JPH0727778A

JPH0727778A - 流速センサおよびそれを用いた流体流速の測定方法

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Publication number: JPH0727778A
Application number: JP17392393A
Authority: JP
Inventors: Yoichiro Ogita; 陽一郎荻田
Original assignee: Y TEC DESIGN KK; Ikutoku Gakuen School Corp; Meiko Co Ltd
Current assignee: Y TEC DESIGN KK; Ikutoku Gakuen School Corp; Meiko Co Ltd
Priority date: 1993-07-14
Filing date: 1993-07-14
Publication date: 1995-01-31

Abstract

(57)【要約】【目的】流体の温度に関係なくその流体の流速を測定
できる流速センサとそれを用いた流体流速の測定方法を
提供する。【構成】この流速センサは、第１導電材１と、第２導
電材２と、第１導電材および第２導電材の各一端を接続
して成る接続部３と、第１導電材の他端に接続された第
１リード線５ａと、第２導電材の他端に接続された第２
リード線５ｂとを有する熱電対構造体であって、接続部
３が発熱可能になっている。全体を被測定流体ｆの中に
置き、接続部３を発熱させ、第１リード線５ａと第２リ
ード線５ｂの間の熱起電力の変化を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流速センサとそれを用
いた流体流速の測定方法に関し、更に詳しくは、構造が
簡単であり、また被測定流体の温度に無依存でその流体
の流速を正確に測定できる流速センサとそれを用いた流
体流速の測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】工業製品の製造プロセスにおいては、用
いる各種の材料ガスや流体の流量を計測するために各種
の流量計が使用されている。また、最近では、超高層ビ
ルなどの居住空間における空気流の空間分布を健康衛生
の観点や安全性の観点から求め、その結果に基づいて最
適な空気調整を実施することが望まれているが、そのこ
とに伴って、小型で、低価格で、大量供給が可能なフロ
ーセンサへのニーズが高まっている。

【０００３】更に、自動車などに搭載される燃焼型エン
ジンの分野においては、省エネルギーや無公害の観点か
ら、最適な空気量と最適な燃料噴射速度を検出し、これ
らのファクターを時々刻々コントロールするために、正
確で、信頼性が高く、しかも小型で、応答性が優れてい
る流速センサの開発が求められている。また、流体力学
の研究開発の分野においても、風洞内の風速分布を細密
に測定することができる、小型で応答性に優れた流速セ
ンサが求められている。

【０００４】従来、流体の流速を測定する装置には、例
えば、ピトー管流速計，絞り流量計，タービン流量計，
面積流量計など、力学的な原理を応用したものや、電磁
流量計，超音波流量計，熱線型流量計，金属薄膜型流量
計，サーミスタ温度計型流量計など、電磁気学的な原理
を応用したものが知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記した力
学的原理を応用する各種の流速計は、いずれも得られる
測定値は正確であり、信頼性が高い。しかしながら、こ
れら流速計は、いずれもその形状が大型であり、高価格
であり、応答が遅いという欠点の外に、例えば管体内を
流れる流体の流速分布を測定することができないという
問題がある。

【０００６】一方、後者の流速計の場合、前者の欠点は
可成り解消されるものの全体として高価格である。そし
て、例えば熱線型流量計の場合は、測定時に、被測定流
体の温度が変化すると、正確な流速を測定することがで
きないという問題がある。熱線型流量計においては、上
記した問題への対策として、絶縁基板の上に、発熱用抵
抗体および温度補償用抵抗体として金属薄膜から成る細
線をパターニングした改良品が提案されている。

【０００７】しかしながら、上記改良品の場合、発熱用
抵抗体の発熱量を大たらしめ、また温度補償用抵抗体の
温度変化に対する感応性を高め、もって流速感度を高め
るためには、パターニングする材料の電気抵抗が小さい
金属から成ることを考えると、細線の線幅をμｍオーダ
に狭くし、また細線の長さを長くすることが必要にな
る。したがって、細線のパターニング操作は精密さが要
求される作業となり、全体の製造コストを引き上げるよ
うになる。

【０００８】本発明は、従来の流速計における上記した
問題を解決することができ、形状は小型で、安価に製造
することができ、また測定値は正確で、応答性も優れ、
そしてなによりも、被測定流体の温度と無関係に流体の
流速を測定することができる流速センサとそれを用いた
流体流速の測定方法の提供を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、第１導電材と、前記第１導
電材と異種類の材料から成る第２導電材と、前記第１導
電材および前記第２導電材の各一端を接続して成る接続
部と、前記第１導電材の他端に接続された第１リード線
と、前記第２導電材の他端に接続された第２リード線と
を有する熱電対構造体であって、前記接続部が発熱可能
であることを特徴とする流速センサ（以下、第１の流速
センサという）が提供され、また、複数個の第１導電材
と、前記第１導電材と異種類の材料から成り、かつ前記
第１導電材と同数の第２導電材と、前記第１導電材と前
記第２導電材を交互に直列に接続して成る複数個の接続
部と、前記第１導電材の自由端に接続された第１リード
線と、前記第２導電材の自由端に接続された第２リード
線とを有する熱電対構造体であって、前記複数個の接続
部のうち、１つおきに位置する接続部のみが発熱可能で
あることを特徴とする流速センサ（以下、第２の流速セ
ンサという）が提供され、更に、第１導電材と、前記第
１導電材と異種類の材料から成る２個の第２導電材と、
前記第１導電材の両端と前記第２導電材の各一端を接続
して成る２個の接続部と、前記第２導電材のそれぞれの
他端に接続された第１リード線および第２リード線とを
有する熱電対構造体であって、前記２個の接続部のうち
一方の接続部のみが発熱可能であることを特徴とする流
速センサ（以下、第３の流速センサという）が提供さ
れ、また、第１導電材と、前記第１導電材と異種類の材
料から成る２個の第２導電材と、前記第１導電材の両端
と前記第２導電材の各一端を接続して成る２個の接続部
と、前記第２導電材のそれぞれの他端に接続された第１
リード線および第２リード線と、前記第１導電材に接続
された第３リード線とを有する熱電対構造体であって、
前記２個の接続部のうち一方の接続部のみが発熱可能で
あることを特徴とする流速センサ（以下、第４の流速セ
ンサという）が提供される。

【００１０】また、本発明においては、前記した第１の
流速センサまたは第２の流速センサの全体を被測定流体
の流路内に配置し、前記接続部を発熱させ、前記第１リ
ード線と前記第２リード線の間に検出される熱起電力の
変化を測定し、その熱起電力変化値から被測定流体の流
速を同定することを特徴とする流体流速の測定方法（以
下、第１の方法という）が提供され、また、２個の第１
の流速センサを、その接続部のみを被測定流体の流路に
挿入、２個の接続部のうち一方の接続部のみを発熱さ
せ、それぞれの流速センサで検出される熱起電力の差を
測定し、その熱起電力差から被測定流体の流速を同定す
ることを特徴とする流体流速の測定方法（以下、第２の
方法という）が提供され、また、第３の流速センサの全
体を被測定流体の流路内に配置し、前記一方の接続部の
みを発熱させ、前記第１リード線と前記第２リード線の
間に検出される熱起電力を測定し、その熱起電力値から
被測定流体の流速を同定することを特徴とする流体流速
の測定方法（以下、第３の方法という）が提供され、更
には、第４の流速センサの全体を被測定流体の流路内に
配置し、前記一方の接続部のみを発熱させ、前記第１リ
ード線と前記第３リード線の間または前記第２リード線
と前記第３リード線の間に検出される熱起電力を測定
し、その熱起電力値から被測定流体の流速を同定するこ
とを特徴とする流体流速センサの測定方法（以下、第４
の方法という）が提供される。

【００１１】

【作用】まず最初に第１の測定方法における作用につい
て説明する。この測定方法においては、第１の流速セン
サまたは第２の流速センサが使用され、それらセンサで
検出される熱起電力の変化値との関係で被測定流体の流
速が測定される。この第１の測定方法においては、流速
センサの全体が被測定流体の中に置かれる。したがっ
て、第１導電材と第２導電材との接続部，第１導電材と
第リード線との接続点（以下、これを第１接続点とい
う）、および第２導電材と第２リード線との接続点（以
下、これを第２接続点という）に対し、被測定流体の温
度は同等の影響を与えていることになる。言い換えれ
ば、接続部と第１接続点間の温度差、および、接続部と
第２接続点間の温度差は、被測定流体が温度変化した場
合であっても同じである。

【００１２】温度ｔ₀の被測定流体の流速の測定時に
は、まず第１導電材と第２導電材の接続部を発熱させ
る。今、この温度をＴ₀とし、また第１接続点と第２接
続点の温度をＴ₀'とする。その結果、接続部と第１接続
点（および第２接続点）の間に温度差：ΔＴ₀＝Ｔ₀−
Ｔ₀'が生ずる。したがって、第１リード線と第２リード
線の間に電圧計を結線すれば、その電圧計には、上記温
度差ΔＴ₀に対応して発生した熱起電力Ｖ₀が検出され
る。

【００１３】ここで、被測定流体の流速が変化したとす
る。今、流速は増加したものとする。接続部における発
熱量は増加流速の流体に奪われるので、接続部の温度は
Ｔ₀からＴ₁(Ｔ₀＞Ｔ₁)へと降温する。そして、第１接
続点および第２接続点の温度も別の温度Ｔ₁'に変化す
る。

【００１４】なお、Ｔ₁はＴ₀より高くなる場合（被測
定流体の温度ｔ₀がＴ₀より高い場合）もあり、またＴ
₁はＴ₀より低くなる場合（被測定流体の温度ｔ₀がＴ
₀より低い場合）もある。したがって、このときには、
第１リード線と第２リード線の間には、温度差：ΔＴ₁
＝Ｔ₁−Ｔ₁'に対応し、上記した当初の熱起電力Ｖ₀と
は異なる値の熱起電力Ｖ₁が検出される。

【００１５】ところで、被測定流体の温度がｔ₀から
ｔ’に変化したとしても、この温度変化は、接続部，第
１接続点および第２接続点のいずれに対しても同等に作
用する。したがって、温度差ΔＴ₁に基づいて発生した
熱起電力Ｖ₁は上記した温度変化の影響が消去された値
になっている。それゆえ、流速変化に伴って測定された
熱起電力の変化値：Ｖ₀−Ｖ₁は、被測定流体の温度と
無関係な値であり、流体の流速変化に依存する関数であ
る。一般に比例関係にある関数である。

【００１６】したがって、被測定流体の流速と、第１お
よび第２リード線間で測定される熱起電力との関係を予
め測定しておき、両者の関係を示す検量線を作成してお
けば、実際の流速測定時には、この検量線を用いること
により、このセンサから発信される熱起電力を基にして
流体の流速を同定することができる。つぎに、第２の測
定方法における作用について説明する。この測定方法で
は、２個の第１の流速計が使用される。

【００１７】この方法では、第１の流速計における接続
部のみが被測定流体の中に挿入されて流体と接触し、そ
れぞれの第１接続点，第２接続点，第１リード線および
第２リード線はいずれも被測定流体と接触することはな
い。そして、被測定流体と接続している２個の接続部の
うち、一方の接続部のみが発熱せしめられる。このと
き、一方の流速センサＡで測定される熱起電力をＶ_Aと
し、また、他方の流速センサＢで測定される熱起電力を
Ｖ_Bとすると、これら熱起電力Ｖ_A,Ｖ_Bには、いずれ
も、被測定流体の温度ｔが同じ影響を与えている。

【００１８】したがって、両熱起電力の差：Ｖ_A−Ｖ_B
は、測定される熱起電力における被測定流体の温度ｔに
よる影響が相殺された値になり、それは被測定流体の流
速ｖと比例関係にある。そのため、流速と熱起電力差：
Ｖ_A−Ｖ_Bとの関係につき、予め検量線を作成しておけ
ば、この検量線を利用し、流速センサＡ，Ｂの熱起電力
の差を測定することにより、被測定流体の流速を求める
ことができる。

【００１９】つぎに、第３の測定方法における作用を説
明する。この測定方法には第３の流速センサが使用され
る。この第３の測定方法においては、第１の測定方法の
場合と同じように、流速センサの全体が被測定流体の中
に置かれる。そして、第２の測定方法の場合と同じよう
に、２個の接続部のうち一方の接続部のみが発熱せしめ
られる。

【００２０】この流速センサにおいては、第１導電材が
中央に位置しその両端に第２導電材が接続され、それら
の第２導電材の他端から第１リード線と第２リード線が
引き出された構造になっているので、２個の第２導電材
は第１導電材に対し逆接続していることになる。したが
って、第１リード線と第２リード線の間に検出される熱
起電力は、発熱している一方の接続部と第１接続点（ま
たは第２接続点）間の温度差に基づく熱起電力Ｖ_Cか
ら、発熱していない他方の接続部と第２接続点（または
第１接続点）間の温度差に基づく熱起電力Ｖ_Dの差にな
っている。

【００２１】そのため、この測定された熱起電力は、そ
れ自体として、流体の温度と無関係であり、第２の測定
方法で測定される熱起電力差に相当し、流体の流速に比
例する値になる。したがって、予め、流体の流速と測定
熱起電力との関係を検量線として作成しておけば、その
検量線に基づき、第１リード線と第２リード線の間で測
定された熱起電力値それ自体から流速を同定することが
できる。

【００２２】最後に、第４の測定方法における作用につ
いて説明する。この測定方法には第４の流速センサが使
用される。この第４の測定方法においては、第１または
第３の測定方法の場合と同じように、流速センサの全体
が被測定流体の中に置かれて、２個所の接続部のうち一
方の接続部のみが発熱せしめられる。

【００２３】この流速センサにおいて、中央に位置する
第１導電材と一方の第２導電材とから成る一方の熱電対
構造、および、同じく第１導電材と他方の第２導電材と
から成る他方の熱電対構造は互いに逆接続しており，第
１導電材に接続された第３リード線は、上記した２つの
熱電対構造にとっての共通リード線になっている。した
がって、第１リード線（または第２リード線）と第３リ
ード線の間で検出される熱起電力は、上記した２つの熱
電対構造が発生するそれぞれの熱起電力の差になってい
る。

【００２４】そのため、この測定された熱起電力は、そ
れ自体として、流体の温度と無関係であり、第２の測定
方法で測定される熱起電力差に相当し、流体の流速に比
例する値になる。したがって、予め、流体の流速と測定
熱起電力との関係を検量線として作成しておけば、その
検量線に基づき、第１リード線（または第２リード線）
と第３リード線の間で測定された熱起電力値それ自体か
ら流速を同定することができる。

【００２５】

【実施例】

実施例１図１は、第１の流速センサＡの例を示す平面図である。
図において、第１導電材１の一端と第２導電材２の一端
を接続して接続部３が構成され、また第１導電材１の他
端には第１リード線５ａを接続して第１接続点４ａが形
成され、第２導電材２の他端には第２リード線５ｂを接
続して第２接続点４ｂが形成され、全体として、熱電対
構造体になっている。

【００２６】ここで、第１導電材１と第２導電材２は、
いわゆる熱電対を構成することができる材料のように、
互いに異種の導電材料であればよく、例えば、両方が異
種類の半導体である場合や、一方が金属で他方が半導体
である場合の組合せをあげることができる。この第１導
電材１と第２導電材２の形状は格別限定されるものでは
ないが、例えば、いずれもが、線状体や棒状体、または
箱状体などであればよい。

【００２７】なお、この流速センサとしては、例えば、
ガラス基板のような絶縁基板の上に、図１で示したよう
に、接続部３の近辺を第１導電材１および第２導電材よ
りも狭幅にした平面パターンとなるように、第１導電材
１と第２導電材２の薄膜を、例えば、蒸着法やメッキ法
など常用の薄膜形成法によって成膜し、それぞれの端部
にリード線５ａ，５ｂを接合した構造のものであっても
よい。

【００２８】この第１の流速センサＡは、図２で示した
ように、流速νの被測定流体ｆが流れている、例えば管
６の中に全体を挿入して実用に供される。このとき、接
続部３，第１接続点４ａおよび第２接続点４ｂは全て管
６の中に挿入されて被測定流体ｆに曝され、第１リード
線５ａと第２リード線５ｂのみが管６から引き出されて
熱起電力を検出する電圧計７に接続される。

【００２９】流速の測定に当たっては、まず、接続部３
が発熱せしめられる。発熱の方法としては、管６の中に
挿入した流速センサＡの各リード線５ａ，５ｂを電源８
に接続し、この電源８から所定値の電流を流速センサＡ
に通電すればよい。図１で示したように、流速センサＡ
における接続部３の付近は、第１導電材１および第２導
電材２よりも狭幅な寸法形状になっているので、通電す
ると、この接続部３は抵抗発熱するからである。したが
って、電流値を制御すれば、この接続部３の発熱量を適
宜に制御することができる。

【００３０】なお、接続部３の発熱に関しては、その接
続部を上記したような通電で抵抗発熱する構造にするこ
となく、例えば、各種の発熱体（図示しない）をこの接
続部３の近辺に配置し、その発熱体を動作させて接続部
を加熱する方法を採用してもよい。電源８からの通電量
を一定に制御することにより、接続部３の発熱量は一定
になる。したがって、電圧計７には、所定の熱起電力が
検出されることになる。

【００３１】ここで、被測定流体の流速が変化すると、
接続部３の発熱量の一部は被測定流体ｆに奪われる。し
たがって、電圧計７で検出される熱起電力は変化する。
このとき、被測定流体ｆの温度が変化したとしても、接
続部３，第１接続点４ａおよび第２接続点４ｂにおいて
は、被測定流体ｆの温度変化に基づく熱起電力への影響
は全て同一である。したがって、電圧計７で検出された
熱起電力の変化値は、流速変化の関数になる。

【００３２】予め、流速と熱起電力との関係を検量線と
して作成しておけば、この検量線に基づき、検出された
熱起電力から被測定流体の流速を知ることができる。な
お、この流速センサＡの場合は、各構成部材の電気抵抗
に基づく電圧降下を利用するものではないので、前記し
た従来の熱線型流量計のように、通電経路のパターンを
μｍオーダで狭幅にしたり、または長くすることも不要
であり、その製造は非常に容易である。

【００３３】また、この流速センサＡにおいて、接続部
３付近を狭幅にすると、この部分の熱容量は小さくなる
ので、少ない通電量でもその部分を発熱させることがで
きると同時に、その発熱量が第１導電材１や第２導電材
へ伝達して逃散することを防止できるので、被測定流体
の流速変化に対する応答性を高めることができる。実施例２図３は、第２の流速センサＢを被測定流体ｆが流れる管
６の中に挿入した状態を示す概略図である。

【００３４】この流速センサＢでは、複数個（図では５
個）の第１導電材１、それと同数の第２導電材２が直列
に交互に接続されている。そして、これら接続部のう
ち、１つおきの接続部が発熱する接続部３になってい
て、これら５個の接続部３は略１個所にまとめて配置さ
れている。更には、最初に位置する第１導電材１の自由
端に第１リード線５ａを接続して第１接続点４ａが形成
され、最後に位置する第２導電材２の自由端に第２リー
ド線５ｂを接続して第２接続点４ｂが形成されている。

【００３５】この流速センサＢにおいて、接続部３は、
実施例１における図１で示したように寸法形状を狭幅に
して形成することができる。また、４個の接続部３ａは
発熱しなくてもよいので、例えば、寸法形状を幅広にし
て第１導電材１と第２導電材２を接続しておけばよい。
この第２の流速センサＢを用いて被測定流体ｆの流速を
測定する場合、流速センサＢを被測定流体ｆの中へ挿入
する態様，接続部３の発熱のさせ方，熱起電力の測定の
態様などは、実施例１と同様である。

【００３６】この流速センサＢの場合、多数の接続部３
が略１個所に集積されているで、わずかな流速変化に対
しても敏感に反応することができるという長所を備えて
いる。実施例３図４は、第３の流速センサＣの例を示す平面図である。
この第３の流速センサＣにおいては、第１導電材１の両
端に２個の第２導電材２のそれぞれの一端を接続して、
図１で示した接続部と同じように、２個所の接続部３，
３’が形成され、また、２個の第２導電材２，２のそれ
ぞれの他端には第１リード線５ａ，第２リード線５ｂを
接続して、それぞれ、第１接続点４ａ，第２接続点４ｂ
が形成されている。

【００３７】この第３の流速センサＣを用いて被測定流
体ｆの流速を測定する場合には、図５で示したように、
流速センサＣの全体を被測定流体ｆの中に置き、２個所
の接続部３，３’のうちいずれかを発熱させ、第１リー
ド線５ａと第２リード線５ｂの間で発生した熱起電力を
測定する。この場合、第１リード線５ａと第２リード線
５ｂに通電すると、両方の接続部３，３’はいずれも発
熱してしまうので、接続部３，３’の一方を発熱させる
方法としては、一方の接続部の近辺に、例えば温度制御
可能な発熱体（図示しない）を配置して発熱させること
が好ましい。

【００３８】第１リード線５ａと第２リード線５ｂの間
で測定される熱起電力は、第３の測定方法の作用として
説明したように、被測定流体ｆの流速に比例する値とな
る。実施例４図６は、第４の流速センサＤの例を示す平面図である。
この第３の流速センサの構造は、図４で示した第３の流
速センサＣにおいて、中央に位置する第１導電材１の適
当な端部に第３リード線５ｃを接続して第３接続点４ｃ
が形成されていることを除いては、第３の流速センサｃ
と変わることはない。

【００３９】この第４の流速センサＤを用いて被測定流
体の流速を測定する場合には、図７で示したように、ま
ず、流速センサＤの全体が被測定流体ｆの中に置かれ、
全てのリード線５ａ，５ｂ，５ｃは管６から引き出さ
れ、第１リード線５ａと第２リード線５ｂは電圧計７に
接続され、また、第１リード線５ａと第３リード線５ｃ
は電源８に接続される。

【００４０】流速測定においては、まず、電源８から所
定値の電流を通電して一方の接続部３を発熱させる。そ
して、電圧計７によって、第１リード線５ａと第２リー
ド線５ｂの間に発生した熱起電力を測定する。この熱起
電力は、実施例３で測定された熱起電力と同じように、
被測定流体ｆの流速に比例する値になる。例えば、ガラ
ス基板の上に、第１導電材１としてコンスタンタン薄
膜，第２導電材２として銅薄膜を図６で示したようなパ
ターン形状で成膜し、それぞれの薄膜にリード線を接続
して第４の流速センサＤとした。

【００４１】この流速センサＤを図７のようにして、空
気流ｆの中に配置し、リード線５ａ，５ｃに８０ｍＡの
電流を流して、接続部３の温度を室温（空気流の温度）
より１４℃高温にした。この状態で、空気流の流速を変
化させ、そのときの電圧計７で測定される熱起電力を測
定した。

【００４２】その結果を図８に示した。図８から明らか
なように、測定される熱起電力は風速と略直線関係にあ
る。

【００４３】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
流速センサは、被測定流体の温度が変化しても、その流
速を正確に熱起電力の比例関数として同定することがで
きる。また、全体の形状を小型にすることができ、ま
た、安価かつ大量に生産することもできるので、工業的
に有用であるのみならず、人間の居住空間の最適化のた
めのモニタ器具としても有用である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の流速センサを示す平面図である。

【図２】第１の流速センサを用いた流速の測定方法を説
明するための概略図である。

【図３】第２の流速センサを用いた流速の測定方法を説
明するための概略図である。

【図４】第３の流速センサを示す平面図である。

【図５】第３の流速センサを用いた流速の測定方法を説
明するための概略図である。

【図６】第４の流速センサを示す平面図である。

【図７】第４の流速センサを用いた流速の測定方法を説
明するための概略図である。

【図８】第４の流速センサによる熱起電力と風速との関
係を示すグラフである。

【符号の説明】

１第１導電材２第２導電材３，３’ 第１導電材１と第２導電材２との接続部４ａ第１接続点４ｂ第２接続点５ａ第１リード線５ｂ第２リード線５ｃ第３リード線６管７電圧計８電源

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１導電材と、前記第１導電材と異種類
の材料から成る第２導電材と、前記第１導電材および前
記第２導電材の各一端を接続して成る接続部と、前記第
１導電材の他端に接続された第１リード線と、前記第２
導電材の他端に接続された第２リード線とを有する熱電
対構造体であって、前記接続部が発熱可能であることを
特徴とする流速センサ。
【請求項２】複数個の第１導電材と、前記第１導電材
と異種類の材料から成り、かつ前記第１導電材と同数の
第２導電材と、前記第１導電材と前記第２導電材を交互
に直列に接続して成る複数個の接続部と、前記第１導電
材の自由端に接続された第１リード線と、前記第２導電
材の自由端に接続された第２リード線とを有する熱電対
構造体であって、前記複数個の接続部のうち、１つおき
に位置する接続部のみが発熱可能であることを特徴とす
る流速センサ。
【請求項３】前記接続部は通電による抵抗発熱体構造
になっていて、前記接続部に通電して発熱させる請求項
１または２の流速センサ。
【請求項４】前記接続部の近辺に発熱体が配置され、
前記発熱体を動作して前記接続部を発熱させる請求項１
または２の流速センサ。
【請求項５】前記熱電対構造体が絶縁基板の上に一体
的に添着されている請求項１から４のいずれかに記載の
流速センサ。
【請求項６】請求項１または２の流速センサの全体を
被測定流体の流路内に配置し、前記接続部を発熱させ、
前記第１リード線と前記第２リード線の間に検出される
熱起電力の変化を測定し、その熱起電力変化値から被測
定流体の流速を同定することを特徴とする流体流速の測
定方法。
【請求項７】２個の請求項１の流速センサを、その接
続部のみを被測定流体の流路に挿入し、２個の接続部の
うち一方の接続部のみを発熱させ、それぞれの流速セン
サで検出される熱起電力の差を測定し、その熱起電力差
から被測定流体の流速を同定することを特徴とする流体
流速の測定方法。
【請求項８】第１導電材と、前記第１導電材と異種類
の材料から成る２個の第２導電材と、前記第１導電材の
両端と前記第２導電材の各一端を接続して成る２個の接
続部と、前記第２導電材のそれぞれの他端に接続された
第１リード線および第２リード線とを有する熱電対構造
体であって、前記２個の接続部のうち一方の接続部のみ
が発熱可能であることを特徴とする流速センサ。
【請求項９】前記一方の接続部は通電による抵抗発熱
体構造になっていて、前記一方の接続部にのみ通電して
発熱させる請求項８の流速センサ。
【請求項１０】前記一方接続部の近辺に発熱体が配置
され、前記発熱体を動作して前記一方の接続部のみを発
熱させる請求項８の流速センサ。
【請求項１１】前記熱電対構造体が絶縁基板の上に一
体的に添着されている請求項８、９または１０のいずれ
かに記載の流速センサ。
【請求項１２】請求項８の流速センサの全体を被測定
流体の流路内に配置し、前記一方の接続部のみを発熱さ
せ、前記第１リード線と前記第２リード線の間に検出さ
れる熱起電力を測定し、その熱起電力値から被測定流体
の流速を同定することを特徴とする流体流速の測定方
法。
【請求項１３】第１導電材と、前記第１導電材と異種
類の材料から成る２個の第２導電材と、前記第１導電材
の両端と前記第２導電材の各一端を接続して成る２個の
接続部と、前記第２導電材のそれぞれの他端に接続され
た第１リード線および第２リード線と、前記第１導電材
に接続された第３リード線とを有する熱電対構造体であ
って、前記２個の接続部のうち一方の接続部のみが発熱
可能であることを特徴とする流速センサ。
【請求項１４】前記一方の接続部は通電による抵抗発
熱体構造になっていて、前記一方の接続部にのみ通電し
て発熱させる請求項１３の流速センサ。
【請求項１５】前記一方の接続部の近辺に発熱体が配
置され、前記発熱体を動作して前記一方の接続部のみを
発熱させる請求項１３の流速センサ。
【請求項１６】前記熱電対構造体が絶縁基板の上に一
体的に添着されている請求項１３、１４または１５のい
ずれかに記載の流速センサ。
【請求項１７】請求項１３の流速センサの全体を被測
定流体の流路内に配置し、前記一方の接続部のみを発熱
させ、前記第１リード線と前記第３リード線の間または
前記第２リード線と前記第３リード線の間に検出される
熱起電力を測定し、その熱起電力値から被測定流体の流
速を同定することを特徴とする流速センサ。