JPH07283249A - ダイボンディング装置のチップ突上げユニット - Google Patents
ダイボンディング装置のチップ突上げユニットInfo
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- JPH07283249A JPH07283249A JP8918794A JP8918794A JPH07283249A JP H07283249 A JPH07283249 A JP H07283249A JP 8918794 A JP8918794 A JP 8918794A JP 8918794 A JP8918794 A JP 8918794A JP H07283249 A JPH07283249 A JP H07283249A
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- Die Bonding (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
導体チップを迅速、かつ安定して突上げることができる
ようにすること。 【構成】 粘着シート12の裏面側に吸着面18を備え
た吸着胴17が配置され、この吸着面18に多数の凸部
21及び凹部22が形成されるとともに、上記吸着胴に
は吸着面に開口する流路19が形成され、この流路が真
空ポンプ25及び圧縮機28に選択的に連結され、ま
た、吸着面は、1個の半導体チップの周囲に隣接した複
数枚の半導体チップをほぼ囲む寸法に設定されたもので
ある。
Description
れた半導体チップを粘着シートの裏側から突上げて、半
導体チップを剥離させるダイボンディング装置のチップ
突上げユニットに関する。
シングされて多数の半導体チップが形成される。この半
導体チップは、ダイボンディング装置を用いて粘着シー
トからピックアップされ、リードフレームのアイランド
部にボンディングされる。このボンディング工程におい
て、ダイボンディング装置に備えられたチップ突上げユ
ニットが、突上げピンを用いて半導体チップを粘着シー
トの裏側から突上げて、半導体チップを粘着シートから
剥離させ、ピックアップの容易化が図られている(第1
従来例)。
ように、多数の半導体チップが貼着された粘着シート
を、多数の溝が形成された真空プレートの吸着面に吸着
させ、溝内に吸着シートを吸引して、半導体チップと粘
着シートとの粘着面積を減少させ、半導体チップをピッ
クアップさせ易くしたものもある(第2従来例)。
従来例では、半導体チップの寸法が変更されると、突上
げピンの本数や形状を変更して、突上げピンによる剥離
が効率的に実施出来るようにしなければならず、突上げ
作業が煩雑になる。
吸着する真空プレートの吸着面がウェハよりも大きく形
成されているため、小さなウェハに変更された場合に
は、真空プレートの吸着面が、粘着シートの外周に固着
されたウェハリング位置まで来てしまう。このため、例
えば特公平2-24379 号公報に例示されるように、ウエハ
リングを押し下げることで粘着シートを引伸し、隣接す
る半導体チップ間に隙間を形成しようとしても、ウエハ
リングが真空プレートに衝突し、粘着シートを引伸すこ
とができなくなる。したがって、この場合にもウェハの
寸法に応じて真空プレートを変更する必要がある。
たものであり、半導体チップやウェハの寸法に関わら
ず、半導体チップを迅速、かつ安定して突上げることが
できるダイボンディング装置のチップ突上げユニットを
提供することを目的とする。
は、粘着シートに貼着されウェハから分割された多数個
の半導体チップを上記粘着シートの裏面側から突上げ
て、ピックアップ部材による上記半導体チップのピック
アップを容易化するダイボンディング装置のチップ突上
げユニットにおいて、上記粘着シートの裏面側にこの裏
面に対向し、かつ上記ウェハ径より小さな寸法に設定さ
れた吸着面を備えた吸着胴が配置され、上記吸着面に多
数の凹凸が形成されるとともに、上記吸着胴には上記吸
着面に開口する流路が形成され、この流路が負圧供給源
又は大気に選択的に連続され、また、上記吸着胴と上記
粘着シートとは、粘着シート面に沿う方向で相対移動さ
れるようにしたものである。
トに貼着されウェハから分割された多数個の半導体チッ
プを上記粘着シートの裏面側から突上げて、ピックアッ
プ部材による上記半導体チップのピックアップを容易化
するダイボンディング装置のチップ突上げユニットにお
いて、上記粘着シートの裏面側にこの裏面に対向し、か
つ上記ウェハ径より小さな寸法に設定された吸着面を備
えた吸着胴が配置され、上記吸着面に多数の凹凸が形成
されるとともに、上記吸着胴には上記吸着面に開口する
流路が形成され、この流路が負圧供給源又は高圧供給源
に選択的に接続され、また、上記吸着胴と上記粘着シー
トとは、粘着シート面に沿う方向で相対移動されるよう
にしたものである。
ダイボンディング装置のチップ突上げユニットによれ
ば、吸着胴の吸着面上方に、ウェハを貼着した粘着シー
トを配置した状態で、吸着胴の流路を負圧供給源に接続
すると、粘着シートは凹凸の吸着面に吸着され、この吸
着面の凹部に対応した粘着シートが半導体チップから剥
離して、この半導体チップが吸着面の凸部に突上げられ
た状態となる。この結果、この半導体チップをピックア
ップ部材によって容易にピックアップすることができ
る。尚本発明書において「突上げ」とは、突上げピンを
用いた従来の積極的な「突上げ」の意味に加え、粘着シ
ートが凹凸の吸着面に吸着され、吸着面の凹部に対応し
た粘着シートが半導体チップから剥離して、半導体チッ
プが吸着面の凸部に突上げられた状態も含む意味で用い
るものとする。
ハ径より小さな寸法に設定されたので、半導体チップや
ウェハの大きさに変更があっても吸着胴を変更する必要
がなく、半導体チップの突上げ及びピックアップを迅
速、かつ安定して実施できる。
明する。図1(A)は、この発明に係るボンディング装
置のチップ突上げユニットの一実施例を示す構成図であ
り、図1(B)は、図1(A)の吸着胴とウェハとの関
係を示すウェハの平面図である。図2は、図1(B)の
部分拡大平面図である。図3は、図1(A)のチップ突
上げユニットにおけるシート吸着工程を示す構成図であ
る。図4は、図1(A)のチップ突上げユニットにおけ
るシート浮上工程を示す構成図である。
に、ウェハ11は粘着シート12に貼着され、この粘着
シート12がウェハリング13に固着保持される。ウェ
ハ11は、シート引伸し装置(図示せず、但し、なくて
も良い)及びチップ突上げユニット10に搬入される前
段階でダイシングされて、多数個の半導体チップ14に
分割される。
引伸して、隣接する半導体チップ14間に適切な隙間1
5を形成し、ピックアップ部材としての吸着ノズル16
を用いて各半導体チップ14をピックアップさせ易くす
るものである。また、上記チップ突上げユニット10
は、半導体チップ14が貼着された粘着シート12を、
その裏面側から突上げて、この突上げられた半導体チッ
プ14を粘着シート12から剥離させ、吸着ノズル16
による上記半導体チップ14のピックアップを容易化す
るものである。
し装置及びチップ突上げユニット10の他に、上記吸着
ノズル16を備えたチップ移送ユニット(図示せず)を
有してなる。このチップ移送ユニットの吸着ノズル16
がピックアップした半導体チップ14を、直接あるいは
必要に応じて位置決めポジションを経由し、図示しない
リードフレームのアイランド部まで移送し、このアイラ
ンド部にボンディングする。
上げユニット10は、吸着面18を備えた吸着胴17
と、この吸着胴17の流路19に接続されたエア・バキ
ューム回路20とを有して構成される。
1及び凹部22がほぼ格子状に交互に形成されたもので
あり、上記流路19はこの吸着面18に開口して構成さ
れる。尚、凸部21及び凹部22は、吸着面18にラン
ダムに配置形成されていても良い。また、吸着面18の
面積は、用いられるウエハ11の径より小さく、少なく
とも1個の半導体チップ14と同等の大きさに設定され
るもので、図2に示す例では、任意の1個の半導体チッ
プ14aの周囲に隣接した8個の半導体チップ14b,
14c,14d,14e,14f,14g,14h及び
14iをほぼ囲む大きさに設定される。
23が第1電磁弁24を介して負圧供給源としての真空
ポンプ25に接続され、経路26が第2電磁弁27を介
して高圧供給源としての圧縮機28に接続されて構成さ
れる。
に接続され、経路26の一端は第1電磁弁24に接続さ
れる。第1電磁弁24をオン作動することにより、経路
23が真空ポンプ25に接続されて、この真空ポンプ2
5により吸着胴17の流路19が負圧に設定される(図
3)。また、第1電磁弁24をオフ作動させ、かつ第2
電磁弁27をオン作動させることにより、経路23及び
経路26が圧縮機28に接続されて、吸着胴17の流路
19内に高圧の空気が供給される(図4)。第1電磁弁
24及び第2電磁弁27を共にオフ作動させた時には、
経路23及び26を介して、吸着胴17の流路19は大
気に開放される(図1(A))。
ングされて多数の半導体チップ14が貼着された粘着シ
ート12を、必要に応じてシート引伸し装置に設置して
引伸し、半導体チップ14間に適切な隙間15を形成す
る。
させることで、最初にピックアップする半導体チップ1
4を吸着胴17の吸着面18のほぼ中心に位置付けると
ともに、図3に示すように、チップ突上げユニット10
のエア・バキューム回路20における第1電磁弁24を
オン作動させ、第2電磁弁27をオフ作動させて、真空
ポンプ25にて吸着胴17の流路19内を負圧に設定す
る。すると、吸着胴17の吸着面18と粘着シート12
との間が負圧になって、この粘着シート12が吸着面1
8に吸着される。この吸着状態では、粘着シート12が
吸着面18の凸部21及び凹部22に吸着するので、粘
着シート12の凹部22に対応した部分が半導体チップ
14から剥離し、この半導体チップ14が吸着面18の
凸部21により突上げられた状態となる。この状態で、
チップ移送ユニットの吸着ノズル16を用いて半導体チ
ップ14をピックアップし、リードフレームにボンディ
ングする。
に示すように、第1電磁弁24をオフ作動させ、かつ第
2電磁弁27をオン作動させて、圧縮機28から吸着胴
17の流路19へ高圧空気を供給し、粘着シート12を
吸着胴17の吸着面18上方に浮上させる。この浮上
後、図1(A)に示すように、第2電磁弁27もオフ作
動させて、吸着胴17の流路19を大気に開放させ、粘
着シート12を図1(A)の左右方向に移動させて、次
の半導体チップ14を吸着胴17の吸着面18における
中心位置に位置づける。その後、再び第1電磁弁24を
オン作動させ、第2電磁弁27をオフ作動させて、上述
の如く、粘着シート12を吸着胴17の吸着面18に吸
着させる。
18上方に、ウェハ11を貼着した粘着シート12を配
置した状態で、第1電磁弁24をオン作動させ、かつ第
2電磁弁27をオフ作動させて、吸着胴17の流路19
を真空ポンプ25に接続すると、粘着シート12は吸着
面18に吸着され、この吸着面18の凹部22に対応し
た粘着シート12が半導体チップ14から剥離して、こ
の半導体チップ14が吸着面18の凸部21に突上げら
れた状態となる。この結果、この半導体チップ14を吸
着ノズル16によって容易にピックアップすることがで
きる。
半導体チップ14aの周囲に隣接した8個の半導体チッ
プ14b〜iをほぼ囲む寸法に設定されたので、半導体
チップ14の大きさに変更があっても、従来の様に突上
げピンの本数を変更する必要がなく、また、ウェハ11
の大きさに変更があっても、吸着胴17がウェハリング
13に干渉することがない。このため、半導体チップ1
4やウェハ11の寸法に変更があっても吸着胴17を変
更する必要がなく、半導体チップ14の安定した突上げ
及びピックアップを迅速に実施できる。
ただけであり、従来のような突上げピン駆動機構が不要
となることから、チップ突上げユニット10を簡単に構
成でき、小型化及びコストダウンを図ることができる。
相対移動させるに先立ち、吸着胴17の吸着面18から
吹き出す高圧空気によりこの粘着シート12が浮上状態
とされることから、半導体チップ突上げ時の粘着シート
12と吸着面18との密着状態が完全に解かれ、その後
相対移動が円滑に行なえる。
ックアップ後、粘着シート12を左右に移動させるに先
立ち、先ず吸着胴17の流路19を圧縮機28と接続
し、その後に大気に開放されるようにしたが、移動中、
或いは移動を開始してから所定の期間、流路19と圧縮
機28との接続状態を維持するようにしても良い。更に
は、例えば粘着シート12に付与された張力が大で、吸
着胴17の流路19を圧縮機28と接続することなく大
気に開放するだけで密着状態が解けるような場合には、
圧縮機28を特別に設けることなく、流路19と真空ポ
ンプ25との接続状態から、大気に開放される状態に直
接切換えてから移動させるようにしても良い。
て粘着シート12を移動させるようにしたが、吸着胴1
7の方を移動させるようにしても良い。
18の寸法が図2に示される大きさに設定されたため、
ピックアップする半導体チップ14を1個突上げる毎
に、粘着シート12と吸着胴17とを相対移動させるよ
うにしたが、吸着面18の寸法が複数個の半導体チップ
14を包囲する大きさに設定されていれば、その複数個
をピックアップする毎に両者を相対移動させるようにし
ても良い。
ィング装置のチップ突上げユニットによれば、半導体チ
ップやウェハの寸法に関わらず、半導体チップを迅速、
かつ安定して突上げることができる。
置のチップ突上げユニットの一実施例を示す構成図であ
り、図1(B)は、図1(A)の吸着胴とウェハとの関
係を示す、ウェハの平面図である。
おけるシート吸着工程を示す構成図である。
おけるシート浮上工程を示す構成図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 粘着シートに貼着されウェハから分割さ
れた多数個の半導体チップを上記粘着シートの裏面側か
ら突上げて、ピックアップ部材による上記半導体チップ
のピックアップを容易化するダイボンディング装置のチ
ップ突上げユニットにおいて、上記粘着シートの裏面側
にこの裏面に対向し、かつ上記ウェハ径より小さな寸法
に設定された吸着面を備えた吸着胴が配置され、上記吸
着面に多数の凹凸が形成されるとともに、上記吸着胴に
は上記吸着面に開口する流路が形成され、この流路が負
圧供給源又は大気に選択的に連続され、また、上記吸着
胴と上記粘着シートとは、粘着シート面に沿う方向で相
対移動されることを特徴とするダイボンディング装置の
チップ突上げユニット。 - 【請求項2】 半導体チップの突上時には、流路が負圧
供給源と接続され、吸着胴と粘着シートの相対移動時に
は、流路が大気と接続されることを特徴とする請求項1
に記載のダイボンディング装置のチップ突上げユニッ
ト。 - 【請求項3】 粘着シートに貼着されウェハから分割さ
れた多数個の半導体チップを上記粘着シートの裏面側か
ら突上げて、ピックアップ部材による上記半導体チップ
のピックアップを容易化するダイボンディング装置のチ
ップ突上げユニットにおいて、上記粘着シートの裏面側
にこの裏面に対向し、かつ上記ウェハ径より小さな寸法
に設定された吸着面を備えた吸着胴が配置され、上記吸
着面に多数の凹凸が形成されるとともに、上記吸着胴に
は上記吸着面に開口する流路が形成され、この流路が負
圧供給源又は高圧供給源に選択的に接続され、また、上
記吸着胴と上記粘着シートとは、粘着シート面に沿う方
向で相対移動されることを特徴とするダイボンディング
装置のチップ突上げユニット。 - 【請求項4】 半導体チップの突上げ時には、流路が負
圧供給源と接続され、吸着胴と粘着シートの相対移動時
には、流路が高圧供給源と接続されることを特徴とする
請求項3に記載のダイボンディング装置のチップ突上げ
ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8918794A JP3377127B2 (ja) | 1994-04-05 | 1994-04-05 | ダイボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8918794A JP3377127B2 (ja) | 1994-04-05 | 1994-04-05 | ダイボンディング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07283249A true JPH07283249A (ja) | 1995-10-27 |
JP3377127B2 JP3377127B2 (ja) | 2003-02-17 |
Family
ID=13963732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8918794A Expired - Fee Related JP3377127B2 (ja) | 1994-04-05 | 1994-04-05 | ダイボンディング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3377127B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7163875B2 (en) | 2000-04-04 | 2007-01-16 | Synova S.A. | Method of cutting an object and of further processing the cut material, and carrier for holding the object and the cut material |
JP2014011416A (ja) * | 2012-07-03 | 2014-01-20 | Panasonic Corp | 半導体チップのピックアップ装置およびピックアップ方法 |
-
1994
- 1994-04-05 JP JP8918794A patent/JP3377127B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7163875B2 (en) | 2000-04-04 | 2007-01-16 | Synova S.A. | Method of cutting an object and of further processing the cut material, and carrier for holding the object and the cut material |
JP2014011416A (ja) * | 2012-07-03 | 2014-01-20 | Panasonic Corp | 半導体チップのピックアップ装置およびピックアップ方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3377127B2 (ja) | 2003-02-17 |
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