JPH07274556A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
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- JPH07274556A JPH07274556A JP6099033A JP9903394A JPH07274556A JP H07274556 A JPH07274556 A JP H07274556A JP 6099033 A JP6099033 A JP 6099033A JP 9903394 A JP9903394 A JP 9903394A JP H07274556 A JPH07274556 A JP H07274556A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電素子を用いた圧電アクチュエ
ータにおいて、柱状の弾性体に励振されるの２種類の屈
曲振動により、柱状の弾性体に突設された突起部に、突
起部の突出方向および突起部の突出方向の直角方向に振
動変位を発生させ、機械的出力を相交差する２方向に取
り出す圧電アクチュエータの提供。 【構成】 柱状の弾性体（３）と、弾性体
（３）に固着された圧電素子（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）
（２ｄ）と、機械的出力を取り出す突起部（４）と弾性
体（３）を支持する支持部（５）とからなり、２方向の
機械的出力を取り出すことを可能とした構成。
ータにおいて、柱状の弾性体に励振されるの２種類の屈
曲振動により、柱状の弾性体に突設された突起部に、突
起部の突出方向および突起部の突出方向の直角方向に振
動変位を発生させ、機械的出力を相交差する２方向に取
り出す圧電アクチュエータの提供。 【構成】 柱状の弾性体（３）と、弾性体
（３）に固着された圧電素子（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）
（２ｄ）と、機械的出力を取り出す突起部（４）と弾性
体（３）を支持する支持部（５）とからなり、２方向の
機械的出力を取り出すことを可能とした構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子の逆圧電効果
により電気的エネルギーを機械的出力に変換するアクチ
ュエータに関する。
により電気的エネルギーを機械的出力に変換するアクチ
ュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のくさび効果を利用した圧電アクチ
ュエータとして、例えば特開昭５４−１６４２０２に示
された振動モータがある。この振動モータは電気発振器
と、その電気発振器により励起される作用圧電セルと、
その圧電セルの超音波振動を集中させる集中器とより構
成され、この集中器を任意の角度でロータに押しつける
ことにより回転運動を行わせるものである。この振動モ
ータは圧電素子の縦効果を利用しており、集中部はその
突出方向にのみ振動し、ロータは一方向に回転するもの
であった。
ュエータとして、例えば特開昭５４−１６４２０２に示
された振動モータがある。この振動モータは電気発振器
と、その電気発振器により励起される作用圧電セルと、
その圧電セルの超音波振動を集中させる集中器とより構
成され、この集中器を任意の角度でロータに押しつける
ことにより回転運動を行わせるものである。この振動モ
ータは圧電素子の縦効果を利用しており、集中部はその
突出方向にのみ振動し、ロータは一方向に回転するもの
であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述の構成の振動モー
タの方式では集中器に励振される振動は一方向であるた
め機械的な出力すなわち回転を行わせる運動は一方向に
しか発生できず、従ってロータを一方向にしか回転させ
られなかった。即ち、従来のくさび効果を利用したモー
タでは一方向の動きしか取り出すことができなかった。
本発明は、前述の欠点を解決するために創案されたもの
で、相交差する２方向の運動を発生させ、各方向のくさ
び効果を利用することにより２方向の回転運動や直線運
動を行わせることが可能な圧電アクチュエータを提供す
ることを目的としている。
タの方式では集中器に励振される振動は一方向であるた
め機械的な出力すなわち回転を行わせる運動は一方向に
しか発生できず、従ってロータを一方向にしか回転させ
られなかった。即ち、従来のくさび効果を利用したモー
タでは一方向の動きしか取り出すことができなかった。
本発明は、前述の欠点を解決するために創案されたもの
で、相交差する２方向の運動を発生させ、各方向のくさ
び効果を利用することにより２方向の回転運動や直線運
動を行わせることが可能な圧電アクチュエータを提供す
ることを目的としている。
【０００４】
【問題点を解決するための手段】上記問題点を解決する
ために、本発明の第一の圧電アクチュエータは両端に支
持部を有するとともに平行平面部が形成された柱状の弾
性体と、平行平面部の一方で弾性体の長手方向中心位置
に突設された突起部と、平行平面部の少なくとも一方の
平面部に突起部を中心とする対称位置にそれぞれ設けら
れた圧電素子とから成り、それぞれの圧電素子にそれぞ
れ所望の駆動電圧を印加することにより、突起部に突起
部の突出方向の振動変位と、突起部の突出方向に対し直
角方向の振動変位を発生させるように構成したものであ
る。第二の圧電アクチュエータは、第一の圧電進行アク
チュエータに任意の方向の運動が許容されるように支持
され突起部の振動変位発生部に所定の圧力でかつ一定の
角度で接触する運動体を付加し、振動変位発生部の二種
類の方向の振動変位により運動体の許容される方向の運
動に変換するように構成したものである。第三の圧電ア
クチュエータは、第二の圧電アクチュエータの運動体を
回転自在に支持され外周部が突起部の振動変位発生部に
任意の圧力でかつ一定の角度で接触する回転運動体と
し、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位により回
転運動体を回転運動させるように構成したものである。
第四の圧電アクチュエータは、第二の圧電アクチュエー
タの運動体を直線運動自在に支持され外周部が突起部の
振動変位発生部に所定の圧力でかつ一定の角度で接触す
る直線運動体とし、振動変位発生部の二種類の方向の振
動変位により直線運動体を直線運動させるように構成し
たものである。
ために、本発明の第一の圧電アクチュエータは両端に支
持部を有するとともに平行平面部が形成された柱状の弾
性体と、平行平面部の一方で弾性体の長手方向中心位置
に突設された突起部と、平行平面部の少なくとも一方の
平面部に突起部を中心とする対称位置にそれぞれ設けら
れた圧電素子とから成り、それぞれの圧電素子にそれぞ
れ所望の駆動電圧を印加することにより、突起部に突起
部の突出方向の振動変位と、突起部の突出方向に対し直
角方向の振動変位を発生させるように構成したものであ
る。第二の圧電アクチュエータは、第一の圧電進行アク
チュエータに任意の方向の運動が許容されるように支持
され突起部の振動変位発生部に所定の圧力でかつ一定の
角度で接触する運動体を付加し、振動変位発生部の二種
類の方向の振動変位により運動体の許容される方向の運
動に変換するように構成したものである。第三の圧電ア
クチュエータは、第二の圧電アクチュエータの運動体を
回転自在に支持され外周部が突起部の振動変位発生部に
任意の圧力でかつ一定の角度で接触する回転運動体と
し、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位により回
転運動体を回転運動させるように構成したものである。
第四の圧電アクチュエータは、第二の圧電アクチュエー
タの運動体を直線運動自在に支持され外周部が突起部の
振動変位発生部に所定の圧力でかつ一定の角度で接触す
る直線運動体とし、振動変位発生部の二種類の方向の振
動変位により直線運動体を直線運動させるように構成し
たものである。
【０００５】
【作用】前述した構成により、第一の圧電アクチュエー
タはそれぞれの圧電素子にそれぞれ所望の駆動電圧を印
加することにより、突起部に突起部の突出方向の振動変
位と、突起部の突出方向に対し直角方向の振動変位を発
生させることができる。すなわち、相交差する２方向の
運動を発生させることができる。第二の圧電アクチュエ
ータは、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位によ
るくさび効果により運動体を二種類の許容される方向に
運動させることができる。第三の圧電アクチュエータ
は、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位によるく
さび効果により回転運動体を正方向または逆方向の二方
向に回転運動させることができる。第四の圧電アクチュ
エータは、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位に
よるくさび効果により直線運動体を正方向または逆方向
の二方向に直線運動させることができる。
タはそれぞれの圧電素子にそれぞれ所望の駆動電圧を印
加することにより、突起部に突起部の突出方向の振動変
位と、突起部の突出方向に対し直角方向の振動変位を発
生させることができる。すなわち、相交差する２方向の
運動を発生させることができる。第二の圧電アクチュエ
ータは、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位によ
るくさび効果により運動体を二種類の許容される方向に
運動させることができる。第三の圧電アクチュエータ
は、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位によるく
さび効果により回転運動体を正方向または逆方向の二方
向に回転運動させることができる。第四の圧電アクチュ
エータは、振動変位発生部の二種類の方向の振動変位に
よるくさび効果により直線運動体を正方向または逆方向
の二方向に直線運動させることができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳述
する。図１は第１の実施例を示す。（１）は圧電アクチ
ュエータを示し、両端に圧電アクチュエータ（１）全体
を支持するための支持部（５ａ）（５ｂ）が形成される
とともに、平行平面部（３ａ）（３ｂ）が形成された適
宜の弾性を有する柱状の弾性体（３）と、一方の平行平
面部（３ａ）で弾性体（３）の長手方向中心位置（Ｐ）
に突設された、４角柱状あるいは適宜の形状をした突起
部（４）と、平行平面部（３ａ）（３ｂ）の突起部
（４）を中心とする対称位置にそれぞれ設けられた、逆
圧電効果または電歪効果例えば横効果（ｄ１３効果）を
利用し、交流又は直流電圧印加により任意の変位量だけ
変位を発生する適宣の圧電材料からなる圧電素子（２
ａ）（２ｂ）（２ｃ）（２ｄ）とから成る。なお、弾性
体（３）は適宣の弾性を有するものであれば、例えば洋
白、燐青銅あるいはコバールなどの金属であってもよい
し、ＡＢＳ樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネートあ
るいはナイロンなどの樹脂であってもよいし、ＦＲＰや
ＣＦＲＰなどの複合材料であってもよい。また、弾性体
（３）の形状は４角柱状や６角柱状であっても良いし、
平行平面部（３ａ）（３ｂ）を有するものであれば他の
角柱状であってもよい。また、弾性体（３）は、中空構
造としてもよい。支持部（５ａ）（５ｂ）はフレームな
ど適宜の支持体に接続されているものである。圧電素子
（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）（２ｄ）は、弾性体（３）の
平行平面部（３ａ）（３ｂ）に突起部（４）を対称中心
とする位置に適宜の接着剤により固着されている。以上
のような構成の圧電進行アクチュエータ（１）の作用を
以下に述べる。圧電素子（２ａ）と（２ｂ）、圧電素子
（２ｃ）と（２ｄ）をそれぞれ１組とし適宜の駆動回路
より所望の位相差を有する所望の周波数の交流電圧（Ｖ
ａ）（Ｖｂ）を印加することにより弾性体（３）に種々
の屈曲振動を励振させ、突起部（４）の振動変位発生部
（４ａ）を所望の方向に振動させることができる。例え
ば、突起部（４）を突出方向（Ｘ）に振動させ機械的出
力を取り出す場合、弾性体（３）の振動状態を示す図２
において、第１の屈曲振動（１０）は、圧電素子（２
ａ）と（２ｂ）、圧電素子（２ｃ）と（２ｄ）をそれぞ
れ一組として、各組の圧電素子へ適宜の駆動回路から所
定の周波数の交流電圧（Ｖａ）（Ｖｂ）を同位相で印加
した場合に励振され、その時突出部（４）は突出部
（４）の突出方向（Ｘ）に変位し振動するため、機械的
出力を突起部（４）の突出方向（Ｘ）に取り出すことが
できる。次に突出部（４）をその突出方向（Ｘ）と略直
交する方向（Ｙ）に振動させ突起部（４）の略直交方向
（Ｙ）に機械的出力を取り出す方法を図面により説明す
る。弾性体（３）の振動状態を示す図３において、第２
の屈曲振動（２０）は第１の屈曲振動（１０）と同様に
圧電素子（２ａ）と（２ｂ）、圧電素子（２ｃ）と（２
ｄ）をそれぞれ一組として、各組の圧電素子へ適宜の駆
動回路から所定の周波数の交流電圧（Ｖａ）（Ｖｂ）を
逆位相差で印加した場合に励振され、その時突出部
（４）は突出部（４）と概直交する方向（Ｙ）に振動す
るため、機械的出力を突起部（４）の突出方向と略直交
する方向（Ｙ）に取り出すことができる。以上、本発明
の圧電アクチュエータ（１）は上記２種類の屈曲振動を
弾性体（３）に発生させることにより、２方向の機械的
出力（Ｘ）（Ｙ）を取り出すことが可能となる。なお、
圧電素子部（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）（２ｄ）は薄膜技
術等により弾性体（３）に形成してもよいし、傾斜材料
などを用い弾性体（３）と一体に形成してもよい。図４
は第２の実施例を示す。（１００）は圧電アクチュエー
タを示し、両端にステータ（１０１）を支持するための
支持部（１０５ａ）（１０５ｂ）が形成されるととも
に、平行平面部（１０３ａ）（１０３ｂ）が形成された
適宜の弾性を有する柱状の弾性体（１０３）と、一方の
平行平面部（１０３ａ）で弾性体（１０３）の長手方向
中心位置に突設された、４角柱状あるいは適宜の形状を
した突起部（１０４）と、平行平面部（１０３ａ）（１
０３ｂ）の突起部（１０４）を中心とする対称位置にそ
れぞれ設けられた、逆圧電効果または電歪効果例えば横
効果（ｄ１３効果）を利用し、交流又は直流電圧印加に
より任意の変位量だけ変位を発生する適宣の圧電材料か
らなる圧電素子（１０２ａ）（１０２ｂ）（１０２ｃ）
（１０２ｄ）とから成る。圧電素子（１０２ａ）（１０
２ｂ）（１０２ｃ）（１０２ｄ）は、弾性体（１０３）
の平行平面部（１０３ａ）（１０３ｂ）に突起部（１０
４）を対称中心とする位置に適宜の接着剤により固着さ
れている。振動変位発生部（１０４ａ）には、少なくと
も二種類の方向の運動が許容されるように支持された運
動体例えばボールベアリングなどで回転自在に支持され
た回転運動体（１０６）がその外周部を振動変位発生部
（１０４ａ）に接触するように配置されているれてい
る。ステータ（１０１）の支持部（１０５ａ）（１０５
ｂ）はフレーム（１０９）に固定されたバネなどの押圧
機構（１０７）に接続された支持板（１０８）に支持さ
れ、回転運動体（１０６）と振動変位発生部（１０４
ａ）とは、押圧機構（１０７）により任意の圧力でかつ
一定の角度で接触する。なお、弾性体（１０３）は適宣
の弾性を有するものであれば、例えば洋白、燐青銅ある
いはコバールなどの金属であってもよいし、ＡＢＳ樹
脂、ポリアセタール、ポリカーボネートあるいはナイロ
ンなどの樹脂であってもよいし、ＦＲＰやＣＦＲＰなど
の複合材料であってもよい。また、弾性体（１０３）の
形状は４角柱状や６角柱状であっても良いし、平行平面
部（１０３ａ）（１０３ｂ）を有するものであれば他の
角柱状であってもよい。また、弾性体（１０３）は、中
空構造でもよい。以上の構成の第２の実施例の圧電アク
チュエータ（１００）の作用を以下に述べる。ステータ
（１０１）は第１の実施例で述べた圧電アクチュエータ
（１）と同一の構成であり、突起部（１０４）は圧電ア
クチュエータ（１）の突起部（４）と同様の原理により
振動するため、詳述は省くが突起部（１０４）は図２の
突出部（１０４）の突出方向（Ｘ）および図３の突起部
（１０４）の突出方向と略直交する方向（Ｙ）に振動変
位を発生させることが可能である。ステータ（１０３）
に第１の屈曲振動を励振し突出部（１０４）を突出方向
（Ｘ）へ振動させ、さらに、突起部（１０４）を押圧機
構（１０７）により回転運動体（１０６）の外周に対し
て所望の押圧角φ例えば４５°で押しつけることによ
り、振動変位発生部（１０４ａ）は回転運動体（１０
６）の外周を殴打する。この殴打は、振動変位発生部
（１０４ａ）に曲げ分力を発生させるため、振動変位発
生部（１０４ａ）には直線運動が略回転運動に変換され
るくさび効果が発生し、突出方向（Ｘ）の直線運動は回
転運動に変換される。従って、振動変位発生部（１０４
ａ）の運動により、回転運動体（１０６）を正方向（Ｘ
ｒ）に回転させることができる。一方、ステータ（１０
３）に第２の屈曲振動を励振し突起部（１０４）を突起
部（１０４）の突出方向と略直交する方向（Ｙ）に振動
させ、さらに、突起部（１０４）を押圧機構（１０７）
により回転運動体（１０６）に対して所望の押圧角φ例
えば４５°で押しつけることにより、振動変位発生部
（１０４ａ）は回転運動体（１０６）の外周を殴打す
る。この殴打により振動変位発生部（１０４ａ）には圧
縮分力が発生するため、前述のくさび効果により突出方
向と略直交する方向（Ｙ）の運動は直線運動から略回転
運動に変換される。従って、振動変位発生部（１０４
ａ）の運動により、回転運動体（１０６）を逆方向（Ｙ
ｒ）の方向に回転させることができる。以上述べたよう
に、第２の実施例の圧電アクチュエータ（１００）は回
転運動体（１０６）の２方向の回転運動が可能である。
ただし、押圧機構（１０７）の押圧方法はバネ機構であ
ってもよいしあらかじめステータ（１０１）をフレーム
（１０９）の所望の位置に取り付け回転運動体（１０
６）へステータ（１０１）を押圧してもよい。また、回
転運動体（１０６）に負荷があり一個のステータ（１０
１）では回転運動体（１０６）の回転運動が困難である
場合には、図５に示すようにステータ（１０１）を複数
個用いることにより回転運動体（１０６）を回転させて
もよい。さらに、ステータ（１０１）を３個以上使用す
ることによりステータ（１０１）の突出部（１０４）で
回転運動体（１０６）を支持することが可能となり、軸
受けが不必要となるので構造の簡素化を図ることができ
る。図６は第３の実施例を示す。（２００）は圧電アク
チュエータを示し、両端にステータ（２０１）を支持す
るための支持部（２０５ａ）（２０５ｂ）が形成される
とともに、平行平面部（２０３ａ）（２０３ｂ）が形成
された適宜の弾性を有する柱状の弾性体（２０３）と、
一方の平行平面部（２０３ａ）で弾性体（２０３）の長
手方向中心位置に突設された、４角柱状あるいは適宜の
形状をした突起部（２０４）と、平行平面部（２０３
ａ）（２０３ｂ）の突起部（２０４）を中心とする対称
位置にそれぞれ設けられた、逆圧電効果または電歪効果
例えば横効果（ｄ１３効果）を利用し、交流又は直流電
圧印加により任意の変位量だけ変位を発生する適宣の圧
電材料からなる圧電素子（２０２ａ）（２０２ｂ）（２
０２ｃ）（２０２ｄ）とから成る。圧電素子（２０２
ａ）（２０２ｂ）（２０２ｃ）（２０２ｄ）は、弾性体
（２０３）の平行平面部（２０３ａ）（２０３ｂ）に突
起部（２０４）を対称中心とする位置に適宜の接着剤に
より固着されている。振動変位発生部（２０４ａ）に
は、少なくとも二種類の方向の運動が許容されるように
支持された運動体例えばリニアガイドなどで直線移動自
在に支持された直線運動体（２０６）がその外周部を振
動変位発生部（２０４ａ）に接触するように配置されて
いるれている。ステータ（２０１）の支持部（２０５
ａ）（２０５ｂ）はフレーム（２０９）に固定されたバ
ネなどの押圧機構（２０７）に接続された支持板（２０
８）に支持され、直線運動体（２０６）と振動変位発生
部（２０４ａ）とは、押圧機構（２０７）により任意の
圧力でかつ一定の角度で接触する。なお、弾性体（２０
３）は適宣の弾性を有するものであれば、例えば洋白、
燐青銅あるいはコバールなどの金属であってもよいし、
ＡＢＳ樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネートあるい
はナイロンなどの樹脂であってもよいし、ＦＲＰやＣＦ
ＲＰなどの複合材料であってもよい。また、弾性体（２
０３）の形状は４角柱状や６角柱状であっても良いし、
平行平面部（２０３ａ）（２０３ｂ）を有するものであ
れば他の角柱状であってもよい。また、弾性体（２０
３）は、中空構造でもよい。以上の構成の第３の実施例
の圧電アクチュエータ（２００）の作用を以下に述べ
る。ステータ（２０１）は第１の実施例で述べた圧電ア
クチュエータ（１）と同一の構成であり、突起部（２０
４）は圧電アクチュエータ（１）の突起部（４）と同様
の原理により振動するため、詳述は省くが突起部（２０
４）は図２の突出部（２０４）の突出方向（Ｘ）および
図３の突起部（２０４）の突出方向と略直交する方向
（Ｙ）に振動変位を発生させることが可能である。ステ
ータ（２０３）に第１の屈曲振動を励振し突出部（２０
４）を突出方向（Ｘ）へ振動させ、さらに、突起部（２
０４）を押圧機構（２０７）により直線運動体（２０
６）の外周に対して所望の押圧角φ例えば４５°で押し
つけることにより、振動変位発生部（２０４ａ）は直線
運動体（２０６）の外周を殴打する。この殴打により振
動変位発生部（２０４ａ）には曲げ分力が発生し、前述
のくさび効果により突出方向（Ｘ）の運動は直線運動か
ら略回転運動に変換される。従って、振動変位発生部
（２０４ａ）の運動により、直線運動体（２０６）を正
方向（Ｘｌ）に直線移動させることができる。一方、ス
テータ（２０３）に第２の屈曲振動を励振し突起部（２
０４）を突起部（２０４）の突出方向と略直交する方向
（Ｙ）に振動させ、さらに、突起部（２０４）を押圧機
構（２０７）により直線運動体（２０６）に対して所望
の押圧角φ例えば４５°で押しつけることにより、振動
変位発生部（２０４ａ）は直線運動体（２０６）の外周
を殴打する。この殴打により振動変位発生部（２０４
ａ）には圧縮分力が発生し、前述のくさび効果により突
出方向と略直交する方向（Ｙ）の運動は直線運動から略
回転運動に変換される。従って、振動変位発生部（２０
４ａ）の運動により、直線運動体（２０６）を逆方向
（Ｙｌ）の方向に直線移動させることができる。以上述
べたように、第２の実施例の圧電アクチュエータ（２０
０）は直線運動体（２０６）の２方向の直線移動が可能
である。ただし、押圧機構（２０７）の押圧方法はバネ
機構であってもよいしあらかじめステータ（２０１）を
フレーム（２０９）の所望の位置に取り付け直線運動体
（２０６）へステータ（２０１）を押圧してもよい。ま
た、直線運動体（２０６）に負荷があり一個のステータ
（２０１）では直線運動体（２０６）の直線移動が困難
である場合には、図６に示すようにステータ（２０１）
を複数個用いることにより直線運動体（２０１）を直線
移動させてもよい。さらに、ステータ（２０１）を３個
以上使用することによりステータ（２０１）の突出部
（２０４）で直線運動体（２０６）を支持することが可
能となり軸受けが不必要となるので構造の簡素化を図る
ことができる。
する。図１は第１の実施例を示す。（１）は圧電アクチ
ュエータを示し、両端に圧電アクチュエータ（１）全体
を支持するための支持部（５ａ）（５ｂ）が形成される
とともに、平行平面部（３ａ）（３ｂ）が形成された適
宜の弾性を有する柱状の弾性体（３）と、一方の平行平
面部（３ａ）で弾性体（３）の長手方向中心位置（Ｐ）
に突設された、４角柱状あるいは適宜の形状をした突起
部（４）と、平行平面部（３ａ）（３ｂ）の突起部
（４）を中心とする対称位置にそれぞれ設けられた、逆
圧電効果または電歪効果例えば横効果（ｄ１３効果）を
利用し、交流又は直流電圧印加により任意の変位量だけ
変位を発生する適宣の圧電材料からなる圧電素子（２
ａ）（２ｂ）（２ｃ）（２ｄ）とから成る。なお、弾性
体（３）は適宣の弾性を有するものであれば、例えば洋
白、燐青銅あるいはコバールなどの金属であってもよい
し、ＡＢＳ樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネートあ
るいはナイロンなどの樹脂であってもよいし、ＦＲＰや
ＣＦＲＰなどの複合材料であってもよい。また、弾性体
（３）の形状は４角柱状や６角柱状であっても良いし、
平行平面部（３ａ）（３ｂ）を有するものであれば他の
角柱状であってもよい。また、弾性体（３）は、中空構
造としてもよい。支持部（５ａ）（５ｂ）はフレームな
ど適宜の支持体に接続されているものである。圧電素子
（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）（２ｄ）は、弾性体（３）の
平行平面部（３ａ）（３ｂ）に突起部（４）を対称中心
とする位置に適宜の接着剤により固着されている。以上
のような構成の圧電進行アクチュエータ（１）の作用を
以下に述べる。圧電素子（２ａ）と（２ｂ）、圧電素子
（２ｃ）と（２ｄ）をそれぞれ１組とし適宜の駆動回路
より所望の位相差を有する所望の周波数の交流電圧（Ｖ
ａ）（Ｖｂ）を印加することにより弾性体（３）に種々
の屈曲振動を励振させ、突起部（４）の振動変位発生部
（４ａ）を所望の方向に振動させることができる。例え
ば、突起部（４）を突出方向（Ｘ）に振動させ機械的出
力を取り出す場合、弾性体（３）の振動状態を示す図２
において、第１の屈曲振動（１０）は、圧電素子（２
ａ）と（２ｂ）、圧電素子（２ｃ）と（２ｄ）をそれぞ
れ一組として、各組の圧電素子へ適宜の駆動回路から所
定の周波数の交流電圧（Ｖａ）（Ｖｂ）を同位相で印加
した場合に励振され、その時突出部（４）は突出部
（４）の突出方向（Ｘ）に変位し振動するため、機械的
出力を突起部（４）の突出方向（Ｘ）に取り出すことが
できる。次に突出部（４）をその突出方向（Ｘ）と略直
交する方向（Ｙ）に振動させ突起部（４）の略直交方向
（Ｙ）に機械的出力を取り出す方法を図面により説明す
る。弾性体（３）の振動状態を示す図３において、第２
の屈曲振動（２０）は第１の屈曲振動（１０）と同様に
圧電素子（２ａ）と（２ｂ）、圧電素子（２ｃ）と（２
ｄ）をそれぞれ一組として、各組の圧電素子へ適宜の駆
動回路から所定の周波数の交流電圧（Ｖａ）（Ｖｂ）を
逆位相差で印加した場合に励振され、その時突出部
（４）は突出部（４）と概直交する方向（Ｙ）に振動す
るため、機械的出力を突起部（４）の突出方向と略直交
する方向（Ｙ）に取り出すことができる。以上、本発明
の圧電アクチュエータ（１）は上記２種類の屈曲振動を
弾性体（３）に発生させることにより、２方向の機械的
出力（Ｘ）（Ｙ）を取り出すことが可能となる。なお、
圧電素子部（２ａ）（２ｂ）（２ｃ）（２ｄ）は薄膜技
術等により弾性体（３）に形成してもよいし、傾斜材料
などを用い弾性体（３）と一体に形成してもよい。図４
は第２の実施例を示す。（１００）は圧電アクチュエー
タを示し、両端にステータ（１０１）を支持するための
支持部（１０５ａ）（１０５ｂ）が形成されるととも
に、平行平面部（１０３ａ）（１０３ｂ）が形成された
適宜の弾性を有する柱状の弾性体（１０３）と、一方の
平行平面部（１０３ａ）で弾性体（１０３）の長手方向
中心位置に突設された、４角柱状あるいは適宜の形状を
した突起部（１０４）と、平行平面部（１０３ａ）（１
０３ｂ）の突起部（１０４）を中心とする対称位置にそ
れぞれ設けられた、逆圧電効果または電歪効果例えば横
効果（ｄ１３効果）を利用し、交流又は直流電圧印加に
より任意の変位量だけ変位を発生する適宣の圧電材料か
らなる圧電素子（１０２ａ）（１０２ｂ）（１０２ｃ）
（１０２ｄ）とから成る。圧電素子（１０２ａ）（１０
２ｂ）（１０２ｃ）（１０２ｄ）は、弾性体（１０３）
の平行平面部（１０３ａ）（１０３ｂ）に突起部（１０
４）を対称中心とする位置に適宜の接着剤により固着さ
れている。振動変位発生部（１０４ａ）には、少なくと
も二種類の方向の運動が許容されるように支持された運
動体例えばボールベアリングなどで回転自在に支持され
た回転運動体（１０６）がその外周部を振動変位発生部
（１０４ａ）に接触するように配置されているれてい
る。ステータ（１０１）の支持部（１０５ａ）（１０５
ｂ）はフレーム（１０９）に固定されたバネなどの押圧
機構（１０７）に接続された支持板（１０８）に支持さ
れ、回転運動体（１０６）と振動変位発生部（１０４
ａ）とは、押圧機構（１０７）により任意の圧力でかつ
一定の角度で接触する。なお、弾性体（１０３）は適宣
の弾性を有するものであれば、例えば洋白、燐青銅ある
いはコバールなどの金属であってもよいし、ＡＢＳ樹
脂、ポリアセタール、ポリカーボネートあるいはナイロ
ンなどの樹脂であってもよいし、ＦＲＰやＣＦＲＰなど
の複合材料であってもよい。また、弾性体（１０３）の
形状は４角柱状や６角柱状であっても良いし、平行平面
部（１０３ａ）（１０３ｂ）を有するものであれば他の
角柱状であってもよい。また、弾性体（１０３）は、中
空構造でもよい。以上の構成の第２の実施例の圧電アク
チュエータ（１００）の作用を以下に述べる。ステータ
（１０１）は第１の実施例で述べた圧電アクチュエータ
（１）と同一の構成であり、突起部（１０４）は圧電ア
クチュエータ（１）の突起部（４）と同様の原理により
振動するため、詳述は省くが突起部（１０４）は図２の
突出部（１０４）の突出方向（Ｘ）および図３の突起部
（１０４）の突出方向と略直交する方向（Ｙ）に振動変
位を発生させることが可能である。ステータ（１０３）
に第１の屈曲振動を励振し突出部（１０４）を突出方向
（Ｘ）へ振動させ、さらに、突起部（１０４）を押圧機
構（１０７）により回転運動体（１０６）の外周に対し
て所望の押圧角φ例えば４５°で押しつけることによ
り、振動変位発生部（１０４ａ）は回転運動体（１０
６）の外周を殴打する。この殴打は、振動変位発生部
（１０４ａ）に曲げ分力を発生させるため、振動変位発
生部（１０４ａ）には直線運動が略回転運動に変換され
るくさび効果が発生し、突出方向（Ｘ）の直線運動は回
転運動に変換される。従って、振動変位発生部（１０４
ａ）の運動により、回転運動体（１０６）を正方向（Ｘ
ｒ）に回転させることができる。一方、ステータ（１０
３）に第２の屈曲振動を励振し突起部（１０４）を突起
部（１０４）の突出方向と略直交する方向（Ｙ）に振動
させ、さらに、突起部（１０４）を押圧機構（１０７）
により回転運動体（１０６）に対して所望の押圧角φ例
えば４５°で押しつけることにより、振動変位発生部
（１０４ａ）は回転運動体（１０６）の外周を殴打す
る。この殴打により振動変位発生部（１０４ａ）には圧
縮分力が発生するため、前述のくさび効果により突出方
向と略直交する方向（Ｙ）の運動は直線運動から略回転
運動に変換される。従って、振動変位発生部（１０４
ａ）の運動により、回転運動体（１０６）を逆方向（Ｙ
ｒ）の方向に回転させることができる。以上述べたよう
に、第２の実施例の圧電アクチュエータ（１００）は回
転運動体（１０６）の２方向の回転運動が可能である。
ただし、押圧機構（１０７）の押圧方法はバネ機構であ
ってもよいしあらかじめステータ（１０１）をフレーム
（１０９）の所望の位置に取り付け回転運動体（１０
６）へステータ（１０１）を押圧してもよい。また、回
転運動体（１０６）に負荷があり一個のステータ（１０
１）では回転運動体（１０６）の回転運動が困難である
場合には、図５に示すようにステータ（１０１）を複数
個用いることにより回転運動体（１０６）を回転させて
もよい。さらに、ステータ（１０１）を３個以上使用す
ることによりステータ（１０１）の突出部（１０４）で
回転運動体（１０６）を支持することが可能となり、軸
受けが不必要となるので構造の簡素化を図ることができ
る。図６は第３の実施例を示す。（２００）は圧電アク
チュエータを示し、両端にステータ（２０１）を支持す
るための支持部（２０５ａ）（２０５ｂ）が形成される
とともに、平行平面部（２０３ａ）（２０３ｂ）が形成
された適宜の弾性を有する柱状の弾性体（２０３）と、
一方の平行平面部（２０３ａ）で弾性体（２０３）の長
手方向中心位置に突設された、４角柱状あるいは適宜の
形状をした突起部（２０４）と、平行平面部（２０３
ａ）（２０３ｂ）の突起部（２０４）を中心とする対称
位置にそれぞれ設けられた、逆圧電効果または電歪効果
例えば横効果（ｄ１３効果）を利用し、交流又は直流電
圧印加により任意の変位量だけ変位を発生する適宣の圧
電材料からなる圧電素子（２０２ａ）（２０２ｂ）（２
０２ｃ）（２０２ｄ）とから成る。圧電素子（２０２
ａ）（２０２ｂ）（２０２ｃ）（２０２ｄ）は、弾性体
（２０３）の平行平面部（２０３ａ）（２０３ｂ）に突
起部（２０４）を対称中心とする位置に適宜の接着剤に
より固着されている。振動変位発生部（２０４ａ）に
は、少なくとも二種類の方向の運動が許容されるように
支持された運動体例えばリニアガイドなどで直線移動自
在に支持された直線運動体（２０６）がその外周部を振
動変位発生部（２０４ａ）に接触するように配置されて
いるれている。ステータ（２０１）の支持部（２０５
ａ）（２０５ｂ）はフレーム（２０９）に固定されたバ
ネなどの押圧機構（２０７）に接続された支持板（２０
８）に支持され、直線運動体（２０６）と振動変位発生
部（２０４ａ）とは、押圧機構（２０７）により任意の
圧力でかつ一定の角度で接触する。なお、弾性体（２０
３）は適宣の弾性を有するものであれば、例えば洋白、
燐青銅あるいはコバールなどの金属であってもよいし、
ＡＢＳ樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネートあるい
はナイロンなどの樹脂であってもよいし、ＦＲＰやＣＦ
ＲＰなどの複合材料であってもよい。また、弾性体（２
０３）の形状は４角柱状や６角柱状であっても良いし、
平行平面部（２０３ａ）（２０３ｂ）を有するものであ
れば他の角柱状であってもよい。また、弾性体（２０
３）は、中空構造でもよい。以上の構成の第３の実施例
の圧電アクチュエータ（２００）の作用を以下に述べ
る。ステータ（２０１）は第１の実施例で述べた圧電ア
クチュエータ（１）と同一の構成であり、突起部（２０
４）は圧電アクチュエータ（１）の突起部（４）と同様
の原理により振動するため、詳述は省くが突起部（２０
４）は図２の突出部（２０４）の突出方向（Ｘ）および
図３の突起部（２０４）の突出方向と略直交する方向
（Ｙ）に振動変位を発生させることが可能である。ステ
ータ（２０３）に第１の屈曲振動を励振し突出部（２０
４）を突出方向（Ｘ）へ振動させ、さらに、突起部（２
０４）を押圧機構（２０７）により直線運動体（２０
６）の外周に対して所望の押圧角φ例えば４５°で押し
つけることにより、振動変位発生部（２０４ａ）は直線
運動体（２０６）の外周を殴打する。この殴打により振
動変位発生部（２０４ａ）には曲げ分力が発生し、前述
のくさび効果により突出方向（Ｘ）の運動は直線運動か
ら略回転運動に変換される。従って、振動変位発生部
（２０４ａ）の運動により、直線運動体（２０６）を正
方向（Ｘｌ）に直線移動させることができる。一方、ス
テータ（２０３）に第２の屈曲振動を励振し突起部（２
０４）を突起部（２０４）の突出方向と略直交する方向
（Ｙ）に振動させ、さらに、突起部（２０４）を押圧機
構（２０７）により直線運動体（２０６）に対して所望
の押圧角φ例えば４５°で押しつけることにより、振動
変位発生部（２０４ａ）は直線運動体（２０６）の外周
を殴打する。この殴打により振動変位発生部（２０４
ａ）には圧縮分力が発生し、前述のくさび効果により突
出方向と略直交する方向（Ｙ）の運動は直線運動から略
回転運動に変換される。従って、振動変位発生部（２０
４ａ）の運動により、直線運動体（２０６）を逆方向
（Ｙｌ）の方向に直線移動させることができる。以上述
べたように、第２の実施例の圧電アクチュエータ（２０
０）は直線運動体（２０６）の２方向の直線移動が可能
である。ただし、押圧機構（２０７）の押圧方法はバネ
機構であってもよいしあらかじめステータ（２０１）を
フレーム（２０９）の所望の位置に取り付け直線運動体
（２０６）へステータ（２０１）を押圧してもよい。ま
た、直線運動体（２０６）に負荷があり一個のステータ
（２０１）では直線運動体（２０６）の直線移動が困難
である場合には、図６に示すようにステータ（２０１）
を複数個用いることにより直線運動体（２０１）を直線
移動させてもよい。さらに、ステータ（２０１）を３個
以上使用することによりステータ（２０１）の突出部
（２０４）で直線運動体（２０６）を支持することが可
能となり軸受けが不必要となるので構造の簡素化を図る
ことができる。
【０００７】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の圧電アク
チュエータにより相交差する２方向に機械的出力を取り
出すことが可能となり、さらに、この第１の機械的出力
を第２の機械的出力に変換するように運動体を付加して
圧電アクチュエータを構成することによりに、２方向に
回転可能な圧電アクチュエータおよび２方向に直線移動
可能な圧電アクチュエータを構成することが可能とな
る。さらに、圧電アクチュエータにおいて複数個のステ
ータを使用することにより軸受けを省略でき構造の簡素
化を図ることが可能となり、マイクロ化を図ることが可
能となる。
チュエータにより相交差する２方向に機械的出力を取り
出すことが可能となり、さらに、この第１の機械的出力
を第２の機械的出力に変換するように運動体を付加して
圧電アクチュエータを構成することによりに、２方向に
回転可能な圧電アクチュエータおよび２方向に直線移動
可能な圧電アクチュエータを構成することが可能とな
る。さらに、圧電アクチュエータにおいて複数個のステ
ータを使用することにより軸受けを省略でき構造の簡素
化を図ることが可能となり、マイクロ化を図ることが可
能となる。
【図１】本発明の第１の実施例の圧電アクチュエータを
示す。
示す。
【図２】本発明の圧電アクチュエータの第１の屈曲振動
の動作説明図を示す。
の動作説明図を示す。
【図３】本発明の圧電アクチュエータの第２の屈曲振動
の動作説明図を示す。
の動作説明図を示す。
【図４】本発明の第２の実施例の圧電アクチュエータを
示す。
示す。
【図５】本発明の第２の実施例の応用例を示す。
【図６】本発明の第３の実施例の電アクチュエータを示
す。
す。
（１）・・・圧電アクチュエータ （２ａ）（２ｂ）（２ｃ）（２ｄ）・・・圧電素子 （３）・・・弾性体 （３ａ）（３ｂ）・・・平行平面部 （Ｐ）・・・弾性体の長手方向中心位置 （４）・・・突起部 （５ａ）（５ｂ）・・・支持部 （Ｘ）・・・突出方向 （Ｙ）・・・突出方向の略直交する方向 （１０）・・・第１の屈曲振動 （２０）・・・第２の屈曲振動 （Ｖａ）（Ｖｂ）・・・交流電圧 （１００）・・・圧電アクチュエータ （１０１）・・・ステータ （１０２ａ）（１０２ｂ）（１０２ｃ）（１０２ｄ）・
・・圧電素子 （１０３）・・・弾性体 （１０３ａ）（１０３ｂ）・・・平行平面部 （１０４）・・・突起部 （１０４ａ）・・・振動変位発生部 （１０５ａ）（１０５ｂ）・・・支持部 （１０６）・・・回転運動体 （１０７）・・・押圧機構 （１０８）・・・支持板 （１０９）・・・フレーム （Ｘｒ）・・・正方向の回転 （Ｙｒ）・・・逆方向の回転 （２００）・・・圧電アクチュエータ （２０１）・・・ステータ （２０２ａ）（２０２ｂ）（２０２ｃ）（２０２ｄ）・
・・圧電素子 （２０３）・・・弾性体 （２０３ａ）（２０３ｂ）・・・平行平面部 （２０４）・・・突起部 （２０４ａ）・・・振動変位発生部 （２０５ａ）（２０５ｂ）・・・支持部 （２０６）・・・直線運動体 （２０７）・・・押圧機構 （２０８）・・・支持板 （２０９）・・・フレーム （Ｘｌ）・・・正方向の直線運動 （Ｙｌ）・・・逆方向の直線運動
・・圧電素子 （１０３）・・・弾性体 （１０３ａ）（１０３ｂ）・・・平行平面部 （１０４）・・・突起部 （１０４ａ）・・・振動変位発生部 （１０５ａ）（１０５ｂ）・・・支持部 （１０６）・・・回転運動体 （１０７）・・・押圧機構 （１０８）・・・支持板 （１０９）・・・フレーム （Ｘｒ）・・・正方向の回転 （Ｙｒ）・・・逆方向の回転 （２００）・・・圧電アクチュエータ （２０１）・・・ステータ （２０２ａ）（２０２ｂ）（２０２ｃ）（２０２ｄ）・
・・圧電素子 （２０３）・・・弾性体 （２０３ａ）（２０３ｂ）・・・平行平面部 （２０４）・・・突起部 （２０４ａ）・・・振動変位発生部 （２０５ａ）（２０５ｂ）・・・支持部 （２０６）・・・直線運動体 （２０７）・・・押圧機構 （２０８）・・・支持板 （２０９）・・・フレーム （Ｘｌ）・・・正方向の直線運動 （Ｙｌ）・・・逆方向の直線運動
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三石 節也 愛知県名古屋市西区康生通り２丁目20番１ 号 株式会社メイテック内 (72)発明者 松井 照幸 愛知県名古屋市西区康生通り２丁目20番１ 号 株式会社メイテック内
Claims (4)
- 【請求項１】両端に支持部を有するとともに平行平面部
が形成された柱状の弾性体と、前記平行平面部の一方で
前記弾性体の長手方向中心位置に突設された突起部と、
前記平行平面部の少なくとも一方の平面部に前記突起部
を中心とする対称位置にそれぞれ設けられた圧電素子と
から成り、それぞれの前記圧電素子にそれぞれ所望の駆
動電圧を印加することにより、前記突起部に前記突起部
の突出方向の振動変位と、前記突起部の突出方向に対し
直角方向の振動変位を発生させるように構成したことを
特徴とする圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】両端に支持部を有するとともに平行平面部
が形成された柱状の弾性体と、前記平行平面部の一方で
前記弾性体の長手方向中心位置に突設された突起部と、
前記平行平面部の少なくとも一方の平面部に前記突起部
を中心とする対称位置にそれぞれ設けられた圧電素子と
から成り、それぞれの前記圧電素子にそれぞれ所望の駆
動電圧を印加することにより、前記突起部に前記突起部
の突出方向の振動変位と、前記突起部の突出方向に対し
直角方向の振動変位を発生させるように構成するととも
に、少なくとも二種類の方向の運動が許容されるように
支持され前記突起部の振動変位発生部に所定の圧力でか
つ一定の角度で接触する運動体を付加し、前記振動変位
発生部の二種類の方向の振動変位により前記運動体が二
種類の許容される方向に運動するように構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧電アクチュエ
ータ。 - 【請求項３】両端に支持部を有するとともに平行平面部
が形成された柱状の弾性体と、前記平行平面部の一方で
前記弾性体の長手方向中心位置に突設された突起部と、
前記平行平面部の少なくとも一方の平面部に前記突起部
を中心とする対称位置にそれぞれ設けられた圧電素子と
から成り、それぞれの前記圧電素子にそれぞれ所望の駆
動電圧を印加することにより、前記突起部に前記突起部
の突出方向の振動変位と、前記突起部の突出方向に対し
直角方向の振動変位を発生させるように構成するととも
に、回転自在に支持され外周部が前記突起部の振動変位
発生部に所定の圧力でかつ一定の角度で接触する回転運
動体を付加し、前記振動変位発生部の二種類の方向の振
動変位により前記回転運動体を正方向または逆方向に回
転運動させるように構成したことを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載の圧電アクチュエータ。 - 【請求項４】両端に支持部を有するとともに平行平面部
が形成された柱状の弾性体と、前記平行平面部の一方で
前記弾性体の長手方向中心位置に突設された突起部と、
前記平行平面部の少なくとも一方の平面部に前記突起部
を中心とする対称位置にそれぞれ設けられた圧電素子と
から成り、それぞれの前記圧電素子にそれぞれ所望の駆
動電圧を印加することにより、前記突起部に前記突起部
の突出方向の振動変位と、前記突起部の突出方向に対し
直角方向の振動変位を発生させるように構成するととも
に、直線運動自在に支持され外周部が前記突起部の振動
変位発生部に所定の圧力でかつ一定の角度で接触する直
線運動体を付加し、前記振動変位発生部の二種類の方向
の振動変位により前記直線運動体を正方向または逆方向
への直線運動させるように構成したことを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6099033A JPH07274556A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6099033A JPH07274556A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07274556A true JPH07274556A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=14236069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6099033A Pending JPH07274556A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07274556A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008096797A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | 駆動装置、それを備えた撮像装置、及び撮像機器 |
| US7474038B2 (en) | 2006-03-31 | 2009-01-06 | Casio Computer Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, and carrier and shake correction apparatus each using the actuator |
| JP2009033709A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Samsung Electronics Co Ltd | アクチュエータ及びその製造方法、並びにそれを用いたモジュール変位調整装置 |
| JP2009153363A (ja) * | 2007-02-06 | 2009-07-09 | Sharp Corp | 駆動装置、それを備えた撮像装置、及び撮像機器 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6099033A patent/JPH07274556A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7474038B2 (en) | 2006-03-31 | 2009-01-06 | Casio Computer Co., Ltd. | Piezoelectric actuator, and carrier and shake correction apparatus each using the actuator |
| WO2008096797A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | 駆動装置、それを備えた撮像装置、及び撮像機器 |
| JP2009153363A (ja) * | 2007-02-06 | 2009-07-09 | Sharp Corp | 駆動装置、それを備えた撮像装置、及び撮像機器 |
| JP2011135774A (ja) * | 2007-02-06 | 2011-07-07 | Sharp Corp | 駆動装置、それを備えた撮像装置、及び撮像機器 |
| US8094391B2 (en) | 2007-02-06 | 2012-01-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Driving device, imaging device including the same, and imaging apparatus |
| JP2009033709A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Samsung Electronics Co Ltd | アクチュエータ及びその製造方法、並びにそれを用いたモジュール変位調整装置 |
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