JPH07266704A - 光記録方法および光記録媒体 - Google Patents

光記録方法および光記録媒体

Info

Publication number
JPH07266704A
JPH07266704A JP6087854A JP8785494A JPH07266704A JP H07266704 A JPH07266704 A JP H07266704A JP 6087854 A JP6087854 A JP 6087854A JP 8785494 A JP8785494 A JP 8785494A JP H07266704 A JPH07266704 A JP H07266704A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording
layer
optical recording
phase
mark
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6087854A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2999916B2 (ja
Inventor
Junji Tominaga
淳二 富永
Norihiko Shigeta
徳彦 繁田
Susumu Haratani
進 原谷
Akira Inaba
亮 稲葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP6087854A priority Critical patent/JP2999916B2/ja
Priority to US08/400,765 priority patent/US5523140A/en
Publication of JPH07266704A publication Critical patent/JPH07266704A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2999916B2 publication Critical patent/JP2999916B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/004Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
    • G11B7/0045Recording
    • G11B7/00454Recording involving phase-change effects
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302Metals or metalloids
    • G11B2007/24308Metals or metalloids transition metal elements of group 11 (Cu, Ag, Au)
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302Metals or metalloids
    • G11B2007/24314Metals or metalloids group 15 elements (e.g. Sb, Bi)
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302Metals or metalloids
    • G11B2007/24316Metals or metalloids group 16 elements (i.e. chalcogenides, Se, Te)
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/913Material designed to be responsive to temperature, light, moisture
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/146Laser beam
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/21Circular sheet or circular blank

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 C/Nおよび変調度が良好となり、しかも、
高温条件下で保存した場合でもこれらの劣化が小さくな
るように相変化型光記録媒体に記録を行なうと、この方
法に用いる相変化型光記録媒体を提供する。 【構成】 A(Agおよび/またはAu)、B(Sbお
よび/またはBi)およびC(Teおよび/またはS
e)を含む記録材料を含有する光記録媒体を用い、記録
マークが非晶質または微結晶質となり、未記録部が結晶
質となり、未記録部におけるA濃度から記録マークにお
けるA濃度を減じたAの濃度差が0.5原子%以上とな
るように記録を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ビーム照射による記
録層の結晶状態の変化を利用して情報の記録を行なう方
法と、この方法に用いる光記録媒体とに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高密度記録が可能で、しかも記録
情報を消去して書き換えることが可能な光記録媒体が注
目されている。書き換え可能型の光記録媒体のうち相変
化型の光記録媒体は、レーザー光を照射することにより
記録層の結晶状態を変化させ、このような状態変化に伴
なう記録層の反射率変化を検出するものである。相変化
型の光記録媒体は単一の光ビームによるオーバーライト
が可能であり、また、駆動装置の光学系が光磁気記録媒
体のそれに比べて単純であるため、注目されている。
【0003】相変化型の光記録媒体には、結晶状態と非
晶質状態とで反射率の差が大きいこと、非晶質状態の安
定度が比較的高いことなどから、Ge−Te系材料が用
いられることが多いが、最近、カルコパイライトと呼ば
れる化合物を応用することが提案されている。
【0004】カルコパイライト型化合物は化合物半導体
材料として広く研究され、太陽電池などにも応用されて
いる。カルコパイライト型化合物は、化学周期律表を用
いるとIb-IIIb-VIb2やIIb-IVb-Vb2 で表わされる組成で
あり、ダイヤモンド構造を2つ積み重ねた構造を有す
る。カルコパイライト型化合物はX線構造解析によって
容易に構造を決定することができ、その基礎的な特性
は、例えば月刊フィジクスvol.8,No.8,1987,pp-441や、
電気化学vol.56,No.4,1988,pp-228 などに記載されてい
る。
【0005】これらのカルコパイライト型化合物の中で
特にAgInTe2 は、SbやBiを用いて希釈するこ
とにより、線速度7m/s 前後の光記録媒体の記録層材料
として使用できることが知られている(特開平3−24
0590号公報、同3−99884号公報、同3−82
593号公報、同3−73384号公報、同4−151
286号公報等)。
【0006】このようなカルコパイライト型化合物を用
いた相変化型光記録媒体の他、特開平4−267192
号公報や特開平4−232779号公報には、記録層が
結晶化する際にAgSbTe2 相が生成する相変化型光
記録媒体が開示されている。
【0007】相変化型の光記録媒体では、記録直後のC
/Nや変調度が良好なことは勿論、保存によりこれらの
特性が劣化しないことも重要である。しかし、記録マー
クが非晶質または微結晶質となる相変化型光記録媒体で
は、高温で保存したときに記録マークの結晶化が進んで
しまい、C/Nおよび変調度が劣化しやすい。このた
め、信頼性の向上が課題となっている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、C/
Nおよび変調度が良好となり、しかも、高温条件下で保
存した場合でもこれらの劣化が小さくなるように相変化
型光記録媒体に記録を行なう方法を提供することであ
り、本発明の他の目的は、このような記録を行なうこと
のできる相変化型光記録媒体を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(14)の構成により達成される。 (1)光記録媒体の記録層に光ビームを照射することに
より記録マークを形成して情報の記録を行なう方法であ
って、A(Aは、Agおよび/またはAuである)、B
(Bは、Sbおよび/またはBiである)およびC(C
は、Teおよび/またはSeである)を含む記録材料を
含有する光記録媒体を用い、記録マークが非晶質または
微結晶質となり、未記録部が結晶質となり、未記録部に
おけるA濃度から記録マークにおけるA濃度を減じたA
の濃度差が0.5原子%以上となるように記録を行なう
ことを特徴とする光記録方法。 (2)未記録部におけるA濃度から記録マークにおける
A濃度を減じたAの濃度差が5原子%以下となるように
記録を行なう上記(1)の光記録方法。 (3)記録材料中のA含有率が3.0〜28原子%であ
る上記(1)または(2)の光記録方法。 (4)記録層の厚さが100〜500 Aである上記
(1)〜(3)のいずれかの光記録方法。 (5)光ビームに対する記録層の相対速度が1.0〜
6.0m/s である上記(1)〜(4)のいずれかの光記
録方法。 (6)未記録部がABC2 相を含む上記(1)〜(5)
のいずれかの光記録方法。 (7)未記録部がB相を含む上記(6)の光記録方法。 (8)記録材料がInを含み、未記録部がIn−C相を
含む上記(6)または(7)の光記録方法。 (9)記録材料が、M(Mは、Ti、Zr、Hf、V、
Nb、Ta、Mn、WおよびMoから選択される少なく
とも1種の元素である)を含む上記(1)〜(8)のい
ずれかの光記録方法。 (10)記録材料が、 式 Aabc Inde (上記式においてa、b、c、dおよびeは原子比を表
わし、 3.0≦a≦13.0、 45.0≦b≦87.0、 8.0≦c≦34.0、 2.0≦d≦ 8.0、 0 ≦e≦ 5.0、 a+b+c+d+e=100 である)で表わされる上記(1)〜(9)のいずれかの
光記録方法。 (11)記録材料のA中のAgの比率が50原子%以上
である上記(1)〜(10)のいずれかの光記録方法。 (12)記録材料のB中のSbの比率が50原子%以上
である上記(1)〜(11)のいずれかの光記録方法。 (13)記録材料のC中のTeの比率が50原子%以上
である上記(1)〜(12)のいずれかの光記録方法。 (14)上記(1)〜(13)のいずれかの光記録方法に
用いられることを特徴とする光記録媒体。
【0010】
【作用および効果】上記した相変化型光記録媒体では、
スパッタ法などにより形成した非晶質状態の記録層を加
熱して徐冷することにより、AgSbTe2 結晶相やA
gInTe2 結晶相を析出させる。これを、通常、初期
化と呼ぶ。初期化された記録層に記録用光ビームを照射
すると、照射部は溶融し、光ビームが離れる際に急冷さ
れて非晶質または微結晶質の記録マークが形成される。
【0011】このような相変化型光記録媒体を高温条件
下に保存したときにC/Nや変調度が劣化するのは、非
晶質または微結晶質の記録マークの結晶化が進むためと
考えられる。
【0012】本発明では、記録マークのA含有率が未記
録部のA含有率よりも0.5原子%以上低くなるように
記録を行なう。このような記録マークを形成することに
より、記録マークを構成する非晶質または微結晶質の安
定性が向上し、高温保存による結晶化が抑えられ、C/
Nや変調度の劣化が減少する。また、このようなAの濃
度差が生じる記録では、繰り返し記録特性が向上する。
すなわち、繰り返して記録を行なった場合のC/Nおよ
び変調度の劣化を抑えることができる。
【0013】未記録部のA濃度と記録マークのA濃度と
の差は、記録材料の溶融および急冷の際に熱移動方向に
沿ってAが拡散するために生じると考えられる。記録マ
ークを消去するときには、記録層が溶融しない程度の低
パワーの消去用光ビームを照射するため、Aの拡散はほ
とんど生じない。しかし、消去により未記録部となった
部位でも、A濃度は記録マークと同程度に低いままでは
なく、やはり記録マークよりも高くなる。これは、消去
部近傍を溶融・冷却して記録マークを形成する際に、溶
融部から消去部にAが拡散するためであると考えられ
る。
【0014】本発明では、記録後に上記のようなA濃度
差が生じるように、記録層中のA含有率、記録時の媒体
の線速度、記録層の厚さなどを制御する。
【0015】上記各公報に記載されている相変化型記録
媒体では、記録マークのAg濃度が未記録部のAg濃度
よりも低くなる旨は記載されておらず、その示唆もな
い。
【0016】特開平3−240590号公報では、(A
gInTe21-aa (MはSbおよび/またはBi
であり、0.30≦a≦0.92)を主成分とし、Ag
InTe2 相とM相との混相である記録層を有する情報
記録媒体が提案されている。同公報では、レーザー書込
み感度の向上、消去感度の向上、記録−消去のくり返し
性能向上、消去比の向上などを効果に挙げている。同公
報には、記録マークの非晶質部においてAg濃度が減少
する旨の記載はない。同公報の実施例では、本発明にお
ける好ましい条件と同様にAg含有率の低い記録層を用
いている。例えば、(AgInTe20.3 Sb0.7
(Ag7.5原子%)、(AgInTe20.1 Sb0.9
(Ag2.5原子%)、(AgInTe20.05Sb
0.95(Ag1.25原子%)である。しかし、記録時の
線速度は7m/s と速く、記録層は1000 Aと厚い。ま
た、同公報には、記録層結晶化後にAgSbTe2 相、
In−Te相、Sb相等が生成したという記述もない。
これらはいずれも本発明における好ましい条件範囲から
はずれている。したがって、Ag含有率の低い記録層を
用いた同公報の実施例において、記録後にAgの濃度差
が生じているとは考えられない。
【0017】特開平4−151286号公報には、初期
化(結晶化)後にAgInTe2 微結晶を含み、しか
も、記録マーク部にもAgInTe2 微結晶を含む記録
材料を用いた情報記録媒体が開示されている。同公報に
は、記録マーク部においてAg濃度が減少する旨の記載
はない。同公報実施例における記録材料の組成は(Ag
InTe225Sb75(Ag6.25原子%)であり、
記録時の線速度は5.6m/s である。しかし、同公報実
施例における記録層の厚さは1000 Aと厚く、同公報
には、AgSbTe2 相、In−Te相、Sb相等が生
成したという記述もない。
【0018】特開平4−232779号公報には、A
g、In、Te、Sbを所定の比率で含む記録層を有す
る情報記録媒体が開示されている。同公報には、記録マ
ークの非晶質部においてAg濃度が減少する旨の記載は
ない。同公報には、記録層のX線回折においてAgSb
Te2 からの結晶性ピークが観察される旨の記述があ
る。また、同公報の実施例の記録層では、Ag含有率1
0原子%のものと8原子%のものとがあり、比較例では
4原子%のものがある。しかし、同公報の実施例におけ
る記録時の線速度は7m/s と速く、記録層の厚さは10
00 Aと厚い。
【0019】特開平4−267192号公報には、A
g、Sb、Teを含む記録層を有し、この記録層が、記
録時に一様なアモルファス相を形成し、消去時にAgS
bTe2 相が相分離して結晶化する光情報記録媒体が開
示されている。同公報には、記録マーク部においてAg
濃度が減少する旨の記載はない。同公報の実施例では、
記録層に(AgSbTe2 )(In1.5 Sb3.5 Te)
を用い、線速度7m/s で記録を行なっている。(AgS
bTe2 )(In1.5 Sb3.5 Te)中のAg含有率は
10原子%であるが、記録層の厚さは1000 Aと厚
い。
【0020】特開平5−185733号公報には、Ag
−In−Te−Sbを含有する記録層を有する情報記録
媒体が開示されている。同公報の実施例では、記録層に
Ag10In10Te20Sb60を用いているが、記録層の厚
さは1000 Aと厚く、記録時の線速度は7m/s と速
い。
【0021】
【具体的構成】以下、本発明の具体的構成について詳細
に説明する。
【0022】本発明で用いる光記録媒体は、A(Aは、
Agおよび/またはAuである)、B(Bは、Sbおよ
び/またはBiである)およびC(Cは、Teおよび/
またはSeである)を含む記録材料を含有する記録層を
基板上に有し、光ビーム照射により記録層の結晶状態が
変化して、記録マークの形成および消去がなされるもの
である。
【0023】この記録層において、記録マークは非晶質
または微結晶質であり、未記録部は結晶質である。本発
明では、記録マークのA濃度が未記録部のA濃度よりも
低くなるように記録を行なう。記録マークは、記録用光
ビーム照射により記録材料を溶融し、次いで急冷するこ
とにより形成される。未記録部と記録マークとのA濃度
の差は、記録材料の溶融および急冷の際に熱移動方向に
沿ってAが拡散するために生じると考えられる。Aの濃
度差、すなわち、未記録部におけるA濃度から記録マー
クにおけるA濃度を減じた値は、0.5原子%以上、好
ましくは0.8原子%以上とする。Aの濃度差が小さす
ぎると信頼性向上効果が不十分となり、保存時の記録マ
ークの結晶化によりC/Nや変調度の劣化が大きくな
る。また、Aの濃度差は、好ましくは5.0原子%以
下、より好ましくは3.0原子%以下とする。Aの濃度
差が大きすぎると、消去時の記録マーク結晶化過程にお
いて、A濃度が周囲の未記録部と同等にならない状態で
記録マークが結晶化してしまう。このため、未記録部内
に結晶転移速度の異なる領域が形成されてしまう。この
ような状態の未記録部に低線速度で記録した場合、ノイ
ズが大きくなって十分なC/Nが得られない。
【0024】未記録部および記録マークにおけるA濃度
は、電子線プローブマイクロアナリシス(EPMA)や
X線マイクロアナリシスなどにより測定することができ
る。
【0025】記録材料中のA含有率は、好ましくは2
8.0原子%以下、より好ましくは13.0原子%以
下、さらに好ましくは10原子%以下、最も好ましくは
9.0原子%以下である。記録材料中のA含有率が多す
ぎると、未記録部の結晶相中のAが飽和状態となるの
で、記録時に記録マーク形成領域からのA拡散が抑制さ
れ、上記したAの濃度差を実現することが困難となる。
ただし、記録材料中のA含有率は、好ましくは3.0原
子%以上、より好ましくは4.0原子%以上とする。記
録材料中のA含有率が少なすぎると、記録マークの再結
晶化が困難となり、繰り返しオーバーライトが困難とな
る。
【0026】未記録部は、結晶相としてAgSbTe2
相等のABC2 相を含むことが好ましい。未記録部にお
いてABC2 相が主体となるように記録材料の組成およ
び記録条件を選択することにより、上記したようなAの
濃度差を容易に実現することができる。また、未記録部
には、ABC2 相の他に、Sb相等のB相が含まれるこ
とが好ましい。B相は結晶相である。未記録部がB相を
含むように、記録材料の組成および記録条件を選択する
ことにより、上記したようなAの濃度差を容易に実現す
ることができる。
【0027】記録材料は、Inを含むことが好ましい。
InはCと結合し、未記録部においてIn−Te相等の
In−C相として存在する。In−C相は、Inおよび
Cを主体とする結晶相であり、実質的にIn:Cは1:
1であると考えられる。未記録部がIn−C相を含むよ
うに記録材料の組成および記録条件を選択することによ
り、上記したようなAの濃度差を容易に実現することが
できる。
【0028】上記各相の存在は、透過型電子顕微鏡およ
びEPMAにより確認することができる。
【0029】記録材料は、元素Mを含むことが好まし
い。元素Mは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、M
n、WおよびMoから選択される少なくとも1種の元素
である。元素Mは、ABC2 の結晶構造の変化を阻害す
ることにより結晶転移速度(非晶質ないし微結晶が粗大
結晶に成長する速度)を低下させると考えられる。元素
Mの添加理由は以下のとおりである。記録用光ビームに
対する記録層の相対線速度が遅い場合には、光ビームに
よる熱の影響が照射領域外にまで及ぶことになる。Ag
−Sb−Te系の記録材料を用いた相変化型光記録媒体
では、光ビームにより加熱された領域が急速に冷却され
て非晶質や微結晶状態となることにより信号が記録され
るが、信号記録部が長い11T信号などの記録部では、
線速度が遅いと照射終了領域が隣接する照射部の影響を
受けて引き続き僅かに加熱されるため、冷却速度が遅く
なって記録マークの非晶質化または微結晶質化が不十分
となってしまう。このため、良好なC/Nが得られなく
なり、また、良好な繰り返し記録特性も得られなくな
る。元素Mは、結晶成長を阻害することにより結晶転移
速度を低下させるため、相対線速度が遅い場合でも記録
マークの非晶質化または微結晶質化が容易となるので、
良好なC/Nが得られ、変調度も高くなる。また、繰り
返し記録特性も向上する。なお、結晶転移速度低下効果
は、元素MのうちTiおよびV、特にTiが高い。ま
た、高温・高湿などの悪条件下での信頼性を向上させる
効果は、VおよびTiが良好であり、特にVは信頼性向
上効果が極めて高い。従って、TiおよびVの1種以
上、特にVがM全体の80原子%以上、特に100原子
%を占めることが好ましい。
【0030】本発明では、具体的には、 式 Aabc Inde で表わされる組成の記録材料を用いることが好ましい。
上記式において、a、b、c、dおよびeは原子比を表
わし、 3.0≦a≦13.0、 45.0≦b≦87.0、 8.0≦c≦34.0、 2.0≦d≦ 8.0、 0 ≦e≦ 5.0 であり、好ましくは、 4.0≦a≦10.0、 54.0≦b≦82.0、 11.0≦c≦30.0、 3.0≦d≦ 6.0、 0.5≦e≦ 5.0 であり、さらに好ましくは、 4.0≦a≦9.0 であって、 a+b+c+d+e=100 である。
【0031】上記式におけるaの限定理由は、上述した
A含有率範囲を限定した理由と同じである。
【0032】上記式においてbが小さすぎると、未記録
部におけるB相の割合が減少し、相変化に伴なう反射率
差は大きくなるが結晶転移速度が急激に遅くなって消去
が困難となる。bが大きすぎると、相変化に伴なう反射
率差が小さくなって変調度が小さくなり、また、結晶転
移速度が速くなりすぎて、低線速度での記録が難しくな
る。
【0033】上記式においてcが小さすぎると、ABC
2 相を形成するためのCが不足し、ABC2 相の割合が
減少してしまう。このためAが過剰となって、A相や他
のABC2 相以外の相を構成することになる。このた
め、記録時にAが記録マークから未記録部にほとんど拡
散しないか、あるいは逆にAが記録マーク中に拡散して
しまい、信頼性向上が実現しないか、信頼性はかえって
低下する。cが大きすぎると、ABC2 相とIn−C相
とを形成した後でもCが過剰となって、C相が形成され
る。C相は結晶転移速度を低下させるため、消去が困難
となる。
【0034】上記式においてdが小さすぎると、In−
C相の割合が減少してC相の割合が増加するため、結晶
転移速度が遅くなりすぎ、消去が困難となる。また、I
n−C相が減少しABC2 相の結晶粒の成長を阻害する
ため、繰り返し記録特性が低下してしまう。dが大きす
ぎると、過剰のInがBと結合してIn−B相を形成
し、この相が未記録部の反射率を低下させるため、変調
度が減少してしまう。また、In−B相は結晶転移速度
が比較的速く、これが結晶化の際の核となるので、AB
2 相の結晶転移速度が速くなりすぎる。
【0035】上記式において、eが小さすぎると、結晶
転移速度が速くなりすぎるので、遅い線速度で信号長の
長い11T信号などを記録する際に良好なC/Nが得ら
れなくなり、繰り返し記録特性も不良となる。eが大き
すぎると、相変化に伴なう反射率変化が小さくなって十
分な変調度が得られなくなる。
【0036】AとしてはAgが好ましく、好ましくはA
中の50原子%以上、より好ましくは80原子%以上を
Agとし、さらに好ましくはAgだけを用いる。A中の
Au比率が高すぎると結晶転移速度が速くなりすぎ、
1.2〜2.8m/s 程度の遅い線速度では十分な変調度
およびC/Nが確保できなくなる。
【0037】BとしてはSbが好ましく、好ましくはB
中の50原子%以上、より好ましくは80原子%以上を
Sbとし、さらに好ましくはSbだけを用いる。B中の
Bi比率が高すぎると記録層の吸収係数が増加して光の
干渉効果が減少し、このため結晶−非晶質間の反射率差
が小さくなって高C/Nが得られなくなる。
【0038】CとしてはTeが好ましく、好ましくはC
中の50原子%以上、より好ましくは80原子%以上を
Teとし、さらに好ましくはTeだけを用いる。C中の
Se比率が高すぎると結晶転移速度が遅くなりすぎ、十
分な消去率が得られなくなる。
【0039】記録層中には、上記した記録材料に加え、
例えば、微量不純物として、Cu、Ni、Zn、Fe、
O、N、C等の他の元素が含まれていてもよいが、これ
らの元素の合計含有量は0.05原子%以下であること
が好ましい。
【0040】記録層を、記録材料と誘電体材料とが混合
している構成とすれば、非晶質ないし微結晶のときの反
射率が著しく低下して変調度が著しく向上する。これ
は、記録材料と誘電体材料との混合記録層では、厚くし
た場合でも光吸収量の低下を防ぐことができるためであ
る。記録材料は、屈折率nが4〜6程度(非晶質状態が
4、結晶状態が6)、吸収係数kが2.2〜3.3程度
(非晶質状態が2.2、結晶状態が3.3)であり、誘
電体は比較的高屈折率のものでnが1.8〜2.5程度
である。誘電体材料は記録材料中に分散していると考え
られる。このような記録層では、屈折率nは混合比率に
応じて低下するが、吸収係数kは急激に低下するので、
記録層の単位厚さ当たりの光吸収率が著しく低下する。
このため記録層を厚くすることができ、これにより戻り
光の位相差効果が拡大されて、結晶時と微結晶または非
晶質時との反射率差が拡大し、十分大きな変調度が得ら
れる。
【0041】記録材料に加えて誘電体材料を記録層中に
含有する構成とする場合、記録層中に含有される誘電体
材料は特に限定されず、例えば、SiO2 等の酸化ケイ
素やSi34 等の窒化ケイ素、ZnS等の硫化亜鉛、
あるいはこれらの混合物など、透明な各種セラミックス
を用いればよく、また、各種ガラスなどを用いてもよ
い。また、例えば、La、Si、OおよびNを含有する
所謂LaSiONや、Si、Al、OおよびNを含有する所謂
SiAlON、あるいはYを含有するSiAlON等も好ましく用い
ることができる。これらの中では、例えば波長400〜
850nmの範囲での屈折率が1.4以上であるものが好
ましく、特に屈折率が2以上であるものが好ましい。な
お、上記波長範囲は、現在のCDプレーヤの使用波長で
ある780nmや、次世代の記録波長として実用化が進め
られている680nmを含むものであり、本発明の光記録
媒体に対し好ましく使用される波長範囲である。使用す
る誘電体材料は、具体的にはZnSとSiO2 との混合
物、ZnSとSi34 との混合物、ZnSとTa2
5 との混合物などが好ましい。記録層中における各材料
の含有比率は、記録材料/(記録材料+誘電体材料)が
好ましくは50体積%以上、より好ましくは60〜80
体積%である。記録材料の比率が高過ぎると、記録層の
吸収係数が大きくなって記録層を厚くすることができ
ず、十分な干渉効果が得られなくなって高変調度が得ら
れない。また、記録材料の比率が低すぎると、記録層の
吸収係数が小さくなりすぎて相変化による反射率差が小
さくなり、変調度が低下してしまう。
【0042】なお、記録材料の吸収係数kは、結晶状態
のときが3.3程度、微結晶ないし非晶質のときが2.
2程度であり、記録材料/誘電体材料=3/1の混合記
録層では、結晶状態のときが1.2程度、微結晶ないし
非晶質のときが0.6程度である。
【0043】記録層の厚さは、好ましくは100〜50
0 A、より好ましくは150〜300 Aとする。記録層
が薄すぎると結晶相の成長が困難となり、相変化に伴な
う反射率変化が不十分となる。一方、記録層が厚すぎる
と、記録マーク形成時に記録層の厚さ方向へAが多量に
拡散し、記録層面内方向へ拡散するAの比率が小さくな
ってしまうため、記録層面内方向における上述したAの
濃度差を本発明範囲内とすることが難しくなる。
【0044】記録層の形成方法は特に限定されず、スパ
ッタ法や蒸着法などから適宜選択すればよいが、記録材
料と誘電体材料とを含有する記録層は、ターゲットを複
数個用いる多元スパッタ法により形成することが好まし
い。この場合、通常、記録材料のターゲットと誘電体材
料のターゲットとを用いる。そして、これらのターゲッ
トを基板に対向するように並べ、各ターゲットに対して
基板を相対的に回転させながらスパッタを行なう。この
とき、基板のターゲットに対する相対回転速度は1〜1
0rpm とすることが好ましい。回転速度が低すぎると記
録層内での両材料の分散が不均一となる。また、回転速
度が高すぎると、分散度がよくなりすぎて結晶化の際の
結晶成長が阻害されてしまう。なお、このような方法に
限らず、記録材料と誘電体材料との複合ターゲットを用
いてもよい。スパッタ法を用いて形成された記録層中で
は、通常、記録材料中に誘電体材料の粒子が分散した構
造となっていると考えられる。
【0045】本発明の光記録媒体の構成例を図1に示
す。同図において光記録媒体1は、基板2上に下部誘電
体層3、記録層4、上部誘電体層5、反射層6および保
護層7を有する。
【0046】この構成の光記録媒体では基板2を通して
記録層4に光ビームが照射されるので、基板2は、用い
る光ビームに対して実質的に透明である材質、例えば、
樹脂やガラスなどから構成することが好ましい。これら
のうち、取り扱いが容易で安価であることから、基板の
材質としては樹脂が好ましい。具体的には、アクリル樹
脂、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、ポリオレフィン
等の各種樹脂を用いればよい。基板の形状および寸法は
特に限定されないが、通常、ディスク状であり、厚さは
0.5〜3mm程度、直径は50〜360mm程度である。
基板の表面には、トラッキング用やアドレス用等のため
に、グルーブ等の所定のパターンが必要に応じて設けら
れる。
【0047】上述したAの濃度差は、記録トラック方向
におけるものであるが、記録時には記録層面内のトラッ
ク方向に垂直な方向にもAが拡散する。基板にグルーブ
を設ける場合、グルーブ深さを好ましくは200〜10
00 A、より好ましくは300〜600 Aとし、グルー
ブ幅を好ましくは0.8〜1.8μm 、より好ましくは
1.0〜1.6μm とすることにより、上記したような
Aの濃度差を設けることが容易となる。なお、好ましい
グルーブ寸法は、記録波長に依存する。上記範囲は記録
波長780nmのときのものであり、記録波長がλのとき
には、上記した各数値にλ/780を乗じればよい。
【0048】下部誘電体層3は、記録層の酸化を防ぎ、
また、記録時に記録層から基板に伝わる熱を遮断して基
板を保護する。上部誘電体層5は、記録層を保護すると
共に、記録後、記録層に残った熱を熱伝導により放出す
るために設けられる。各誘電体層に用いる誘電体は特に
限定されず、例えば、記録層中に含まれ得る誘電体材料
として挙げたものから適宜選択すればよいが、好ましく
は前述した比較的高屈折率のものを用いる。下部誘電体
層3の厚さは、好ましくは500〜3000 A、より好
ましくは1000〜2500 Aとする。下部誘電体層を
このような厚さとすることにより、記録に際しての基板
損傷を効果的に防ぐことができ、しかも変調度も高くな
る。上部誘電体層5の厚さは、好ましくは100〜30
0 A、より好ましくは150〜200 Aとする。上部誘
電体層をこのような厚さとすることにより冷却速度が速
くなるので、記録マークのエッジが明瞭となってジッタ
ーが低くなる。また、このような厚さとすることによ
り、変調度を高くすることができる。
【0049】なお、例えば後述するように、下部誘電体
層3および/または上部誘電体層5を、組成の異なる2
層以上の誘電体層から構成してもよい。
【0050】各誘電体層は、スパッタ法や蒸着法等の気
相成長法により形成することが好ましい。
【0051】反射層6の材質は特に限定されないが、通
常、Al、Au、Ag、Pt、Cu等の単体あるいはこ
れらの1種以上を含む合金などの高反射率金属から構成
すればよい。反射層の厚さは、300〜1500 Aとす
ることが好ましい。厚さが前記範囲未満であると十分な
反射率が得にくくなる。また、前記範囲を超えても反射
率の向上は小さく、コスト的に不利になる。反射層は、
スパッタ法や蒸着法等の気相成長法により形成すること
が好ましい。
【0052】保護層7は、耐擦傷性や耐食性の向上のた
めに設けられる。この保護層は種々の有機系の物質から
構成されることが好ましいが、特に、放射線硬化型化合
物やその組成物を、電子線、紫外線等の放射線により硬
化させた物質から構成されることが好ましい。保護層の
厚さは、通常、0.1〜100μm 程度であり、スピン
コート、グラビア塗布、スプレーコート、ディッピング
等、通常の方法により形成すればよい。
【0053】本発明の光記録媒体において、高反射率を
得てCD規格に対応した再生を可能とするためには、下
部誘電体層が屈折率の相異なる2層の誘電体層からなる
積層体を少なくとも1つ含み、前記積層体において屈折
率のより高い誘電体層が基板側に存在する構成とするこ
とが好ましい。この構成における好ましい例を図2に示
す。図2において光記録媒体1は、基板2上に高屈折率
層31、低屈折率層32、記録層4、上部誘電体層5、
反射層6および保護層7を有する。この構成では、高屈
折率層31および低屈折率層32が上記積層体となる。
【0054】高屈折率層31を構成する誘電体材料は、
上記した記録層に含有させることが好ましい誘電体材料
と同様に比較的高屈折率のもの、例えば、波長400〜
850nmでの屈折率が2以上であるものが好ましい。
【0055】低屈折率層32を構成する誘電体材料は、
比較的低屈折率のもの、例えば、波長400〜850nm
での屈折率が2未満のものが好ましい。このような誘電
体材料としては、SiO2 、MgF2 、CaF2 、Li
2 やこれらの混合物などが好ましい。なお、このよう
な積層体を2以上重ねればさらに反射率が向上するが、
積層体数が多すぎると変調度の低下が著しくなるため、
積層体の数は1〜2とすることが好ましい。
【0056】高屈折率層31の厚さは500〜1500
Aとすることが好ましく、低屈折率層32の厚さは30
0〜1500 Aとすることが好ましい。また、積層体を
2つ設ける場合には、基板側の積層体では、高屈折率層
が好ましくは750〜900A、より好ましくは800
〜850 A、低屈折率層が好ましくは400〜500A
であり、記録層側の積層体では、高屈折率層が好ましく
は750〜900 A、より好ましくは800〜850
A、低屈折率層が好ましくは1000〜1400A、より
好ましくは1200〜1300 Aである。
【0057】基板2、記録層4、上部誘電体層5、反射
層6および保護層7については、図1に示す構成例と同
様であるが、記録層4の厚さは、記録材料単独から構成
される場合には150〜500 A、さらに誘電体材料が
含まれる場合には200〜1000 Aとすることが好ま
しい。
【0058】本発明の光記録媒体では、記録および再生
は以下のようにして行なわれる。
【0059】本発明の光記録媒体は、初期化された状態
では記録層全面が結晶化している。結晶化状態の記録層
に記録用光ビーム(レーザー光ビーム)を照射すること
により、照射部位は溶融する。そして、記録用光ビーム
通過後に前記部位の温度は急速に下がるので、前記部位
は実質的に非晶質化ないし微結晶化して記録マークとな
る。
【0060】一方、記録情報を書き換えるときには、新
たに記録マークとする部位で記録用光ビームを照射し、
その他の部位では消去用光ビームを連続的に照射する。
消去用光ビームの照射部位の温度は上昇するが、消去用
光ビームは記録用光ビームに比べ低パワーなので到達温
度は相対的に低く記録層の融点を超えない温度である。
しかし、消去用光ビームの照射領域は広いため、蓄熱効
果により温度勾配がなだらかになって冷却速度が上記結
晶転移速度より遅くなり、結晶質が形成される。記録マ
ークは記録用光ビームの照射によって一旦溶融するが、
このときの熱は反射層方面に急速に拡散してしまうた
め、非晶質ないし微結晶状態を維持できる。従って、書
き換えの際には、照射前の状態が結晶質であっても非晶
質ないし微結晶であっても、記録用光ビーム照射部位は
全て非晶質ないし微結晶の記録マークとなり、また、消
去用光ビーム照射部位は全て結晶質となり、オーバーラ
イト記録が可能となる。なお、このようなオーバーライ
ト記録において、単一の光ビームを変調することによ
り、記録用光ビームと消去用光ビームとを照射すること
が可能である。
【0061】記録用光ビームは、パルス状に照射するこ
とが好ましい。一つの信号を少なくとも2回の照射で記
録することにより記録マークでの蓄熱が抑制され、記録
マーク後端部の膨れ(ティアドロップ現象)を抑えるこ
とができるので、C/Nが向上する。また、パルス状照
射により消去率も向上する。
【0062】なお、記録層が誘電体材料を含有する場合
でも、光ビーム照射による記録材料の変化は上記したと
おりである。
【0063】記録用光ビームのパワーPW 、消去用光ビ
ームのパワーPE の具体的値は実験的に決定することが
できるが、PW およびPE それぞれの好ましい範囲は以
下のようになる。図1の構成において記録層が記録材料
単独または誘電体材料を含むとき、PW は12mW以上、
E は4〜9mWである。図2の構成において記録層が記
録材料単独からなるとき、PW は30mW以上、PE は1
8〜25mWである。図2の構成において記録層が誘電体
材料を含むとき、PW は30mW以上、PE は20mW以上
である。
【0064】再生用光ビームは、記録層の結晶状態に影
響を与えない低パワーの光ビームである。
【0065】なお、非晶質ないし微結晶質からなる記録
マークは、結晶質の未記録部に比べ反射率が低くなる。
【0066】本発明の光記録媒体への記録に際し、記録
用光ビームに対する記録層の相対速度(相対線速度)
は、好ましくは1.0〜6.0m/s 、より好ましくは
1.2〜5.2m/s とする。相対速度が高すぎると、記
録時の記録層の冷却速度が速くなりすぎてAの拡散が不
十分となり、上記したAの濃度差を設けることが困難と
なる。
【0067】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。
【0068】射出成形によりグルーブを同時形成した直
径133mm、厚さ1.2mmのディスク状ポリカーボネー
ト基板2の表面に、下部誘電体層3、記録層4、上部誘
電体層5、反射層6および保護層7を形成し、図1の構
成を有する光記録ディスクサンプルNo. 1とした。グル
ーブは、幅0.6μm 、深さ400 A、ピッチ1.6μ
m とした。
【0069】下部誘電体層3は、ZnSおよびSiO2
をターゲットとしてスパッタ法により形成した。SiO
2 /(ZnS+SiO2 )は15モル%とした。下部誘
電体層の波長780nmにおける屈折率は、2.33であ
った。下部誘電体層3の厚さは1700 Aとした。
【0070】記録層4は2.2W/cm2 のパワーでRFス
パッタにより形成した。スパッタターゲットには、Sb
ターゲットの表面にAg、In、TeおよびVの各チッ
プを貼ったものを用いた。ICPにより測定した記録層
4の組成(原子比)は、Ag9.0 Sb59.5Te27.0In
4.00.5であった。記録層4の厚さは170 Aとし
た。
【0071】上部誘電体層5は、下部誘電体層3と同様
にして形成した。上部誘電体層5の厚さは170 Aとし
た。
【0072】反射層6はAuをターゲットに用いてスパ
ッタ法により形成し、厚さは1000A とした。保護層
7は、紫外線硬化型樹脂をスピンコート法により塗布
後、紫外線照射により硬化して形成した。硬化後の保護
層厚さは5μm であった。
【0073】サンプルに7.0mWのレーザー光を照射し
て、記録層を初期化(結晶化)した。
【0074】初期化後のサンプルNo. 1を線速度2.8
m/s で回転させながら、393kHzの信号(11T信
号)を記録し、その再生信号のC/Nを測定した。ま
た、記録部の反射率を測定し、変調度{(未記録部の反
射率−記録部の反射率)/未記録部の反射率}を算出し
た。この結果、サンプルNo. 1のC/Nは62 dB であ
り、変調度は72%であった。
【0075】また、初期化後のサンプルNo. 1を線速度
2.8m/s で回転させながら、周波数1440kHz の信
号でオーバーライトを行ない、消去率(記録後のC/N
−消去用光ビーム照射後のC/N)を求めた。この結
果、サンプルNo. 1の消去率は、33 dB であった。
【0076】また、初期化後のサンプルNo. 1を線速度
2.8m/s で回転させながら、393kHz の信号を連続
して記録し、C/Nが45 dB まで低下するまでの記録
回数および変調度が60%まで低下するまでの記録回数
を測定し、繰り返し記録特性を調べた。この結果、C/
Nについては50000回以上であり、変調度について
は5000回以上であった。
【0077】なお、記録用光ビームのパワーPW が12
mW付近でC/Nが頭打ちとなったため、上記各測定にお
けるPW は14.0mWとした。また、消去用光ビームの
パワーPE は6.0mW、再生用光ビームのパワーは1.
0mWとした。これらの光ビームの波長は、780nmとし
た。
【0078】次に、C/N測定のために記録を行なった
サンプルNo. 1の反射層を剥離した後、フッ酸に浸漬し
て下部誘電体層および上部誘電体層を溶解除去し、記録
層だけをフッ酸中から回収した。この記録層を、透過型
電子顕微鏡、EPMAおよびX線マイクロアナリシスに
より解析し、記録マークの組織構造および組成と、トラ
ック方向において記録マークに隣接する未記録部の組織
構造および組成とを調べた。記録マークは非晶質であ
り、未記録部の結晶質は、AgSbTe2 相、Sb相お
よびInTe相の混相であった。記録マークでの最大A
g濃度は7.0原子%、未記録部での最大Ag濃度は
9.0原子%であり、Agの濃度差は2.0原子%であ
った。記録マーク中央付近の組成は Ag7.0 Sb57.5Te31.0In4.00.5 であり、記録マークにおいてAgが選択的に減少してい
ることが確認された。
【0079】また、C/N測定のために記録を行なった
サンプルNo. 1を80℃・80%RHの環境下で保存
し、500時間保存後にC/Nおよび変調度を測定した
ところ、保存前と同一であった。そして、上記と同様に
して記録層だけを回収して透過型電子顕微鏡で解析した
ところ、記録マークの非晶質相に変化は認められなかっ
た。
【0080】<線速度による比較>サンプルNo. 1を用
い、記録時の線速度を7m/s としたときの記録特性およ
びAgの濃度差を測定した。この結果、C/Nは62 d
B 、変調度は76%であり、線速度が遅いときに比べC
/Nは同等、変調度はやや高くなった。しかし、消去率
が21 dB と著しく低下し、このため、繰り返し記録特
性が、C/Nについては200回、変調度については1
00回となり、著しく低下した。Agの濃度差は、0.
4原子%であり、本発明範囲を外れていた。そして、8
0℃・80%RHの環境下で500時間保存後には、C
/Nが37 dB 、変調度が51%まで低下していた。保
存後には、記録マークの非晶質相の一部が結晶化してお
り、AgSbTe2 相およびInTe相の析出がみられ
た。
【0081】<記録層厚さによる比較>記録層の厚さを
1000 Aとした以外はサンプルNo. 1と同様にして、
光記録ディスクサンプルNo. 2を作製した。このサンプ
ルについても、サンプルNo. 1と同様な測定および解析
を行なった。記録時の線速度は2.8m/s とした。この
結果、C/Nは58 dB 、変調度は68%であり、記録
層が薄いサンプルNo. 1よりも低くなった。また、繰り
返し記録特性は、C/Nについては150回、変調度に
ついては80回であり、繰り返し特性も低くなった。A
gの濃度差は、0.3原子%であり、本発明範囲を外れ
ていた。そして、80℃・80%RHの環境下で500
時間保存後には、C/Nが33 dB 、変調度が44%ま
で低下していた。保存後には、記録マークの非晶質相の
一部が結晶化していた。
【0082】<記録層のAg含有率による比較>記録層
の組成を Ag15.0Sb52.5Te28.0In4.00.5 とした以外はサンプルNo. 1と同様にして、光記録ディ
スクサンプルNo. 3を作製した。このサンプルについて
も、サンプルNo. 1と同様な測定および解析を行なっ
た。記録時の線速度は2.8m/s とした。この結果、C
/Nは60 dB 、変調度は69%であり、記録層のAg
含有率が低いサンプルNo. 1よりも低くなった。また、
繰り返し記録特性は、C/Nについては20000回、
変調度については3000回であり、繰り返し特性も低
くなった。Agの濃度差は、0.3原子%であり、本発
明範囲を外れていた。そして、80℃・80%RHの環
境下で500時間保存後には、C/Nが39 dB 、変調
度が51%まで低下していた。保存後には、記録マーク
の非晶質相の一部が結晶化していた。
【0083】なお、上記各サンプルにおいて、記録層の
Sbの少なくとも一部をBiに替えた場合でも、同等の
特性が得られたが、Bi置換量がSbの80原子%を超
えると、記録層の吸収係数が高くなって光学的に取り得
る結晶−非晶質間の反射率差が小さくなり、変調度が減
少してしまった。
【0084】上記各サンプルにおいて、Vの少なくとも
一部をTiに替えた場合でも、同等の特性が得られた。
また、Vの少なくとも一部を、Zr、Hf、Nb、T
a、Mn、WおよびMoの1種以上に替えた場合にも、
本発明の効果が認められた。また、Agの少なくとも一
部をAuに替えた場合は、Ag単独に比べ結晶化速度が
若干速くなったが、Vの添加量を増加することによって
Ag単独と同等の結果が得られた。
【0085】上記各サンプルにおいて、記録層にVを添
加しなかった場合、C/Nおよび変調度が低くなり、ま
た、保存後の特性も低くなったが、Agの濃度差に依存
した記録特性および信頼性の違いは同様であった。
【0086】以上の実施例の結果から、本発明の効果が
明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に用いる光記録媒体の構成例を示す部分
断面図である。
【図2】本発明に用いる光記録媒体の構成例を示す部分
断面図である。
【符号の説明】
1 光記録媒体 2 基板 3 下部誘電体層 31 高屈折率層 32 低屈折率層 4 記録層 5 上部誘電体層 6 反射層 7 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲葉 亮 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光記録媒体の記録層に光ビームを照射す
    ることにより記録マークを形成して情報の記録を行なう
    方法であって、 A(Aは、Agおよび/またはAuである)、B(B
    は、Sbおよび/またはBiである)およびC(Cは、
    Teおよび/またはSeである)を含む記録材料を含有
    する光記録媒体を用い、 記録マークが非晶質または微結晶質となり、未記録部が
    結晶質となり、未記録部におけるA濃度から記録マーク
    におけるA濃度を減じたAの濃度差が0.5原子%以上
    となるように記録を行なうことを特徴とする光記録方
    法。
  2. 【請求項2】 未記録部におけるA濃度から記録マーク
    におけるA濃度を減じたAの濃度差が5原子%以下とな
    るように記録を行なう請求項1の光記録方法。
  3. 【請求項3】 記録材料中のA含有率が3.0〜28原
    子%である請求項1または2の光記録方法。
  4. 【請求項4】 記録層の厚さが100〜500 Aである
    請求項1〜3のいずれかの光記録方法。
  5. 【請求項5】 光ビームに対する記録層の相対速度が
    1.0〜6.0m/s である請求項1〜4のいずれかの光
    記録方法。
  6. 【請求項6】 未記録部がABC2 相を含む請求項1〜
    5のいずれかの光記録方法。
  7. 【請求項7】 未記録部がB相を含む請求項6の光記録
    方法。
  8. 【請求項8】 記録材料がInを含み、未記録部がIn
    −C相を含む請求項6または7の光記録方法。
  9. 【請求項9】 記録材料が、M(Mは、Ti、Zr、H
    f、V、Nb、Ta、Mn、WおよびMoから選択され
    る少なくとも1種の元素である)を含む請求項1〜8の
    いずれかの光記録方法。
  10. 【請求項10】 記録材料が、 式 Aabc Inde (上記式においてa、b、c、dおよびeは原子比を表
    わし、 3.0≦a≦13.0、 45.0≦b≦87.0、 8.0≦c≦34.0、 2.0≦d≦ 8.0、 0 ≦e≦ 5.0、 a+b+c+d+e=100 である)で表わされる請求項1〜9のいずれかの光記録
    方法。
  11. 【請求項11】 記録材料のA中のAgの比率が50原
    子%以上である請求項1〜10のいずれかの光記録方
    法。
  12. 【請求項12】 記録材料のB中のSbの比率が50原
    子%以上である請求項1〜11のいずれかの光記録方
    法。
  13. 【請求項13】 記録材料のC中のTeの比率が50原
    子%以上である請求項1〜12のいずれかの光記録方
    法。
  14. 【請求項14】 請求項1〜13のいずれかの光記録方
    法に用いられることを特徴とする光記録媒体。
JP6087854A 1994-03-31 1994-03-31 光記録方法および光記録媒体 Expired - Fee Related JP2999916B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6087854A JP2999916B2 (ja) 1994-03-31 1994-03-31 光記録方法および光記録媒体
US08/400,765 US5523140A (en) 1994-03-31 1995-03-08 Optical recording method and medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6087854A JP2999916B2 (ja) 1994-03-31 1994-03-31 光記録方法および光記録媒体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07266704A true JPH07266704A (ja) 1995-10-17
JP2999916B2 JP2999916B2 (ja) 2000-01-17

Family

ID=13926479

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6087854A Expired - Fee Related JP2999916B2 (ja) 1994-03-31 1994-03-31 光記録方法および光記録媒体

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5523140A (ja)
JP (1) JP2999916B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003046899A1 (fr) * 2001-11-27 2003-06-05 Tdk Corporation Support et procede d'enregistrement optique
US6996041B2 (en) 2000-03-03 2006-02-07 Ricoh Company, Ltd. Optical recording medium recording longest mark at speed which half of lowest guaranteed speed for the recording medium

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2990036B2 (ja) * 1995-02-13 1999-12-13 ティーディーケイ株式会社 光記録媒体およびその製造方法
US5958649A (en) * 1995-03-27 1999-09-28 Hitachi, Ltd. Information recording medium and information memory apparatus
US5736657A (en) * 1995-03-31 1998-04-07 Ricoh Company, Ltd. Sputtering target
US6319368B1 (en) 1995-03-31 2001-11-20 Ricoh Company, Ltd. Sputtering target, method of producing the target, optical recording medium fabricated by using the sputtering target, and method of forming recording layer for the optical recording medium
US5889756A (en) * 1996-07-25 1999-03-30 Kabushiki Kaisha Toshiba Phase change optical recording medium
US6242157B1 (en) * 1996-08-09 2001-06-05 Tdk Corporation Optical recording medium and method for making
EP1396851B1 (en) * 1997-03-27 2007-02-21 Mitsubishi Kagaku Media Co., Ltd. Optical information recording medium
US5849458A (en) * 1997-04-11 1998-12-15 Eastman Kodak Company Recordable optical device including a barrier layer
US6191384B1 (en) 1998-05-05 2001-02-20 Tapematic S.P.A. Apparatus for trimming dye coated on a recordable disc substrate and related method
US6537721B2 (en) 1999-02-15 2003-03-25 Tdk Corporation Optical recording medium and method for its initialization
JP2000339751A (ja) * 1999-06-01 2000-12-08 Ricoh Co Ltd 相変化形光記録媒体
US7572517B2 (en) * 2002-07-08 2009-08-11 Target Technology Company, Llc Reflective or semi-reflective metal alloy coatings
TW200523914A (en) * 2004-01-15 2005-07-16 Daxon Technology Inc Phase change optical media and fabrication method thereof
US7235501B2 (en) 2004-12-13 2007-06-26 Micron Technology, Inc. Lanthanum hafnium oxide dielectrics
US7560395B2 (en) 2005-01-05 2009-07-14 Micron Technology, Inc. Atomic layer deposited hafnium tantalum oxide dielectrics
US7410910B2 (en) 2005-08-31 2008-08-12 Micron Technology, Inc. Lanthanum aluminum oxynitride dielectric films
US7563730B2 (en) 2006-08-31 2009-07-21 Micron Technology, Inc. Hafnium lanthanide oxynitride films
US7544604B2 (en) 2006-08-31 2009-06-09 Micron Technology, Inc. Tantalum lanthanide oxynitride films
US7605030B2 (en) 2006-08-31 2009-10-20 Micron Technology, Inc. Hafnium tantalum oxynitride high-k dielectric and metal gates
US7432548B2 (en) 2006-08-31 2008-10-07 Micron Technology, Inc. Silicon lanthanide oxynitride films
US7776765B2 (en) 2006-08-31 2010-08-17 Micron Technology, Inc. Tantalum silicon oxynitride high-k dielectrics and metal gates
US7759747B2 (en) 2006-08-31 2010-07-20 Micron Technology, Inc. Tantalum aluminum oxynitride high-κ dielectric

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5660419A (en) * 1979-10-23 1981-05-25 Minolta Camera Co Ltd Exposure control unit for flash photography
US5063097A (en) * 1988-12-16 1991-11-05 Toray Industries, Inc. Optical recording medium
JP2543230B2 (ja) * 1990-06-20 1996-10-16 松下電器産業株式会社 光学情報記録媒体
JP3032600B2 (ja) * 1991-02-21 2000-04-17 株式会社リコー 光情報記録媒体

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6996041B2 (en) 2000-03-03 2006-02-07 Ricoh Company, Ltd. Optical recording medium recording longest mark at speed which half of lowest guaranteed speed for the recording medium
US7336583B2 (en) 2000-03-03 2008-02-26 Ricoh Company, Ltd. Optical information recording medium and recording apparatus
US7440380B2 (en) 2000-03-03 2008-10-21 Ricoh Company, Ltd. Optical information recording medium and recording apparatus
US7539098B2 (en) 2000-03-03 2009-05-26 Ricoh Company, Ltd. Optical information recording medium and recording apparatus
WO2003046899A1 (fr) * 2001-11-27 2003-06-05 Tdk Corporation Support et procede d'enregistrement optique

Also Published As

Publication number Publication date
US5523140A (en) 1996-06-04
JP2999916B2 (ja) 2000-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2709887B2 (ja) 光記録媒体およびその製造方法
JP2999916B2 (ja) 光記録方法および光記録媒体
JP3150267B2 (ja) 光記録媒体
JP2990011B2 (ja) 光記録媒体
JP2990036B2 (ja) 光記録媒体およびその製造方法
JP3566743B2 (ja) 光記録媒体
JP3761287B2 (ja) 光記録媒体およびその製造方法
US6294310B1 (en) Optical information recording medium and optical recording method
JP3268157B2 (ja) 光記録媒体
JP4145446B2 (ja) 光記録媒体の使用方法
JP3190274B2 (ja) 光記録媒体およびその製造方法
EP1030292B1 (en) Optical recording medium and method for its initialization
JP3666854B2 (ja) 情報記録媒体およびその製造方法
JP2000229479A (ja) 光記録媒体
JPH10166738A (ja) 光記録材料および光記録媒体
JPH10241211A (ja) 光記録媒体の製造方法
JPH10199057A (ja) 光記録媒体の製造方法および光記録媒体
JP2827202B2 (ja) 光記録媒体
JPH10226173A (ja) 光記録媒体およびその製造方法
JP2001273673A (ja) 光記録媒体およびその製造方法
JPH11167722A (ja) 光記録媒体、その記録方法およびその記録装置
JP3729833B2 (ja) 情報記録媒体
JP4121231B2 (ja) 光記録媒体の初期化方法
JP2557407B2 (ja) 情報記録媒体
JP2001004568A (ja) 活性化エネルギー測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19991005

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees