JPH07270168A - 光回転角速度センサ - Google Patents
光回転角速度センサInfo
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- JPH07270168A JPH07270168A JP6067894A JP6067894A JPH07270168A JP H07270168 A JPH07270168 A JP H07270168A JP 6067894 A JP6067894 A JP 6067894A JP 6067894 A JP6067894 A JP 6067894A JP H07270168 A JPH07270168 A JP H07270168A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 回路規模を小さくし、精度の高い位相調整を
可能にする。 【構成】 受光器６で検出された検出信号Ｓを処理して
回転角速度情報を得る信号処理回路12' のＣＰＵ19が、
検出信号Ｓの第２高調波成分Ｓ2 の検波信号出力を監視
しつつ信号発生器１８を制御して位相変調信号ｆｍの位
相を第２高調波成分Ｓ2 の検波信号出力が零レベルにな
るように調整し、位相変調信号ｆｍの位相を第２高調波
成分の１／８波長分正出力側にシフトさせ、更に第４高
調波成分Ｓ4 の検波信号出力を監視しつつ位相変調信号
ｆｍの位相を第４高調波成分の検波信号出力が零レベル
になるように調節し、位相変調信号ｆｍの位相を第２高
調波成分の１／８波長分上記正出力側にシフトさせる位
相調整機能を有していることを特徴をする。検波信号出
力の零レベル付近は検波信号の出力波形の傾きが最も急
であるため極めて高精度に検索できる。
可能にする。 【構成】 受光器６で検出された検出信号Ｓを処理して
回転角速度情報を得る信号処理回路12' のＣＰＵ19が、
検出信号Ｓの第２高調波成分Ｓ2 の検波信号出力を監視
しつつ信号発生器１８を制御して位相変調信号ｆｍの位
相を第２高調波成分Ｓ2 の検波信号出力が零レベルにな
るように調整し、位相変調信号ｆｍの位相を第２高調波
成分の１／８波長分正出力側にシフトさせ、更に第４高
調波成分Ｓ4 の検波信号出力を監視しつつ位相変調信号
ｆｍの位相を第４高調波成分の検波信号出力が零レベル
になるように調節し、位相変調信号ｆｍの位相を第２高
調波成分の１／８波長分上記正出力側にシフトさせる位
相調整機能を有していることを特徴をする。検波信号出
力の零レベル付近は検波信号の出力波形の傾きが最も急
であるため極めて高精度に検索できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は位相変調方式の光回転角
速度センサに関し、さらに詳細には、位相変調機能を備
えた光回転角速度センサに関するものである。
速度センサに関し、さらに詳細には、位相変調機能を備
えた光回転角速度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、位相変調方式の光回転角速度セン
サは、図７に示すように構成され、光学系は各々１台の
レーザ光源１、偏光子３、位相変調器４、光ファイバよ
りなるセンシングループ５、受光器６及びプリアンプ７
と、２台の光カプラ２ａ，２ｂとからなる。
サは、図７に示すように構成され、光学系は各々１台の
レーザ光源１、偏光子３、位相変調器４、光ファイバよ
りなるセンシングループ５、受光器６及びプリアンプ７
と、２台の光カプラ２ａ，２ｂとからなる。
【０００３】レーザ光源１からの光は光カプラ２ａで分
岐され、一方は偏光子３、光カプラ２ｂを介してセンシ
ングループ５へ導かれる。センシングループ５を伝搬し
た左右両回り光は、光カプラ２ｂで再び結合し、偏光子
３、光カプラ２ａを介して受光器６に導かれる。センシ
ングループ５が角速度Ωで回転すると、センシングルー
プを伝搬している左右量回り光に位相差が生じ（サグナ
ック効果）、受光器６に達する光出力が変化する。この
受光器６の検出信号がプリアンプ７を介して信号処理回
路１２に入力される。
岐され、一方は偏光子３、光カプラ２ｂを介してセンシ
ングループ５へ導かれる。センシングループ５を伝搬し
た左右両回り光は、光カプラ２ｂで再び結合し、偏光子
３、光カプラ２ａを介して受光器６に導かれる。センシ
ングループ５が角速度Ωで回転すると、センシングルー
プを伝搬している左右量回り光に位相差が生じ（サグナ
ック効果）、受光器６に達する光出力が変化する。この
受光器６の検出信号がプリアンプ７を介して信号処理回
路１２に入力される。
【０００４】信号処理回路１２は、具体的には同期検波
回路８、Ａ／Ｄ変換器９、ＣＰＵ１０および発振器１１
からなる。位相変調器４には、発振器１１から一定周波
数の正弦波ｆｍが加えられ、この周波数でセンシングル
ープ５の右回り光、左回り光が位相変調される。その結
果、受光器６からは位相変調された出力信号（基本波、
第２次高調波、第４次高調波）が出力される。各周波数
成分は同期検波回路８で同期検波されて分離され、Ａ／
Ｄ変換機９でデジタル信号に変換された後ＣＰＵ１０に
入力され、これを基に回転角速度Ωが演算される。
回路８、Ａ／Ｄ変換器９、ＣＰＵ１０および発振器１１
からなる。位相変調器４には、発振器１１から一定周波
数の正弦波ｆｍが加えられ、この周波数でセンシングル
ープ５の右回り光、左回り光が位相変調される。その結
果、受光器６からは位相変調された出力信号（基本波、
第２次高調波、第４次高調波）が出力される。各周波数
成分は同期検波回路８で同期検波されて分離され、Ａ／
Ｄ変換機９でデジタル信号に変換された後ＣＰＵ１０に
入力され、これを基に回転角速度Ωが演算される。
【０００５】ところで同期検波回路８をスイッチで構成
した場合、入力信号をｆ１、スイッチのＯＮ／ＯＦＦ信
号（同期信号）をｆ２、検波出力をｆ３，フィルタリン
グ後の出力電圧をｆ４とすると、図８、図９の（ａ）〜
（ｄ）に示すような関係になる。図８には入力信号ｆ１
と同期信号ｆ２の位相が90度異なった場合、図９には上
記の２つの信号が完全に一致した場合が記載されてい
る。ローパスフィルタを介した出力電圧ｆ４は図８にお
いては零に、図９においては最大になっている。センシ
ングループ５の一端に設けた位相変調器４は、左右両回
り光に等価的にπ／２に近い位相差を与えて回転角速度
検出の高精度化を図るものであり、もし同期信号ｆ２の
位相が少しでもずれた場合には、センサの直線性が悪く
なるため同期信号ｆ２の位相調整が必要になる。
した場合、入力信号をｆ１、スイッチのＯＮ／ＯＦＦ信
号（同期信号）をｆ２、検波出力をｆ３，フィルタリン
グ後の出力電圧をｆ４とすると、図８、図９の（ａ）〜
（ｄ）に示すような関係になる。図８には入力信号ｆ１
と同期信号ｆ２の位相が90度異なった場合、図９には上
記の２つの信号が完全に一致した場合が記載されてい
る。ローパスフィルタを介した出力電圧ｆ４は図８にお
いては零に、図９においては最大になっている。センシ
ングループ５の一端に設けた位相変調器４は、左右両回
り光に等価的にπ／２に近い位相差を与えて回転角速度
検出の高精度化を図るものであり、もし同期信号ｆ２の
位相が少しでもずれた場合には、センサの直線性が悪く
なるため同期信号ｆ２の位相調整が必要になる。
【０００６】この同期信号の位相調整方法については、
一般的には、１つの周波数に対し９０度位相が異なる２
相の同期信号による同期検波回路（２相式）を用いて、
位相調整を省く方法がとられている。また、一相式の位
相調整方法としては、遅延素子を用いて同期信号の位相
を調整する方法がある。これら位相調整に当っては、基
本波信号または高調波信号が最大になる位相を検索して
いると考えられる。
一般的には、１つの周波数に対し９０度位相が異なる２
相の同期信号による同期検波回路（２相式）を用いて、
位相調整を省く方法がとられている。また、一相式の位
相調整方法としては、遅延素子を用いて同期信号の位相
を調整する方法がある。これら位相調整に当っては、基
本波信号または高調波信号が最大になる位相を検索して
いると考えられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】位相変調方式の光回転
角速度センサにおける従来の位相調整方法の場合、次の
ような問題がある。
角速度センサにおける従来の位相調整方法の場合、次の
ような問題がある。
【０００８】（１）２相式の同期検波回路を用いる方法
の場合には、同期検波回路の規模が倍となり、それだけ
大型化しかつ高価になる。また、この２相式でも基本波
信号の正負で回転を判断するため、若干の位相調整回路
が必要である。
の場合には、同期検波回路の規模が倍となり、それだけ
大型化しかつ高価になる。また、この２相式でも基本波
信号の正負で回転を判断するため、若干の位相調整回路
が必要である。
【０００９】（２）基本波信号が最大になる位相を検索
する方法で調整するためには、センサを回転させなけれ
ばならない。したがって、位相調整が複雑、困難であり
且つ精度が悪いなどの問題がある。
する方法で調整するためには、センサを回転させなけれ
ばならない。したがって、位相調整が複雑、困難であり
且つ精度が悪いなどの問題がある。
【００１０】（３）高調波信号が最大になる位相を検索
する方法で調整するためには、センサが静止していなけ
ればならない。さらに、ｃｏｓ関数の最大点で調整して
いるため精度が悪い等の問題がある。
する方法で調整するためには、センサが静止していなけ
ればならない。さらに、ｃｏｓ関数の最大点で調整して
いるため精度が悪い等の問題がある。
【００１１】本発明の目的は、上記従来技術の欠点を解
消し、回路規模が小さくて済み、精度の高い位相調整が
可能な光回転角速度センサを提供することにある。
消し、回路規模が小さくて済み、精度の高い位相調整が
可能な光回転角速度センサを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光回転角速度センサは、光源からの光を２つ
に分岐して両分岐光を互いに逆向きにセンシングループ
に導くと共に位相変調器で両分岐光の間に所定の位相差
を与え、センシングループを右回りに伝搬した分岐光と
左回りに伝搬した分岐光とを再び結合させた後受光器で
検出し、その検出信号を信号処理回路で処理して角速度
情報を得る位相変調方式の光回転角速度センサにおい
て、上記信号処理回路は、上記検出信号をその基本波成
分、第２高調波成分及び第４高調波成分毎に検波するた
めの３台の同期検波回路と、各同期検波回路で信号を検
波するための同期信号と上記位相変調器を駆動するため
の位相変調信号とを発生する信号発生器と、各同期検波
回路の検波信号に基づいて角速度を演算するＣＰＵとを
備え、当該ＣＰＵは上記演算機能に加え、第２高調波成
分を検波する同期検波回路の検波出力を監視しつつ上記
信号発生器を制御して上記位相変調信号の位相を第２高
調波成分の検波信号出力が零レベルになるように調整
し、調整後上記信号発生器を制御して上記位相変調信号
の位相を第２高調波成分の１／４波長分正出力側にシフ
トさせる位相調整機能を有していることを特徴とする。
に本発明の光回転角速度センサは、光源からの光を２つ
に分岐して両分岐光を互いに逆向きにセンシングループ
に導くと共に位相変調器で両分岐光の間に所定の位相差
を与え、センシングループを右回りに伝搬した分岐光と
左回りに伝搬した分岐光とを再び結合させた後受光器で
検出し、その検出信号を信号処理回路で処理して角速度
情報を得る位相変調方式の光回転角速度センサにおい
て、上記信号処理回路は、上記検出信号をその基本波成
分、第２高調波成分及び第４高調波成分毎に検波するた
めの３台の同期検波回路と、各同期検波回路で信号を検
波するための同期信号と上記位相変調器を駆動するため
の位相変調信号とを発生する信号発生器と、各同期検波
回路の検波信号に基づいて角速度を演算するＣＰＵとを
備え、当該ＣＰＵは上記演算機能に加え、第２高調波成
分を検波する同期検波回路の検波出力を監視しつつ上記
信号発生器を制御して上記位相変調信号の位相を第２高
調波成分の検波信号出力が零レベルになるように調整
し、調整後上記信号発生器を制御して上記位相変調信号
の位相を第２高調波成分の１／４波長分正出力側にシフ
トさせる位相調整機能を有していることを特徴とする。
【００１３】本発明の光回転角速度センサにおいて、上
記ＣＰＵが第２高調波成分を検波する同期検波回路の検
波出力を監視しつつ上記信号発生器を制御して上記位相
変調信号の位相を第２高調波成分の検波信号出力が零レ
ベルになるように調整し、調整後上記信号発生器を制御
して上記位相変調信号の位相を第２高調波成分の１／８
波長分正出力側にシフトさせ、その後更に第４高調波成
分を検波する同期検波回路の検波出力を監視しつつ上記
信号発生器を制御して上記位相変調信号の位相を第４高
調波成分の検波信号出力が零レベルになるように調整
し、調整後上記信号発生器を制御して上記位相変調信号
の位相を第２高調波成分の１／８波長分上記正出力側に
シフトさせる位相調整機能を有していることが望まし
い。
記ＣＰＵが第２高調波成分を検波する同期検波回路の検
波出力を監視しつつ上記信号発生器を制御して上記位相
変調信号の位相を第２高調波成分の検波信号出力が零レ
ベルになるように調整し、調整後上記信号発生器を制御
して上記位相変調信号の位相を第２高調波成分の１／８
波長分正出力側にシフトさせ、その後更に第４高調波成
分を検波する同期検波回路の検波出力を監視しつつ上記
信号発生器を制御して上記位相変調信号の位相を第４高
調波成分の検波信号出力が零レベルになるように調整
し、調整後上記信号発生器を制御して上記位相変調信号
の位相を第２高調波成分の１／８波長分上記正出力側に
シフトさせる位相調整機能を有していることが望まし
い。
【００１４】本発明の光回転角速度センサにおいて、上
記検波信号出力の零レベルは上記信号処理回路及び電源
を含む電気信号処理系全体のノイズレベル程度とする。
記検波信号出力の零レベルは上記信号処理回路及び電源
を含む電気信号処理系全体のノイズレベル程度とする。
【００１５】本発明の光回転角速度センサにおいて、上
記信号発生器は、上記ＣＰＵの制御の下でプログラム可
能なタイマと、このタイマのクロック信号によって反転
動作して基本波、第２高調波及び第４高調波の３種類の
同期信号と位相変調用の信号とを生成するフリップフロ
ップ群とで構成されていることが望ましい。その場合、
上記タイマが同期信号発生用、位相変調信号発生用及び
位相シフト量管理用の３個のカウンタを具備し、位相シ
フト量管理用のカウンタで上記ＣＰＵから設定された値
だけカウントアップを続け、設定値に到達した時点で位
相変調信号発生用乃至同期信号発生用のカウンタをクリ
アする機能を有していることが望ましい。
記信号発生器は、上記ＣＰＵの制御の下でプログラム可
能なタイマと、このタイマのクロック信号によって反転
動作して基本波、第２高調波及び第４高調波の３種類の
同期信号と位相変調用の信号とを生成するフリップフロ
ップ群とで構成されていることが望ましい。その場合、
上記タイマが同期信号発生用、位相変調信号発生用及び
位相シフト量管理用の３個のカウンタを具備し、位相シ
フト量管理用のカウンタで上記ＣＰＵから設定された値
だけカウントアップを続け、設定値に到達した時点で位
相変調信号発生用乃至同期信号発生用のカウンタをクリ
アする機能を有していることが望ましい。
【００１６】
【作用】位相変調方式光回転角速度センサの光学系の出
力、即ち、光源からの光が２つに分岐されて互いに逆向
きにセンシングループに入射し、センシングループを互
いに逆回りに伝搬する間に位相変調を受けた後再び結合
されて受光器に入射する光のパワーＰ（ｔ）は下記の式
で表わされる。
力、即ち、光源からの光が２つに分岐されて互いに逆向
きにセンシングループに入射し、センシングループを互
いに逆回りに伝搬する間に位相変調を受けた後再び結合
されて受光器に入射する光のパワーＰ（ｔ）は下記の式
で表わされる。
【００１７】
【数１】
【００１８】θは位相変調器に加える位相変調信号ｆｍ
（正弦波）の位相で変化するものであり、位相変調信号
ｆｍの位相が変化すると上記出力Ｐ（ｔ）の位相が変化
する。したがって、位相変調信号ｆｍの位相を変えるこ
とは、同期検波回路の同期信号に対する上記出力Ｐ
（ｔ）の位相ひいてはこれが受光器に入力されて検出さ
れる検出信号（電気信号）の位相を変えることに相当す
る。
（正弦波）の位相で変化するものであり、位相変調信号
ｆｍの位相が変化すると上記出力Ｐ（ｔ）の位相が変化
する。したがって、位相変調信号ｆｍの位相を変えるこ
とは、同期検波回路の同期信号に対する上記出力Ｐ
（ｔ）の位相ひいてはこれが受光器に入力されて検出さ
れる検出信号（電気信号）の位相を変えることに相当す
る。
【００１９】本発明の光回転角速度センサは、同期信号
に対する位相変調信号の位相を調整することによって同
期信号に対する検出信号の位相を調整するものであり、
同期信号に対する位相変調信号の位相を調整するに当っ
ては、上記ＣＰＵが第２高調波成分の検波出力を監視し
つつ上記信号発生器を制御して上記位相変調信号の位相
を第２高調波成分の検波信号出力が零レベルになるよう
に一旦調整した後上記位相変調信号の位相を第２高調波
成分の１／４波長分（９０度）正出力側にシフトさせる
（図６（ａ）参照）。すなわち、本発明の光回転角速度
センサにおいては、基本波信号または高調波信号の検波
信号の出力レベルが最大になる位相を直接検索すること
はせず、検波信号の出力レベルが零になる位相を一旦検
索し、そこから１／４波長分正出力側に位相をシフトさ
せることによって出力レベルが最大になるよう位相調整
を行う。光ファイバジャイロに回転角速度が入力されて
いる場合（すなわち光ファイバジャイロが回転している
場合）、回転に伴って検波信号の位相が変化し、しかも
検波信号の出力レベルが最大の点は出力波形の傾きが最
も緩やかであるため、最大値の検出を誤る可能性がある
が、本発明のように零レベルの点を検索すれば回転角速
度が入力されていても位相調整が可能になる。つまり検
波信号出力の零レベル付近は検波信号の出力波形の傾き
が最も急であるため、検波信号出力が零レベルになる点
は出力レベルが最大の点よりも遥かに高精度に検索でき
る。この点を基準にして１／４波長分正出力側に位相を
シフトさせることにより、検波信号の出力レベルが最大
になるように精度良く位相調整が行われる。
に対する位相変調信号の位相を調整することによって同
期信号に対する検出信号の位相を調整するものであり、
同期信号に対する位相変調信号の位相を調整するに当っ
ては、上記ＣＰＵが第２高調波成分の検波出力を監視し
つつ上記信号発生器を制御して上記位相変調信号の位相
を第２高調波成分の検波信号出力が零レベルになるよう
に一旦調整した後上記位相変調信号の位相を第２高調波
成分の１／４波長分（９０度）正出力側にシフトさせる
（図６（ａ）参照）。すなわち、本発明の光回転角速度
センサにおいては、基本波信号または高調波信号の検波
信号の出力レベルが最大になる位相を直接検索すること
はせず、検波信号の出力レベルが零になる位相を一旦検
索し、そこから１／４波長分正出力側に位相をシフトさ
せることによって出力レベルが最大になるよう位相調整
を行う。光ファイバジャイロに回転角速度が入力されて
いる場合（すなわち光ファイバジャイロが回転している
場合）、回転に伴って検波信号の位相が変化し、しかも
検波信号の出力レベルが最大の点は出力波形の傾きが最
も緩やかであるため、最大値の検出を誤る可能性がある
が、本発明のように零レベルの点を検索すれば回転角速
度が入力されていても位相調整が可能になる。つまり検
波信号出力の零レベル付近は検波信号の出力波形の傾き
が最も急であるため、検波信号出力が零レベルになる点
は出力レベルが最大の点よりも遥かに高精度に検索でき
る。この点を基準にして１／４波長分正出力側に位相を
シフトさせることにより、検波信号の出力レベルが最大
になるように精度良く位相調整が行われる。
【００２０】したがって、第２高調波成分よりも更に傾
きが急な第４高調波成分の零レベルの点を検索し、その
点を基準にして第２高調波成分の１／８波長分正出力側
に位相変調信号の位相をシフトさせることによって更に
精度良く位相調整を行うことができる（図６（ｂ）参
照）。
きが急な第４高調波成分の零レベルの点を検索し、その
点を基準にして第２高調波成分の１／８波長分正出力側
に位相変調信号の位相をシフトさせることによって更に
精度良く位相調整を行うことができる（図６（ｂ）参
照）。
【００２１】この光回転角速度センサのノイズ源として
は、上記信号処理回路の同期検波回路の他に電源や受光
信号増幅用の増幅器（プリアンプ）などが存在する。し
たがって、上記零レベルを電気信号処理系全体のノイズ
レベル程度としておけば、上記位相調整操作を誤ること
はない。
は、上記信号処理回路の同期検波回路の他に電源や受光
信号増幅用の増幅器（プリアンプ）などが存在する。し
たがって、上記零レベルを電気信号処理系全体のノイズ
レベル程度としておけば、上記位相調整操作を誤ること
はない。
【００２２】本発明の光回転角速度センサは上記ＣＰＵ
によって上記信号発生器を制御して位相調整を自動で行
う機能を有するものであり、信号発生器をＣＰＵの制御
の下でプログラム可能なタイマと、このタイマのクロッ
ク信号によって反転動作する上記フリップフロップ群と
で構成することにより、簡単な構成でこの位相調整機能
を実現できる。その場合、上記３個のカウンタからなる
タイマを使用し、ＣＰＵの制御の下で位相変調信号の位
相をシフトさせつつ、位相シフト量管理用のカウンタで
ＣＰＵから設定された値だけカウントアップを続け、設
定値に到達した時点で位相変調信号発生用及び同期信号
発生用のカウンタをクリアすることにより、位相シフト
量を正確に管理できる。
によって上記信号発生器を制御して位相調整を自動で行
う機能を有するものであり、信号発生器をＣＰＵの制御
の下でプログラム可能なタイマと、このタイマのクロッ
ク信号によって反転動作する上記フリップフロップ群と
で構成することにより、簡単な構成でこの位相調整機能
を実現できる。その場合、上記３個のカウンタからなる
タイマを使用し、ＣＰＵの制御の下で位相変調信号の位
相をシフトさせつつ、位相シフト量管理用のカウンタで
ＣＰＵから設定された値だけカウントアップを続け、設
定値に到達した時点で位相変調信号発生用及び同期信号
発生用のカウンタをクリアすることにより、位相シフト
量を正確に管理できる。
【００２３】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。
する。
【００２４】図１は、本発明の光回転角速度センサの一
実施例を示す構成図であり、図７と同じ構成要素には同
符号が付されている。
実施例を示す構成図であり、図７と同じ構成要素には同
符号が付されている。
【００２５】本発明の光回転角速度センサの信号処理回
路１２´は、基本的要素として、受光器６で検出されプ
リアンプ７で増幅されて送られてくる検出信号Ｓをその
基本波成分Ｓ1 、第２高調波成分Ｓ2 及び第４高調波成
分Ｓ4 毎に検波するための３台の同期検波回路８１，８
２，８３と、各同期検波回路８１，８２，８３をスイッ
チングするための３種類の同期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆ
ｒ及び位相変調器４を駆動するための位相変調信号ｆｍ
を発生する信号発生器１８と、各同期検波回路８１，８
２，８３の検波信号に基づいて回転角速度を演算するＣ
ＰＵ１９とを有している。
路１２´は、基本的要素として、受光器６で検出されプ
リアンプ７で増幅されて送られてくる検出信号Ｓをその
基本波成分Ｓ1 、第２高調波成分Ｓ2 及び第４高調波成
分Ｓ4 毎に検波するための３台の同期検波回路８１，８
２，８３と、各同期検波回路８１，８２，８３をスイッ
チングするための３種類の同期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆ
ｒ及び位相変調器４を駆動するための位相変調信号ｆｍ
を発生する信号発生器１８と、各同期検波回路８１，８
２，８３の検波信号に基づいて回転角速度を演算するＣ
ＰＵ１９とを有している。
【００２６】信号発生器１８は、タイマ１４と、このタ
イマ１４を通して得られるクロック信号により反転動作
するフリップフロップ１５とからなる。タイマ１４は、
ＣＰＵ１９の制御の下で内部バスを介してプログラムの
書き込み／変更が可能なタイマ回路と、タイマ回路から
のクロック信号によって反転動作して各々カウント信号
を発生する同期信号発生用、位相変調信号発生用及び位
相シフト量管理用の３個のカウンタ回路とを有してい
る。フリップフロップ１５は、これら３個のカウンタか
らのカウント信号とタイマ回路からのクロック信号とに
より反転動作して基本波用、第２高調波用及び第４高調
波用の３種類の同期信号及び位相変調用の信号を各々生
成する４個のＪＫフリップフロップと、基本波用、第２
高調波用及び第４高調波用の３個のＪＫフリップフロッ
プからの信号とタイマ１４のタイマ回路及びカウンタ回
路からのを受けて基本波、第２高調波及び第４高調波の
３種類の同期信号（ＯＮ／ＯＦＦ信号）すなわちｆｒ，
２ｆｒ，４ｆｒ及びこれらの反転信号を発生する６個の
インバータとからなる。なお、残りの１個のＪＫフリッ
プフロップからの信号は、Ｄ／Ａ変換器１７でアナログ
信号に変換された後ローパスフィルタ１３を通過させて
位相変調信号ｆｍとして位相変調器４へ送られる。
イマ１４を通して得られるクロック信号により反転動作
するフリップフロップ１５とからなる。タイマ１４は、
ＣＰＵ１９の制御の下で内部バスを介してプログラムの
書き込み／変更が可能なタイマ回路と、タイマ回路から
のクロック信号によって反転動作して各々カウント信号
を発生する同期信号発生用、位相変調信号発生用及び位
相シフト量管理用の３個のカウンタ回路とを有してい
る。フリップフロップ１５は、これら３個のカウンタか
らのカウント信号とタイマ回路からのクロック信号とに
より反転動作して基本波用、第２高調波用及び第４高調
波用の３種類の同期信号及び位相変調用の信号を各々生
成する４個のＪＫフリップフロップと、基本波用、第２
高調波用及び第４高調波用の３個のＪＫフリップフロッ
プからの信号とタイマ１４のタイマ回路及びカウンタ回
路からのを受けて基本波、第２高調波及び第４高調波の
３種類の同期信号（ＯＮ／ＯＦＦ信号）すなわちｆｒ，
２ｆｒ，４ｆｒ及びこれらの反転信号を発生する６個の
インバータとからなる。なお、残りの１個のＪＫフリッ
プフロップからの信号は、Ｄ／Ａ変換器１７でアナログ
信号に変換された後ローパスフィルタ１３を通過させて
位相変調信号ｆｍとして位相変調器４へ送られる。
【００２７】各同期検波回路８１，８２，８３は、図３
に示すように各々アナログスイッチ２０とローパスフィ
ルタ（積分器）２１とを有し、フリップフロップ１５で
作成される３種類の同期信号で各々スイッチング（ＯＮ
／ＯＦＦ）されることにより信号を検波し、そのフィル
タ２１を通して検波信号を出力する構成になっている。
これら同期検波回路８１，８２，８３の出力はマルチプ
レクサ１６及びＡ／Ｄ変換器９を介してＣＰＵ１９の入
力に接続されている。マルチプレクサ１６は、図５に示
すように各同期検波回路８１，８２，８３からの３つの
検波信号が各々入力される３つの入力端子２２と１つの
出力端子２３とを有し、内部スイッチ回路２４によって
出力端子２３に接続される入力端子２２を切り換えるこ
とにより、検波信号を選択できるようになっている。こ
の場合のスイッチの切り換えは、マルチプレクサ１６の
スイッチ切換用入力端子２５にＣＰＵ１９からスイッチ
切換信号ｆｃを入力し、その信号ｆｃによって内部スイ
ッチ回路２４を作動させることによりなされる。このマ
ルチプレクサ１６で選択された検波信号（積分出力）が
Ａ／Ｄ変換器９でデジタル信号に変換されてＣＰＵ１９
に入力される。ＣＰＵ１９はこれに組み込まれたソフト
ウェアの管理の下で、マルチプレクサ１６をスイッチン
グして検波信号を検出し、これに基づいて回転角速度を
演算する。
に示すように各々アナログスイッチ２０とローパスフィ
ルタ（積分器）２１とを有し、フリップフロップ１５で
作成される３種類の同期信号で各々スイッチング（ＯＮ
／ＯＦＦ）されることにより信号を検波し、そのフィル
タ２１を通して検波信号を出力する構成になっている。
これら同期検波回路８１，８２，８３の出力はマルチプ
レクサ１６及びＡ／Ｄ変換器９を介してＣＰＵ１９の入
力に接続されている。マルチプレクサ１６は、図５に示
すように各同期検波回路８１，８２，８３からの３つの
検波信号が各々入力される３つの入力端子２２と１つの
出力端子２３とを有し、内部スイッチ回路２４によって
出力端子２３に接続される入力端子２２を切り換えるこ
とにより、検波信号を選択できるようになっている。こ
の場合のスイッチの切り換えは、マルチプレクサ１６の
スイッチ切換用入力端子２５にＣＰＵ１９からスイッチ
切換信号ｆｃを入力し、その信号ｆｃによって内部スイ
ッチ回路２４を作動させることによりなされる。このマ
ルチプレクサ１６で選択された検波信号（積分出力）が
Ａ／Ｄ変換器９でデジタル信号に変換されてＣＰＵ１９
に入力される。ＣＰＵ１９はこれに組み込まれたソフト
ウェアの管理の下で、マルチプレクサ１６をスイッチン
グして検波信号を検出し、これに基づいて回転角速度を
演算する。
【００２８】ＣＰＵ１９は、回転角速度を演算する機能
に加え、同期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆｒに対する検出信
号Ｓの位相を調整する機能を有している。この位相調整
機能は、ＣＰＵ１９がこれ組み込まれたソフトウェアの
管理の下でマルチプレクサ１６で高調波信号を選択し、
その信号検出値に基づいて上記信号発生器１８を制御す
ることにより発揮されるものである。以下に、この位相
調整機能について説明する。
に加え、同期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆｒに対する検出信
号Ｓの位相を調整する機能を有している。この位相調整
機能は、ＣＰＵ１９がこれ組み込まれたソフトウェアの
管理の下でマルチプレクサ１６で高調波信号を選択し、
その信号検出値に基づいて上記信号発生器１８を制御す
ることにより発揮されるものである。以下に、この位相
調整機能について説明する。
【００２９】基本波信号成分の出力Ｓ1 、第２高調波成
分の出力Ｓ2 及び第４高調波成分の出力Ｓ４の出力Ｓ4
は、左右の回り光の振幅（最大値）をそれぞれＰL 、Ｐ
R とした場合、次のように表される。
分の出力Ｓ2 及び第４高調波成分の出力Ｓ４の出力Ｓ4
は、左右の回り光の振幅（最大値）をそれぞれＰL 、Ｐ
R とした場合、次のように表される。
【００３０】
【数２】
【００３１】位相変調式光回転角速度センサの出力信号
Ｓの各周波数成分（出力Ｓ1 、Ｓ2 及びＳ4 ）に同期検
波回路８１，８２，８３のＯＮ／ＯＦＦ信号すなわち同
期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆｒが同期しない場合、各周波
数成分の検波出力は小さくなる。これは各周波数成分の
周波数あるいは位相が式（２）〜（４）の項に一致し
ない場合にあたる。
Ｓの各周波数成分（出力Ｓ1 、Ｓ2 及びＳ4 ）に同期検
波回路８１，８２，８３のＯＮ／ＯＦＦ信号すなわち同
期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆｒが同期しない場合、各周波
数成分の検波出力は小さくなる。これは各周波数成分の
周波数あるいは位相が式（２）〜（４）の項に一致し
ない場合にあたる。
【００３２】その具体例として、図３の同期検波回路に
おける入力信号と出力信号との関係を図４に示す。図４
（ａ）は周波数が同期しない場合、同図（ｂ）は位相が
合わない（９０度異なる）場合である。いずれの場合も
積分出力は零になる。ここでは例として第２高調波を同
期検波する場合を示したが、他の周波数成分を同期検波
する回路についても同様な現象が起こる。したがって位
相変調信号ｆｍの位相を変化させれば、同期信号は固定
であるのでＳ1 、Ｓ2 及びＳ4 の値は変化する。
おける入力信号と出力信号との関係を図４に示す。図４
（ａ）は周波数が同期しない場合、同図（ｂ）は位相が
合わない（９０度異なる）場合である。いずれの場合も
積分出力は零になる。ここでは例として第２高調波を同
期検波する場合を示したが、他の周波数成分を同期検波
する回路についても同様な現象が起こる。したがって位
相変調信号ｆｍの位相を変化させれば、同期信号は固定
であるのでＳ1 、Ｓ2 及びＳ4 の値は変化する。
【００３３】そこで、本発明においては、同期信号ｆ
ｒ，２ｆｒ，４ｆｒは図２の位相関係で固定とし、位相
変調信号ｆｍの位相を変化させて位相調整を行う。
ｒ，２ｆｒ，４ｆｒは図２の位相関係で固定とし、位相
変調信号ｆｍの位相を変化させて位相調整を行う。
【００３４】このときの第２次、第４次高調波信号出力
Ｓ２，Ｓ４と位相θとの関係を図６に示す。同図（ａ）
の曲線は、静止状態のセンシングループ５に一定強度、
一定位相の回り光を送り込んだ状態（即ち、理論式
（３）の項を定数とみなし得る状態）で位相変調信号
ｆｍの位相θのみを変化させた場合におけるＳ2 の値を
示しており、同図（ｂ）の曲線は、同じくＳ4 の値を示
している。
Ｓ２，Ｓ４と位相θとの関係を図６に示す。同図（ａ）
の曲線は、静止状態のセンシングループ５に一定強度、
一定位相の回り光を送り込んだ状態（即ち、理論式
（３）の項を定数とみなし得る状態）で位相変調信号
ｆｍの位相θのみを変化させた場合におけるＳ2 の値を
示しており、同図（ｂ）の曲線は、同じくＳ4 の値を示
している。
【００３５】位相変調に当っては、ＣＰＵ１９は、まず
第２次高調波信号Ｓ2 を検波する同期検波回路８２から
の検波信号を監視しつつ、信号発生器１８を制御して位
相変調信号ｆｍの位相をずらして第２次高調波信号Ｓ2
の検波信号出力が零レベルＳoffsetになるように位相変
調信号ｆｍの位相を調整（粗調整）し、調整後信号発生
器１８を制御して位相変調信号ｆｍの位相を第２次高調
波信号Ｓ2 の１／８波長分（すなわち４５度）第２次高
調波信号Ｓ2 の正出力方向にシフトさせる。ＣＰＵ１９
は、この調整後マルチプレクサ１６の出力を第４次高調
波信号Ｓ4 を検波する同期検波回路８３の検波信号に切
り換え、これを監視しつつ、信号発生器１８を制御して
位相変調信号ｆｍの位相をずらして第４次高調波信号Ｓ
4 の検波信号出力が零レベルＳoffsetになるように位相
変調信号ｆｍの位相を調整（微調整）し、調整後信号発
生器１８を制御して位相変調信号ｆｍの位相を第２次高
調波信号Ｓ2 の１／８波長分（すなわち４５度）上記と
同じ方向にシフトさせる。その結果、検波信号の出力レ
ベルが最大になるように位相変調信号ｆｍの位相が精度
良く調整される。なお、上記零レベルＳoffsetは位相変
調器４の駆動を停止又は光源１を遮断した場合の同期検
波回路８１，８２，８３の出力レベルであり、その計測
は、位相変調器４の駆動を停止するか又は光源１の出力
を遮断した後、マルチプレクサ１６で各信号を切り換え
ながらＡ／Ｄ変換器９をＣＰＵ１９のソフトウエアで動
作させ、データをＣＰＵ１９に取り込みサンプリングデ
ータを加算、平均処理する操作をすることにより行なわ
れる。
第２次高調波信号Ｓ2 を検波する同期検波回路８２から
の検波信号を監視しつつ、信号発生器１８を制御して位
相変調信号ｆｍの位相をずらして第２次高調波信号Ｓ2
の検波信号出力が零レベルＳoffsetになるように位相変
調信号ｆｍの位相を調整（粗調整）し、調整後信号発生
器１８を制御して位相変調信号ｆｍの位相を第２次高調
波信号Ｓ2 の１／８波長分（すなわち４５度）第２次高
調波信号Ｓ2 の正出力方向にシフトさせる。ＣＰＵ１９
は、この調整後マルチプレクサ１６の出力を第４次高調
波信号Ｓ4 を検波する同期検波回路８３の検波信号に切
り換え、これを監視しつつ、信号発生器１８を制御して
位相変調信号ｆｍの位相をずらして第４次高調波信号Ｓ
4 の検波信号出力が零レベルＳoffsetになるように位相
変調信号ｆｍの位相を調整（微調整）し、調整後信号発
生器１８を制御して位相変調信号ｆｍの位相を第２次高
調波信号Ｓ2 の１／８波長分（すなわち４５度）上記と
同じ方向にシフトさせる。その結果、検波信号の出力レ
ベルが最大になるように位相変調信号ｆｍの位相が精度
良く調整される。なお、上記零レベルＳoffsetは位相変
調器４の駆動を停止又は光源１を遮断した場合の同期検
波回路８１，８２，８３の出力レベルであり、その計測
は、位相変調器４の駆動を停止するか又は光源１の出力
を遮断した後、マルチプレクサ１６で各信号を切り換え
ながらＡ／Ｄ変換器９をＣＰＵ１９のソフトウエアで動
作させ、データをＣＰＵ１９に取り込みサンプリングデ
ータを加算、平均処理する操作をすることにより行なわ
れる。
【００３６】上記一連の位相シフト操作および位相シフ
ト量の管理は、ＣＰＵ１９によってタイマ１４のタイマ
回路にプログラムの書き込み／変更を行うことにより、
プログラムの制御の下でタイマ回路が作動してクロック
信号を発信し、このクロック信号によって上記３つのカ
ウンタが反転動作して各々カウント信号を発生し、これ
らクロック信号及びカウント信号によってフリップフロ
ップ１５の位相変調用のＪＫフリップフロップが反転動
作して位相変調信号ｆｍの位相を変化させることにより
なされる。つまり、位相変調用のＪＫフリップフロップ
を上記クロック信号及びカウント信号によって反転動作
させつつ、位相シフト量管理用のカウンタがＣＰＵ１９
によって設定された値だけカウントアップを続け、設定
カウント値に到達した時位相変調信号発生用のカウンタ
をクリアすることによって位相シフト量が正確に管理さ
れる。本実施例の構成によれば、位相変調周波数ｆｍを
数十ｋHz，タイマ１４に与えるクロックを１０ＭHzとし
たとき、１度以下の位相調整精度が得られる。したがっ
て光回転角速度センサの精度及び信頼性が著しく向上す
る。
ト量の管理は、ＣＰＵ１９によってタイマ１４のタイマ
回路にプログラムの書き込み／変更を行うことにより、
プログラムの制御の下でタイマ回路が作動してクロック
信号を発信し、このクロック信号によって上記３つのカ
ウンタが反転動作して各々カウント信号を発生し、これ
らクロック信号及びカウント信号によってフリップフロ
ップ１５の位相変調用のＪＫフリップフロップが反転動
作して位相変調信号ｆｍの位相を変化させることにより
なされる。つまり、位相変調用のＪＫフリップフロップ
を上記クロック信号及びカウント信号によって反転動作
させつつ、位相シフト量管理用のカウンタがＣＰＵ１９
によって設定された値だけカウントアップを続け、設定
カウント値に到達した時位相変調信号発生用のカウンタ
をクリアすることによって位相シフト量が正確に管理さ
れる。本実施例の構成によれば、位相変調周波数ｆｍを
数十ｋHz，タイマ１４に与えるクロックを１０ＭHzとし
たとき、１度以下の位相調整精度が得られる。したがっ
て光回転角速度センサの精度及び信頼性が著しく向上す
る。
【００３７】このように位相変調信号ｆｍの位相調整が
自動的に行われることにより、位相調整時間が著しく短
縮される。更に一相式の同期検波回路を使用できるので
回路規模も小さくなり製品コストを低減できる。
自動的に行われることにより、位相調整時間が著しく短
縮される。更に一相式の同期検波回路を使用できるので
回路規模も小さくなり製品コストを低減できる。
【００３８】なお、位相変調信号の位相をシフトする代
わりに、図２の位相関係を保ちながら検出信号Ｓに対す
る同期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆｒの位相をシフトさせて
もよい。その場合、同期信号用の３つのＪＫフリップフ
ロップを上記クロック信号及びカウント信号によって反
転動作させつつ、位相シフト量管理用のカウンタがＣＰ
Ｕ１９によって設定された値だけカウントアップを続
け、設定カウント値に到達した時同期信号発生用のカウ
ンタをクリアすることによって位相シフト量を正確に管
理できる。
わりに、図２の位相関係を保ちながら検出信号Ｓに対す
る同期信号ｆｒ，２ｆｒ，４ｆｒの位相をシフトさせて
もよい。その場合、同期信号用の３つのＪＫフリップフ
ロップを上記クロック信号及びカウント信号によって反
転動作させつつ、位相シフト量管理用のカウンタがＣＰ
Ｕ１９によって設定された値だけカウントアップを続
け、設定カウント値に到達した時同期信号発生用のカウ
ンタをクリアすることによって位相シフト量を正確に管
理できる。
【００３９】
【発明の効果】以上要するに、本発明の光回転角速度セ
ンサは以下のような優れた効果を発揮する。
ンサは以下のような優れた効果を発揮する。
【００４０】（１）高調波信号の出力レベルが零になる
点を一旦検索し、この点を基準にして位相調整を行うの
で、センサを回転させたり静止させたりする必要が無
く、且つ信号波形の傾きが急な点で調整するため精度が
向上する。
点を一旦検索し、この点を基準にして位相調整を行うの
で、センサを回転させたり静止させたりする必要が無
く、且つ信号波形の傾きが急な点で調整するため精度が
向上する。
【００４１】（２）位相調整が自動で行えるので調整時
間が短縮される。
間が短縮される。
【００４２】（３）一相式の同期検波回路を使用できる
ので回路規模が小さくなると共に信頼性が向上する。
ので回路規模が小さくなると共に信頼性が向上する。
【図１】本発明の光回転角速度センサの一実施例を示す
装置構成図である。
装置構成図である。
【図２】同期信号の位相関係を示す図である。
【図３】マルチプレクサの構造を示す概略図である。
【図４】同期検波回路を示す概略図である。
【図５】図３の同期検波回路において入力信号に対して
同期信号の位相が合わない場合と周波数が合わない場合
とを示す説明図である。
同期信号の位相が合わない場合と周波数が合わない場合
とを示す説明図である。
【図６】第２次、第４次高調波検波出力と位相との関係
を示す図である。
を示す図である。
【図７】従来の光回転角速度センサの一実施例を示す装
置構成図である。
置構成図である。
【図８】同期検波の原理を説明するための図である。
【図９】同期検波の原理を説明するための図である。
１ 光源 ４ 位相変調器 ５ センシングループ ６ 受光器 １２´信号処理回路 １４ タイマ １５ フリップフロップ １８ 信号発生器 １９ ＣＰＵ ８１ 同期検波回路 ８２ 同期検波回路 ８３ 同期検波回路 ｆｍ 位相変調信号 ｆｒ 同期信号 ２ｆｒ同期信号 ４ｆｒ同期信号 Ｓ 検出信号 Ｓ1 基本波信号 Ｓ2 第２高調波信号 Ｓ4 第４高調波信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 園部 久雄 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (72)発明者 於保 茂 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内
Claims (5)
- 【請求項１】 光源からの光を２つに分岐して両分岐光
を互いに逆向きにセンシングループに導くと共に位相変
調器で両分岐光の間に所定の位相差を与え、センシング
ループを右回りに伝搬した分岐光と左回りに伝搬した分
岐光とを再び結合させた後受光器で検出し、その検出信
号を信号処理回路で処理して角速度情報を得る位相変調
方式の光回転角速度センサにおいて、上記信号処理回路
は、上記検出信号をその基本波成分、第２高調波成分及
び第４高調波成分毎に検波するための３台の同期検波回
路と、各同期検波回路で信号を検波するための同期信号
と上記位相変調器を駆動するための位相変調信号とを発
生する信号発生器と、各同期検波回路の検波信号に基づ
いて角速度を演算するＣＰＵとを備え、当該ＣＰＵは上
記演算機能に加え、第２高調波成分を検波する同期検波
回路の検波出力を監視しつつ上記信号発生器を制御して
上記位相変調信号の位相を第２高調波成分の検波信号出
力が零レベルになるように調整し、調整後上記信号発生
器を制御して上記位相変調信号の位相を第２高調波成分
の１／４波長分正出力側にシフトさせる位相調整機能を
有していることを特徴とする光回転角速度センサ。 - 【請求項２】 上記ＣＰＵが第２高調波成分を検波する
同期検波回路の検波出力を監視しつつ上記信号発生器を
制御して上記位相変調信号の位相を第２高調波成分の検
波信号出力が零レベルになるように調整し、調整後上記
信号発生器を制御して上記位相変調信号の位相を第２高
調波成分の１／８波長分正出力側にシフトさせ、その後
更に第４高調波成分を検波する同期検波回路の検波出力
を監視しつつ上記信号発生器を制御して上記位相変調信
号の位相を第４高調波成分の検波信号出力が零レベルに
なるように調節し、調整後上記信号発生器を制御して上
記位相変調信号の位相を第２高調波成分の１／８波長分
上記正出力側にシフトさせる位相調整機能を有している
ことを特徴とする請求項１記載の光回転角速度センサ。 - 【請求項３】 上記検波信号出力の零レベルを上記信号
処理回路及び電源を含む電気信号処理系全体のノイズレ
ベルとしたことを特徴とする請求項１記載の光回転角速
度センサ。 - 【請求項４】 上記信号発生器が上記ＣＰＵの制御の下
でプログラム可能なタイマと、このタイマのクロック信
号によって反転動作して基本波、第２高調波及び第４高
調波の３種類の同期信号と位相変調信号とを生成するフ
リップフロップ群とで構成されていることを特徴とする
請求項１記載の光回転角速度センサ。 - 【請求項５】 上記タイマが同期信号発生用、位相変調
信号発生用及び位相シフト量管理用の３個のカウンタを
具備し、位相シフト量管理用のカウンタで上記ＣＰＵか
ら設定された値だけカウントアップを続け、設定値に到
達した時位相変調信号発生用乃至同期信号発生用のカウ
ンタをクリアする機能を有していることを特徴とする請
求項４記載の光回転角速度センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6067894A JP2963612B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 光回転角速度センサ |
| US08/404,817 US5608525A (en) | 1994-03-14 | 1995-03-14 | Phase adjustable optical fiber gyro using both even order harmonics and an orthogonal component of an even-order harmonic |
| CA002144552A CA2144552C (en) | 1994-03-14 | 1995-03-14 | Optical fiber gyro |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6067894A JP2963612B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 光回転角速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270168A true JPH07270168A (ja) | 1995-10-20 |
| JP2963612B2 JP2963612B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=13149226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6067894A Expired - Lifetime JP2963612B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-30 | 光回転角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2963612B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010150736A1 (ja) * | 2009-06-26 | 2010-12-29 | ローム株式会社 | 角速度センサと、それに用いられる同期検波回路 |
| JP2020522677A (ja) * | 2017-05-30 | 2020-07-30 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 雑音除去を用いる集積型光ジャイロスコープ |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP6067894A patent/JP2963612B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010150736A1 (ja) * | 2009-06-26 | 2010-12-29 | ローム株式会社 | 角速度センサと、それに用いられる同期検波回路 |
| JP5627582B2 (ja) * | 2009-06-26 | 2014-11-19 | ローム株式会社 | 角速度センサ |
| US9003883B2 (en) | 2009-06-26 | 2015-04-14 | Rohm Co., Ltd. | Angular velocity sensor and synchronous detection circuit used therein |
| JP2020522677A (ja) * | 2017-05-30 | 2020-07-30 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 雑音除去を用いる集積型光ジャイロスコープ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2963612B2 (ja) | 1999-10-18 |
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