JPH07280106A - バタフライ型可変コンダクタンスバルブ - Google Patents
バタフライ型可変コンダクタンスバルブInfo
- Publication number
- JPH07280106A JPH07280106A JP8914194A JP8914194A JPH07280106A JP H07280106 A JPH07280106 A JP H07280106A JP 8914194 A JP8914194 A JP 8914194A JP 8914194 A JP8914194 A JP 8914194A JP H07280106 A JPH07280106 A JP H07280106A
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- Japan
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- valve body
- variable conductance
- pressure difference
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】バタフライ型可変コンダクタンスバルブが全閉
の状態で弁体の上流、下流で圧力差が発生しても、バタ
フライ型可変コンダクタンスバルブが破損することを防
止する。 【構成】弁体１０の上流側と下流側との圧力差が所定値
以上となった場合に、弁体の閉塞状態を開放する手段１
２を具備したものであり、所定値以上の圧力差で弁体の
閉塞状態を開放することでバタフライ型可変コンダクタ
ンスバルブの破損を防止する。
の状態で弁体の上流、下流で圧力差が発生しても、バタ
フライ型可変コンダクタンスバルブが破損することを防
止する。 【構成】弁体１０の上流側と下流側との圧力差が所定値
以上となった場合に、弁体の閉塞状態を開放する手段１
２を具備したものであり、所定値以上の圧力差で弁体の
閉塞状態を開放することでバタフライ型可変コンダクタ
ンスバルブの破損を防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧力制御に使用される
バタフライ型可変コンダクタンスバルブに関するもので
ある。
バタフライ型可変コンダクタンスバルブに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】バタフライ型可変コンダクタンスバルブ
は、半導体製造装置に於ける圧力制御機構を構成する１
ユニットであり、広く用いられているユニットの１つで
ある。特に、プラズマエッチング装置、減圧ＣＶＤ装置
等、半導体デバイスの製造に使用されている装置には不
可欠である。
は、半導体製造装置に於ける圧力制御機構を構成する１
ユニットであり、広く用いられているユニットの１つで
ある。特に、プラズマエッチング装置、減圧ＣＶＤ装置
等、半導体デバイスの製造に使用されている装置には不
可欠である。
【０００３】先ず図４に於いてバタフライ型可変コンダ
クタンスバルブを具備した半導体製造装置の概略を説明
する。
クタンスバルブを具備した半導体製造装置の概略を説明
する。
【０００４】１は真空処理室、２はガスシステム、３は
主開閉バルブ、４はバタフライ型可変コンダクタンスバ
ルブ、５は真空処理室１の排気システムを示す。
主開閉バルブ、４はバタフライ型可変コンダクタンスバ
ルブ、５は真空処理室１の排気システムを示す。
【０００５】前記真空処理室１にはウェーハ等の基板が
装入され、減圧雰囲気の下で薄膜の生成、或はエッチン
グ等が行われる。
装入され、減圧雰囲気の下で薄膜の生成、或はエッチン
グ等が行われる。
【０００６】前記真空処理室１を排気する場合は、通
常、バタフライ型可変コンダクタンスバルブ４を全開に
して前記排気システム５を始動させ、その後前記主開閉
バルブ３を開く。
常、バタフライ型可変コンダクタンスバルブ４を全開に
して前記排気システム５を始動させ、その後前記主開閉
バルブ３を開く。
【０００７】次に、図５に於いて従来のバタフライ型可
変コンダクタンスバルブを説明する。
変コンダクタンスバルブを説明する。
【０００８】円筒形の弁箱８を、該弁箱８の軸心と直交
する方向に弁軸６が回転自在且気密に貫通し、該弁軸６
に円板状の弁体７が固着されており、前記弁軸６は前記
弁体７の直径と合致した状態で取付けられている。
する方向に弁軸６が回転自在且気密に貫通し、該弁軸６
に円板状の弁体７が固着されており、前記弁軸６は前記
弁体７の直径と合致した状態で取付けられている。
【０００９】而して、前記弁体７が弁箱８の軸心と直交
する位置で全閉となり、前記弁軸６を回転すると該弁軸
６の回転角に応じて弁の開度が決定され、バルブのコン
ダクタンスが変化する。
する位置で全閉となり、前記弁軸６を回転すると該弁軸
６の回転角に応じて弁の開度が決定され、バルブのコン
ダクタンスが変化する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】前記真空処理室１の排
気動作を実行する場合に、シーケンスは先ず前記バタフ
ライ型可変コンダクタンスバルブ４を全開させ、次に前
記主開閉バルブ３を全開する。
気動作を実行する場合に、シーケンスは先ず前記バタフ
ライ型可変コンダクタンスバルブ４を全開させ、次に前
記主開閉バルブ３を全開する。
【００１１】ところが、前記バタフライ型可変コンダク
タンスバルブ４が何等かの事故で開かず、そのまま前記
主開閉バルブ３が全開してしまうと、前記バタフライ型
可変コンダクタンスバルブ４の上流、下流で大きな圧力
差が生じ、この圧力差の為前記弁体７に大きな荷重が掛
かり、バタフライ型可変コンダクタンスバルブ４が破損
する事故を招く。
タンスバルブ４が何等かの事故で開かず、そのまま前記
主開閉バルブ３が全開してしまうと、前記バタフライ型
可変コンダクタンスバルブ４の上流、下流で大きな圧力
差が生じ、この圧力差の為前記弁体７に大きな荷重が掛
かり、バタフライ型可変コンダクタンスバルブ４が破損
する事故を招く。
【００１２】本発明は斯かる実情に鑑み、バタフライ型
可変コンダクタンスバルブが全閉の状態で弁体の上流、
下流で圧力差が発生しても、バタフライ型可変コンダク
タンスバルブが破損するという重大事故の発生を防止す
るものである。
可変コンダクタンスバルブが全閉の状態で弁体の上流、
下流で圧力差が発生しても、バタフライ型可変コンダク
タンスバルブが破損するという重大事故の発生を防止す
るものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、弁体の上流側
と下流側との圧力差が所定値以上となった場合に、弁体
の閉塞状態を開放する手段を具備したバタフライ型可変
コンダクタンスバルブに係り、更に弁体の回転軸心を弁
体の図心よりずらせ、上流側と下流側との圧力差により
弁体に回転力が作用する様にしたバタフライ型可変コン
ダクタンスバルブに係り、更に弁体の回転軸に制限継手
を設け、回転軸に規定以上の回転力が作用した場合に前
記回転軸の拘束を解除するバタフライ型可変コンダクタ
ンスバルブに係り、更に弁体に窓孔を設け、該窓孔に規
定圧力差以上で破損するシートを設けたバタフライ型可
変コンダクタンスバルブに係り、更に又窓孔が穿設され
た保持枠と窓孔が穿設された押え枠によりシートを挾持
してなる弁体を回転軸に取付け、前記シートを交換可能
としたバタフライ型可変コンダクタンスバルブに係るも
のである。
と下流側との圧力差が所定値以上となった場合に、弁体
の閉塞状態を開放する手段を具備したバタフライ型可変
コンダクタンスバルブに係り、更に弁体の回転軸心を弁
体の図心よりずらせ、上流側と下流側との圧力差により
弁体に回転力が作用する様にしたバタフライ型可変コン
ダクタンスバルブに係り、更に弁体の回転軸に制限継手
を設け、回転軸に規定以上の回転力が作用した場合に前
記回転軸の拘束を解除するバタフライ型可変コンダクタ
ンスバルブに係り、更に弁体に窓孔を設け、該窓孔に規
定圧力差以上で破損するシートを設けたバタフライ型可
変コンダクタンスバルブに係り、更に又窓孔が穿設され
た保持枠と窓孔が穿設された押え枠によりシートを挾持
してなる弁体を回転軸に取付け、前記シートを交換可能
としたバタフライ型可変コンダクタンスバルブに係るも
のである。
【００１４】
【作用】弁体の上流側と下流側との圧力差が所定値以上
となった場合に、弁体に掛かる回転力で弁体の閉塞状態
が開放され、又弁体の窓孔に作用する圧力差でシートが
破損して弁体の閉塞状態が開放される。
となった場合に、弁体に掛かる回転力で弁体の閉塞状態
が開放され、又弁体の窓孔に作用する圧力差でシートが
破損して弁体の閉塞状態が開放される。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１６】図１により本発明の第１の実施例を説明す
る。
る。
【００１７】弁箱９の開口形状は流路に対して直角な断
面で略矩形をしており、４隅がＲ形状となっている。
又、弁箱９に収納される弁体１０も前記弁箱９の流路と
合致する様に略矩形形状をしている。前記弁箱９を気密
に且回転自在に貫通する弁軸１１は、前記弁箱９の開口
の図心を外れた位置を通過しており、前記弁軸１１で２
分された、即ち弁体１０の回転中心で２分された前記弁
体１０の２つの部分の面積が異なる様になっている。
面で略矩形をしており、４隅がＲ形状となっている。
又、弁箱９に収納される弁体１０も前記弁箱９の流路と
合致する様に略矩形形状をしている。前記弁箱９を気密
に且回転自在に貫通する弁軸１１は、前記弁箱９の開口
の図心を外れた位置を通過しており、前記弁軸１１で２
分された、即ち弁体１０の回転中心で２分された前記弁
体１０の２つの部分の面積が異なる様になっている。
【００１８】前記弁軸１１はトルク制限継手１２を介し
て弁駆動軸１３に連結され、該弁駆動軸１３は図示しな
いモータ等のバタフライ型可変コンダクタンスバルブ駆
動用のモータ、シリンダ等の弁駆動手段に連結されてい
る。
て弁駆動軸１３に連結され、該弁駆動軸１３は図示しな
いモータ等のバタフライ型可変コンダクタンスバルブ駆
動用のモータ、シリンダ等の弁駆動手段に連結されてい
る。
【００１９】前記した様に弁体１０の回転中心で２分さ
れた前記弁体１０の２つの部分１０ａ，１０ｂの面積が
異なり、受圧面積差により前記弁体１０に回転力が発生
するが、バタフライ型可変コンダクタンスバルブの通常
の作動状態では、弁体１０の上流、下流では大きな圧力
差はなく、弁体１０に作用する回転力も小さく、弁軸１
１、制限継手１２、弁駆動軸１３を介して図示しない弁
駆動手段により支障なく弁体１０の位置を決定し得、バ
タフライ型可変コンダクタンスバルブの開度を調整する
ことができる。
れた前記弁体１０の２つの部分１０ａ，１０ｂの面積が
異なり、受圧面積差により前記弁体１０に回転力が発生
するが、バタフライ型可変コンダクタンスバルブの通常
の作動状態では、弁体１０の上流、下流では大きな圧力
差はなく、弁体１０に作用する回転力も小さく、弁軸１
１、制限継手１２、弁駆動軸１３を介して図示しない弁
駆動手段により支障なく弁体１０の位置を決定し得、バ
タフライ型可変コンダクタンスバルブの開度を調整する
ことができる。
【００２０】次に、前記弁体１０が全閉状態で該弁体１
０の上流、下流で大きな圧力差が発生した場合、例えば
上流側が大気圧で下流側が真空の様な場合、前記弁体１
０の回転中心を挾んだ２つの受圧面積に差がある為、前
記弁体１０に大きな回転力が発生する。前記制限継手１
２は規定された以上の回転力が作用した場合に前記弁軸
１１と前記弁駆動軸１３の連結状態を解除する。この連
結状態の解除で前記弁体１０の拘束が解かれ、該弁体１
０が回転し、弁体１０の上流、下流が連通し、圧力差が
解消される。
０の上流、下流で大きな圧力差が発生した場合、例えば
上流側が大気圧で下流側が真空の様な場合、前記弁体１
０の回転中心を挾んだ２つの受圧面積に差がある為、前
記弁体１０に大きな回転力が発生する。前記制限継手１
２は規定された以上の回転力が作用した場合に前記弁軸
１１と前記弁駆動軸１３の連結状態を解除する。この連
結状態の解除で前記弁体１０の拘束が解かれ、該弁体１
０が回転し、弁体１０の上流、下流が連通し、圧力差が
解消される。
【００２１】前記規定された回転力は、弁体１０の形
状、回転軸の弁体形状中心からの偏位量、及び上流、下
流の圧力差により異なるが、前記弁体１０等が損傷しな
い値である。
状、回転軸の弁体形状中心からの偏位量、及び上流、下
流の圧力差により異なるが、前記弁体１０等が損傷しな
い値である。
【００２２】尚、弁体の形状は矩形形状に限らず、長円
形等であってもよい。
形等であってもよい。
【００２３】次に、図２、図３により、第２の実施例を
説明する。
説明する。
【００２４】前記弁箱９に弁軸１１を回転自在且気密に
設け、該弁軸１１に弁体１０を固着する。該弁体１０は
下記の構成となっている。
設け、該弁軸１１に弁体１０を固着する。該弁体１０は
下記の構成となっている。
【００２５】該弁体１０は保持枠１５、シート１６、押
え枠１７を具備し、前記保持枠１５と前記押え枠１７で
前記シート１６を挾持した状態で前記弁体１０に固着さ
れる。又、前記保持枠１５、押え枠１７にはそれぞれ４
半円状の窓孔１８が穿設されており、前記保持枠１５と
前記押え枠１７とは周辺が螺子により所要ピッチで固着
されており、前記シート１６は気密に挾持される。従っ
て、該弁体１０の上流、下流で圧力差が生ずると、前記
窓孔１８のシート１６が圧力を受ける。該シート１６は
所要の圧力が掛かった場合には破損する様な材質、厚み
を選定する。
え枠１７を具備し、前記保持枠１５と前記押え枠１７で
前記シート１６を挾持した状態で前記弁体１０に固着さ
れる。又、前記保持枠１５、押え枠１７にはそれぞれ４
半円状の窓孔１８が穿設されており、前記保持枠１５と
前記押え枠１７とは周辺が螺子により所要ピッチで固着
されており、前記シート１６は気密に挾持される。従っ
て、該弁体１０の上流、下流で圧力差が生ずると、前記
窓孔１８のシート１６が圧力を受ける。該シート１６は
所要の圧力が掛かった場合には破損する様な材質、厚み
を選定する。
【００２６】而して、上流、下流で圧力差が規定の大き
さを越えると前記窓孔１８のシート１６が破損する様に
なっている。該シート１６が破損することで、弁体１０
の上流、下流が連通し、上流、下流の圧力差が解消さ
れ、バタフライ型可変コンダクタンスバルブはシート１
６の損傷のみで終わることとなる。
さを越えると前記窓孔１８のシート１６が破損する様に
なっている。該シート１６が破損することで、弁体１０
の上流、下流が連通し、上流、下流の圧力差が解消さ
れ、バタフライ型可変コンダクタンスバルブはシート１
６の損傷のみで終わることとなる。
【００２７】該シート１６の交換は、前記保持枠１５と
押え枠１７とを分解することで容易に交換し得る。
押え枠１７とを分解することで容易に交換し得る。
【００２８】以上述べた様に本発明は、弁体に所定以上
の圧力が作用した場合に、弁体の上流、下流を連通させ
る様、弁体の閉塞状態を開放する手段を有したものであ
り、弁体の閉塞状態を開放する手段は上記制限継手１
２、シート１６の外、弁体に孔を穿設し、該孔に所定の
圧力で破損する部材を気密に設けたものでもよい。又、
前記保持枠１５、押え枠１７の窓孔１８の形状は弁軸１
１を挾み半月状のもの、或は小円を複数穿設したもの
等、適宜変更可能であることは言う迄もない。
の圧力が作用した場合に、弁体の上流、下流を連通させ
る様、弁体の閉塞状態を開放する手段を有したものであ
り、弁体の閉塞状態を開放する手段は上記制限継手１
２、シート１６の外、弁体に孔を穿設し、該孔に所定の
圧力で破損する部材を気密に設けたものでもよい。又、
前記保持枠１５、押え枠１７の窓孔１８の形状は弁軸１
１を挾み半月状のもの、或は小円を複数穿設したもの
等、適宜変更可能であることは言う迄もない。
【００２９】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、バタフ
ライ型可変コンダクタンスバルブの上流、下流で大きな
圧力差が発生した場合でもバタフライ型可変コンダクタ
ンスバルブの破損を防止し得る。
ライ型可変コンダクタンスバルブの上流、下流で大きな
圧力差が発生した場合でもバタフライ型可変コンダクタ
ンスバルブの破損を防止し得る。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す正面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す平面図である。
【図４】バタフライ型可変コンダクタンスバルブを具備
した半導体製造装置の構成図である。
した半導体製造装置の構成図である。
【図５】従来のバタフライ型可変コンダクタンスバルブ
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ 真空処理室 ４ バタフライ型可変コンダクタンスバルブ １０ 弁体 １１ 弁軸 １２ 制限継手 １５ 保持枠 １６ シート １７ 押え枠 １８ 窓孔
Claims (5)
- 【請求項１】 弁体の上流側と下流側との圧力差が所定
値以上となった場合に、弁体の閉塞状態を開放する手段
を具備したことを特徴とするバタフライ型可変コンダク
タンスバルブ。 - 【請求項２】 弁体の回転軸心を弁体の図心よりずら
せ、上流側と下流側との圧力差により弁体に回転力が作
用する様にした請求項１のバタフライ型可変コンダクタ
ンスバルブ。 - 【請求項３】 弁体の回転軸に制限継手を設け、回転軸
に規定以上の回転力が作用した場合に前記回転軸の拘束
を解除する請求項２のバタフライ型可変コンダクタンス
バルブ。 - 【請求項４】 弁体に窓孔を設け、該窓孔に規定圧力差
以上で破損するシートを設けた請求項１のバタフライ型
可変コンダクタンスバルブ。 - 【請求項５】 窓孔が穿設された保持枠と窓孔が穿設さ
れた押え枠によりシートを挾持してなる弁体を回転軸に
取付け、前記シートを交換可能とした請求項４のバタフ
ライ型可変コンダクタンスバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8914194A JPH07280106A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | バタフライ型可変コンダクタンスバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8914194A JPH07280106A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | バタフライ型可変コンダクタンスバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07280106A true JPH07280106A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=13962599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8914194A Pending JPH07280106A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | バタフライ型可変コンダクタンスバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07280106A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
| JP2010139073A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Inficon Gmbh | バルブ構造 |
| JP2017013574A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 宇部興産海運株式会社 | 揚荷装置 |
| JP2017149421A (ja) * | 2017-04-19 | 2017-08-31 | 宇部興産海運株式会社 | 揚荷装置 |
-
1994
- 1994-04-04 JP JP8914194A patent/JPH07280106A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001108130A (ja) * | 1999-05-25 | 2001-04-20 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ処理装置用クラスタバルブ |
| JP2010139073A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Inficon Gmbh | バルブ構造 |
| JP2017013574A (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-19 | 宇部興産海運株式会社 | 揚荷装置 |
| JP2017149421A (ja) * | 2017-04-19 | 2017-08-31 | 宇部興産海運株式会社 | 揚荷装置 |
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