラス並で
周囲に眩しさ等による悪影響を及ぼさず、かつ種々の反
射色調を呈する。
物膜１１、第２層として金属膜または金属窒化物膜１
２、第３層として透明金属酸化物膜１３をスパッタリン
グ法により順次積層させた熱線反射ガラスにおいて、ガ
ラス基板側からの可視光反射率が１０％以下である熱線
反射ガラス。 【効果】室外側からの反射率が通常の透明板ガラス並で
周囲に眩しさ等による悪影響を及ぼさず、かつ種々の反
射色調を呈する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は建築用の熱線反射ガラス
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ビルにおける開口部は、近年意匠性と快
適性のために拡大する傾向にある。それに伴い、太陽光
の侵入量が増加し室内の冷房負担が大きくなるという点
や、ビルの外観上大きな面積を占める窓のデザイン的な
重要性が増加するという点等の因子により、熱線反射ガ
ラスを使用するケースが急増している。この用途に用い
られる熱線反射ガラスは、通常ソーラーコントロールガ
ラスと呼ばれる。このようなソーラーコントロールガラ
スは、そのハーフミラー効果により独特の美観を表し、
ビルの壁面材として広く用いられている。
適性のために拡大する傾向にある。それに伴い、太陽光
の侵入量が増加し室内の冷房負担が大きくなるという点
や、ビルの外観上大きな面積を占める窓のデザイン的な
重要性が増加するという点等の因子により、熱線反射ガ
ラスを使用するケースが急増している。この用途に用い
られる熱線反射ガラスは、通常ソーラーコントロールガ
ラスと呼ばれる。このようなソーラーコントロールガラ
スは、そのハーフミラー効果により独特の美観を表し、
ビルの壁面材として広く用いられている。
【０００３】このような熱線反射ガラスをビルの壁面や
窓として使用した場合、そのミラー効果が逆に周囲の環
境に悪影響を及ぼし、周辺住民の苦情の対象となる場合
もある。具体的な例としては、ミラー効果を高めるため
に可視光領域の反射率も高くし、その結果として熱線反
射ガラスに反射した太陽光のために眩しくて自動車の運
転に支障が出る等である。そのためビルの施工場所によ
っては熱線反射ガラスが使用できない状況が生じる恐れ
がある。
窓として使用した場合、そのミラー効果が逆に周囲の環
境に悪影響を及ぼし、周辺住民の苦情の対象となる場合
もある。具体的な例としては、ミラー効果を高めるため
に可視光領域の反射率も高くし、その結果として熱線反
射ガラスに反射した太陽光のために眩しくて自動車の運
転に支障が出る等である。そのためビルの施工場所によ
っては熱線反射ガラスが使用できない状況が生じる恐れ
がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は従来技
術の有していた前述の欠点を解消し、室外側（ガラス基
板側）の可視光反射率を抑え、かつ意匠性を保持するた
めに種々の色調を呈することができる熱線反射ガラスを
提供することにある。
術の有していた前述の欠点を解消し、室外側（ガラス基
板側）の可視光反射率を抑え、かつ意匠性を保持するた
めに種々の色調を呈することができる熱線反射ガラスを
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の問題点を
解決すべくなされたものであり、ガラス基板上に第１層
として透明金属酸化物膜、第２層として金属膜または金
属窒化物膜、第３層として透明金属酸化物膜をスパッタ
リング法により順次積層させた熱線反射ガラスにおい
て、ガラス基板側からの可視光反射率が１０％以下であ
ることを特徴とする熱線反射ガラスを提供するものであ
る。
解決すべくなされたものであり、ガラス基板上に第１層
として透明金属酸化物膜、第２層として金属膜または金
属窒化物膜、第３層として透明金属酸化物膜をスパッタ
リング法により順次積層させた熱線反射ガラスにおい
て、ガラス基板側からの可視光反射率が１０％以下であ
ることを特徴とする熱線反射ガラスを提供するものであ
る。
【０００６】図１は本発明に係わる低反射熱線反射ガラ
スの一部断面図を示し、１０はガラス基板、１１は第１
層としての透明金属酸化物膜、１２は第２層としての金
属膜または金属窒化物膜、１３は第３層としての透明金
属酸化物膜を示す。
スの一部断面図を示し、１０はガラス基板、１１は第１
層としての透明金属酸化物膜、１２は第２層としての金
属膜または金属窒化物膜、１３は第３層としての透明金
属酸化物膜を示す。
【０００７】本発明における金属膜材料としては、チタ
ン、クロム、ステンレス、およびニクロムからなる群か
ら選ばれる少なくとも１種が使用されるが、可視領域に
おける光学特性がこれらの金属と類似したものであれ
ば、その金属を使用しても色調的には似たような低反射
熱反が得られる。しかし、ここに挙げた４種類の金属は
熱線反射膜材料としても実績が有るので好ましい。ま
た、その幾何学的膜厚は表現しようとする色調によって
規定され、その範囲は９ｎｍ〜２０ｎｍとなる。
ン、クロム、ステンレス、およびニクロムからなる群か
ら選ばれる少なくとも１種が使用されるが、可視領域に
おける光学特性がこれらの金属と類似したものであれ
ば、その金属を使用しても色調的には似たような低反射
熱反が得られる。しかし、ここに挙げた４種類の金属は
熱線反射膜材料としても実績が有るので好ましい。ま
た、その幾何学的膜厚は表現しようとする色調によって
規定され、その範囲は９ｎｍ〜２０ｎｍとなる。
【０００８】本発明における金属窒化物膜は特に限定さ
れないが、窒化チタン膜が好ましく、特にスパッタガス
として窒素１００％の雰囲気中で成膜され、その結果化
学量論的に窒素過剰の窒化チタン膜が好ましい。
れないが、窒化チタン膜が好ましく、特にスパッタガス
として窒素１００％の雰囲気中で成膜され、その結果化
学量論的に窒素過剰の窒化チタン膜が好ましい。
【０００９】その他にスパッタ法によって窒化チタン膜
を作成する方法としては、スパッタガスとしてアルゴン
と窒素の混合ガスを用いる場合がある。この場合は窒化
チタン膜中のＴｉ：Ｎの組成比が本発明の場合よりも
１：１に近くなる。この窒化チタン膜を用いても色調に
よっては低反射熱反を提供することが可能であるが、本
発明のように窒素１００％雰囲気中で成膜させる方が安
定した膜質が得やすく、成膜上も容易である。また、そ
の幾何学的膜厚は表現しようとする色調によって規定さ
れ、その範囲は１０ｎｍ〜３０ｎｍとなる。
を作成する方法としては、スパッタガスとしてアルゴン
と窒素の混合ガスを用いる場合がある。この場合は窒化
チタン膜中のＴｉ：Ｎの組成比が本発明の場合よりも
１：１に近くなる。この窒化チタン膜を用いても色調に
よっては低反射熱反を提供することが可能であるが、本
発明のように窒素１００％雰囲気中で成膜させる方が安
定した膜質が得やすく、成膜上も容易である。また、そ
の幾何学的膜厚は表現しようとする色調によって規定さ
れ、その範囲は１０ｎｍ〜３０ｎｍとなる。
【００１０】本発明における第１層および／または第３
層の透明金属酸化物に用いられる金属材料は、チタン、
錫、亜鉛、ジルコニウム、およびタンタルからなる群か
ら選ばれる少なくとも１種が使用されるが、好ましくは
チタン、錫が良い。その理由は、この２つの金属が単板
熱線反射ガラスに使用される酸化物として実績があり、
耐久性的にも優れているからである。また、その幾何学
的膜厚は使用される材料、表現しようとする色調によっ
て規定されるが、あまり膜厚が厚くなると、生産時間が
長くなり、その結果として生産性も低下する。
層の透明金属酸化物に用いられる金属材料は、チタン、
錫、亜鉛、ジルコニウム、およびタンタルからなる群か
ら選ばれる少なくとも１種が使用されるが、好ましくは
チタン、錫が良い。その理由は、この２つの金属が単板
熱線反射ガラスに使用される酸化物として実績があり、
耐久性的にも優れているからである。また、その幾何学
的膜厚は使用される材料、表現しようとする色調によっ
て規定されるが、あまり膜厚が厚くなると、生産時間が
長くなり、その結果として生産性も低下する。
【００１１】次に本発明によって、種々の色調の低反射
熱線反射ガラスを得る方法を説明する。
熱線反射ガラスを得る方法を説明する。
【００１２】本発明によってガラス基板側からの反射色
調がグレーの低反射ガラスを得る構成の１つとしては、
ガラス基板上に第１層として膜厚が３５ｎｍ〜４６ｎｍ
の酸化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、第２層とし
てチタン、ステンレス、ニクロムのうち少なくとも１つ
を１３ｎｍ〜１９ｎｍの膜厚で成膜し、第３層として膜
厚が１９ｎｍ〜２９ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル
膜を順次形成したものが挙げられる。
調がグレーの低反射ガラスを得る構成の１つとしては、
ガラス基板上に第１層として膜厚が３５ｎｍ〜４６ｎｍ
の酸化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、第２層とし
てチタン、ステンレス、ニクロムのうち少なくとも１つ
を１３ｎｍ〜１９ｎｍの膜厚で成膜し、第３層として膜
厚が１９ｎｍ〜２９ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル
膜を順次形成したものが挙げられる。
【００１３】また他の構成としてはガラス基板上に第１
層として膜厚が４６ｎｍ〜６１ｎｍの酸化錫膜、酸化亜
鉛膜または酸化ジルコニウム膜を作成し、第２層として
チタン、ステンレス、ニクロムのうち少なくとも１つを
９ｎｍ〜１３ｎｍの膜厚で成膜し、第３層として膜厚が
２３ｎｍ〜３５ｎｍの酸化錫膜、酸化亜鉛膜または酸化
ジルコニウム膜を順次形成したものが挙げられる。
層として膜厚が４６ｎｍ〜６１ｎｍの酸化錫膜、酸化亜
鉛膜または酸化ジルコニウム膜を作成し、第２層として
チタン、ステンレス、ニクロムのうち少なくとも１つを
９ｎｍ〜１３ｎｍの膜厚で成膜し、第３層として膜厚が
２３ｎｍ〜３５ｎｍの酸化錫膜、酸化亜鉛膜または酸化
ジルコニウム膜を順次形成したものが挙げられる。
【００１４】また、金属膜としてクロムを使用し、第１
層および／または第３層の金属酸化物膜として酸化チタ
ンか酸化タンタルを使用した場合には、第１層の膜厚は
３８ｎｍ〜５１ｎｍ、第２層の膜厚は１４ｎｍ〜２０ｎ
ｍ、第３層の膜厚は１１ｎｍ〜１７ｎｍとなる。
層および／または第３層の金属酸化物膜として酸化チタ
ンか酸化タンタルを使用した場合には、第１層の膜厚は
３８ｎｍ〜５１ｎｍ、第２層の膜厚は１４ｎｍ〜２０ｎ
ｍ、第３層の膜厚は１１ｎｍ〜１７ｎｍとなる。
【００１５】本発明によってガラス基板側からの反射色
調がブルーの低反射ガラスを得る構成の１つとしては、
ガラス基板上に第１層として膜厚が３ｎｍ〜５ｎｍの酸
化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、第２層として窒
化チタン膜を１０ｎｍ〜１４ｎｍの膜厚で成膜し、第３
層として膜厚が３ｎｍ〜５ｎｍの酸化チタン膜か酸化タ
ンタル膜を順次形成したものが挙げられる。
調がブルーの低反射ガラスを得る構成の１つとしては、
ガラス基板上に第１層として膜厚が３ｎｍ〜５ｎｍの酸
化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、第２層として窒
化チタン膜を１０ｎｍ〜１４ｎｍの膜厚で成膜し、第３
層として膜厚が３ｎｍ〜５ｎｍの酸化チタン膜か酸化タ
ンタル膜を順次形成したものが挙げられる。
【００１６】また他の構成としてはガラス基板上に第１
層として膜厚が３ｎｍ〜５ｎｍの酸化錫膜、酸化亜鉛膜
または酸化ジルコニウム膜を作成し、第２層として窒化
チタン膜を１２ｎｍ〜１９ｎｍの膜厚で成膜し、第３層
として膜厚が２ｎｍ〜５ｎｍの酸化錫膜、酸化亜鉛膜ま
たは酸化ジルコニウム膜を順次形成したものが挙げられ
る。
層として膜厚が３ｎｍ〜５ｎｍの酸化錫膜、酸化亜鉛膜
または酸化ジルコニウム膜を作成し、第２層として窒化
チタン膜を１２ｎｍ〜１９ｎｍの膜厚で成膜し、第３層
として膜厚が２ｎｍ〜５ｎｍの酸化錫膜、酸化亜鉛膜ま
たは酸化ジルコニウム膜を順次形成したものが挙げられ
る。
【００１７】本発明によってガラス基板側からの反射色
調がシルバーの低反射ガラスを得る構成の１つとして
は、ガラス基板上に第１層として膜厚が３６ｎｍ〜４８
ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、第２層
として窒化チタン膜を２０ｎｍ〜３０ｎｍの膜厚で成膜
し、第３層として膜厚が１３ｎｍ〜２０ｎｍの酸化チタ
ン膜か酸化タンタル膜を順次形成したものが挙げられ
る。
調がシルバーの低反射ガラスを得る構成の１つとして
は、ガラス基板上に第１層として膜厚が３６ｎｍ〜４８
ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、第２層
として窒化チタン膜を２０ｎｍ〜３０ｎｍの膜厚で成膜
し、第３層として膜厚が１３ｎｍ〜２０ｎｍの酸化チタ
ン膜か酸化タンタル膜を順次形成したものが挙げられ
る。
【００１８】また他の構成としてはガラス基板上に第１
層として膜厚が４７ｎｍ〜６２ｎｍの酸化錫膜、酸化亜
鉛膜または酸化ジルコニウム膜を作成し、第２層として
窒化チタン膜を１２ｎｍ〜１８ｎｍの膜厚で成膜し、第
３層として膜厚が１２ｎｍ〜１７ｎｍの酸化錫膜か酸化
亜鉛膜か酸化ジルコニウム膜を作成する。
層として膜厚が４７ｎｍ〜６２ｎｍの酸化錫膜、酸化亜
鉛膜または酸化ジルコニウム膜を作成し、第２層として
窒化チタン膜を１２ｎｍ〜１８ｎｍの膜厚で成膜し、第
３層として膜厚が１２ｎｍ〜１７ｎｍの酸化錫膜か酸化
亜鉛膜か酸化ジルコニウム膜を作成する。
【００１９】ただし、金属酸化物膜として、酸化錫、酸
化亜鉛または酸化ジルコニウムを使用した場合には酸化
チタンや酸化タンタルを使用した場合よりも反射色がグ
リーンに近くなる。
化亜鉛または酸化ジルコニウムを使用した場合には酸化
チタンや酸化タンタルを使用した場合よりも反射色がグ
リーンに近くなる。
【００２０】本発明によってガラス基板側からの反射色
調がシルバーブロンズの低反射ガラスを得る構成の１つ
としては、ガラス基板上に第１層として膜厚が３０ｎｍ
〜３９ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、
第２層としてチタン、ステンレス、ニクロムのうち少な
くとも１つを１１ｎｍ〜１７ｎｍの膜厚で成膜し、第３
層として膜厚が１７ｎｍ〜２５ｎｍの酸化チタン膜か酸
化タンタル膜を順次形成したものが挙げられる。
調がシルバーブロンズの低反射ガラスを得る構成の１つ
としては、ガラス基板上に第１層として膜厚が３０ｎｍ
〜３９ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル膜を作成し、
第２層としてチタン、ステンレス、ニクロムのうち少な
くとも１つを１１ｎｍ〜１７ｎｍの膜厚で成膜し、第３
層として膜厚が１７ｎｍ〜２５ｎｍの酸化チタン膜か酸
化タンタル膜を順次形成したものが挙げられる。
【００２１】また他の構成としてはガラス基板上に第１
層として膜厚が３９ｎｍ〜５１ｎｍの酸化チタン膜か酸
化タンタル膜を作成し、第２層として金属クロム膜を１
０ｎｍ〜１５ｎｍの膜厚で成膜し、第３層として膜厚が
１８ｎｍ〜２６ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル膜を
順次形成したものが挙げられる。
層として膜厚が３９ｎｍ〜５１ｎｍの酸化チタン膜か酸
化タンタル膜を作成し、第２層として金属クロム膜を１
０ｎｍ〜１５ｎｍの膜厚で成膜し、第３層として膜厚が
１８ｎｍ〜２６ｎｍの酸化チタン膜か酸化タンタル膜を
順次形成したものが挙げられる。
【００２２】
［実施例１］マグネトロンＤ．Ｃ．スパッタ装置の陰極
上に金属錫とステンレス（ＳＵＳ３１６）のターゲット
をセットする。研磨などの方法で６ｍｍ厚のフロート板
ガラス基板を十分に洗浄、乾燥した後、真空槽内に入
れ、ターボポンプを使用して１×１０-5ｔｏｒｒ以下ま
で排気する。
上に金属錫とステンレス（ＳＵＳ３１６）のターゲット
をセットする。研磨などの方法で６ｍｍ厚のフロート板
ガラス基板を十分に洗浄、乾燥した後、真空槽内に入
れ、ターボポンプを使用して１×１０-5ｔｏｒｒ以下ま
で排気する。
【００２３】次に真空系内にアルゴンガス１００ｃｃ／
ｍｉｎ、酸素ガス５００ｃｃ／ｍｉｎを導入し、系内の
圧力を３．０×１０-3ｔｏｒｒにセットし、この状態で
錫ターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して酸化
錫膜を５４ｎｍ成膜する。次に真空系内のガスをアルゴ
ンガス１００％に完全に置換して（導入量は３００ｃｃ
／ｍｉｎ）、この状態でステンレスターゲットに１．９
Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して金属ステンレス膜を１１ｎ
ｍ成膜する。
ｍｉｎ、酸素ガス５００ｃｃ／ｍｉｎを導入し、系内の
圧力を３．０×１０-3ｔｏｒｒにセットし、この状態で
錫ターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して酸化
錫膜を５４ｎｍ成膜する。次に真空系内のガスをアルゴ
ンガス１００％に完全に置換して（導入量は３００ｃｃ
／ｍｉｎ）、この状態でステンレスターゲットに１．９
Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して金属ステンレス膜を１１ｎ
ｍ成膜する。
【００２４】最後に真空系内のガスをアルゴンガス１０
０ｃｃ／ｍｉｎ、酸素ガス５００ｃｃ／ｍｉｎに戻し、
再び錫ターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して
酸化錫膜を２９ｎｍ成膜する。
０ｃｃ／ｍｉｎ、酸素ガス５００ｃｃ／ｍｉｎに戻し、
再び錫ターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して
酸化錫膜を２９ｎｍ成膜する。
【００２５】こうして得られたサンプルのガラス面側の
反射特性は、反射率７．８％、反射色調はａ* が２．４
４、ｂ* が−３．１３で、グレー系の反射色であった。
反射特性は、反射率７．８％、反射色調はａ* が２．４
４、ｂ* が−３．１３で、グレー系の反射色であった。
【００２６】［実施例２］マグネトロンＤ．Ｃ．スパッ
タ装置の陰極上に金属チタンのターゲットをセットし、
研磨などの方法で６ｍｍ厚のフロート板ガラス基板を十
分に洗浄、乾燥した後、真空槽内に入れ、ターボポンプ
を使用して１×１０-5ｔｏｒｒ以下まで排気する。
タ装置の陰極上に金属チタンのターゲットをセットし、
研磨などの方法で６ｍｍ厚のフロート板ガラス基板を十
分に洗浄、乾燥した後、真空槽内に入れ、ターボポンプ
を使用して１×１０-5ｔｏｒｒ以下まで排気する。
【００２７】次に真空系内にアルゴンガス３００ｃｃ／
ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎを導入し、系内の圧
力を３．０×１０-3ｔｏｒｒにセットし、この状態でチ
タンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して酸
化チタン膜を４ｎｍ成膜する。次に真空系内のガスを窒
素１００％に完全に置換して（導入量は５００ｃｃ／ｍ
ｉｎ）、この状態でチタンターゲットに同じく３．１Ｗ
／ｃｍ2 の電力を印加して窒化チタン膜を１２ｎｍ成膜
する。
ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎを導入し、系内の圧
力を３．０×１０-3ｔｏｒｒにセットし、この状態でチ
タンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して酸
化チタン膜を４ｎｍ成膜する。次に真空系内のガスを窒
素１００％に完全に置換して（導入量は５００ｃｃ／ｍ
ｉｎ）、この状態でチタンターゲットに同じく３．１Ｗ
／ｃｍ2 の電力を印加して窒化チタン膜を１２ｎｍ成膜
する。
【００２８】最後に真空系内のガスをアルゴンガス３０
０ｃｃ／ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎに戻し、再
びチタンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加し
て酸化チタン膜を４ｎｍ成膜する。
０ｃｃ／ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎに戻し、再
びチタンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加し
て酸化チタン膜を４ｎｍ成膜する。
【００２９】このようにして得られたサンプルのガラス
面側の反射特性は、反射率７．９％、反射色調はａ* が
−３．９６、ｂ* が−９．５１で、ブルー系の反射色で
あった。
面側の反射特性は、反射率７．９％、反射色調はａ* が
−３．９６、ｂ* が−９．５１で、ブルー系の反射色で
あった。
【００３０】［実施例３］マグネトロンＤ．Ｃ．スパッ
タ装置の陰極上に金属チタン、金属クロムのターゲット
をセットする。研磨などの方法で６ｍｍ厚のフロート板
ガラス基板を十分に洗浄、乾燥した後、真空槽内に入
れ、ターボポンプを使用して１×１０-5ｔｏｒｒ以下ま
で排気する。
タ装置の陰極上に金属チタン、金属クロムのターゲット
をセットする。研磨などの方法で６ｍｍ厚のフロート板
ガラス基板を十分に洗浄、乾燥した後、真空槽内に入
れ、ターボポンプを使用して１×１０-5ｔｏｒｒ以下ま
で排気する。
【００３１】次に真空系内にアルゴンガス３００ｃｃ／
ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎを導入し、系内の圧
力を３．０×１０-3ｔｏｒｒにセットし、この状態でチ
タンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して酸
化チタン膜を４５ｎｍ成膜する。次に真空系内のガスを
アルゴンガス１００％に完全に置換して（導入量は４０
０ｃｃ／ｍｉｎ）、この状態でクロムターゲットに１．
９Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して金属クロム膜を１３ｎｍ
成膜する。
ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎを導入し、系内の圧
力を３．０×１０-3ｔｏｒｒにセットし、この状態でチ
タンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して酸
化チタン膜を４５ｎｍ成膜する。次に真空系内のガスを
アルゴンガス１００％に完全に置換して（導入量は４０
０ｃｃ／ｍｉｎ）、この状態でクロムターゲットに１．
９Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加して金属クロム膜を１３ｎｍ
成膜する。
【００３２】最後に真空系内のガスをアルゴンガス３０
０ｃｃ／ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎに戻し、再
びチタンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加し
て酸化チタン膜を２２ｎｍ成膜する。
０ｃｃ／ｍｉｎ、酸素ガス６０ｃｃ／ｍｉｎに戻し、再
びチタンターゲットに３．１Ｗ／ｃｍ2 の電力を印加し
て酸化チタン膜を２２ｎｍ成膜する。
【００３３】このようにして得られたサンプルのガラス
面側の反射特性は、反射率７．９％、反射色調はａ* が
３．２０、ｂ* が６．９８で、シルバーブロンズ系の反
射色であった。
面側の反射特性は、反射率７．９％、反射色調はａ* が
３．２０、ｂ* が６．９８で、シルバーブロンズ系の反
射色であった。
【００３４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、室外側か
らの反射率が通常の透明板ガラス並で周囲に眩しさ等に
よる悪影響を及ぼさず、かつ種々の反射色調を呈する熱
線反射ガラスを得ることができる。
らの反射率が通常の透明板ガラス並で周囲に眩しさ等に
よる悪影響を及ぼさず、かつ種々の反射色調を呈する熱
線反射ガラスを得ることができる。
【図１】本発明に係る熱線反射ガラスの一部の断面を模
式的に示した図
式的に示した図
１０：ガラス基板 １１：透明金属酸化物膜 １２：金属膜または窒化チタン膜 １３：透明金属酸化物膜
Claims (4)
- 【請求項１】ガラス基板上に第１層として透明金属酸化
物膜、第２層として金属膜または金属窒化物膜、第３層
として透明金属酸化物膜をスパッタリング法により順次
積層させた熱線反射ガラスにおいて、ガラス基板側から
の可視光反射率が１０％以下であることを特徴とする熱
線反射ガラス。 - 【請求項２】前記金属膜は、チタン、クロム、ステンレ
ス、およびニクロムからなる群から選ばれる少なくとも
１種の金属からなり、その幾何学的膜厚が９ｎｍ〜２０
ｎｍであることを特徴とする請求項１記載の熱線反射ガ
ラス。 - 【請求項３】前記金属窒化物膜の幾何学的膜厚は１０ｎ
ｍ〜３０ｎｍであることを特徴とする請求項１記載の熱
線反射ガラス。 - 【請求項４】前記第１層および／または第３層の透明金
属酸化物膜の金属は、チタン、錫、亜鉛、ジルコニウ
ム、およびタンタルからなる群から選ばれる少なくとも
１種を使用することを特徴とする請求項１〜３いずれか
１項記載の熱線反射ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8671594A JPH07291669A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | 熱線反射ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8671594A JPH07291669A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | 熱線反射ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07291669A true JPH07291669A (ja) | 1995-11-07 |
Family
ID=13894600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8671594A Pending JPH07291669A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | 熱線反射ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07291669A (ja) |
-
1994
- 1994-04-25 JP JP8671594A patent/JPH07291669A/ja active Pending
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