JPH07272166A - 監視システム - Google Patents

監視システム

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JPH07272166A
JPH07272166A JP6412094A JP6412094A JPH07272166A JP H07272166 A JPH07272166 A JP H07272166A JP 6412094 A JP6412094 A JP 6412094A JP 6412094 A JP6412094 A JP 6412094A JP H07272166 A JPH07272166 A JP H07272166A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガスセンサから出力される検出データを、一
括管理することによって、異常発生時の対処を正確に行
うことができる監視システムの提供を目的とする。 【構成】 シーケンサ6にて異常が検出された場合に
(ステップ3のNO)、各ガスセンサ7、流量センサ8
から出力される検出データと、シーケンサ基準データ、
処理部基準データ14とを比較し、これら検出データ、
基準データの中で最小のものを新たなシーケンサ基準デ
ータとしてシーケンサ6に設定し(ステップ4)、これ
により、シーケンサ6に対して一番条件の厳しい判断基
準を基準データに設定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、有毒ガス等を監視・検
出する監視システムに係り、特に有毒ガス発生の非常時
に、作業者を安全に避難させ、かつ有毒ガスの漏洩を停
止させるのに必要な操作情報を表示する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、有毒ガスを取り扱うクリーン
ルーム等では、有毒ガスが作業者に及ばないように種々
の監視システムが設置されている。これらの監視システ
ムは、クリーンルーム内で使用している有毒ガスや、ク
リーンルーム内の酸素ガス等の状態(濃度、温度、圧力
や使用量)を監視するとともに、この有毒ガスの状態を
示す検出データを、この有毒ガスの予め危険とされる状
態を示す基準データ(濃度、温度、圧力や使用量)と比
較し、その比較の結果、検出データが基準データを越え
た場合あるいは下回った場合に、異常が発生したと判定
してアラームを発するようにしている。また、上記監視
システムでは、過去から現在までの検出データを記録し
て、該検出データの変化から有毒ガスのトレンドを検知
するとともに、異常が発生したときの時刻や、そのとき
の検出データから異常時におけるガス濃度等をも記録す
るようにしている。
【0003】一方、上述した監視システムは、具体的構
成として、部屋の各所に設置され、各所において有毒ガ
スを検出する多数の有毒ガスセンサと、各有毒ガスセン
サから出力された検出データを予め設定されている基準
データ(第一基準データ)と比較し、その比較結果に応
じてアラームを出力するシーケンサと、ガスセンサから
出力された検出データをシーケンサを通じて取り込むと
ともに、該検出データを予め設定されている基準データ
(第二基準データ)と比較し、その比較結果に応じてア
ラームを出力する制御手段とを有し、このようなシーケ
ンサと制御手段とで二重の異常管理を行うようにしてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した監視システム
では、シーケンサでは第一基準データとガスセンサの検
出データとを比較して異常を検出し、また、制御手段で
は、第二基準データとガスセンサの検出データとを比較
して異常を検出するように構成されているので、例え
ば、シーケンサでは「異常」を出力し、他方、制御手段
では「正常」を出力することがあり、これによって異常
発生時に正確な対処ができないという問題も生じてい
た。具体的には、監視システムを備えた既存設備にガス
センサを増設する場合には、ガスセンサによって検出さ
れるガスに対する基準データを作成し、この基準データ
を第一基準データと第二基準データとして、シーケンサ
と制御手段とに各々記憶させなければならず、よって操
作者による基準データの入力ミスにより第一基準データ
と第二基準データとが異なって記憶された場合には、例
えば、シーケンサでは「異常」を出力し、他方、制御手
段では「正常」を出力することがあり、これによって異
常発生時に正確な対処ができないという問題も生じてい
た。
【0005】この発明は、上記の事情に鑑みてなされた
ものであって、ガスセンサから出力される検出データ
を、一括管理することによって、異常発生時の対処を正
確に行うことができる監視システムの提供を目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明では、室内のガスの状態を検出し、これを検出
データとして出力する検出手段と、該検出手段が接続さ
れたシーケンサと、前記シーケンサと通信ラインを介し
て接続された監視装置とからなり、前記シーケンサは、
該検出手段により検出されるガスの危険とされる条件を
示す第一基準データを記憶する第一基準データ記憶手段
と、前記検出手段より出力された検出データを該第一基
準データと比較する第一データ比較手段と、該第一デー
タ比較手段による比較の結果に応じて異常を判別する第
一異常判別手段と、該第一異常判別手段により異常と判
別された場合、これを報知する第一報知手段とからな
り、前記監視装置は、前記検出手段により検出されるガ
スの危険とされる条件を示す第二基準データを記憶する
第二基準データ記憶手段と、前記検出手段により出力さ
れた検出データを該第二基準データと比較する第二デー
タ比較手段と、該第二データ比較手段による比較の結果
に応じて異常を判別する第二異常判別手段と、該第二異
常判別手段により異常と判別された場合、これを報知す
る第二報知手段とからなり、前記監視装置には、前記第
一基準データと前記第二基準データとを比較する基準デ
ータ比較手段と、該基準データ比較手段による比較の結
果、これら第一、第二基準データのうち条件の厳しい基
準データを第一基準データとして設定する第一基準デー
タ設定手段とを有することを特徴とする。
【0007】
【作用】この発明によれば、シーケンサにおいては、第
一データ比較手段にて、検出手段より出力された検出デ
ータと、第一基準データ記憶手段に記憶されている第一
基準データとを比較した後、第一異常判別手段にて、第
一データ比較手段による比較の結果に応じて異常を判別
し、異常と判別された場合、第一報知手段にて当該異常
を報知する。また、監視装置においては、検出手段より
出力された検出データが通信ラインを介して取り込まれ
た後、第二データ比較手段にて、該検出データと、第二
基準データ記憶手段に記憶されている第二基準データと
を比較した後、第二異常判別手段にて、第二データ比較
手段による比較の結果に応じて異常を判別し、異常と判
別された場合、第二報知手段にて当該異常を報知する。
一方、前記監視装置には、前記第一基準データと前記第
二基準データとを比較する基準データ比較手段と、該基
準データ比較手段による比較の結果、これら第一、第二
基準データのうち条件の厳しい基準データを第一基準デ
ータとして、シーケンサの第一基準データ記憶手段に設
定する第一基準データ設定手段とが設けられているの
で、シーケンサの判断結果に優先的に従うようにすれ
ば、最も安全を重視した形態の監視を行うことができ、
また、シーケンサ、監視装置において異なった異常判断
があったとしても、シーケンサの判断結果を優先させる
ことにより、異常発生時の混乱を防止することができ
る。
【0008】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1〜図6に基づ
いて説明する。図1は監視システムの機能ブロック図で
あって、表示部1、記憶部2、処理部3、通信部4、入
力部5、シーケンサ6、ガスセンサ7、流量センサ8か
ら構成され、更に、これら構成要素の中で、記憶部2、
処理部3、通信部4、入力部5は監視手段100を構成
している。また、上記構成要素の中で、図1に示すよう
に、表示部1、記憶部2、処理部3、通信部4は監視室
50内に設置され、シーケンサ6、ガスセンサ7、流量
センサ8はクリーンルームといった被監視室51に配置
されているものであって、これら通信部4とシーケンサ
6との間は通信ライン52により接続されている。
【0009】以下、上記構成要素について説明すると、
まず、ガスセンサ7は、クリーンルームの各所におい
て、発生または漏洩した有毒ガスを検出できる位置に設
置されているものであって、検出すべき有毒ガスに対応
して、形式や大きさが選択され、必要に応じて数個から
数十個取り付けられている。また、流量センサ8は、化
学蒸着装置であるCVD10〜12(図3参照)に対し
て有毒ガスを供給する有毒ガス供給管の途中に設置され
て、クリーンルーム内で使用する有毒ガスの流量を測定
するものであって、ガスセンサ7と同様に、有毒ガス供
給管に沿って数個から数十個取り付けられている。ま
た、これら流量センサ8は、複数の有毒ガス供給管があ
る場合には、有毒ガスの種類別に設けられている。
【0010】また、これらガスセンサ7及び流量センサ
8から出力された検出データは、ケーブルを通じてシー
ケンサ6に全て供給される。シーケンサ6は、一定の周
期でガスセンサ7、流量センサ8から検出データを取り
込み、これら検出データを予め記憶されている記憶部
(第一基準データ記憶手段)(図示略)内の有毒ガス濃
度、有毒ガスの流量に関するシーケンサ基準データ(第
一基準データ)と比較することにより、正常・異常の判
断を行うものであり、このシーケンサ6は、有毒ガスを
検出すべきクリーンルーム毎に設けられている。このシ
ーケンサ6を具体的に説明すれば、ガスセンサ7から出
力された濃度に関する検出データを、予め記憶されてい
る有毒ガス濃度に関するシーケンサ基準データと比較し
(第一データ比較手段による)、ガスセンサ7の検出デ
ータが、有毒ガス濃度に関するシーケンサ基準データを
上回った場合に異常と判断して(第一異常判別手段によ
る)、報知手段としての報知器(図示せず)よりアラー
ムを出力し(第一報知手段による)、また、流量センサ
8から出力された有毒ガスの流量に関する検出データ
を、予め記憶されている有毒ガス流量に関するシーケン
サ基準データと比較し(第一データ比較手段による)、
流量センサ8の検出データが、有毒ガス濃度に関するシ
ーケンサ基準データを上回った場合に異常と判断して
(第一異常判別手段による)、報知手段としての報知器
(図示せず)よりアラームを出力するものである(第一
報知手段による)。
【0011】また、シーケンサ6は、ガスセンサ7、流
量センサ8から出力された検出データを通信部4を介し
て処理部3に供給する機能も有するが、これに限定され
ず、該シーケンサ6を介さず、ガスセンサ7、流量セン
サ8からの検出データを通信部4に直接供給しても良
い。
【0012】次に、処理部3及びその周辺構成を説明す
る。まず、記憶部2(第二基準データ記憶手段)には、
処理部3を制御するための制御プログラムが記憶される
とともに、図2に一部図示するように、ガスセンサ7、
流量センサ8で検出される有毒ガスの性質を示す物性デ
ータ13(燃える、有毒である、腐食する、臭
いがある、等のデータと比重など)、ガスセンサ7、流
量センサ8から出力された検出データと比較される処理
部基準データ14(第二基準データ)等が記憶されるも
のであって、これら制御プログラム、物性データ13、
処理部基準データ14は、いずれも処理部2に供給され
るようになっている。
【0013】なお、図2に、有毒ガス濃度に関する処理
部基準データ14は記載されているが、流量に対する処
理部基準データ14は記載は省略したので、記載されて
いない。また、この記憶部2には、図2で示すように、
有毒ガスとしてアルシン、ジボラン、塩素、塩化水素を
例に挙げたが、これは一例であって他の種類の有毒ガス
であっても良い。また、この記憶部2に対して、図2で
示すような物性データ13に限定されず、他の物性デー
タ13を記憶させて良いことは言うまでも無い。
【0014】処理部3は主に以下の(一)〜(四)で示
す機能を有している。 (一)ガスセンサ7、流量センサ8から出力された検出
データを、予め記憶されている有毒ガス濃度、有毒ガス
の流量に関する処理部基準データ14(第二基準デー
タ)と比較することにより、正常・異常の判断を行う。
すなわち、ガスセンサ7から出力された濃度に関する検
出データを、記憶部2に記憶されている有毒ガス濃度に
関する処理部基準データ14(図2参照)と比較し(第
二データ比較手段による)、ガスセンサ7の検出データ
が、有毒ガス濃度に関する処理部基準データ14を上回
った場合に異常と判断して(第二異常判別手段によ
る)、報知手段としての報知器(図示せず)よりアラー
ムを出力し(第二報知手段による)、また、流量センサ
8から出力された有毒ガスの流量に関する検出データ
を、記憶部2に記憶されている有毒ガス流量に関する処
理部基準データ14(図示略)と比較し(第二データ比
較手段による)、流量センサ8の検出データが、有毒ガ
ス濃度に関する処理部基準データ14を上回った場合に
異常と判断して(第二異常判別手段による)、報知手段
としての報知器(図示せず)よりアラームを出力する
(第二報知手段による)。
【0015】(二) 上記(一)の正常・異常判断結果
に基づき、異常と認められたところのガスセンサ7、流
量センサ8の位置を検出するとともに、異常発生に係わ
るCVD10〜12の現在の状況(電源のON/OF
F、弁の開閉、換気装置の作動の有無)を検出する。な
お、CVD10〜12の状況検出は、処理部3から出力
されてCVD10〜12を操作する操作信号に基づき行
う。また、この(二)における処理部2の検出結果は、
図4に示されるように表示部1に対して「異常発生場所
16」「安全確認17」「異常検知18」として表示さ
れる。
【0016】(三) ガスセンサ7、流量センサ8から
の検出データに基づき、有毒ガスの種類を判別し、この
判別結果に基づき、図2に示される有毒ガス毎の物性デ
ータ13の内、有毒ガスの種類に対応する物性データ1
3を読み出し、更に、物性データ13に基づき、避難姿
勢、避難方向等の避難方法(記憶部2に予め記憶させて
おく)を作業者に対して教示する。 (四) ガスセンサ7、流量センサ8からの検出データ
を一定時間毎に記録して、(a)ガス濃度、ガス流量が
上昇しつつあるか、下降しつつあるか、(b)ガス濃
度、ガス流量の現在値、最大値、(c)異常発生時刻、
(d)異常発生経過時間、(e)危険値等を検出する。
なお、この(四)における処理部2の処理結果は、図4
に示されるように表示部1に対して「状況15」として
表示される。
【0017】次に、表示部1、入力部5について説明す
る。表示部1は、図3、図4に示すように、処理部3に
て行われた(一)〜(四)の処理結果の一部あるいは全
てを表示するものである、具体的には、異常を呈した有
毒ガスの「状況15」、「異常発生場所16」、「安全
確認17」、「異常検知18」、「ガイダンスメニュー
19」、「避難方法(図示略)」等の表示内容を表示す
るものである。入力部5は、キーボードやマウスやタッ
チパネルなどの操作手段を有するもので、監視システム
のオペレータ(オペレータ)により、例えば、マニュア
ルにより各ガスセンサ7、流量センサ8の検出データを
表示部1に読み出し、また、記憶部2、シーケンサ6内
に記憶されているシーケンサ基準データ、処理部基準デ
ータ14、物性データ13等を表示部1に読み出す等の
操作を行わせるためのものである。
【0018】次に、監視システムの動作を図5のフロー
チャートを参照して説明する。 《ステップ1》まず、監視システムに電源が投入された
後、入力部5を通じて、表示部1の消去や色の設定を行
い、また、記憶部2に記憶させるべき処理部基準データ
14、物性データ13、シーケンサ6に記憶させるべき
シーケンサ基準データ等を入力させる。
【0019】《ステップ2》シーケンサ6を通じて、ガ
スセンサ7、流量センサ8からの検出データを一定周期
で読み込み、更に、該検出データを処理部3に対しても
供給する。 《ステップ3》シーケンサ6において、ガスセンサ7、
流量センサ8からの検出データと、予め設定されている
シーケンサ基準データとを比較し、その比較結果に基づ
き、正常・異常の判断を行う。具体的には、ガスセンサ
7から出力された濃度に関する検出データを、予め記憶
されている有毒ガス濃度に関するシーケンサ基準データ
と比較し、ガスセンサ7の検出データが、有毒ガス濃度
に関するシーケンサ基準データを上回った場合に異常と
判断し、また、流量センサ8から出力された有毒ガスの
流量に関する検出データを、予め記憶されている有毒ガ
ス流量に関するシーケンサ基準データと比較し、流量セ
ンサ8の検出データが、有毒ガス濃度に関するシーケン
サ基準データを上回った場合に異常と判断する。
【0020】なお、このような正常・異常判断において
は、同一種類の有毒ガスに係わるガスセンサ7、流量セ
ンサ8の中で、一つのセンサ7・8からの検出データ
が、シーケンサ基準データを越えた場合に異常と判断す
る。そして、このステップ3において、シーケンサ6に
て異常と判断された場合には次のステップ4に進み、ま
た、該シーケンサ6にて正常と判断された場合には次の
ステップ5に進む。
【0021】《ステップ4》シーケンサ6にて異常と判
断された場合に、処理部2にて、ガスセンサ7、流量セ
ンサ8から出力される検出データと、該シーケンサ6内
に記憶されるシーケンサ基準データ、記憶部2に記憶さ
れる処理部基準データ14とを比較し(処理部3の基準
データ比較手段による)、これら検出データ、基準デー
タの中で最小のものを、新たなシーケンサ基準データと
して該シーケンサ6に更新設定する(処理部3の第一基
準データ設定手段による)(このような更新設定は、濃
度に係わるシーケンサ基準データ、流量に係わるシーケ
ンサ基準データについてそれぞれ行う)。すなわち、該
シーケンサ6に対して最も厳しい判断基準をシーケンサ
基準データとして設定する。なお、このステップ4にお
いて、ガスセンサ7、流量センサ8からの検出データ
と、予め設定されているシーケンサ基準データ、処理部
基準データ14とを比較した結果、現在設定されている
シーケンサ基準データが最小値であると判定した場合に
は、シーケンサ基準データの書換は行わない。
【0022】《ステップ5》シーケンサ6にて異常判断
がなされない場合に、処理部3にて、ガスセンサ7、流
量センサ8からの検出データと、記憶部2に予め設定さ
れている処理部基準データ14とを比較し、その比較結
果に基づき、正常・異常の判断を行う。具体的には、ガ
スセンサ7から出力された濃度に関する検出データを、
予め記憶されている有毒ガス濃度に関する処理部基準デ
ータ14と比較し、ガスセンサ7の検出データが、有毒
ガス濃度に関する処理部基準データ14を上回った場合
に異常と判断し、また、流量センサ8から出力された有
毒ガスの流量に関する検出データを、予め記憶されてい
る有毒ガス流量に関する処理部基準データ14と比較
し、流量センサ8の検出データが、有毒ガス濃度に関す
る処理部基準データ14を上回った場合に異常と判断す
る。なお、このような正常・異常判断においては、同一
種類の有毒ガスに係わるガスセンサ7、流量センサ8の
中で、一つのセンサ7・8からの検出データが、処理部
基準データ14を越えた場合に異常と判断する。そし
て、このステップ5では、処理部3にて異常と判断され
た場合には次のステップ6に進み、また、処理部3にて
正常と判断された場合には次のステップ7に進む。
【0023】《ステップ6》シーケンサ6あるいは処理
部3にて異常が検出されたとしてアラームを出力する。
なお、上記実施例において、アラームを出力する手段と
しては、表示部1の表示画面上にて危険を示す赤色等の
警報色を点滅させる、また、警報音を発するなどがあ
る。また、このステップ6で出力されるアラームは、シ
ーケンサ6での異常判断に基づくものか(ステップ3で
の判断結果か)、処理部3での異常判断に基づくものか
(ステップ5での判断結果か)を識別可能なものとす
る。 《ステップ7》〜《ステップ8》ステップ7にて、ステ
ップ6で発生させたアラームを停止させる指示が入力部
5から入力されたか否かを判断し、アラーム停止の指示
が入力された場合に、次のステップ8にてアラームを停
止させる。
【0024】《ステップ9》入力部5を通じて、シーケ
ンサ6に記憶されているシーケンサ基準データ、記憶部
2に記憶されている処理部基準データ14(図2参
照)、及び異常を呈した有毒ガスの「状況15」、「異
常発生場所16」、「安全確認17」、「異常検知1
8」、「ガイダンスメニュー19」、「避難方法(図示
略)」等の表示内容(図4参照)等を読み出す指示(以
下、データ読出要求と表現する)が出力されたか否かを
判断し、YESの場合に次のステップ10に進み、NO
の場合に元のステップ2に進む。
【0025】《ステップ10》データ読出要求のあった
情報を、図2、図3で示すように表示部1に対して一括
表示させ、オペレータに対して、これら表示内容を参照
及び点検させた後、次のステップ11に進む。 《ステップ11》表示部1の表示画面を参照したオペレ
ータにより、入力部4を通じてこれらシーケンサ基準デ
ータ、処理部基準データ14の内容を変更する処理、あ
るいはアラームに対処してCVD10〜12内の弁、換
気装置を操作する処理、異常が発生した室内に避難のた
めの放送を行う等の処理(以下、これら処理を操作入力
と表現する)を行なったか否かを判断し、YESの場合
にステップ12に進み、NOの場合にステップ13に進
む。
【0026】《ステップ12》ステップ11にて行われ
た操作入力により、シーケンサ基準データ、処理部基準
データ14の内容を変更する必要がある場合には、これ
らデータの書換を行うとともに、ステップ10にて行わ
れた各種の操作入力は、異常発生日時を加えた上で履歴
20・21として記憶部2に記憶させ(履歴20・21
の具体例を図6に示す)、その後の有毒ガスの管理に利
用する。また、ステップ12を経た後には表示画面を例
えば図3で示す通常画面に如く切り換える。
【0027】《ステップ13》ステップ11にて操作入
力が無い場合には、表示画面を例えば図3で示す如く通
常画面に切り換える。そして、これらステップ12・1
3を経た場合には、再度、ステップ2に戻って、ステッ
プ2〜ステップ13の処理を繰り返す。なお、図5のフ
ローチャートは、全種類の有毒ガスについて実行するも
のでは無く、有毒ガスの種類毎に行う。
【0028】以上詳細に説明したように本実施例に示す
監視システムでは、シーケンサ6にて異常が検出された
場合に(ステップ3のNO)、各ガスセンサ7、流量セ
ンサ8から出力される検出データと、シーケンサ基準デ
ータ、処理部基準データ14とを比較し、これら検出デ
ータ、基準データの中で最小のものを新たなシーケンサ
基準データとしてシーケンサ6に設定するようにしてい
るので(ステップ4)、シーケンサ6において、一番条
件の厳しい判断基準を基準データに設定でき、有毒ガス
の性質により該有毒ガスの拡散速度が異なった場合にお
いても、各ガスセンサ7、流量センサ8からの検出デー
タに基づき確実に異常判別を行うことができる。すなわ
ち、本実施例の監視システムでは、ガスセンサ7、流量
センサ8が、その取付位置に関係無く僅かな濃度の有毒
ガスを検知しただけで、シーケンサ6においてアラーム
を発することが可能となえい、その結果、最も安全を重
視した形態の有毒ガス管理を行うことが可能となって、
異常判別を確実に行なえる効果が得られる。
【0029】また、本実施例に示す監視システムでは、
表示部1に対して、シーケンサ基準データ、処理部基準
データ14に関する情報を一括表示するようにしたので
(ステップ9〜ステップ10)、この表示部1の表示内
容をオペレータが参照することにより、シーケンサ6に
設定されているシーケンサ基準データ、記憶部2に設定
されている処理部基準データ14、及びこれらの差を把
握することができ、その結果、シーケンサ6、処理部3
にて、異なった異常判断が下された場合(ステップ3〜
ステップ6)であっても、オペレータはその理由を明確
に把握できて、異常発生時の対処を適切に行える効果が
得られる。
【0030】なお、上記実施例では、ステップ4におい
て、ガスセンサ7、流量センサ8から出力される検出デ
ータ、シーケンサ基準データ、処理部基準データ14を
互いに比較し、これら検出データ、基準データの中で最
小のもの(すなわち、条件が厳しいもの)を新たなシー
ケンサ基準データとしてシーケンサ6に設定するように
したが、これは、ガスセンサ7で検出されるガス濃度、
流量センサ8で出力される流量値が小さい程、危険が小
さいことを意味するからであり、反対に、検出データ、
シーケンサ基準データ、処理部基準データ14で示され
る値が大きい程、危険が小さいことを意味する場合、例
えば、検出手段として、有毒ガスの配管内の圧力を検出
する圧力センサを設け、この圧力センサからの検出デー
タに基づき、配管内の有毒ガスが低くなったことが、有
毒ガスの漏洩を示す場合には、上述したステップ4で
は、圧力センサから出力される検出データ、シーケンサ
基準データ、処理部基準データ14とを比較し、これら
検出データ、基準データの中で最大のもの(すなわち、
条件が厳しいもの)を新たなシーケンサ基準データとし
てシーケンサ6に設定する。
【0031】また、上記実施例では、図1に示すように
シーケンサ6を1台しか設けていないが、有毒ガスの監
視領域が複数ある場合には、処理部3に対して通信部4
を介して複数のシーケンサ6を接続して、LANを形成
すると良い。そして、このようなLANを形成した場合
には、各シーケンサ6の制御を処理部3から送信した共
通のプログラムによって行ない、これによって処理部3
にて共通のプログラムを変更するだけで、各シーケンサ
6の制御内容を一括変更可能とし、これにより監視シス
テムの取扱性を高めるようにしても良い。また、上記実
施例では、シーケンサ基準データ、処理部基準データ1
4を互いに比較し、これら検出データ、基準データの中
で条件の厳しいものをシーケンサ基準データとしてシー
ケンサ6に設定するようにしたが、これに限定されず、
これら検出データ、基準データの中で条件の厳しいもの
を処理部基準データ14として記憶部2に記憶しても良
い。
【0032】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、シーケンサにおいては、第一データ比較手段に
て、検出手段より出力された検出データと、第一基準デ
ータ記憶手段に記憶されている第一基準データとを比較
した後、第一異常判別手段にて、第一データ比較手段に
よる比較の結果に応じて異常を判別し、異常と判別され
た場合、第一報知手段にて当該異常を報知する。また、
監視装置においては、検出手段より出力された検出デー
タが通信ラインを介して取り込まれた後、第二データ比
較手段にて、該検出データと、第二基準データ記憶手段
に記憶されている第二基準データとを比較した後、第二
異常判別手段にて、第二データ比較手段による比較の結
果に応じて異常を判別し、異常と判別された場合、第二
報知手段にて当該異常を報知する。一方、前記監視装置
には、前記第一基準データと前記第二基準データとを比
較する基準データ比較手段と、該基準データ比較手段に
よる比較の結果、これら第一、第二基準データのうち条
件の厳しい基準データを第一基準データとして、シーケ
ンサの第一基準データ記憶手段に設定する第一基準デー
タ設定手段とが設けられているので、シーケンサの判断
結果に優先的に従うようにすれば、最も安全を重視した
形態の監視を行うことができ、また、シーケンサ、監視
装置において異なった異常判断があったとしても、シー
ケンサの判断結果を優先させることにより、異常発生時
の混乱を防止できる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】監視システムの機能ブロック図。
【図2】記憶部2の記憶内容を示す図。
【図3】表示部1の表示例を示す図。
【図4】表示部1の表示例を示す図。
【図5】監視システムの動作を示すフローチャート。
【図6】異常発生時における入力部5の操作内容の記録
を示す図。
【符号の説明】
1 表示部 2 記憶部(第二基準データ記憶手段) 3 処理部 4 通信部 5 入力部 6 シーケンサ 7 ガスセンサ(検出手段) 8 流量センサ(検出手段) 10 CVD 11 CVD 12 CVD 13 物性データ 14 処理部基準データ(第二基準データ) 50 監視室 51 被監視室 52 通信ライン 100 監視手段

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 室内のガスの状態を検出し、これを検出
    データとして出力する検出手段と、該検出手段が接続さ
    れたシーケンサと、前記シーケンサと通信ラインを介し
    て接続された監視装置とからなり、 前記シーケンサは、該検出手段により検出されるガスの
    危険とされる条件を示す第一基準データを記憶する第一
    基準データ記憶手段と、前記検出手段より出力された検
    出データを該第一基準データと比較する第一データ比較
    手段と、該第一データ比較手段による比較の結果に応じ
    て異常を判別する第一異常判別手段と、該第一異常判別
    手段により異常と判別された場合、これを報知する第一
    報知手段とからなり、 前記監視装置は、前記検出手段により検出されるガスの
    危険とされる条件を示す第二基準データを記憶する第二
    基準データ記憶手段と、前記検出手段により出力された
    検出データを該第二基準データと比較する第二データ比
    較手段と、該第二データ比較手段による比較の結果に応
    じて異常を判別する第二異常判別手段と、該第二異常判
    別手段により異常と判別された場合、これを報知する第
    二報知手段と、からなり、 前記監視装置には、 前記第一基準データと前記第二基準データとを比較する
    基準データ比較手段と、 該基準データ比較手段による比較の結果、これら第一、
    第二基準データのうち条件の厳しい基準データを第一基
    準データとして設定する第一基準データ設定手段とを有
    することを特徴とする監視システム。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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