JPH07260420A - 斜入射干渉計 - Google Patents
斜入射干渉計Info
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- JPH07260420A JPH07260420A JP6074219A JP7421994A JPH07260420A JP H07260420 A JPH07260420 A JP H07260420A JP 6074219 A JP6074219 A JP 6074219A JP 7421994 A JP7421994 A JP 7421994A JP H07260420 A JPH07260420 A JP H07260420A
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 １画面の干渉縞だけでのワンステップ位相シ
フト法を可能とし、測定サンプルの三次元形状の容易な
算出を行う。 【構成】 レーザ発振装置１からのレーザ光をミラー３
で反射し、測定サンプル６に斜めに入射させる。基準面
となるプリズム４の底面４ａからの反射光と、測定サン
プル６からの反射光との干渉縞により測定するとき、プ
リズム４を傾けて基準面に傾き情報を与えて空間キャリ
ア周波数を与え、ワンステップ位相シフト法を可能とす
る。
フト法を可能とし、測定サンプルの三次元形状の容易な
算出を行う。 【構成】 レーザ発振装置１からのレーザ光をミラー３
で反射し、測定サンプル６に斜めに入射させる。基準面
となるプリズム４の底面４ａからの反射光と、測定サン
プル６からの反射光との干渉縞により測定するとき、プ
リズム４を傾けて基準面に傾き情報を与えて空間キャリ
ア周波数を与え、ワンステップ位相シフト法を可能とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光波干渉を利用するこ
とにより非接触で三次元形状を測定する干渉計に関す
る。
とにより非接触で三次元形状を測定する干渉計に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光波干渉による三次元計測では二次元に
広げたレーザ光等を何らかの方法で二光波に分け、一方
を参照光としてミラーなどの基準面で反射させ、もう一
方の光波を測定光として測定したいサンプルで反射さ
せ、両者を再び重ね合わせることによって干渉縞が生じ
る。
広げたレーザ光等を何らかの方法で二光波に分け、一方
を参照光としてミラーなどの基準面で反射させ、もう一
方の光波を測定光として測定したいサンプルで反射さ
せ、両者を再び重ね合わせることによって干渉縞が生じ
る。
【０００３】図３は従来より用いられているトワイマン
・グリーン干渉計を示す。同図において１０１はレーザ
発振装置、１０２は参照ミラー、１０３は測定サンプ
ル、１０４は半透過ミラー、１０５は位相シフトを行う
ための位相シフタとして参照ミラー１０２を動かすため
のピエゾアクチュエータ、１０６はカメラで結像させる
ためのレンズ、１０７は得られた干渉縞を検出するため
のＣＣＤカメラ、１０８はレーザ光を広げた後、平行光
にするビームエキスパンダである。
・グリーン干渉計を示す。同図において１０１はレーザ
発振装置、１０２は参照ミラー、１０３は測定サンプ
ル、１０４は半透過ミラー、１０５は位相シフトを行う
ための位相シフタとして参照ミラー１０２を動かすため
のピエゾアクチュエータ、１０６はカメラで結像させる
ためのレンズ、１０７は得られた干渉縞を検出するため
のＣＣＤカメラ、１０８はレーザ光を広げた後、平行光
にするビームエキスパンダである。
【０００４】前記レーザ発振装置１０１からのレーザ光
はビームエキスパンダ１０８によって広げられた上で平
行光となり、半透過ミラー１０４によって２光波に分け
られる。一方の光波は参照光として参照ミラー１０２に
よって反射し、この反射光が半透過ミラー１０４を透過
する。他方の光波は半透過ミラー１０４を透過して測定
サンプル１０３で反射するが、このとき測定サンプル１
０３の形状に応じた位相差δを有し、半透過ミラー１０
４で反射する。そして、これらの光波が干渉して干渉縞
画像を形成し、ＣＣＤカメラ１０７で検出される。この
画像データはコンピュータに送られ三次元情報として算
出される。ここで光強度Ｉは数１により算出される。数
１において、δは測定サンプルの表面形状によって生じ
る位相、φは初期位相である。
はビームエキスパンダ１０８によって広げられた上で平
行光となり、半透過ミラー１０４によって２光波に分け
られる。一方の光波は参照光として参照ミラー１０２に
よって反射し、この反射光が半透過ミラー１０４を透過
する。他方の光波は半透過ミラー１０４を透過して測定
サンプル１０３で反射するが、このとき測定サンプル１
０３の形状に応じた位相差δを有し、半透過ミラー１０
４で反射する。そして、これらの光波が干渉して干渉縞
画像を形成し、ＣＣＤカメラ１０７で検出される。この
画像データはコンピュータに送られ三次元情報として算
出される。ここで光強度Ｉは数１により算出される。数
１において、δは測定サンプルの表面形状によって生じ
る位相、φは初期位相である。
【０００５】
【数１】
【０００６】このときの測定サンプルの高さｈは数２で
表わされる関係を有している。数２において、λはレー
ザ光の波長である。
表わされる関係を有している。数２において、λはレー
ザ光の波長である。
【０００７】
【数２】
【０００８】このようにして得られる干渉縞の明線また
は暗線はサンプル形状の等高線であるが、これだけでは
コンピュータによって、面の凹凸の判別と縞の間の高さ
情報を得ることができない。そこで位相シフト法を従来
より用いている。この位相シフト法はピエゾアクチュエ
ータなどの電歪素子によって参照ミラー１０２を既知の
量移動させて、測定サンプル１０３の高さｈに対応した
位相δを最小自乗法によって求めるものである。なお、
かかる参照ミラー１０２の移動は数１における初期位相
φを変化させるものであるが、φが０、π／２、π、３
／２πとなる４ステップ法が一般的に用いられている。
この一般的な４ステップ法によると位相δは数３で表わ
される関係を有する。数３において、Ｉ0 ，Ｉ1 ，
Ｉ3 ，Ｉ4 はそれぞれφが０，π／２，π，３／２πに
おける光強度である。
は暗線はサンプル形状の等高線であるが、これだけでは
コンピュータによって、面の凹凸の判別と縞の間の高さ
情報を得ることができない。そこで位相シフト法を従来
より用いている。この位相シフト法はピエゾアクチュエ
ータなどの電歪素子によって参照ミラー１０２を既知の
量移動させて、測定サンプル１０３の高さｈに対応した
位相δを最小自乗法によって求めるものである。なお、
かかる参照ミラー１０２の移動は数１における初期位相
φを変化させるものであるが、φが０、π／２、π、３
／２πとなる４ステップ法が一般的に用いられている。
この一般的な４ステップ法によると位相δは数３で表わ
される関係を有する。数３において、Ｉ0 ，Ｉ1 ，
Ｉ3 ，Ｉ4 はそれぞれφが０，π／２，π，３／２πに
おける光強度である。
【０００９】
【数３】
【００１０】次に図４は斜入射による干渉縞を得るため
従来より用いられているアブラムソン干渉計を示す。同
図において、２０１はレーザ発振装置、２０２はレーザ
光を広げ平行光にするビームエキスパンダ、２０３は斜
入射を行うためのミラー、２０４はプリズム、２０５は
測定サンプル、２０６はスクリーン、２０７はＣＣＤカ
メラ、２０８はＣＣＤカメラ２０７からのデータをコン
ピュータに転送するためのＡ／Ｄコンバータ、２０９は
コンピュータである。この場合の基準面はプリズム２０
４の底面２０４ａである。
従来より用いられているアブラムソン干渉計を示す。同
図において、２０１はレーザ発振装置、２０２はレーザ
光を広げ平行光にするビームエキスパンダ、２０３は斜
入射を行うためのミラー、２０４はプリズム、２０５は
測定サンプル、２０６はスクリーン、２０７はＣＣＤカ
メラ、２０８はＣＣＤカメラ２０７からのデータをコン
ピュータに転送するためのＡ／Ｄコンバータ、２０９は
コンピュータである。この場合の基準面はプリズム２０
４の底面２０４ａである。
【００１１】レーザ発振装置２０１からのレーザ光はビ
ームエキスパンダ２０２によって広げられた上で平行光
となり、プリズム２０４への斜入射を行うためミラー２
０３に斜め入射される。この光がプリズム２０４に入射
し、光線の一部はプリズム２０４の底面２０４ａで反射
する。一方、プリズム２０４を透過した光は、測定サン
プル２０５で反射し、この反射の際にサンプル２０５の
形状に応じた位相差δを有し、再びプリズム２０４に戻
り、プリズム２０４の底面２０４ａでの反射光と干渉し
てスクリーンに干渉縞として結像し、これがＣＣＤカメ
ラ２０７で検出される。この画像データはＡ／Ｄコンバ
ータ２０８を介してコンピュータ２０９に送られ三次元
情報として算出される。
ームエキスパンダ２０２によって広げられた上で平行光
となり、プリズム２０４への斜入射を行うためミラー２
０３に斜め入射される。この光がプリズム２０４に入射
し、光線の一部はプリズム２０４の底面２０４ａで反射
する。一方、プリズム２０４を透過した光は、測定サン
プル２０５で反射し、この反射の際にサンプル２０５の
形状に応じた位相差δを有し、再びプリズム２０４に戻
り、プリズム２０４の底面２０４ａでの反射光と干渉し
てスクリーンに干渉縞として結像し、これがＣＣＤカメ
ラ２０７で検出される。この画像データはＡ／Ｄコンバ
ータ２０８を介してコンピュータ２０９に送られ三次元
情報として算出される。
【００１２】ここでプリズム２０４の底面２０４ａを基
準面とした場合、測定サンプル２０５までの高さｈは数
４により算出される。数４において、αはプリズム２０
４の底面２０４ａからの出射角、ｎ0 は空気の屈折率で
あり、通常は１．０となる、ｎはプリズム２０４の屈折
率、δは干渉縞の位相である。
準面とした場合、測定サンプル２０５までの高さｈは数
４により算出される。数４において、αはプリズム２０
４の底面２０４ａからの出射角、ｎ0 は空気の屈折率で
あり、通常は１．０となる、ｎはプリズム２０４の屈折
率、δは干渉縞の位相である。
【００１３】
【数４】
【００１４】このようなアブラムソン干渉計で得られた
干渉縞によって凹凸を含む三次元形状の解析を行う場合
においては、図３に示すフィゾー干渉計と同様に数４に
おける位相δを求める必要がある。このため数３を用い
た位相ソフト法を行うが、斜入射干渉計の場合、フィゾ
ー干渉計と同様にプリズムを電歪素子を用いて上下に移
動させるかプリズムとサンプルの間にガス等を用いて屈
折率を変化させ、干渉縞をπ／２ごとに変化させてその
各々の光強度を検出している。
干渉縞によって凹凸を含む三次元形状の解析を行う場合
においては、図３に示すフィゾー干渉計と同様に数４に
おける位相δを求める必要がある。このため数３を用い
た位相ソフト法を行うが、斜入射干渉計の場合、フィゾ
ー干渉計と同様にプリズムを電歪素子を用いて上下に移
動させるかプリズムとサンプルの間にガス等を用いて屈
折率を変化させ、干渉縞をπ／２ごとに変化させてその
各々の光強度を検出している。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】アブラムソン干渉計を
はじめとして各種の斜入射干渉計に上述した位相ソフト
法を適用する場合においては、以下の問題がある。 （１）干渉縞のみを観察することは容易であるが、凹凸
の判断や１フリンジの間を読み取ることが困難である。 （２）位相シフト法を適用する場合、位相シフタに参照
光の光路を変化させる必要がある。このため、電歪素子
であるピエゾアクチュエータを用いて参照ミラーを移動
させることによって行っている。ところが、これを斜入
射干渉計に適用すると干渉縞画像が移動する不都合があ
る。また４画面取込み中は振動、温度変化、空気流など
の外乱があるが、この外乱に対して安定している必要が
ある。ガスによって空気の屈折率を変化させる方法では
シフト量の決定が非常に不安定である。加えて、４画面
の干渉縞が必要となるところから、算出に大量の画像メ
モリを必要としている。
はじめとして各種の斜入射干渉計に上述した位相ソフト
法を適用する場合においては、以下の問題がある。 （１）干渉縞のみを観察することは容易であるが、凹凸
の判断や１フリンジの間を読み取ることが困難である。 （２）位相シフト法を適用する場合、位相シフタに参照
光の光路を変化させる必要がある。このため、電歪素子
であるピエゾアクチュエータを用いて参照ミラーを移動
させることによって行っている。ところが、これを斜入
射干渉計に適用すると干渉縞画像が移動する不都合があ
る。また４画面取込み中は振動、温度変化、空気流など
の外乱があるが、この外乱に対して安定している必要が
ある。ガスによって空気の屈折率を変化させる方法では
シフト量の決定が非常に不安定である。加えて、４画面
の干渉縞が必要となるところから、算出に大量の画像メ
モリを必要としている。
【００１６】本発明はこのような問題点を考慮してなさ
れたものであり、１画面の干渉縞画像のみでの位相シフ
ト法を可能とすると共に、１フリンジ以下の干渉縞の読
み取りおよび凹凸の判別を可能とし、三次元形状の容易
な算出を可能とした斜入射干渉計を提供することを目的
とする。
れたものであり、１画面の干渉縞画像のみでの位相シフ
ト法を可能とすると共に、１フリンジ以下の干渉縞の読
み取りおよび凹凸の判別を可能とし、三次元形状の容易
な算出を可能とした斜入射干渉計を提供することを目的
とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段および作用】本発明の斜入
射干渉計は、測定物体の測定面に光を斜めに入射させ測
定物体からの反射光と基準光とを重ね合わせて干渉させ
る斜入射干渉計において、干渉縞の画像解析のための空
間キャリア周波数を与える機能を備え、ワンステップ位
相シフト方式による縞画像解析を行うことを特徴とす
る。
射干渉計は、測定物体の測定面に光を斜めに入射させ測
定物体からの反射光と基準光とを重ね合わせて干渉させ
る斜入射干渉計において、干渉縞の画像解析のための空
間キャリア周波数を与える機能を備え、ワンステップ位
相シフト方式による縞画像解析を行うことを特徴とす
る。
【００１８】上記構成においては基準プリズムの下にス
ペーサーを設置し、基準面に既知の傾き情報を与えるこ
とで、空間キャリア周波数を与え、これによりワンステ
ップ位相シフトを行うことが可能になる。これによって
１フリンジ以下の位相解析および凹凸の判定が可能にな
る。
ペーサーを設置し、基準面に既知の傾き情報を与えるこ
とで、空間キャリア周波数を与え、これによりワンステ
ップ位相シフトを行うことが可能になる。これによって
１フリンジ以下の位相解析および凹凸の判定が可能にな
る。
【００１９】
【実施例】図１は本発明の一実施例における光学系を示
し、レーザ光を発するレーザ発振装置１の出射側にレー
ザ光を広げると共に平行光とするビームエキスパンダ２
が配され、このビームエキスパンダ２の後側にプリズム
４へレーザ光を斜入射させるミラー３が配されている。
し、レーザ光を発するレーザ発振装置１の出射側にレー
ザ光を広げると共に平行光とするビームエキスパンダ２
が配され、このビームエキスパンダ２の後側にプリズム
４へレーザ光を斜入射させるミラー３が配されている。
【００２０】ここでビームエキスパンダ２は、レーザ発
振装置１からのレーザ光を対物レンズによって、スペー
シャルフィルタとしてのピンホールを介して広げ、波面
収差を防ぐように組み合わせたレンズ系によって平行光
にしている。ミラー３は、広げられたレーザ光を斜めに
反射させて、プリズム４への入射角、すなわち測定サン
プル６への入射角の変化を可能にする。
振装置１からのレーザ光を対物レンズによって、スペー
シャルフィルタとしてのピンホールを介して広げ、波面
収差を防ぐように組み合わせたレンズ系によって平行光
にしている。ミラー３は、広げられたレーザ光を斜めに
反射させて、プリズム４への入射角、すなわち測定サン
プル６への入射角の変化を可能にする。
【００２１】プリズム４にはミラー３からのレーザ光が
斜めに入射し、このプリズム４を通過したレーザ光が測
定サンプル６に入射する。７は干渉縞が結像するスクリ
ーン、８はスクリーンで結像した干渉縞を検出するＣＣ
Ｄカメラである。ＣＣＤカメラで検出したデータはＡ／
Ｄコンバータ９を介してコンピュータ１０に転送され
る。
斜めに入射し、このプリズム４を通過したレーザ光が測
定サンプル６に入射する。７は干渉縞が結像するスクリ
ーン、８はスクリーンで結像した干渉縞を検出するＣＣ
Ｄカメラである。ＣＣＤカメラで検出したデータはＡ／
Ｄコンバータ９を介してコンピュータ１０に転送され
る。
【００２２】図２はプリズム４と測定サンプル６との関
係を示し、プリズム４に入射した光の一部は基準面であ
るプリズム４の底面４ａで反射してプリズム４から出射
し、他の光はプリズム４を通過し、測定サンプル６で反
射した後、プリズム４に戻って出射する。
係を示し、プリズム４に入射した光の一部は基準面であ
るプリズム４の底面４ａで反射してプリズム４から出射
し、他の光はプリズム４を通過し、測定サンプル６で反
射した後、プリズム４に戻って出射する。
【００２３】このような図２において、プリズム４の底
面４ａを基準面としたときの測定サンプルまでの高さ
（距離）ｈは数５の関係を有している。数５において、
αはプリズム４の底面４ａからの出射角、ｎ0 は空気の
屈折率（通常はｎ0 ＝１．０）、ｎはプリズム４の屈折
率、δは干渉縞の位相である。
面４ａを基準面としたときの測定サンプルまでの高さ
（距離）ｈは数５の関係を有している。数５において、
αはプリズム４の底面４ａからの出射角、ｎ0 は空気の
屈折率（通常はｎ0 ＝１．０）、ｎはプリズム４の屈折
率、δは干渉縞の位相である。
【００２４】
【数５】
【００２５】数５において、参照面であるプリズム底面
４ａからの出射角αを７９度とした場合、干渉縞の等高
線間隔は１．６６ミクロンとなり、斜入射を行わない場
合の等高線間隔０．３２ミクロンに対して約５倍に感度
を低下させることができる。また、この角度を調整する
ことによって、数５に従う任意の等高線間隔を得ること
が可能となる。さらに、この干渉系は分離する２光波間
が短いために、非常に安定な干渉系を形成しており、振
動や大気の揺らぎなどの外乱の影響に非常に強い干渉系
とすることができる。
４ａからの出射角αを７９度とした場合、干渉縞の等高
線間隔は１．６６ミクロンとなり、斜入射を行わない場
合の等高線間隔０．３２ミクロンに対して約５倍に感度
を低下させることができる。また、この角度を調整する
ことによって、数５に従う任意の等高線間隔を得ること
が可能となる。さらに、この干渉系は分離する２光波間
が短いために、非常に安定な干渉系を形成しており、振
動や大気の揺らぎなどの外乱の影響に非常に強い干渉系
とすることができる。
【００２６】図１に示す構成において、ビームエキスパ
ンダ２によって広げられた平行光は、ミラー３によって
一定の角度を与えられてプリズム４に至り、一部は参照
光の基準面であるプリズム底面４ａで反射して出射し、
一方、プリズム４を透過した光波は測定サンプル６の測
定面に斜めに入射することによって鏡面のように反射
し、再びプリズム４を透過する。この際、空間キャリア
周波数を与えるためにプリズム４を傾けることによって
基準面（プリズムの底面４ａ）にティルトを与える。こ
の２光波が干渉して、干渉縞としてスクリーン７に投影
される。このスクリーン７への投影ではサンプルへの入
射光が斜入射のため、実際の形状倍率が変わって検出さ
れることを防ぐことができる。ワンステップ位相シフト
を行うためのキャリア周波数を作るためのプリズム４の
ティルトの関係は、ＣＣＤカメラ８で検出した干渉縞が
ＣＣＤカメラ８の画素上で干渉縞の明暗の関係が１周期
４画素になるように調整することにより行われる。
ンダ２によって広げられた平行光は、ミラー３によって
一定の角度を与えられてプリズム４に至り、一部は参照
光の基準面であるプリズム底面４ａで反射して出射し、
一方、プリズム４を透過した光波は測定サンプル６の測
定面に斜めに入射することによって鏡面のように反射
し、再びプリズム４を透過する。この際、空間キャリア
周波数を与えるためにプリズム４を傾けることによって
基準面（プリズムの底面４ａ）にティルトを与える。こ
の２光波が干渉して、干渉縞としてスクリーン７に投影
される。このスクリーン７への投影ではサンプルへの入
射光が斜入射のため、実際の形状倍率が変わって検出さ
れることを防ぐことができる。ワンステップ位相シフト
を行うためのキャリア周波数を作るためのプリズム４の
ティルトの関係は、ＣＣＤカメラ８で検出した干渉縞が
ＣＣＤカメラ８の画素上で干渉縞の明暗の関係が１周期
４画素になるように調整することにより行われる。
【００２７】このように空間キャリア周波数を与えるこ
とにより、ワンステップ位相シフト法によって測定サン
プルの位相分布を求めることができる。ここで、空間的
に得られる光強度分布ＩはＣＣＤカメラ８内の結像面の
画素位置（ｉ，ｊ）において数６となる。数６におい
て、ｉ，ｊはＣＣＤカメラの画素、ａは干渉縞バイアス
成分、ｂは干渉縞のコントラスト、φは測定サンプルの
形状の高さに対応した位相である。
とにより、ワンステップ位相シフト法によって測定サン
プルの位相分布を求めることができる。ここで、空間的
に得られる光強度分布ＩはＣＣＤカメラ８内の結像面の
画素位置（ｉ，ｊ）において数６となる。数６におい
て、ｉ，ｊはＣＣＤカメラの画素、ａは干渉縞バイアス
成分、ｂは干渉縞のコントラスト、φは測定サンプルの
形状の高さに対応した位相である。
【００２８】
【数６】
【００２９】次に連続する３画素を用いたワンステップ
位相シフト法により、位相は数７となる。
位相シフト法により、位相は数７となる。
【００３０】
【数７】
【００３１】この位相情報を用いることにより、三次元
形状がコンピュータ１０によって算出される。この場
合、位相シフト法は悪く見積もっても干渉縞一周期を１
００分割できるので、約１０ナノメールの測定感度を持
つ。
形状がコンピュータ１０によって算出される。この場
合、位相シフト法は悪く見積もっても干渉縞一周期を１
００分割できるので、約１０ナノメールの測定感度を持
つ。
【００３２】また、ＣＣＤカメラによる干渉縞の検出に
おいてはスクリーンに投影する必要がなく、直接検出す
ることも可能であるし、回転ディフューザ等を用いた強
度調節を経て検出することもできるが、これらの場合は
斜入射による縦横の倍率を考慮して行われる。
おいてはスクリーンに投影する必要がなく、直接検出す
ることも可能であるし、回転ディフューザ等を用いた強
度調節を経て検出することもできるが、これらの場合は
斜入射による縦横の倍率を考慮して行われる。
【００３３】さらに、プリズムは一体である必要はな
く、プリズムの頂点から二つに分割したものを用いても
よい。また、バーチの斜入射干渉計等に代表されるよう
に回析格子を用いて測定物体に斜入射を与える干渉計に
適用することも可能である。なおプリズムの形状も三角
形である必要はなく、たとえば四角形のガラス板でもよ
い。
く、プリズムの頂点から二つに分割したものを用いても
よい。また、バーチの斜入射干渉計等に代表されるよう
に回析格子を用いて測定物体に斜入射を与える干渉計に
適用することも可能である。なおプリズムの形状も三角
形である必要はなく、たとえば四角形のガラス板でもよ
い。
【００３４】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明は空間キャ
リア周波数を導入することにより、ワンステップ位相シ
フト法を用いて干渉縞の凹凸の判断を含む位相解析を１
画面のみで可能にし、従来の干渉計よりも凹凸の大きい
ものや表面反射率の低い物体の表面形状に対して非接触
での三次元測定が可能になるという効果がある。
リア周波数を導入することにより、ワンステップ位相シ
フト法を用いて干渉縞の凹凸の判断を含む位相解析を１
画面のみで可能にし、従来の干渉計よりも凹凸の大きい
ものや表面反射率の低い物体の表面形状に対して非接触
での三次元測定が可能になるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例の構成図。
【図２】空間キャリア周波数を与える側面図。
【図３】トワイマン・グリーン干渉計の構成図。
【図４】アブラムソン干渉計の構成図。
１ レーザ発振装置 ２ ビームエキスパンダ ３ ミラー ４ プリズム ６ 測定サンプル ７ スクリーン ８ ＣＣＤカメラ ９ Ａ／Ｄコンバータ １０ コンピュータ
Claims (1)
- 【請求項１】 測定物体の測定面に光を斜めに入射させ
測定物体からの反射光と基準光とを重ね合わせて干渉さ
せる斜入射干渉計において、干渉縞の画像解析のための
空間キャリア周波数を与える機能を備え、ワンステップ
位相シフト方式による縞画像解析を行うことを特徴とす
る斜入射干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07421994A JP3540004B2 (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 斜入射干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07421994A JP3540004B2 (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 斜入射干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260420A true JPH07260420A (ja) | 1995-10-13 |
| JP3540004B2 JP3540004B2 (ja) | 2004-07-07 |
Family
ID=13540867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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1994
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| EP3196591A4 (en) * | 2014-09-17 | 2017-07-26 | Koh Young Technology Inc. | Apparatus for measuring three-dimensional shape using prism |
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