JPH0726648Y2 - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988041112U JPH0726648Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988041112U JPH0726648Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01144810U JPH01144810U (US06566495-20030520-M00011.png) | 1989-10-04 |
JPH0726648Y2 true JPH0726648Y2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=31267563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988041112U Expired - Lifetime JPH0726648Y2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0726648Y2 (US06566495-20030520-M00011.png) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59157512A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 光学式位置検出装置 |
JPS59180614U (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-03 | キヤノン株式会社 | 自動焦点検出装置 |
JPS6082208U (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 被測定面の位置測定装置 |
JPH0718699B2 (ja) * | 1987-05-08 | 1995-03-06 | 株式会社ニコン | 表面変位検出装置 |
-
1988
- 1988-03-30 JP JP1988041112U patent/JPH0726648Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01144810U (US06566495-20030520-M00011.png) | 1989-10-04 |
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