JPH07269792A - 液体窒素自動供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 極低温装置に対し、必要なときに適量の液体
窒素を自動的に供給できる液体窒素自動供給装置を提供
することを目的とする。 【構成】 窒素ガス供給装置と、当該窒素ガス供給装置
から供給される窒素ガスを極低温に冷却して液化するた
めの窒素ガス液化装置と、当該窒素ガス液化装置によっ
て液化された液体窒素を蓄える液体窒素容器とを備え
て、極低温装置の近傍で自動的に液体窒素が製造される
ようにする。液体窒素容器には液体窒素を安定に貯蔵す
るために、液体窒素を大気中に所定の流量でリークする
リーク弁が設けられている。液体窒素容器と極低温装置
とを結ぶ液体窒素移送管に設けられた遮断弁と、前記リ
ーク弁は制御手段によって開閉制御され、当該制御手段
は、極低温装置における液体窒素の残量が所定量より少
なくなるか、あるいは決められた時間になると、前記リ
ーク弁を閉じるとともに前記遮断弁を開いて、液体窒素
を自動的に極低温装置に移送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超電導磁石のように液
体窒素を使用する極低温装置に自動的に液体窒素を供給
する液体窒素自動供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】核磁気共鳴装置に使用される超電導磁石
のような極低温装置においては、当該装置を動作させる
ための冷媒として液体窒素が不可欠である。このような
液体窒素は密封された圧力容器の中に保持されてはいる
ものの、わずかずつながら蒸発する量があるため、適当
な時期に補給してやることが必要である。この液体窒素
の消費量（蒸発量）は、極低温装置の種類、構造、周囲
環境等によって異なるが、核磁気共鳴装置などでは通常
は１週間乃至２週間に１回は補給が必要となっている。

【０００３】

【発明の解決しようとする課題】ところで、このような
極低温装置に対する液体窒素の補給は、従来は、補給が
必要になるたびに、冷媒取扱い業者に依頼して補給して
もらうか、あるいは冷媒取扱い業者から保冷容器入りの
液体窒素を取り寄せ、手動ポンプで比較的長時間かけて
補給している状況にある。しかしながら、保冷容器は３
０リットルから１００リットル以上もあり、取扱いが大
変であるとともに、手動ポンプを使用するため操作者の
負担が大きい。また、１度補給のタイミングを忘れたり
冷媒取扱い業者の都合がつかなかったりすると、装置が
予定通り動かせなかったり、さらには、１週間以上にわ
たる長期休暇の場合には、途中でわざわざ出社して補給
作業を行うようなことも必要であった。

【０００４】本発明は、このような課題を解決するもの
であって、必要なときに適量の液体窒素を自動的に供給
できる液体窒素自動供給装置を提供することを目的とす
るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の液体窒素自動供給装置は、窒素ガ
ス供給装置と、当該窒素ガス供給装置から供給される窒
素ガスを極低温に冷却して液化するための窒素ガス液化
装置と、当該窒素ガス液化装置によって液化された液体
窒素を蓄える液体窒素容器と、当該液体窒素容器から窒
素ガスを大気中に所定の流量でリークするリーク弁と、
液体窒素を使用する極低温装置と、前記液体窒素容器と
前記極低温装置とを結ぶ移送管に設けられた遮断弁と、
前記リーク弁および遮断弁を開閉制御する制御手段とを
備え、当該制御手段は、前記極低温装置における液体窒
素の残量をモニタし、当該残量が所定量より少なくなる
と、前記リーク弁を閉じるとともに前記遮断弁を開き、
液体窒素を前記液体窒素容器から極低温装置に移送する
ことを特徴とする。

【０００６】また、請求項２記載の液体窒素自動供給装
置は、窒素ガス供給装置と、当該窒素ガス供給装置から
供給される窒素ガスを極低温に冷却して液化するための
窒素ガス液化装置と、当該窒素ガス液化装置によって液
化された液体窒素を蓄える液体窒素容器と、当該液体窒
素容器から窒素ガスを大気中に所定の流量でリークする
リーク弁と、液体窒素を使用する極低温装置と、前記液
体窒素容器と前記極低温装置とを結ぶ移送管に設けられ
た遮断弁と、前記リーク弁および遮断弁を開閉制御する
制御手段とを備え、当該制御手段は、タイマ機能を有
し、予め指定された時間になるたびに前記リーク弁を閉
じるとともに前記遮断弁を開いて、液体窒素を前記液体
窒素容器から極低温装置に移送することを特徴とする。

【０００７】さらに、請求項３記載の液体窒素自動供給
装置は、窒素ガス供給装置と、当該窒素ガス供給装置か
ら供給される窒素ガスを極低温に冷却して液化するため
の窒素ガス液化装置と、当該窒素ガス液化装置によって
液化された液体窒素を蓄える液体窒素容器と、当該液体
窒素容器から窒素ガスを大気中に所定の流量でリークす
るリーク弁と、液体窒素を使用する複数の極低温装置
と、前記液体窒素容器と前記複数の極低温装置の各々と
を結ぶ移送管に個別に設けられた複数の遮断弁と、前記
リーク弁および複数の遮断弁を開閉制御する制御手段と
を備え、当該制御手段は、タイマ機能を有し、極低温装
置ごとに予め指定された時間になるたびに前記リーク弁
を閉じるとともに前記複数の遮断弁を択一的に開いて、
液体窒素を前記液体窒素容器から極低温装置に移送する
ことを特徴とする。

【０００８】さらに、請求項４記載の液体窒素自動供給
装置は、制御手段がリーク弁を閉じるとともに遮断弁を
開いて液体窒素容器から極低温装置に液体窒素を移送す
る際に、窒素ガス供給装置から液体窒素容器に供給され
る窒素ガスの供給圧力を利用して液体窒素を移送するこ
とを特徴とする。

【０００９】

【作用及び発明の効果】請求項１記載の液体窒素自動供
給装置では、窒素ガス供給装置から供給される窒素ガス
が液化装置によって液化されて液体窒素容器に蓄えられ
るので、極低温装置の近傍で液体窒素が製造されること
になり、液体窒素をいちいち搬送してくる必要がなくな
る。この液体窒素容器には窒素ガスを大気中に所定の流
量でリークするリーク弁が設けられており、当該液体窒
素容器の中に空気や水分が侵入することを防止して、安
定に液体窒素を蓄えるようにしている。また、液体窒素
容器と極低温装置とは遮断弁を有する移送管によって接
続されており、これらリーク弁および遮断弁は制御手段
によって開閉制御される。そして、この制御手段は、極
低温装置における液体窒素の残量をモニタしており、そ
の残量が所定量より少なくなると、リーク弁を閉じると
ともに遮断弁を開き、液体窒素を液体窒素容器から極低
温装置に移送するものである。

【００１０】したがって、液体窒素の取扱いが不要にな
り、しかも、極低温装置内の液体窒素の残量が少なくな
って補給が必要になると必ず自動的に液体窒素が供給さ
れるため、操作者の負担を大幅に軽減することができる
とともに、どのような環境下であってもまちがいなく液
体窒素の補給が行われることとなる。。

【００１１】また、請求項２記載の液体窒素自動供給装
置では、制御手段はタイマ機能を有しており、予め設定
された時間になるたびに自動的に極低温装置への液体窒
素の移送を行うものである。

【００１２】したがって、液体窒素の補給が必要になる
頃には自動的に液体窒素が補給されるため、操作者の負
担が大幅に軽減するとともに、極低温装置の使用スケジ
ュールの管理が非常に簡単になる。すなわち、極低温装
置を使用中に液体窒素の補給が行われることがないの
で、実験等を支障なく行うことができる。

【００１３】また、請求項３記載の液体窒素自動供給装
置では、複数の極低温装置のそれぞれに対応して遮断弁
が設けられており、かつ、制御手段がタイマ機能を有し
ていて、複数の極低温装置の１つ１つに対して設定され
た時間が来るたびに遮断弁を択一的に開いて液体窒素の
移送を行うものである。

【００１４】したがって、極低温装置を何台も取扱う場
合においても、それぞれに対して自動的に液体窒素が供
給されるため、操作者の負担が大幅に軽減される。

【００１５】さらに、請求項４記載の液体窒素自動供給
装置では、液体窒素の移送を、液体窒素容器に供給され
る窒素ガスの供給圧力を利用して行うものである。

【００１６】したがって、液体窒素の移送用にポンプ等
の移送手段を別途設ける必要がなく、装置を簡略化する
ことができる。

【００１７】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例につ
いて説明する。図１は本発明に係る液体窒素自動供給装
置の一実施例の構成を示す図であり、図中、１は窒素ガ
ス供給装置、２は窒素ガス供給配管、３は極低温冷凍
機、４は冷却水供給装置、５はヘリウムガス供給配管、
６は液化器、７は液体窒素容器、８は大気連通管、９は
リーク弁、１０は液面検出器（液体窒素容器用）、１１
は極低温装置、１２は液体窒素移送管、１３は第１の遮
断弁、１４は第２の遮断弁、１５は液体窒素取り出し
口、１６は液面検出器（極低温装置用）、１７は制御装
置である。

【００１８】窒素ガス供給装置１は、窒素ガスを発生さ
せる装置であり、酸素・窒素分離用分子篩炭（モレキュ
ラー・シービング・カーボン；ＭＳＣ）を使用した窒素
ガス分離装置である。これは、吸着材であるＭＳＣに対
するガスの吸着速度の差を利用して窒素ガスを空気中か
ら分離するものであり、空気中の酸素、炭酸ガス、水分
等は短時間のうちに加圧状態でＭＳＣに吸着除去され、
ほとんど吸着されない窒素ガスだけを直接的に得ること
ができるものである。

【００１９】より詳細には、原料である大気中の空気を
オイルフリー型コンプレッサーで圧縮し、フィルターを
通過させた後、ＭＳＣを備えた吸着層に供給する。この
吸着層では、槽内に充填されたＭＳＣにより、不純物と
しての水分、酸素ガス、炭酸ガス等を吸着除去する。そ
して、ＭＳＣにはほとんど吸着されない窒素ガスやごく
少量の希ガス（アルゴンガスやヘリウムガスなど）は製
品槽に送られ、純度および圧力が均一化されて、窒素ガ
ス供給配管２を通って液体窒素容器に供給される。この
ような窒素ガス発生装置は、９９％以上の純度の窒素ガ
スを毎分１０リットル以上、空気中から分離して供給す
ることが可能なものである。

【００２０】なお、ＭＳＣが水分や酸素を飽和状態まで
吸着すると窒素ガスは分離不能となるが、そのようなと
きには窒素ガス発生機を一旦窒素ガス供給用配管２から
取り外し、大気圧にまで減圧してやれば、吸着していた
水分や酸素、炭酸ガスが脱着し、再び使用できるように
なる。ただし、この間は窒素ガスが供給できないことと
なるので、前記吸着層を２槽備えておき、吸脱着操作を
交互に切り替えて行うようにすれば、連続的に切れ目な
く窒素ガスを供給することができる。

【００２１】また、窒素ガス供給装置１としては、この
ような窒素ガス発生機を使用するものに限らず、例え
ば、窒素ガスボンベを用いてもよいことは言うまでもな
い。

【００２２】極低温冷凍機３は、圧縮機ユニットを内蔵
しており、当該圧縮機ユニットによってヘリウムガスを
圧縮する。この圧縮されたヘリウムガスは、ヘリウムガ
ス供給配管５を通って液体窒素容器７の上部に取り付け
た液化器６に供給され、断熱膨張して液化器６の表面を
約マイナス２１０℃に冷却した後、再び極低温冷凍機３
に循環する。なお、極低温冷却機３の圧縮ユニットを冷
却するために、冷却水供給装置４が備えられている。こ
れら、極低温冷凍機３、冷却水供給装置４、ヘリウムガ
ス供給配管５、液化器６によって、特許請求の範囲各項
に記載した窒素ガス液化装置が形成される。

【００２３】液体窒素容器７は、例えば１００リットル
ほどの内容積を有する断熱容器である。この液体窒素容
器７には窒素ガス供給用配管２が接続されており、窒素
ガス発生機１から窒素ガスが供給される。供給された窒
素ガスは、液体窒素容器７の上部に取り付けられた液化
器６に接することによって液化され、液体窒素となって
容器７の内部に蓄えられる。窒素ガス発生機１の窒素ガ
ス発生能力を毎分１０リットルとした場合、液体窒素の
製造能力は日産１５リットル程度となる。このように、
窒素ガス発生機１、窒素ガス液化装置、および液体窒素
容器７を組み合わせることにより、大気中の窒素を使用
してスタンドアロンで自動的に液体窒素を得ることが可
能となり、窒素ガスボンベや液体窒素入り圧力容器を取
り扱う必要がまったくなくなるものである。

【００２４】また、液体窒素容器７には大気連通管８が
設けられており、その途中にはリーク弁９が設けられて
いる。そして、液体窒素移送時以外のときにはこのリー
ク弁９を開放して、わずかずつ窒素ガスが大気中にリー
クするようにしている。万が一、液体窒素容器７の中に
大気が侵入した場合には、その中に含まれる水分が凍
り、不測の事態を引き起こすことになるが、上記のよう
に液体窒素容器７内を大気圧よりも若干高い圧力に維持
し、わずかずつ窒素ガスをリークさせておくことによ
り、大気が液体窒素容器７の中に侵入することを防止で
き、安定して液体窒素を蓄えておくことができる。

【００２５】さらに、この液体窒素容器７には、貯蔵さ
れている液体窒素を移送するための液体窒素移送管１２
が接続されている。液体窒素を液体窒素容器７から移送
するに際しては、ポンプ等の圧送手段を用いることもで
きるが、窒素ガス発生機１から供給される窒素ガスの供
給圧力を利用して移送することができる。このようにす
れば、構成を大幅に簡略化できる。

【００２６】液面検出器１０は、内部の液体窒素の量を
検出するために設けられたものである。この液面検出器
１０により、液体窒素容器７内の液体窒素の貯蔵量をモ
ニタし、レベルが減少すると窒素ガス発生機１および極
低温冷凍機３を自動的に起動し、レベルが所定値に達す
ると窒素ガス発生機１および極低温冷凍機３の運転を自
動的に停止するようにしている。また、液体窒素の貯蔵
量が少ないときには、遮断弁の開操作を禁止して、無理
な液体窒素の移送を行うことを防止することもできる。

【００２７】極低温装置１１は、例えば核磁気共鳴装置
などに使用される超電導装置である。この極低温装置１
１には液体窒素移送管１２が接続されており、その途中
に設けた第１の遮断弁１３を開放することにより、液体
窒素が供給される。また、極低温装置１１内の液体窒素
の量を検出するために、液面検出器１６が設けられてい
る。

【００２８】さらに、液体窒素移送管１２には分岐管が
設けられて液体窒素取り出し口１５が形成されており、
その途中には第２の遮断弁１４が設けられている。この
液体窒素取り出し口１５からは、極低温装置１１への供
給用途以外に液体窒素が必要となったときなどに、第２
の遮断弁１４を開いて液体窒素を取り出すことができ
る。

【００２９】制御装置１７は、液体窒素を自動供給する
ための全体的な制御を行うほか、各構成要素の異常監視
も行っている。例えば、窒素ガス発生機１に異常を来た
し、窒素ガスに混入して酸素ガスや水分が液体窒素容器
７に供給されるようなことになると不測の事態を引き起
こすこととなるため、異常を検知したり、あるいは異常
が発生しやすい状態になったときには、窒素ガス発生機
１、極低温冷凍機３及び液化器６を緊急停止させるなど
の異常時対策も行うものである。また、前述したよう
に、液体窒素容器７の液面検出器１０の検出値を監視
し、液体窒素の貯蔵量が少ないときには液体窒素の無理
な移送を禁止するような制御も行うことができる。

【００３０】次に、図２および図３に示すフローチャー
トに基づいて、制御装置１７における液体窒素自動供給
のための制御動作について説明する。図２は、本発明の
第一の実施例における制御動作を説明するためのフロー
チャートである。この第一の実施例は、特許請求の範囲
の請求項１に記載したものに対応するものであり、制御
装置１７が極低温装置１１内の液体窒素の量を常にモニ
タしており、その値がある所定値よりも少なくなったこ
とが検出されたならば、液体窒素の移送を行うものであ
る。

【００３１】この第一の実施例では、まず制御装置１７
に対して、極低温装置１１内の液体窒素の量に関し、液
体窒素の移送を開始すべき液面下限値Ｖ1 と、移送を停
止する際の参照値となる液面上限値Ｖ2 とをセットする
（ステップＳ１）。そして、制御装置１７では、極低温
装置１１の液面検出器１６の検出信号を常にモニタし、
その検出信号が前記Ｖ1 より少なくなっていないかどう
かについて監視を行う（ステップＳ２）。なお、この
間、リーク弁９は開いており、遮断弁１３は閉じられた
状態にある。

【００３２】液面検出器１６の検出値が前記Ｖ1 よりも
少なくなったことが検知されると、まずリーク弁９を閉
じ（ステップＳ３）、遮断弁１３を開く（ステップ
４）。遮断弁１３が開かれたことにより液体窒素の移送
が開始され（ステップＳ５）、その間、制御装置１７は
継続的に液面検出器１６の検出値を監視し、極低温装置
１１内の液体窒素量が前記Ｖ2 に達するかどうかについ
て判定を行う（ステップＳ６）。そして、当該液体窒素
量が前記Ｖ2 に達したところで遮断弁１３を閉じ（ステ
ップＳ７）、さらにリーク弁９を開いて（ステップＳ
８）、液体窒素の移送を終了するようにしている。

【００３３】なお、この第一実施例では、液体窒素の移
送終了を液面上限値Ｖ2 で行うようにしたが、単位時間
当たりの液体窒素の移送量はほぼ一定であるため、移送
開始からの時間経過で移送終了時点を決定するようにし
てもよい。

【００３４】この第一の実施例においては、極低温装置
１１内の液体窒素の残量が最低限の値にまで達すると必
ず自動的に液体窒素が移送されるものであるから、周囲
の環境が変化するなどして極低温装置１１からの液体窒
素の蒸発量が変わったような場合であっても、まちがい
なく確実に液体窒素の補給が行えるものである。

【００３５】次に、図３は、本発明の第二の実施例にお
ける制御動作を説明するためのフローチャートである。
この第二の実施例は、特許請求の範囲の請求項２に記載
したものに対応するものであり、当該制御装置１７がタ
イマ機能を有しており、予め指定された時間になるたび
に液体窒素の移送を行うものである。

【００３６】この第二の実施例では、まず制御装置１７
に対して、液体窒素の移送を開始すべき時間と、移送を
停止する際の参照値となる極低温装置１１内の液面上限
値Ｖ2 とをセットする（ステップＳ１１）。ここで言う
「時間」は、例えば、何時間おきに供給を開始するとい
うようにインターバルとしての「時間」でもよいし、ま
た、毎週何曜日の何時に供給を開始するというように
「時刻」でセットするものでもよい。そして、制御装置
１７ではタイマ機能を起動させ、移送開始時間になって
いないかどうかについて監視を行う（ステップＳ１
２）。なお、この間、リーク弁９は開いており、遮断弁
１３は閉じられた状態にある。

【００３７】移送開始時間になったことが検知される
と、まずリーク弁９を閉じ（ステップＳ１３）、遮断弁
１３を開く（ステップ１４）。遮断弁１３が開かれたこ
とにより液体窒素の移送が開始され（ステップＳ１
５）、その間、制御装置１７は極低温装置１１の液面検
出器１６の検出値を監視し、極低温装置１１内の液体窒
素量が前記Ｖ2 に達するかどうかについて判定を行う
（ステップＳ１６）。そして、当該液体窒素量が前記Ｖ
2 に達したところで遮断弁１３を閉じ（ステップＳ１
７）、さらにリーク弁９を開いて（ステップＳ１８）、
液体窒素の移送を終了するようにしている。

【００３８】なお、この実施例でも、液体窒素の移送終
了を液面上限値Ｖ2 で行うようにしたが、単位時間当た
りの液体窒素の移送量はほぼ一定であることから、移送
開始からの時間経過で移送終了時点を決定するようにし
てもよい。図４に、このように供給開始と供給終了の両
方を時間で制御する場合のフローチャートを示す。

【００３９】図４において、図３と同じ内容は同符号で
示している。図３と異なる点は、まずステップＳ１１’
において、供給開始時間と供給終了時間とをセットする
点である。ここで言う「時間」は、図３の場合と同様
に、何日または何時間おきに供給を開始し、供給開始か
ら何分後に供給を終了するというインターバルとしての
「時間」でもよいし、また、毎週何曜日の何時に供給を
開始し、同日の何時に供給を終了するというような「時
刻」であってもよい。そして、液体窒素供給開始後、ス
テップ１６’において終了時間が到来したことを検知す
ると、窒素供給の停止処理を行うようにしている。

【００４０】これらの第二の実施例によれば、液体窒素
の供給開始時間が予め把握できるので、それに応じて極
低温装置１１の使用計画を立てることができ、スケジュ
ール管理が容易になる。特に安定度が要求される測定を
行う場合、あるいは安定度が要求される装置では、測定
中に液体窒素が移送されると悪影響を受けることになる
が、そのような不具合を解消することができる。

【００４１】次に、第三の実施例について説明する。第
三の実施例では、複数の極低温装置を備えていて、その
各々に対して液体窒素が自動供給されることを狙ったも
のであり、特許請求の範囲の請求項３に記載したものに
対応している。この第三の実施例における基本的な構成
は図１に示したものと同様であり、それに加えて液体窒
素移送管１２に適宜本数の分岐管が設けられるととも
に、それぞれの分岐管に遮断弁を介して極低温装置を接
続するようにする。なお、極低温装置が２台の場合に
は、そのうちの１台目を図１の極低温装置１１とし、２
台目は液体窒素取り出し口１５に接続するようにしても
よい。

【００４２】この第三の実施例における制御装置１７の
制御動作は、基本的に図３に示したものと同様である
が、先に図３を用いて説明した第二の実施例と異なると
ころは、ステップＳ１１において、複数の極低温装置の
それぞれについて個別に供給開始時間と液面上限値Ｖ2
とがセットされる点にある。したがって、ステップＳ１
２以降の動作についても、個別にセットされたそれぞれ
の供給開始時間が到来するとリーク弁９を閉じ（ステッ
プＳ１３）、さらに該当する極低温装置につながる遮断
弁を択一的に開いて（ステップＳ１４）、液体窒素の移
送を開始する（ステップＳ１５）。そして、液体窒素を
移送している対象の極低温装置に関して設定されたＶ2
の値に応じて移送を停止し（ステップＳ１６）、さらに
該当する遮断弁を閉じ（ステップＳ１７）、リーク弁９
を開いて（ステップＳ１８）、当該極低温装置に対する
液体窒素の移送を完了する。このような動作を、それぞ
れの極低温装置ごとに、個別に行うものである。

【００４３】この第三の実施例においても、図４に示し
たものと同様に、移送の終了時点を液面上限値Ｖ2 で判
定せず、時間（時刻）で決めるようにしてもよいことは
言うまでもない。

【００４４】図５に、この第三の実施例における制御装
置１７のコントロールパネルの一構成例を示す。図中、
２１は上記ステップ１１またはステップ１１’において
液体窒素自動供給の開始時点および終了時点を設定する
ための入力部であり、表示部を有していて、常に設定状
態を確認することができる。２２、２３は、第１の極低
温装置に対する液体窒素供給用スイッチであり、それぞ
れ自動供給（AUTO）か手動供給（MANU）かを設定するも
のである。２４、２５は、第２の極低温装置に対する液
体窒素供給用スイッチであり、上記と同様に、それぞれ
自動供給（AUTO）か手動供給（MANU）かを設定するもの
である。２６は、別途設けた液体窒素外部取り出し用の
スイッチであり、これを押下することにより、極低温装
置とは別の用途に液体窒素を取り出して使用することが
できる。２７は、液体窒素容器７内の液体窒素の貯蔵量
を示すレベルメータであり、液面検出器１０の検出結果
が視角的に表示される。２８は、各種の異常状態等を表
示する点灯部である。さらに、２９は、液体窒素製造の
オン／オフを入力するためのスイッチである。

【００４５】この第三の実施例によれば、第二の実施例
と同様に、液体窒素の供給開始時間が予め把握できるの
で、それに応じて極低温装置の使用計画を立てることが
でき、スケジュール管理が容易になる。さらに、複数の
極低温装置を使用・管理する場合には、液体窒素補給作
業の繁雑さを大幅に軽減することができる。

【００４６】以上、本発明のいくつかの実施例について
説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、種々の変形が可能であることは当業者に明らかで
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施構成を示す図である。

【図２】 本発明の第一の実施例における制御動作を説
明するためのフローチャートである。

【図３】 本発明の第二の実施例における制御動作を説
明するためのフローチャートである。

【図４】 本発明の第二の実施例における別の制御動作
を説明するためのフローチャートである。

【図５】 本発明の第三の実施例における制御装置のコ
ントロールパネルの一構成例を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１…窒素ガス供給装置、２…窒素ガス供給配管、３…極
低温冷凍機、４…冷却水供給装置、５…ヘリウムガス供
給配管、６…液化器、７…液体窒素容器、８…大気連通
管、９…リーク弁、１０…液面検出器（液体窒素容器
用）、１１…極低温装置、１２…液体窒素移送管、１３
…第１の遮断弁、１４…第２の遮断弁、１５…液体窒素
取り出し口、１６…液面検出器（極低温装置用）、１７
…制御装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ２５Ｊ 1/00 Ｄ Ｈ０１Ｆ 6/04 (72)発明者 小川 秀次郎 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子データム株式会社内 (72)発明者 国領 憲治 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子データム株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】窒素ガス供給装置と、 当該窒素ガス供給装置から供給される窒素ガスを極低温
   に冷却して液化するための窒素ガス液化装置と、 当該窒素ガス液化装置によって液化された液体窒素を蓄
   える液体窒素容器と、 当該液体窒素容器から窒素ガスを大気中に所定の流量で
   リークするリーク弁と、 液体窒素を使用する極低温装置と、 前記液体窒素容器と前記極低温装置とを結ぶ移送管に設
   けられた遮断弁と、 前記リーク弁および遮断弁を開閉制御する制御手段とを
   備え、 当該制御手段は、前記極低温装置における液体窒素の残
   量をモニタし、当該残量が所定量より少なくなると、前
   記リーク弁を閉じるとともに前記遮断弁を開き、液体窒
   素を前記液体窒素容器から極低温装置に移送することを
   特徴とする液体窒素自動供給装置。
2. 【請求項２】窒素ガス供給装置と、 当該窒素ガス供給装置から供給される窒素ガスを極低温
   に冷却して液化するための窒素ガス液化装置と、 当該窒素ガス液化装置によって液化された液体窒素を蓄
   える液体窒素容器と、 当該液体窒素容器から窒素ガスを大気中に所定の流量で
   リークするリーク弁と、 液体窒素を使用する極低温装置と、 前記液体窒素容器と前記極低温装置とを結ぶ移送管に設
   けられた遮断弁と、 前記リーク弁および遮断弁を開閉制御する制御手段とを
   備え、 当該制御手段は、タイマ機能を有し、予め指定された時
   間になるたびに前記リーク弁を閉じるとともに前記遮断
   弁を開いて、液体窒素を前記液体窒素容器から極低温装
   置に移送することを特徴とする液体窒素自動供給装置。
3. 【請求項３】窒素ガス供給装置と、 当該窒素ガス供給装置から供給される窒素ガスを極低温
   に冷却して液化するための窒素ガス液化装置と、 当該窒素ガス液化装置によって液化された液体窒素を蓄
   える液体窒素容器と、 当該液体窒素容器から窒素ガスを大気中に所定の流量で
   リークするリーク弁と、 液体窒素を使用する複数の極低温装置と、 前記液体窒素容器と前記複数の極低温装置の各々とを結
   ぶ移送管に個別に設けられた複数の遮断弁と、 前記リーク弁および複数の遮断弁を開閉制御する制御手
   段とを備え、 当該制御手段は、タイマ機能を有し、極低温装置ごとに
   予め指定された時間になるたびに前記リーク弁を閉じる
   とともに前記複数の遮断弁を択一的に開いて、液体窒素
   を前記液体窒素容器から極低温装置に移送することを特
   徴とする液体窒素自動供給装置。
4. 【請求項４】制御手段がリーク弁を閉じるとともに遮断
   弁を開いて液体窒素容器から極低温装置に液体窒素を移
   送する際に、窒素ガス供給装置から液体窒素容器に供給
   される窒素ガスの供給圧力を利用して液体窒素を移送す
   ることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３
   記載の液体窒素自動供給装置。