JPH07263292A - ガス漏れ監視システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガスセンサ／配線等の取り付け／取り外し工
事を不要とし、少ないガスセンサ数でガス漏れ発生場所
の特定を迅速に行うことが可能で、ガス漏れ発生時の人
的、物的被害を最小にすることが可能なガス漏れ監視シ
ステムを提供する。 【構成】 ダウンフロー方式循環空調を行うクリーンル
ームのガス漏れを監視するガス漏れ監視システムにおい
て、グレーティングの下部に配設され、所定の間隔で第
１のガス吸引穴が穿設された複数本の第１のガス吸引パ
イプと、前記各第１のガス吸引パイプとその第１のガス
吸引穴の付近でそれぞれ交差して配設され、その各交差
箇所に第２のガス吸引穴が穿設された複数本の第２のガ
ス吸引パイプと、前記各第１及び第２のガス吸引パイプ
の一端部にそれぞれ配された複数のガスセンサと、前記
各ガスセンサからのアラーム信号とガス濃度によりガス
漏れ発生位置を特定するガス漏れ位置特定手段とを備え
たことにある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子の製造等を
行うクリーンルームのガス漏れ監視システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の製造は、ダストの発生や不
純物の混入を抑制するために密閉構造のクリーンルーム
内で行われ、そのクリーンルームの空調は図４に示すよ
うにダウンフロー方式循環空調が採用されている。

【０００３】図４において、このクリーンルーム１００
の下部にはグレーティング１０１が設けられている。グ
レーティング１０１は、空調のための穴が多数穿設され
たダウンフロー構造の床板であり、その上にオペレータ
によって操作される半導体素子製造装置（以下、単に製
造装置という）１０２，１０３が設置されている。この
クリーンルーム１００は、送風機１０７によりフィルタ
１０４を通過してクリーンルーム１００内に送り込まれ
た空気が、グレーティング１０１を通り抜けて再度送風
機１０７でクリーンルーム１００内に送り込まれるダウ
ンフロー方式の循環空調が行われている。

【０００４】一方、クリーンルーム１００内に設置され
た製造装置１０２，１０３は、有毒ガス／可燃性ガスを
使用するものが多く、万一のガス漏れ発生時には、上述
のような密閉構造と循環式空調のクリーンルーム環境下
では、その被害が甚大となる傾向がある。そのため、各
製造装置１０２，１０３やその付属装置あるいはオペレ
ータ１０８の作業エリアには、ガス漏れを検出する吸引
式ガスセンサ１０９，１１０，１１１がガス種毎に装備
されている。

【０００５】そして、これらのガスセンサ１０９，１１
０，１１１は、ガス漏れ監視コンピュータ１２１に電気
的に接続され、加えてガス漏れ監視コンピュータ１２１
には警報機１２２、ガスバルブ遮断装置１２３及び製造
装置緊急停止装置１２４が接続されている。

【０００６】このようなガス漏れ監視システムが設けら
れたクリーンルーム１００において、例えば、製造装置
１０２でガス漏れが発生した場合には、ガス漏れ監視コ
ンピュータ１２１は、ガスセンサ１０９でガス漏れを検
出し、さらに警報機１２２によってガス漏れ発生を表示
すると共に、ガスバルブ遮断装置１２３により、製造装
置１０２へのガスの供給を止め、また製造装置１０２の
稼働に問題があると判断した場合は、製造装置緊急停止
装置１２４に指示して製造装置１０２の作動を停止する
などの処理を行う。

【０００７】このガス漏れ監視コンピュータ１２１には
手動遮断スイッチも設けられ、この手動遮断スイッチを
人の判断により操作し、全ガス供給元バルブを遮断する
機能も有している。

【０００８】また、製造装置１０２，１０３にガスセン
サ１０９，１１０がそれぞれ設置されていても、完全に
密閉されたガスボンベストッカなどとは異なり、製造装
置１０２，１０３では密閉性が低いため、ガス漏れ発生
時には製造装置外のクリーンルーム作業環境に有毒ガス
が漏洩する場合や、他にも製造装置１０２，１０３やボ
ンベストッカ以外の配管等でガス漏れが発生する場合も
ある。

【０００９】そこで、クリーンルーム１００は循環式空
調であって、室内でガス漏れが発生した場合はリターン
口１０５から排出されることから、リターン口１０５に
当該クリーンルーム１００で使用されるガス種類全ての
ガスセンサ１１２を設置し、クリーンルーム１００内で
のガス漏れを総合的にモニタすることも行われている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のガス漏れ監視システムでは次のような問題点があっ
た。 （１）各製造装置内にガスセンサを設置するに際し、製
造装置の搬入／搬出毎にガスセンサを取り付け／取り外
しを行わなければならないため、その工事に多大な費用
を要するばかりか、配線の度重なる変更がガス漏れ監視
システムの信頼性を低下させる要因ともなっていた。 （２）リターン口１０５に取り付けられたガスセンサ１
１２でガス漏れが発生した部屋の特定は可能であるが、
部屋内では製造装置と一部の作業エリアのみにガスセン
サが設置されているだけなので、ガスセンサがない場所
でのガス漏れは、発生場所の特定に時間がかかり被害を
大きくしていた。 （３）ガス漏れ位置を特定するためには、一定間隔でガ
スセンサを配置する必要があるが、ダウンフロー方式循
環空調を採用しているクリーンルームでは、漏洩ガスが
横方向へはほとんど広がらないため、多大なガスセンサ
を配置しなければならず、費用やメンテナンスの点で実
現が困難であった。 （４）ガス漏れが発生した場合に、ガス漏れが発生した
場所が不明であるため、該当する区域やクリーンルーム
全体のガス供給元バルブを遮断したり、あるいはその中
の製造装置の緊急停止を行う必要がある。そのため、軽
微なガス漏れ発生時には、直接関係のない区域までガス
供給元バルブの遮断や製造装置の停止が行われることに
なり、半導体素子の製造に大きな悪影響が生じていた。

【００１１】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、製造装置の搬
入／搬出に伴うガスセンサ／配線等の取り付け／取り外
し工事を不要とするガス漏れ監視システムを提供するこ
とである。また、その他の目的は、少ないガスセンサ数
でガス漏れ発生場所の特定を迅速に行うことが可能なガ
ス漏れ監視システムを提供することである。さらにその
他の目的は、ガス漏れ発生時の人的、物的被害を最小に
することが可能なガス漏れ監視システムを提供すること
である。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明の特徴は、ガス使用機器が設置されるダ
ウンフロー構造のグレーティングを有しダウンフロー方
式循環空調を行うクリーンルームのガス漏れを監視する
ガス漏れ監視システムにおいて、前記グレーティングの
下部に配設され、所定の間隔で第１のガス吸引穴が穿設
された複数本の第１のガス吸引パイプと、前記各第１の
ガス吸引パイプとその第１のガス吸引穴の付近でそれぞ
れ交差して配設され、その各交差箇所に第２のガス吸引
穴が穿設された複数本の第２のガス吸引パイプと、前記
各第１及び第２のガス吸引パイプの一端部にそれぞれ配
された複数のガスセンサと、前記各ガスセンサからのア
ラーム信号とガス濃度によりガス漏れ発生位置を特定す
るガス漏れ位置特定手段とを備えたことにある。

【００１３】上記目的を達成するために、第２の発明の
特徴は、ガス使用機器が設置されるダウンフロー構造の
グレーティングを有しダウンフロー方式循環空調を行う
クリーンルームのガス漏れを監視するガス漏れ監視シス
テムにおいて、前記グレーティングの下部に配設され、
各々の先端同士が所定の距離を置くように長さの異なる
複数本の第１のガス吸引パイプを束ねて構成された複数
の第１のガス吸引パイプ群と、各々の先端同士が所定の
距離を置くように長さの異なる複数本の第２のガス吸引
パイプを束ねて構成され、該各第２のガス吸引パイプの
先端が該第１のガス吸引パイプの先端付近にそれぞれ位
置するように前記各第１のガス吸引パイプ群の交差方向
に配設された複数の第２のガス吸引パイプ群と、前記各
第１及び第２のガス吸引パイプ群の一端部にそれぞれ配
された複数のガスセンサと、前記各ガスセンサからのア
ラーム信号とガス濃度によりガス漏れ発生位置を特定す
るガス漏れ位置特定手段とを備えたことにある。

【００１４】また、上述の第１または第２の発明におい
て、前記ガス漏れ位置特定手段は、少なくとも前記各ガ
スセンサの設置位置及びガス漏れ検出エリアに関する配
置データを登録していることが望ましい。

【００１５】

【作用】上述の如き構成の第１の発明によれば、ガス漏
れ発生時において、ダウンフロー方式循環空調が漏洩ガ
スが横方向にほとんど広がらないことを利用し、漏洩ガ
スはガス漏れ発生位置付近の第１及び第２のガス吸引穴
から該当する第１及び第２のガス吸引パイプへ吸い込ま
れる。そして、その第１及び第２のガス吸引パイプに取
り付けられている複数のガスセンサからのアラーム信号
とガス濃度により、ガス漏れ位置特定手段は、例えば予
め登録されているガスセンサの設置位置及びガス漏れ検
出エリアに関する配置データを参照にしてガス漏れ発生
位置を特定する。

【００１６】上述の如き構成の第２の発明によれば、ガ
ス漏れ発生時において、漏洩ガスはガス漏れ発生位置付
近の第１及び第２のガス吸引パイプの先端から吸い込ま
れ、これに該当する第１及び第２のガス吸引パイプ群に
取り付けられている複数のガスセンサからのアラーム信
号とガス濃度により、ガス漏れ位置特定手段は、例えば
予め登録されているガスセンサの設置位置及びガス漏れ
検出エリアに関する配置データを参照にしてガス漏れ発
生位置を特定する。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明の第１実施例に係るガス漏れ監視
システムを備えたクリーンルームの断面図である。

【００１８】図１において、従来と同様にクリーンルー
ム１の下部には、ダンフロー構造のグレーティング２が
設けられ、そのグレーティング２の上には、製造装置
３，４が設置されている。また、クリーンルーム１の天
井部には空調用のフィルタ５が取り付けられ、前記グレ
ーティング２の下部の空調リターン口６から前記フィル
タ５の上部に亘って空調リターンダクト７が設けられて
いる。また、その空調リターンダクト７の途中には送風
機８が設けられている。なお、クリーンルーム１内の製
造装３，４はオペレータ９によって操作される。

【００１９】本実施例のクリーンルーム１は、従来と同
様に、送風機８によってフィルタ５を通過してクリーン
ルーム１内に送り込まれた空気が、グレーティング２を
通り抜けて再度送風機８でクリーンルーム１内に送り込
まれるダウンフロー方式の循環空調を行うようになって
いる。

【００２０】一方、前記グレーティング２の下部には、
図２に示すように、第１のガス吸引パイプ２１〜２５が
所定間隔を置いて５列配置され、その第１のガス吸引パ
イプ２１〜２５上に直交して第２のガス吸引パイプ３１
〜３５が５列配置されている。

【００２１】そして、第１のガス吸引パイプ２１〜２５
の上部には、それぞれ５個ずつ第１のガス吸引穴２１ａ
〜２１ｅ，２２ａ〜２２ｅ，２３ａ〜２３ｅ，２４ａ〜
２４ｅ，２５ａ〜２５ｅが所定の間隔を置いて穿設さ
れ、同様に第２のガス吸引パイプ３１〜３５の上部に
も、それぞれ５個ずつ第２のガス吸引穴３１ａ〜３１
ｅ，３２ａ〜３２ｅ，３３ａ〜３３ｅ，３４ａ〜３４
ｅ，３５ａ〜３５ｅが所定の間隔を置いて穿設されてい
る。そして、これらの第１及び第２のガス吸引穴２１ａ
〜２５ｅ，３１ａ〜３５ｅが、第１と第２のガス吸引パ
イプ２１〜２５，３１〜３５の交差箇所付近に位置する
ようになっている。

【００２２】各々の交差箇所付近の雰囲気は、第１及び
第２のガス吸引穴２１ａ〜２５ｅ，３１ａ〜３５ｅから
吸い込まれ、各第１及び第２のガス吸引穴２１ａ〜２５
ｅ，３１ａ〜３５ｅからの雰囲気取り込み量が等しくな
るように、各吸引穴径は異なって設定されている。これ
は、各ガス吸引穴からの雰囲気取り込み量が異なると、
同量のガスが漏洩した場合でも、場所によってガスセン
サが検知するガス濃度が変化し、ガス漏れ検出感度が場
所によって異なってしまう点を考慮したためである。こ
れによって、各ガス吸引穴２１ａ〜２５ｅ，３１ａ〜３
５ｅからの吸引ガスの配管抵抗は同じ値になる。

【００２３】さらに、第１と第２のガス吸引パイプ２１
〜２５，３１〜３５はクリーンルーム１の外部に延設さ
れており、その各一端部にはそれぞれ吸引式ガスセンサ
４１〜４５，５１〜５５が取り付けられ、それらガスセ
ンサ４１〜４５，５１〜５５がガス漏れ監視コンピュー
タ６１に電気的に接続されている。

【００２４】ガスセンサ４１〜４５，５１〜５５は、Ｚ
ｎＯやＳｎＯ₂ などの半導体薄膜の電気抵抗がガスの導
入によって変化する現象を利用してガスを検知するもの
であり、ガス濃度に応じた電気信号をアラーム信号とし
てガス漏れ監視コンピュータ６１へ供給するようになっ
ている。

【００２５】ガス漏れ監視コンピュータ６１には、各ガ
スセンサ４１〜４５，５１〜５５の設置位置や検出エリ
ア等に関する配置データが予め記憶されている。即ち、
本実施例では、各５列の第１及び第２のガス吸引パイプ
２１〜２５，３１〜３５を配置しているので、クリーン
ルーム１内の検出エリアは５×５の２５ゾーンに分割さ
れている。

【００２６】そして、ガス漏れ監視コンピュータ６１
は、各ガスセンサ４１〜４５，５１〜５５からのアラー
ム信号を受取り、前記配置データを参照してガス漏れ発
生地点を判断する機能を有するほか、各ガスセンサから
のアラーム信号の強弱を比較することによりガス濃度を
比較する機能が設けられている。

【００２７】さらに、ガス漏れ監視コンピュータ６１に
は、警報機６２、ガスバルブ遮断装置６３及び製造装置
緊急停止装置６４が電気的に接続され、これらの機器が
ガス漏れ監視コンピュータ６１の指示により作動するよ
うになっている。

【００２８】なお、図１の第１のガス吸引パイプの図示
の部分は、簡略化のため図２に示す第１のガス吸引パイ
プ２３の長手方向に沿った断面を示している。

【００２９】次に、以上のように構成されるガス漏れ監
視システムの動作を説明する。例えば、図２の左上部付
近でガス漏れが発生した場合は、その位置のグレーティ
ング２の下部に設置された第１のガス吸引パイプ２１の
第１のガス吸引穴２１ａから漏洩ガスが吸い込まれる。
すると、ガスセンサ４１はガス漏れを検知してアラーム
信号を発し、このアラーム信号がガス漏れ監視コンピュ
ータ６１へ供給される。同様にほぼ同じ位置に第２のガ
ス吸引穴３１ａを有する第２のガス吸引パイプ３１のガ
スセンサ５１もアラーム信号をガス漏れ監視コンピュー
タへ出力する。

【００３０】ダウンフロー方式の循環空調では、漏洩ガ
スは横方向にはほとんど広がらないため、他のガス吸引
穴を通して他のガス吸引穴パイプに入ることは少なく、
従って通常は他のガスセンサが反応することはない。従
って、ガス漏れ監視コンピュータ６１は、ガスセンサ４
１，５１からアラーム信号を受け取り、記憶しているこ
の第１及び第２のガス吸引パイプ２１，３１の配置デー
タから、ガス漏れ発生場所は図２の左上部と判断し、ガ
ス漏れが特定される。

【００３１】しかし、高濃度のガスが漏洩した場合は、
３か所以上のガスセンサからアラーム信号が発生する可
能性があり、その場合は、各センサのガス濃度を比較し
て最高濃度を示した所がガス漏れ地点であると特定す
る。

【００３２】こうしてガス漏れ発生場所が特定される
と、ガス漏れ監視コンピュータ６１は、警報機６２によ
り作業者への適切な指示（避難など）を行うと共に、こ
の位置に設置されている製造装置に関する配置データに
より、ガスバルブ遮断装置６３に指示して該当するガス
供給元のバルブ遮断を行う。さらに、製造装置可動状況
及びガス使用状況により判断して、製造装置緊急停止装
置６４に指示してガス漏れの発生した製造装置を安全に
停止させる。

【００３３】このように本実施例では、各５列の第１及
び第２のガス吸引パイプ２１〜２５，３１〜３５を配置
しているので、クリーンルーム１を５×５の２５ゾーン
に分割して、どの位置でガス漏れが発生したかを特定す
ることが可能である。従来、２５ゾーンでのガス漏れ位
置を特定する場合は２５個のガスセンサを必要とした
が、本実施例では１０個で済むため、ガスセンサの設置
費用、メンテナンスに要する費用を大幅に削減すること
ができる。特に、クリーンルームの部屋が大型化し、ゾ
ーン数を増加したい場合にその効果は一層顕著となる。
即ち、１０×１０列の１００ゾーンの場合では、２０個
のガスセンサで済み、従来に比べて８０個の削減するこ
とができる。

【００３４】従来では数百個のガスセンサが必要となる
ため実質上設置することができなかった大規模なクリー
ンルームにおいても、ガスセンサを設置することが可能
となるため、大規模クリーンルームにおけるガス漏れ発
生時の迅速な対応が実施できるようになる。

【００３５】また、本実施例では、製造装置３，４を設
置する前に既に第１及び第２のガス吸引パイプ２１〜２
５，３１〜３５がグレーティング２の下部に施設されて
いるため、従来のような製造装置の搬出／搬入毎の製造
装置へのガスセンサの取り付け／取り外し作業が不要と
なり、工事費の削減と、度重なる変更作業によるシステ
ムの信頼性の低下も防止することができる。

【００３６】さらに、ガスセンサは、通常、半年毎にメ
ンテナンスが必要となっているが、クリーンルーム内の
各製造装置にばらばらに設置されいてた従来とは異な
り、クリーンルーム１の外部の指定位置に設置されてい
るため、そのメンテナンスが極めて容易となり、メンテ
ナンス費用を削減することができる。

【００３７】また、本実施例では、ガス漏れ発生場所を
的確に特定することができるので、直接関係のない区域
までのガス供給元バルブの遮断や製造装置の停止を行わ
ないでも済み、半導体素子の製造工程において製品の被
害を最小にすることができる。

【００３８】なお、本実施例では、各５列の第１及び第
２のガス吸引パイプ２１〜２５，３１〜３５を交差配置
して２５ゾーンに分割した場合を示したが、この列数に
制限はなく、また第１及び第２のガス吸引パイプの各列
数が異なっても構わない。

【００３９】さらに、本実施例では、各ガス吸引穴から
の雰囲気取り込み量を一定するために、ガス吸引穴の穴
径を変化させるようにしたが、これ以外に例えば雰囲気
取り込み量を一定するための治具を設置するようにして
もよい。

【００４０】図３は、本発明の第２実施例に係るガス漏
れ監視システムを備えたクリーンルームの要部平面図で
あり、上記第１実施例の図２に対応したクリーンルーム
下部のガス吸引パイプ構造を示すものである。

【００４１】本実施例のグレーティング２の下部には、
各々の先端同士が所定の距離を置くように長さの異なる
４本の第１のガス吸引パイプ７１ａ〜７１ｄを束ねて構
成された第１のガス吸引パイプ群７１が設置され、これ
と同一構成の第１のガス吸引パイプ７２ａ〜７２ｄから
構成された第１のガス吸引パイプ群７２、第１のガス吸
引パイプ７３ａ〜７３ｄから構成された第１のガス吸引
パイプ群７３、及び第１のガス吸引パイプ７４ａ〜７４
ｄから構成された第１のガス吸引パイプ群７４が所定の
間隔を隔てて平行に配設されている。

【００４２】さらに、この第１のガス吸引パイプ群７１
〜７４と直交する方向に、これと同一構成の第２のガス
吸引パイプ群８１〜８４が配設されている。第２のガス
吸引パイプ群８１は、第２のガス吸引パイプ８１ａ〜８
１ｄから構成され、同様にして第２のガス吸引パイプ群
８２は第２のガス吸引パイプ８２ａ〜８２ｄ、第２のガ
ス吸引パイプ群８３は第２のガス吸引パイプ８３ａ〜８
３ｄ、及び第２のガス吸引パイプ群８４は第２のガス吸
引パイプ８４ａ〜８４ｄから構成されている。そして、
前記第１と第２のガス吸引パイプとは、その各先端が互
いに近接するように配置されている。

【００４３】また、第１と第２のガス吸引パイプ群７１
〜７４，８１〜８４の各一端部には、吸引式ガスセンサ
９１〜９８がそれぞれ取り付けられ、そのガスセンサ９
１〜９８がガス漏れ監視コンピュータ６１に電気的に接
続されている。

【００４４】そして、各々の第１及び第２のガス吸引パ
イプ群７１〜７４，８１〜８４を構成する第１及び第２
のガス吸引パイプの先端部から雰囲気が吸い込まれる。
本実施例においても上記第１実施例と同様に雰囲気取り
込み量が等しくなるように、各第１と第２のガス吸引パ
イプの直径等に変化を持たせるようにする。

【００４５】このように構成しても、上記第１実施例と
同様の作用効果を有する。

【００４６】なお、上記第１及び第２実施例では、説明
を簡略にするためガスの種類を１種類としたが、これは
複数種であってもよく、この場合は、第１及び第２のガ
ス吸引パイプ２１〜２５，３１〜３５、あるいは第１と
第２のガス吸引パイプ群７１〜７４，８１〜８４の各一
端部に該当する各種ガスセンサをそれぞれ取り付けるよ
うにする。

【００４７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように第１及び第２
の発明によれば、次のような効果を有する。 （１）従来のゾーン毎にガスセンサを配した場合に比
べ、より少ないガスセンサで同様のガス漏れ位置特定の
機能を有することができるので、ガスセンサの設置費
用、メンテナンスに要する費用を大幅に削減することが
できる。さらに、工事費の削減と、度重なる変更作業に
よるシステムの信頼性の低下も防止することができる。 （２）ガス漏れ発生場所を的確に特定することができる
ので、ガス漏れ発生時の迅速な対応が実施できる。これ
により、直接関係のない区域までのガス供給元バルブの
遮断や製造装置の停止を行わないでも済み、製造工程に
おいて製品の被害を最小にすることができると共に、適
切な避難指示を行えるため、人的被害も最小にすること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るガス漏れ監視システ
ムを備えたクリーンルームの断面図である。

【図２】第１実施例のクリーンルームの要部平面図であ
る。

【図３】本発明の第２実施例に係るガス漏れ監視システ
ムを備えたクリーンルームの要部平面図である。

【図４】従来のガス漏れ監視システムを備えたクリーン
ルームの断面図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ２ グレーティング ３，４ 製造装置 ２１〜２５ 第１のガス吸引パイプ ３１〜３５ 第２のガス吸引パイプ ２１ａ〜２５ｅ 第１のガス吸引穴 ３１ａ〜３５ｅ 第２のガス吸引穴 ４１〜４５，５１〜５５ ガスセンサ ６１ ガス漏れ監視コンピュータ ７１〜７４ 第１のガス吸引パイプ群 ７１ａ〜７４ｄ 第１のガス吸引パイプ ８１〜８４ 第２のガス吸引パイプ群 ８１ａ〜８４ｄ 第２のガス吸引パイプ ９１〜９８ ガスセンサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大中原 忍 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１ 株式会 社東芝多摩川工場内 (72)発明者 千葉 恵里子 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１ 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内 (72)発明者 雨宮 誠 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１ 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス使用機器が設置されるダウンフロー
   構造のグレーティングを有しダウンフロー方式循環空調
   を行うクリーンルームのガス漏れを監視するガス漏れ監
   視システムにおいて、 前記グレーティングの下部に配設され、所定の間隔で第
   １のガス吸引穴が穿設された複数本の第１のガス吸引パ
   イプと、 前記第１のガス吸引穴の付近で前記各第１のガス吸引パ
   イプとそれぞれ交差して配設され、その各交差箇所に第
   ２のガス吸引穴が穿設された複数本の第２のガス吸引パ
   イプと、 前記各第１及び第２のガス吸引パイプの一端部にそれぞ
   れ配された複数のガスセンサと、 前記各ガスセンサからのアラーム信号とガス濃度により
   ガス漏れ発生位置を特定するガス漏れ位置特定手段とを
   備えたことを特徴とするガス漏れ監視システム。
2. 【請求項２】 ガス使用機器が設置されるダウンフロー
   構造のグレーティングを有しダウンフロー方式循環空調
   を行うクリーンルームのガス漏れを監視するガス漏れ監
   視システムにおいて、 前記グレーティングの下部に配設され、各々の先端同士
   が所定の距離を置くように長さの異なる複数本の第１の
   ガス吸引パイプを束ねて構成された複数の第１のガス吸
   引パイプ群と、 各々の先端同士が所定の距離を置くように長さの異なる
   複数本の第２のガス吸引パイプを束ねて構成され、該各
   第２のガス吸引パイプの先端が前記第１のガス吸引パイ
   プの先端付近にそれぞれ位置するように前記各第１のガ
   ス吸引パイプ群の交差方向に配設された複数の第２のガ
   ス吸引パイプ群と、 前記各第１及び第２のガス吸引パイプ群の一端部にそれ
   ぞれ配された複数のガスセンサと、 前記各ガスセンサからのアラーム信号とガス濃度により
   ガス漏れ発生位置を特定するガス漏れ位置特定手段とを
   備えたことを特徴とするガス漏れ監視システム。
3. 【請求項３】 前記ガス漏れ位置特定手段は、少なくと
   も前記各ガスセンサの設置位置及びガス漏れ検出エリア
   に関する配置データを登録していることを特徴とする請
   求項１または請求項２記載のガス漏れ監視システム。