JPH07270066A - 昇圧窒素を製造するための極低温精留システム - Google Patents

昇圧窒素を製造するための極低温精留システム

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JPH07270066A JP7090095A JP9009595A JPH07270066A JP H07270066 A JPH07270066 A JP H07270066A JP 7090095 A JP7090095 A JP 7090095A JP 9009595 A JP9009595 A JP 9009595A JP H07270066 A JPH07270066 A JP H07270066A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 塔設備から抜き出された窒素気体生成物の圧
縮の必要なく、窒素気体生成物を昇圧下で効率的に製造
できる極低温精留システムの開発。 【構成】 高圧塔（第１塔）１０４と低圧塔（第３塔）
１１５の中間の圧力水準で作動する第３の中間圧塔（第
２塔）１０７を備えて、窒素の回収率を２塔構成から得
ることのできるそれより増大する。中間圧塔を付加する
ことにより自由度（運転圧力の自由度）が得られる。こ
の自由度が、窒素回収率を最適化するのに使用されそし
て冷凍力を生成するための追加的な融通性を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、酸素及び窒素を含む混
合物、例えば空気の極低温精留に関するものであり、特
には昇圧窒素気体生成物の製造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】窒素を製造するために空気のような混合
物の極低温分離は十分に確立された工業プロセスであ
る。液体及び蒸気が極低温精留設備の塔を通して向流接
触状態で通されそして酸素と窒素の間での蒸気圧の差が
窒素を蒸気中に濃縮せしめそして酸素を液体中に濃縮せ
しめる。分離塔内部の圧力が低いほど、蒸気圧差による
分離は容易である。従って、生成物窒素を製造するため
の分離は一般に比較的低い圧力で実施されている。
【０００３】しばしば、窒素気体生成物は高い圧力にあ
ることが所望される。そうした状況においては、窒素気
体生成物は圧縮器において所望の圧力にまで圧縮され
る。この圧縮は、エネルギーコストの点からまた生成物
圧縮器の設備コストの点から高価につく。更に、窒素気
体生成物の圧縮は粒状物のような不純物を発生する恐れ
がありそしてこうした不純物はその窒素気体が半導体の
製造におけるような、高純度を要する用途において使用
されることになるなら有害となりうる。そうした場合、
窒素気体生成物に対する追加的な精製段階が必要とされ
よう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】斯界では、高い回収率
で昇圧窒素を製造することのできる単塔及び２塔式プロ
セスが知られている。しかし、既存の高回収率プロセス
に伴う問題は、窒素生成物の少なくとも一部が供給物の
圧力より著しく低い圧力において回収されることであ
る。これは、窒素生成物のすべてもしくはほとんどが昇
圧下において必要とされるとき、塔設備から抜き出され
た窒素気体の少なくとも一部の圧縮を必要とするから不
利益である。
【０００５】本発明の課題は、塔設備から抜き出された
窒素気体生成物の圧縮を必要とすることなく、窒素気体
生成物を昇圧下で効率的に製造することのできる極低温
精留システムを開発することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、高圧塔と低
圧塔の圧力水準の中間の圧力水準で作動する第３の蒸留
塔を備えることにより、窒素の回収を２塔構成から得る
ことのできるそれより増大し、中間圧塔を付加すること
により自由度が得られ、この自由度を窒素回収を最適化
するのに使用しそして冷凍力を生成するための追加的な
融通性を得ることができるとの知見を得た。この知見に
基づいて、本発明は、昇圧窒素気体を製造するための極
低温精留方法であって、（Ａ）窒素及び酸素を含む供給
物を高圧で運転している第１塔に通入しそして供給物を
第１塔内での極低温精留により高圧窒素蒸気と第１酸素
富化液体とに分離する段階と、（Ｂ）前記第１酸素富化
液体を中間圧で運転している第２塔に通入しそして該第
１酸素富化液体を第２塔内での極低温精留により窒素富
化蒸気と第２酸素富化液体とに分離する段階と、（Ｃ）
前記窒素富化蒸気を低圧で運転している第３塔に通入し
そして該窒素富化蒸気を第３塔内での極低温精留により
窒素含有流体と酸素含有流体とに分離する段階と、
（Ｄ）高圧窒素蒸気の少なくとも一部を昇圧窒素気体生
成物として回収する段階とを包含する昇圧窒素気体を製
造するための極低温精留方法を提供する。
【０００７】本発明は、また別の様相において、昇圧窒
素気体を製造するための極低温精留装置であって、
（Ａ）第１塔及び該第１塔に供給物を通入するための手
段と、（Ｂ）第２塔及び前記第１塔の下方部分から該第
２塔に液体を通入するための手段と、（Ｃ）第３塔及び
前記第２塔の上方部分から該第３塔に蒸気を通入するた
めの手段と、（Ｄ）前記第１塔の上方部分から抜き出さ
れた昇圧窒素気体を回収するための手段とを備える昇圧
窒素気体を製造するための極低温精留装置を提供する。
【０００８】（用語の定義）ここで使用するものとして
の用語「塔」は、蒸留、精留或いは分留を実施するため
の塔或いは帯域、即ち液体及び気体相を向流で接触して
流体混合物の分離をもたらす接触塔或いは帯域を意味
し、これは例えば塔内に取付けられた一連の垂直方向に
隔置されたトレイ或いはプレートにおいて或いは塔に充
填した一定の構成をとるよう組織的に配列された充填物
要素乃至無秩序に配列された充填物要素において蒸気及
び液体相を接触することにより実施される。蒸留塔のこ
れ以上の詳細については、マックグローヒル・ブック・
カンパニー出版、アール．エッチ．ペリー等編「ケミカ
ル・エンジニアズ・ハンドブック」１３節、１３−３
頁、「連続蒸留プロセス」を参照されたい。
【０００９】「蒸気及び液体接触分離プロセス」は成分
に対する蒸気圧差に依存する。高蒸気圧成分（即ち、よ
り高揮発性、低沸騰点成分）は、蒸気相に濃縮する傾向
があり、他方低蒸気圧成分（即ち、より低揮発性、高沸
騰点成分）は、液体相に濃縮する傾向がある。「蒸留」
とは、揮発性成分を蒸気相に濃縮し、それにより低揮発
性成分を液体相に残すのに液体混合物の加熱作用を使用
する分離プロセスである。「部分凝縮」とは、揮発性成
分を蒸気相に濃縮し、それにより低揮発性成分を液体相
に残すのに液体混合物の冷却作用を使用する分離プロセ
スである。「精留或いは連続蒸留」とは、蒸気相と液体
相の向流処理により得られるような順次しての部分的な
蒸発及び凝縮を組み合わせる分離プロセスである。蒸気
及び液体相の向流接触は断熱的でありそして相間の積分
型或いは微分型接触を含みうる。混合物を分離するのに
精留の原理を利用する分離プロセス設備は、精留塔、蒸
留塔或いは分留塔と互換的に呼ばれることが多い。「極
低温精留」は、１５０Ｋ以下の温度のような低温で少な
くとも部分的に実施される精留プロセスである。
【００１０】用語「間接熱交換」とは、２種の流体流れ
を相互の物理的接触或いは相互混合をもたらすことなく
熱交換関係に持ちきたすことを意味する。
【００１１】ここで使用するものとしての「供給空気」
とは、大気のような主として窒素及び酸素を含む混合物
である。用語「液体窒素」とは、少なくとも９９モル％
の窒素濃度を有する液体を意味する。
【００１２】塔の「上方部分」及び「下方部分」とは塔
の上半分と下半分とをそれぞれ意味するものである。
【００１３】ここで使用するものとしての「ターボ膨
張」及び「ターボ膨張器」とは、高圧気体をその圧力及
び温度を減じるべくタービンを通して流し、それにより
冷凍力（冷気）を発生せしめるための方法及び装置をそ
れぞれ意味する。
【００１４】
【作用】一般に、本発明は、高圧塔と低圧塔の圧力水準
の中間の圧力水準で作動する第３の蒸留塔を備えて、窒
素の回収率を２塔構成から得ることのできるそれより増
大する。中間圧塔を付加することにより自由度（運転圧
力の自由度）が得られる。この自由度が、窒素回収率を
最適化するのに使用されそして冷凍力を生成するための
追加的な融通性を提供する。冷凍力を生成するためのこ
の追加的な融通性は、同時に、高い窒素回収率を維持
し、供給空気圧力を所要の窒素生成物圧力よりごく僅か
高く維持し、そしてプロセスを低温に維持するに充分量
の冷凍力を発生せしめ、随意的に窒素生成物の一部を液
体として製造するのに使用される。
【００１５】既に述べた通り、本発明の主たる特徴は高
圧塔と低圧塔の圧力の中間の圧力で作動する別個のスト
リッピング塔である。この塔の作用は、酸素中に降下液
体を富化することである。この中間圧塔を低圧塔の底部
より低いＬ／Ｖ（酸素中への降下液体の富化に都合が良
い）において運転することにより、廃棄流れの酸素含有
量は増大されうる。中間圧塔の底部から抜き出された液
体流れは低圧塔の凝縮器に戻され、ここでそれは低圧塔
からの底からの液体と混合されて廃棄流れを形成する。
中間圧塔のステージにより提供される追加的な分離は、
最終的に、高圧窒素生成物の回収率の増加として証明さ
れる。中間圧塔の存在から得られる融通性はプロセス内
に一つ以上の膨張タービンを位置付けるためのより多く
の選択の自由を与えるので、設備の冷凍力必要量が満足
されると同時に、供給空気圧が昇圧下の窒素気体の製造
にとって最も効率的な条件である所要の窒素生成物圧力
よりわずかに高く維持される。
【００１６】比較的高さの低い中間圧塔（高圧及び低圧
塔に対する４０段以上に比較して約１０段である）は一
般に高圧塔上方に位置付けられる。高圧塔と中間圧塔の
合計高さは従来からの２塔配列の高さより著しく低い。
本発明は、低圧塔が高圧塔の上方に位置付けられること
を必要としない。しかし、そうした配列が有益であるな
らそのように位置付けることもできる。多くの用途にお
いて、高圧塔の側部に沿って低圧塔を位置付けること
が、空気分離システムの最もコスト節減型の無駄な空間
の少ないまとまった構成であるから好ましい配列であ
る。
【００１７】
【実施例】図１を参照すると、二酸化炭素、水蒸気及び
炭化水素のような高沸点不純物を除去された供給空気２
は、２つの流れ１００及び１０１に分割される。流れ１
００は主熱交換器１０２の通過により冷却されそして生
成する冷却された供給空気流れ１０３は一般に６．３〜
１４ｋｇ／ｃｍ2 （９０〜２００ｐｓｉａ）の範囲内の
高圧で運転される第１塔１０４に通入される。第１塔１
０４内で、供給空気は、極低温精留により、９９．９９
モル％乃至それ以上までもの窒素濃度を有する高圧窒素
蒸気と２５〜４０モル％範囲内の酸素濃度を有する第１
酸素富化液体とに分離される。
【００１８】第１酸素富化液体は流れ１１として第１塔
１０４の下方部分から抜き出されそして熱交換器１０５
を通過することにより戻り流れとの間接熱交換によりサ
ブ冷却される。生成する流れ１２は弁１０６を通して第
２塔１０７の上方部分に通入される。第２塔１０７は、
第１塔１０４の運転圧力より低いそして一般に３．５〜
５．９５ｋｇ／ｃｍ2 （５０〜８５ｐｓｉａ）の範囲内
の中間圧で運転されている。第２塔１０７内で、第１酸
素富化液体は、極低温精留により、一般に６０〜９０モ
ル％の範囲内の窒素濃度を有する窒素富化蒸気と一般に
４０〜７０モル％範囲内の酸素濃度を有する第２酸素富
化液体とに分離される。
【００１９】高圧窒素蒸気は第１塔１０４の上方部分か
ら流れ１０８として抜き出される。流れ１０８の一部６
５は熱交換器１０５を通過することにより加温されそし
て生成する加温流れ２３は主熱交換器１０２を通過する
ことにより更に加温され、かくして前述した供給空気の
冷却を部分的に実行する役目を果たす。生成する流れ２
４は主熱交換器から抜き出されそして一般に６．３〜１
４ｋｇ／ｃｍ2 （９０〜２００ｐｓｉａ）範囲内の圧力
においてそして９９．９９モル％以上の窒素濃度を有す
る昇圧窒素気体生成物として回収される。
【００２０】流れ１０８の別の部分１０９は凝縮器／再
沸器１１０に通入され、ここで第２酸素富化液体との間
接熱交換により自身は凝縮され、同時に第２酸素富化液
体を蒸発せしめて、第２塔１０７に対する蒸気沸騰を与
える。生成する凝縮窒素流れ１１１は凝縮器／再沸器１
１０から第１塔１０４の上方部分に還流として通され
る。
【００２１】第２塔１０７の上方部分から窒素富化蒸気
は流れ５１として抜き出されそして弁１１２に通されそ
して後第３塔１１５の下方部分に通入される。第３塔１
１５は、第２塔１０７の運転圧力より低いそして一般に
２．１〜４．２ｋｇ／ｃｍ2（３０〜６０ｐｓｉａ）範
囲内の低圧で運転されている。
【００２２】供給空気流れ１０１は圧縮器１１６の通過
により一般に９．８〜１７．５ｋｇ／ｃｍ2 （１４０〜
２５０ｐｓｉａ）範囲内の圧力に圧縮される。生成する
圧縮流れ１１７は冷却器１８を通過することにより冷却
されて、圧縮熱を除去され、主熱交換器１０２を部分的
に通過することにより更に冷却されそしてターボ膨張器
１１９を通過することにより第３塔の運転圧力前後にま
でターボ膨張せしめられる。生成するターボ膨張された
流れ１２０は第３塔１１５の下方部分に通入される。
【００２３】第３塔１１５内部で、そこへの供給物は、
極低温精留により、一般に９９〜９９．９９９モル％の
範囲内の窒素濃度を有する窒素含有流体と、一般に３５
〜５０モル％酸素濃度を有する酸素含有流体とに分離さ
れる。
【００２４】酸素含有流体は第３塔１１５の下方部分か
ら液体流れ１３として抜き出され弁１２１を通って頂部
凝縮器１２２の蒸発用区画に通される。第２酸素富化液
体が第２塔１０７の下方部分から流れ１１３として抜き
出され、熱交換器１２３の通過によりサブ冷却されそし
て流れ１１４として頂部凝縮器１２２の蒸発用区画に通
される。窒素含有流体は第３塔１１５の上方部分から頂
部凝縮器１２２の凝縮用区画に蒸気流れ１２４として通
入される。
【００２５】頂部凝縮器１２２内で、窒素含有流体はそ
の蒸発側に通入された液体との間接熱交換により凝縮せ
しめられ、液体窒素と廃棄気体を生成する。廃棄気体は
頂部凝縮器１２２から抜き出され、熱交換器１２３、１
０５及び１０２を通ることにより次第に加温されそして
システムから流れ４８として排除される。
【００２６】凝縮した窒素含有流体、すなわち液体窒素
は流れ１２５として第３塔に還流として通される。好ま
しくは、流れ１２５の一部は液体ポンプ１２６を通過す
ることにより第１塔１０４の運転圧力近くに昇圧され
る。生成する加圧流れ３２は、熱交換器１２３の通過に
より加温されそして生成する流れ３３は弁１２７を通し
て第１塔１０４の上方部分に通され、ここで極低温精留
の追加還流として作用する。所望なら、流れ１２３の一
部３２が生成物液体窒素として回収されうる。
【００２７】図２〜５は本発明の幾つかの別の具体例を
例示する。不要な重複を避けるために、図２〜５の具体
例については図１の具体例と相違する点についてのみ論
議する。これら図には、共通の要素には同じ参照番号を
付してある。
【００２８】図２は、第２塔からの窒素富化蒸気が第３
塔に通入される前にターボ膨張されそして供給流れ一部
を圧縮及びターボ膨張を受けることなくその全量を第１
塔に通す具体例を例示する。図２を参照すると、窒素富
化蒸気は第２塔１０７の上方部分から流れ５１として抜
き出され主熱交換器１０２の部分通過により加温され
る。生成する流れ１２９はその後、ターボ膨張器１３０
の通過により第３塔の運転圧力近くにターボ膨張せしめ
られ、そして後第３塔１１５の下方部分に流れ１３１と
して通入される。図２に例示した具体例の場合、プロセ
ス冷凍力は、供給空気のターボ膨張によってではなく、
窒素富化蒸気のターボ膨張によって発生せしめられる。
【００２９】図３は、プロセス冷凍力を廃棄気体のター
ボ膨張により発生せしめる具体例を例示する。図３を参
照すると、流れ４８はシステムから排除されずに、圧縮
器１３２を通されて一般に１．４〜３．５ｋｇ／ｃｍ2
（２０〜５０ｐｓｉａ）範囲内の圧力に圧縮される。生
成する圧縮流れ１３３は冷却器１３４の通過により圧縮
熱を除かれ、主熱交換器１０２の部分通過により追加冷
却されそしてターボ膨張器１３５の通過により一般に
１．０５〜１．４ｋｇ／ｃｍ2 （１５〜２０ｐｓｉａ）
範囲内の圧力にターボ膨張せしめられる。生成するター
ボ膨張された流れ１３６は、熱交換器１０５及び１０２
の通過により加温されそして流れ１３７としてシステム
から排除される。主熱交換器１０２を通過するに際し
て、ターボ膨張された廃棄流れは供給空気を冷却する役
目をなし、発生した冷凍力をシステム内部に組み込む。
【００３０】追加的に、図３に例示した具体例では、供
給空気の一部９５は再沸器１３８に通され、ここで酸素
含有流体との間接熱交換により凝縮せしめられる。生成
する凝縮流れ１３９はその後弁１４０を通して第３塔１
１５に通入される。
【００３１】図４は、窒素富化蒸気の一部が圧縮されそ
して後ターボ膨張されて冷凍力を発生せしめる具体例を
例示する。図４を参照すると、流れ５１の一部１４１は
第３塔に通入されずに、主熱交換器１０２を通すことに
より加温される。生成する流れ１４２圧縮器１４２を通
されて一般に３．５〜７ｋｇ／ｃｍ2 （５０〜１００ｐ
ｓｉａ）範囲内の圧力に圧縮される。生成する圧縮され
た流れ１４４は、冷却器１４５の通過により冷却されて
圧縮熱を除かれ、主熱交換器１０２の部分通過により追
加冷却されそしてターボ膨張器１４６の通過により一般
に１．０５〜１．４ｋｇ／ｃｍ2 （１５〜２０ｐｓｉ
ａ）範囲内の圧力にターボ膨張せしめられる。生成する
ターボ膨張された流れ１４７は流れ４５と合流されて、
合流流れ１４８を形成し、これはその後熱交換器１０５
及び１０２を通ることにより加温されそして流れ１４９
としてシステムから排除される。主熱交換器１０２を通
過するに際して、ターボ膨張された廃棄流れ１４７を含
む流れ１４８は供給空気を冷却する役目をなし、発生し
た冷凍力をシステム内部に組み込む。
【００３２】図５は、追加的にわずかの窒素含有流体が
より低圧の窒素気体生成物として回収される点を除いて
は図２の具体例と類似の具体例を例示する。図５を参照
すると、窒素含有流体１２４の一部７５は頂部凝縮器１
２２に通入されず、熱交換器１２３、１０５及び１０２
を順次通過することにより加温されそして低圧窒素気体
生成物１５０として回収される。
【００３３】追加的に、図５に例示される具体例におい
ては、流れ１３の一部１５１は頂部凝縮器１２２に通さ
れず、液体ポンプ１５２を通すことにより昇圧される。
生成する加圧流れ１５３はその後流れ１１と合流されて
合流流れ１５４を形成し、これは熱交換器１０５を塔す
ることにより冷却されそして後弁１０６を通して第２塔
１０７の上方部分に通入される。
【００３４】
【発明の効果】本発明は、高圧塔と低圧塔の圧力水準の
中間の圧力水準で作動する第３の蒸留塔を備えて、窒素
の回収率を２塔構成から得ることのできるそれより増大
する。中間圧塔を付加することにより自由度（運転圧力
の自由度）が得られる。この自由度が、窒素回収率を最
適化するのに使用されそして冷凍力を生成するための追
加的な融通性を提供する。冷凍力を生成するためのこの
追加的な融通性は、同時に、高い窒素回収率を維持し、
供給空気圧力を所要の窒素生成物圧力よりごく僅か高く
維持し、そしてプロセスを低温に維持するに充分量の冷
凍力を発生せしめ、随意的に窒素生成物の一部を液体と
して製造するのに使用される。
【００３５】以上、本発明の幾つかの具体例について詳
しく説明したが、本発明の範囲内で多くの変更をなしう
ることを銘記されたい。
【図面の簡単な説明】
【図１】供給空気部分のターボ膨張によりプロセス冷凍
力を発生せしめる本発明の好ましい具体例の流れ図であ
る。
【図２】中間圧塔のから抜き出された気体流れのターボ
膨張によりプロセス冷凍力を発生せしめる本発明の好ま
しい具体例の流れ図である。
【図３】廃棄流れのターボ膨張によりプロセス冷凍力を
発生せしめる本発明の好ましい具体例の流れ図である。
【図４】廃棄流れのターボ膨張によりプロセス冷凍力を
発生せしめる本発明のまた別の好ましい具体例の流れ図
である。
【図５】僅かの低圧窒素生成物を追加的に生成する本発
明のまた別の好ましい具体例の流れ図である。
【符号の説明】
２ 供給空気 １０２ 主熱交換器 １０４ 第１塔 １０５、１２３ 熱交換器 １０７ 第２塔 １１０ 凝縮器／再沸器 １１５ 第３塔 １１６ 圧縮器 １１９ ターボ膨張器

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 昇圧窒素気体を製造するための極低温精
    留方法であって、（Ａ）窒素及び酸素を含む供給物を高
    圧で運転している第１塔に通入しそして供給物を第１塔
    内での極低温精留により高圧窒素蒸気と第１酸素富化液
    体とに分離する段階と、（Ｂ）前記第１酸素富化液体を
    中間圧で運転している第２塔に通入しそして該第１酸素
    富化液体を第２塔内での極低温精留により窒素富化蒸気
    と第２酸素富化液体とに分離する段階と、（Ｃ）前記窒
    素富化蒸気を低圧で運転している第３塔に通入しそして
    該窒素富化蒸気を第３塔内での極低温精留により窒素含
    有流体と酸素含有流体とに分離する段階と、（Ｄ）高圧
    窒素蒸気の少なくとも一部を昇圧窒素気体生成物として
    回収する段階とを包含する昇圧窒素気体を製造するため
    の極低温精留方法。
  2. 【請求項２】 第３塔で生成した窒素気体含有流体を昇
    圧しそして第１塔に通入する請求項１の方法。
  3. 【請求項３】 窒素及び酸素を含む流れを圧縮し、圧縮
    流れをターボ膨張しそしてターボ膨張した流れを第３塔
    に通入することを更に含む請求項１の方法。
  4. 【請求項４】 窒素富化蒸気を第３塔に通入する前にタ
    ーボ膨張する請求項１の方法。
  5. 【請求項５】 窒素及び酸素を含む流れを酸素含有流体
    との間接熱交換により凝縮しそして凝縮した流れを第３
    塔に通入することを更に含む請求項１の方法。
  6. 【請求項６】 酸素含有流体を窒素含有流体との間接熱
    交換に通して廃棄気体を生成し、廃棄気体を圧縮し、圧
    縮した廃棄気体をターボ膨張させ、そしてターボ膨張し
    た廃棄気体を供給物との間接熱交換に通して供給物をそ
    の第１塔への通入前に冷却することを更に含む請求項１
    の方法。
  7. 【請求項７】 窒素富化蒸気を圧縮し、圧縮した窒素富
    化蒸気をターボ膨張させ、そしてターボ膨張した窒素富
    化蒸気を供給物との間接熱交換に通して供給物をその第
    １塔への通入前に冷却することを更に含む請求項１の方
    法。
  8. 【請求項８】 窒素含有流体を低圧窒素気体生成物とし
    て回収することを更に含む請求項１の方法。
  9. 【請求項９】 窒素含有流体を液体窒素生成物として回
    収することを更に含む請求項１の方法。
  10. 【請求項１０】 第３塔から抜き出された酸素含有流体
    の流れを昇圧しそして昇圧した酸素含有流体の流れを第
    ２塔に通入することを更に含む請求項１の方法。
  11. 【請求項１１】 昇圧窒素気体を製造するための極低温
    精留装置であって、（Ａ）第１塔及び該第１塔に供給物
    を通入するための手段と、（Ｂ）第２塔及び前記第１塔
    の下方部分から該第２塔に液体を通入するための手段
    と、（Ｃ）第３塔及び前記第２塔の上方部分から該第３
    塔に蒸気を通入するための手段と、（Ｄ）前記第１塔の
    上方部分から抜き出された昇圧窒素気体を回収するため
    の手段とを備える昇圧窒素気体を製造するための極低温
    精留装置。
  12. 【請求項１２】 第３塔の上方部分から抜き出した流体
    を加圧するための手段と、この加圧した流体を第１塔に
    通入するための手段とを更に含む請求項１１の装置。
  13. 【請求項１３】 圧縮器と、ターボ膨張器と、該圧縮器
    から該ターボ膨張器まで流体を通入するための手段と、
    該ターボ膨張器からの流体を第３塔に通入するための手
    段とを更に含む請求項１１の装置。
  14. 【請求項１４】 第２塔の上方部分から蒸気を第３塔に
    通入するための手段がターボ膨張器を含む請求項１１の
    装置。
  15. 【請求項１５】 圧縮器と、ターボ膨張器及び熱交換器
    と、塔の少なくとも一つの上方部分から抜き出した流体
    を該圧縮器に通入する手段と、該圧縮器からの流体を前
    記熱交換器を通して前記ターボ膨張器に通入するための
    手段とを更に含み、塔内偏狂急物を通入するための手段
    もまた前記熱交換器を通過する請求項１１の装置。
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