JPH07253390A - 微粒子検出器の信号処理回路 - Google Patents
微粒子検出器の信号処理回路Info
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- JPH07253390A JPH07253390A JP6069096A JP6909694A JPH07253390A JP H07253390 A JPH07253390 A JP H07253390A JP 6069096 A JP6069096 A JP 6069096A JP 6909694 A JP6909694 A JP 6909694A JP H07253390 A JPH07253390 A JP H07253390A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 17
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微粒子検出器の信号処理回路を、検出性能を
低下することなく簡易化する。 【構成】 分割ＡＰＤの隣接する２個の受光素子ｅに対
応する、オペアンプ21の２個づつを１組とし、各組の２
個のオペアンプの出力信号の差分をそれぞれ算出する複
数（ｎ／２）個の差動アンプ22と、各差動アンプに順次
に接続され、それぞれ複数（ｎ／２）個の、低域フィル
タ23、反転アンプ24、および可変抵抗25と、ならびに、
複数ｎ個のコンパレータ26を有し、その２個づつを１組
とし、＋極と−極の微粒子パルスをそれぞれ検出する、
複数（ｎ／２）組の検出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) を設けて構成
される。 【効果】 従来それぞれｎ個であった差動アンプ22、低
域フィルタ23、反転アンプ24、および可変抵抗25は、そ
れぞれ（ｎ／２）個に半減されて簡易化される。
低下することなく簡易化する。 【構成】 分割ＡＰＤの隣接する２個の受光素子ｅに対
応する、オペアンプ21の２個づつを１組とし、各組の２
個のオペアンプの出力信号の差分をそれぞれ算出する複
数（ｎ／２）個の差動アンプ22と、各差動アンプに順次
に接続され、それぞれ複数（ｎ／２）個の、低域フィル
タ23、反転アンプ24、および可変抵抗25と、ならびに、
複数ｎ個のコンパレータ26を有し、その２個づつを１組
とし、＋極と−極の微粒子パルスをそれぞれ検出する、
複数（ｎ／２）組の検出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) を設けて構成
される。 【効果】 従来それぞれｎ個であった差動アンプ22、低
域フィルタ23、反転アンプ24、および可変抵抗25は、そ
れぞれ（ｎ／２）個に半減されて簡易化される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、微粒子検出器の信号
処理回路に関し、詳しくは、分割ＡＰＤ（アバランシェ
ホトダイオード）を受光器とする微粒子検出器におけ
る、分割ＡＰＤの各受光素子に対する信号処理回路に関
する。
処理回路に関し、詳しくは、分割ＡＰＤ（アバランシェ
ホトダイオード）を受光器とする微粒子検出器におけ
る、分割ＡＰＤの各受光素子に対する信号処理回路に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図３は微粒子検出器の基本構成を示し、
１は検出セル、２は信号処理回路である。微粒子検出に
おいては、噴射ノズル11より微粒子を含むサンプルエア
ＡS が検出セル１内に噴射され、排出ノズル12より排出
される。これに対して、レーザ管131 と外部ミラー132
よりなるレーザ発振器13が設けられ、発振したレーザビ
ームＬB がサンプルエアＡS に直交して検出領域Ｋが形
成され、この中の微粒子が散乱する散乱光ＬR を結像レ
ンズ14により受光器15に結像し、その出力信号を信号処
理回路２により処理して微粒子が検出される。なお、出
力信号にはレーザビームＬB の強度変動によるノイズ
や、サンプルエアＡS のエア分子の散乱によるレーリノ
イズが含まれているので、信号処理回路２により各ノイ
ズを消去または除去して異物のみが検出される。受光器
15には、当初は光電子増倍管（ホトマル）が使用されて
いたが、最近は、半導体内の電子のなだれ現象を利用し
て高い倍増作用がえられ、取り扱いが便利なＡＰＤ（ア
バランシェホトダイオード）が使用されている。さら
に、ＡＰＤを複数の受光素子に分割した分割ＡＰＤを使
用し、ノイズを分割して受光することによりＳ／Ｎ比の
向上が図られている。
１は検出セル、２は信号処理回路である。微粒子検出に
おいては、噴射ノズル11より微粒子を含むサンプルエア
ＡS が検出セル１内に噴射され、排出ノズル12より排出
される。これに対して、レーザ管131 と外部ミラー132
よりなるレーザ発振器13が設けられ、発振したレーザビ
ームＬB がサンプルエアＡS に直交して検出領域Ｋが形
成され、この中の微粒子が散乱する散乱光ＬR を結像レ
ンズ14により受光器15に結像し、その出力信号を信号処
理回路２により処理して微粒子が検出される。なお、出
力信号にはレーザビームＬB の強度変動によるノイズ
や、サンプルエアＡS のエア分子の散乱によるレーリノ
イズが含まれているので、信号処理回路２により各ノイ
ズを消去または除去して異物のみが検出される。受光器
15には、当初は光電子増倍管（ホトマル）が使用されて
いたが、最近は、半導体内の電子のなだれ現象を利用し
て高い倍増作用がえられ、取り扱いが便利なＡＰＤ（ア
バランシェホトダイオード）が使用されている。さら
に、ＡＰＤを複数の受光素子に分割した分割ＡＰＤを使
用し、ノイズを分割して受光することによりＳ／Ｎ比の
向上が図られている。
【０００３】図４は上記の分割ＡＰＤに対する、従来の
信号処理回路２の構成を示し、図５は信号処理回路２の
検出動作説明用の信号波形図である。図４において、分
割ＡＰＤ15は複数ｎ個の素子ｅ1 〜ｅn に分割されてお
り、信号処理回路２には、各受光素子ｅに対応するｎ個
のオペアンプ21-1〜21-nが設けられ、隣接する２個の受
光素子ｅ1 とｅ2,……に対応する、オペアンプ21-1と21
-2, ……の２個づつを組合せる。各組合せに対して、ｎ
個の差動ンプ22-1〜22-n2 を設け、各２個のオペアンプ
21のそれぞれの出力を、２個の差動アンプ22の＋入力端
子と−入力端子に対して、図示のように交差して接続す
る。さらに、各差動アンプ22に対して、それぞれｎ個の
低域フィルタ（ＬＰＦ）23-1〜23-nと、反転アンプ24-1
〜24-n、可変抵抗25-1〜25-n、およびコンパレータ26-1
〜26-nが設けられ、図示のようにタンデムに接続されて
いる。
信号処理回路２の構成を示し、図５は信号処理回路２の
検出動作説明用の信号波形図である。図４において、分
割ＡＰＤ15は複数ｎ個の素子ｅ1 〜ｅn に分割されてお
り、信号処理回路２には、各受光素子ｅに対応するｎ個
のオペアンプ21-1〜21-nが設けられ、隣接する２個の受
光素子ｅ1 とｅ2,……に対応する、オペアンプ21-1と21
-2, ……の２個づつを組合せる。各組合せに対して、ｎ
個の差動ンプ22-1〜22-n2 を設け、各２個のオペアンプ
21のそれぞれの出力を、２個の差動アンプ22の＋入力端
子と−入力端子に対して、図示のように交差して接続す
る。さらに、各差動アンプ22に対して、それぞれｎ個の
低域フィルタ（ＬＰＦ）23-1〜23-nと、反転アンプ24-1
〜24-n、可変抵抗25-1〜25-n、およびコンパレータ26-1
〜26-nが設けられ、図示のようにタンデムに接続されて
いる。
【０００４】以下図４に図５を併用して、上記の信号処
理回路２による微粒子検出動作を説明する。図４におい
て、微粒子の散乱光ＬR は各受光素子ｅ1 〜ｅn のいず
れかに受光される。これに対して、散乱光ＬR に含まれ
たノイズは各受光素子ｅに１／ｎに分割して受光され、
分割されたノイズＮと、微粒子に対するパルスｐとの受
光電流が出力され、これらは対応するオペアンプ21によ
り電圧に変換される。図５(a) は２個のオペアンプ21-
1,21-2 の出力信号Ｓ1,Ｓ2 の波形を示す。両出力信号
Ｓ1,Ｓ2 には、上記により分割されたノイズＮがそれぞ
れ存在するが、受光素子ｅ1 とｅ2 が隣接しているの
で、これらのノイズＮの強度と分布はほとんど等しい。
いま例として、出力信号Ｓ1 には、時点ｔ1 にパルスｐ
1 が、また出力信号Ｓ2 には、時点ｔ2 にパルスｐ2 が
それぞれ存在しているとする。両出力信号Ｓ1,Ｓ2 が差
動アンプ22-1,22-2 に交差して入力すると、それぞれの
差分演算によりノイズＮは差し引きされて消去し、各差
動アンプ22より、図５(b) に示す信号Ｒ1,Ｒ2 が出力さ
れる。信号Ｒ1 には、極性が反転されたパルスｐ1 と反
転されないパルスｐ2 がえられ、また、信号Ｒ2 には、
反転されないパルスｐ1 と、反転されたパルスｐ2 がえ
られる。各パルスｐには高周波ノイズがありうるので、
これらはＬＰＦ23-1,23-2 により除去され、ついで各パ
ルスｐ1,ｐ2 は反転アンプ24-1,24-2 により極性が反転
され、可変抵抗25-1,25-2 によりレベルが調整された
後、コンパレータ26-1,26-2 によりそれぞれ検出され
る。以上の処理手順は、２個のオペアンプ21の各組合せ
に対して同様になされ、各受光素子ｅのノイズＮは消去
され、微粒子のパルスｐはコンパレータ26-1〜36-nのい
ずれかにより検出される。各コンパレータ26の検出信号
はワイヤードオアされ、図５(c) に示す微粒子データＤ
が出力される。
理回路２による微粒子検出動作を説明する。図４におい
て、微粒子の散乱光ＬR は各受光素子ｅ1 〜ｅn のいず
れかに受光される。これに対して、散乱光ＬR に含まれ
たノイズは各受光素子ｅに１／ｎに分割して受光され、
分割されたノイズＮと、微粒子に対するパルスｐとの受
光電流が出力され、これらは対応するオペアンプ21によ
り電圧に変換される。図５(a) は２個のオペアンプ21-
1,21-2 の出力信号Ｓ1,Ｓ2 の波形を示す。両出力信号
Ｓ1,Ｓ2 には、上記により分割されたノイズＮがそれぞ
れ存在するが、受光素子ｅ1 とｅ2 が隣接しているの
で、これらのノイズＮの強度と分布はほとんど等しい。
いま例として、出力信号Ｓ1 には、時点ｔ1 にパルスｐ
1 が、また出力信号Ｓ2 には、時点ｔ2 にパルスｐ2 が
それぞれ存在しているとする。両出力信号Ｓ1,Ｓ2 が差
動アンプ22-1,22-2 に交差して入力すると、それぞれの
差分演算によりノイズＮは差し引きされて消去し、各差
動アンプ22より、図５(b) に示す信号Ｒ1,Ｒ2 が出力さ
れる。信号Ｒ1 には、極性が反転されたパルスｐ1 と反
転されないパルスｐ2 がえられ、また、信号Ｒ2 には、
反転されないパルスｐ1 と、反転されたパルスｐ2 がえ
られる。各パルスｐには高周波ノイズがありうるので、
これらはＬＰＦ23-1,23-2 により除去され、ついで各パ
ルスｐ1,ｐ2 は反転アンプ24-1,24-2 により極性が反転
され、可変抵抗25-1,25-2 によりレベルが調整された
後、コンパレータ26-1,26-2 によりそれぞれ検出され
る。以上の処理手順は、２個のオペアンプ21の各組合せ
に対して同様になされ、各受光素子ｅのノイズＮは消去
され、微粒子のパルスｐはコンパレータ26-1〜36-nのい
ずれかにより検出される。各コンパレータ26の検出信号
はワイヤードオアされ、図５(c) に示す微粒子データＤ
が出力される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の信号処理
回路２は、分割ＡＰＤのｎ個の各受光素子ｅに対応し
て、それぞれｎ個のオペアンプ21と、差動アンプ22、Ｌ
ＰＦ23、反転アンプ24、可変抵抗25、およびコンパレー
タ26が設けられ、ノイズＮが消して良好なＳ／Ｎ比で微
粒子を検出できる、いわばオーソドックスな回路構成で
はある。しかし、なにぶんにも構成部品の点数が多くて
繁雑であり、構成経費が嵩む欠点がある。そこで微粒子
検出性能を低下せずに、これを改良して部品点数を減少
し、経費を節減することが望ましい。この発明は、以上
に鑑みてなされたもので、微粒子検出性能を低下するこ
となく、部品点数を可及的に減少して、より簡易に構成
された信号処理回路を提供することを目的とする。
回路２は、分割ＡＰＤのｎ個の各受光素子ｅに対応し
て、それぞれｎ個のオペアンプ21と、差動アンプ22、Ｌ
ＰＦ23、反転アンプ24、可変抵抗25、およびコンパレー
タ26が設けられ、ノイズＮが消して良好なＳ／Ｎ比で微
粒子を検出できる、いわばオーソドックスな回路構成で
はある。しかし、なにぶんにも構成部品の点数が多くて
繁雑であり、構成経費が嵩む欠点がある。そこで微粒子
検出性能を低下せずに、これを改良して部品点数を減少
し、経費を節減することが望ましい。この発明は、以上
に鑑みてなされたもので、微粒子検出性能を低下するこ
となく、部品点数を可及的に減少して、より簡易に構成
された信号処理回路を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成した信号処理回路であって、前記した分割ＡＰＤを
受光器とする微粒子検出器において、隣接するあるいは
所定距離離れた２個の受光素子に対応するオペアンプの
２個づつを１組とし、各組の２個のオペアンプの出力信
号の差分をそれぞれ算出する複数（ｎ／２）個の差動ア
ンプと、各差動アンプに順次に接続され、それぞれ複数
（ｎ／２）個の、低域フィルタ、反転アンプ、および可
変抵抗と、ならびに、複数ｎ個のコンパレータを有し、
その２個づつを１組とし、＋極と−極の微粒子パルスを
それぞれ検出する検出部を、複数（ｎ／２）組設けて構
成される。
達成した信号処理回路であって、前記した分割ＡＰＤを
受光器とする微粒子検出器において、隣接するあるいは
所定距離離れた２個の受光素子に対応するオペアンプの
２個づつを１組とし、各組の２個のオペアンプの出力信
号の差分をそれぞれ算出する複数（ｎ／２）個の差動ア
ンプと、各差動アンプに順次に接続され、それぞれ複数
（ｎ／２）個の、低域フィルタ、反転アンプ、および可
変抵抗と、ならびに、複数ｎ個のコンパレータを有し、
その２個づつを１組とし、＋極と−極の微粒子パルスを
それぞれ検出する検出部を、複数（ｎ／２）組設けて構
成される。
【０００７】
【作用】上記の信号処理回路においては、複数ｎ個のオ
ペアンプは、２個づつが１組とされ、各組の２個のオペ
アンプの出力信号は、複数（ｎ／２）個の差動アンプに
よりそれぞれの差分が算出される。両出力信号には隣接
する２個の受光素子よりの、ほとんど等しいノイズＮが
含まれており、この差分算出により、両ノイズＮは差し
引きされて消去し、一方の出力信号中の微粒子パルスは
極性が反転され、他方の出力信号中の微粒子パルスは反
転されずに、差動アンプより出力される。出力された各
微粒子パルスは、それぞれ複数（ｎ／２）個の低域フィ
ルタにより高周波ノイズが除去され、反転アンプにより
極性が反転され、可変抵抗によりレベルが調整された
後、複数（ｎ／２）組の検出部に入力し、これらの２個
のコンパレータにより、＋極と−極の微粒子パルスがそ
れぞれ検出される。要するに上記の信号処理回路におい
ては、各受光素子ｅのノイズＮは、差動アンプより消去
されるので、従来と同様の Ｓ／Ｎ比がえられる。ま
た、差動アンプが出力する微粒子パルスは、反転され、
または反転されずに、−極または＋極として、ともに出
力され、これらを２個のコンパレータにより検出するも
ので、検出性能も従来と同様である。さらに、差動アン
プの個数が（ｎ／１）個であるので、低域フィルタ、反
転アンプ、および可変抵抗の個数も、すべて（ｎ／２）
個で十分であり、これらは従来の半数に減少されて信号
処理回路が簡易化され、その分構成経費が節減されるも
のである。
ペアンプは、２個づつが１組とされ、各組の２個のオペ
アンプの出力信号は、複数（ｎ／２）個の差動アンプに
よりそれぞれの差分が算出される。両出力信号には隣接
する２個の受光素子よりの、ほとんど等しいノイズＮが
含まれており、この差分算出により、両ノイズＮは差し
引きされて消去し、一方の出力信号中の微粒子パルスは
極性が反転され、他方の出力信号中の微粒子パルスは反
転されずに、差動アンプより出力される。出力された各
微粒子パルスは、それぞれ複数（ｎ／２）個の低域フィ
ルタにより高周波ノイズが除去され、反転アンプにより
極性が反転され、可変抵抗によりレベルが調整された
後、複数（ｎ／２）組の検出部に入力し、これらの２個
のコンパレータにより、＋極と−極の微粒子パルスがそ
れぞれ検出される。要するに上記の信号処理回路におい
ては、各受光素子ｅのノイズＮは、差動アンプより消去
されるので、従来と同様の Ｓ／Ｎ比がえられる。ま
た、差動アンプが出力する微粒子パルスは、反転され、
または反転されずに、−極または＋極として、ともに出
力され、これらを２個のコンパレータにより検出するも
ので、検出性能も従来と同様である。さらに、差動アン
プの個数が（ｎ／１）個であるので、低域フィルタ、反
転アンプ、および可変抵抗の個数も、すべて（ｎ／２）
個で十分であり、これらは従来の半数に減少されて信号
処理回路が簡易化され、その分構成経費が節減されるも
のである。
【０００８】
【実施例】図１は、この発明の一実施例における信号処
理回路２’の構成図を示し、図２は、信号処理回路２’
の動作説明用の信号波形図である。図１に示す信号処理
回路２’は、図４の従来の信号処理回路２と同様に、そ
れぞれ複数ｎ個のオペアンプ21-1〜21-nと、コンパレー
タ26-1〜26-nを有する。ただし、各コンパレータ26は単
独に使用せず、２個づつ組合せて複数（ｎ／２）組の検
出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) を構成する。また、それぞれ（ｎ／
２）個の差動アンプ22、ＬＰＦ23、反転アンプ24、およ
び可変抵抗25を設ける。これらは、従来はそれぞれｎ個
であったが、すべて半減する。複数ｎ個のオペアンプ21
は、分割ＡＰＤ15の隣接する２個の受光素子ｅに対応す
る２個づつが１組とされ、各組の２個のオペアンプ21
は、１個の差動アンプ22の−入力端子と、＋入力端子に
接続され、各差動アンプ22の出力側には、ＬＰＦ23、反
転アンプ24、可変抵抗25がタンデムに接続され、各可変
抵抗25の可変端子は、各検出部Ｑの２個のコンパレータ
26の−入力端子と＋入力端子にそれぞれ接続される。
理回路２’の構成図を示し、図２は、信号処理回路２’
の動作説明用の信号波形図である。図１に示す信号処理
回路２’は、図４の従来の信号処理回路２と同様に、そ
れぞれ複数ｎ個のオペアンプ21-1〜21-nと、コンパレー
タ26-1〜26-nを有する。ただし、各コンパレータ26は単
独に使用せず、２個づつ組合せて複数（ｎ／２）組の検
出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) を構成する。また、それぞれ（ｎ／
２）個の差動アンプ22、ＬＰＦ23、反転アンプ24、およ
び可変抵抗25を設ける。これらは、従来はそれぞれｎ個
であったが、すべて半減する。複数ｎ個のオペアンプ21
は、分割ＡＰＤ15の隣接する２個の受光素子ｅに対応す
る２個づつが１組とされ、各組の２個のオペアンプ21
は、１個の差動アンプ22の−入力端子と、＋入力端子に
接続され、各差動アンプ22の出力側には、ＬＰＦ23、反
転アンプ24、可変抵抗25がタンデムに接続され、各可変
抵抗25の可変端子は、各検出部Ｑの２個のコンパレータ
26の−入力端子と＋入力端子にそれぞれ接続される。
【０００９】以下、図２を併用して信号処理回路２’に
よる微粒子検出動作を説明する。いま、２個のオペアン
プ21-1,21-2 の出力信号を、図２(a) に示すＳ1,Ｓ2 と
し、両信号Ｓ1,Ｓ2 には、前記したように強度と分布が
ほとんど等しいノイズＮが含まれており、出力信号Ｓ1
には、時点ｔ1 にパルスｐ1 が、また出力信号Ｓ2 に
は、時点ｔ2 にパルスｐ2 がそれぞれ存在しているとす
る（図５(a) の場合と同じ）。両出力信号Ｓ1,Ｓ2 が差
動アンプ22-1に入力すると、両者のノイズＮは差し引き
されて消去し、図２(b) に示す極性が反転されたパルス
ｐ1 と反転されないパルスｐ2 を有する信号Ｒ1 が出力
される。各パルスｐには高周波ノイズがありうるので、
これがＬＰＦ23-1により除去され、ついで各パルスｐ1,
ｐ2 は反転アンプ24-1により極性が反転され、可変抵抗
25-1によりレベルが調整される。ここまでは従来と全く
同じ処理である。ただしこの場合は、従来の場合の信号
Ｒ2 （図５(b) 参照）は利用できないし、また利用もし
ない。上記によりレベル調整された各パルスｐは検出部
Ｑ1 に入力し、コンパレータ26-1によりパルスｐ1 が、
またコンパレータ26-2によりパルスｐ2 がそれぞれ検出
される。以上の処理手順は、２個のオペアンプ21の各組
合せに対して同様になされ、各受光素子ｅのノイズＮは
それぞれの差動アンプ22により消去され、微粒子のパル
スｐは検出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) のいずれかにより検出され
る。各検出部Ｑの検出信号はワイヤードオアされ、図
(c) に示す微粒子データＤが出力される。
よる微粒子検出動作を説明する。いま、２個のオペアン
プ21-1,21-2 の出力信号を、図２(a) に示すＳ1,Ｓ2 と
し、両信号Ｓ1,Ｓ2 には、前記したように強度と分布が
ほとんど等しいノイズＮが含まれており、出力信号Ｓ1
には、時点ｔ1 にパルスｐ1 が、また出力信号Ｓ2 に
は、時点ｔ2 にパルスｐ2 がそれぞれ存在しているとす
る（図５(a) の場合と同じ）。両出力信号Ｓ1,Ｓ2 が差
動アンプ22-1に入力すると、両者のノイズＮは差し引き
されて消去し、図２(b) に示す極性が反転されたパルス
ｐ1 と反転されないパルスｐ2 を有する信号Ｒ1 が出力
される。各パルスｐには高周波ノイズがありうるので、
これがＬＰＦ23-1により除去され、ついで各パルスｐ1,
ｐ2 は反転アンプ24-1により極性が反転され、可変抵抗
25-1によりレベルが調整される。ここまでは従来と全く
同じ処理である。ただしこの場合は、従来の場合の信号
Ｒ2 （図５(b) 参照）は利用できないし、また利用もし
ない。上記によりレベル調整された各パルスｐは検出部
Ｑ1 に入力し、コンパレータ26-1によりパルスｐ1 が、
またコンパレータ26-2によりパルスｐ2 がそれぞれ検出
される。以上の処理手順は、２個のオペアンプ21の各組
合せに対して同様になされ、各受光素子ｅのノイズＮは
それぞれの差動アンプ22により消去され、微粒子のパル
スｐは検出部Ｑ1 〜Ｑ(n/2) のいずれかにより検出され
る。各検出部Ｑの検出信号はワイヤードオアされ、図
(c) に示す微粒子データＤが出力される。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による信
号処理回路は、微粒子検出性能が低下することなく、構
成部品の差動アンプ、低域フィルタ、反転アンプ、およ
び可変抵抗は、それぞれの個数が従来の半数のｎ／２個
に減少され、これによる構成の簡易化と経費の節減がな
される効果には大きいものがある。
号処理回路は、微粒子検出性能が低下することなく、構
成部品の差動アンプ、低域フィルタ、反転アンプ、およ
び可変抵抗は、それぞれの個数が従来の半数のｎ／２個
に減少され、これによる構成の簡易化と経費の節減がな
される効果には大きいものがある。
【図１】 図１はこの発明の一実施例における信号処理
回路２’の構成図である。
回路２’の構成図である。
【図２】 図２は信号処理回路２’の動作説明用の信号
波形図である。
波形図である。
【図３】 図３は微粒子検出器の基本構成図である。
【図４】 図４は従来の信号処理回路２の構成図であ
る。
る。
【図５】 図５は従来の信号処理回路２の動作用の信号
波形図である。
波形図である。
１…検出セル、11…噴射ノズル、12…排出ノズル、13…
レーザ発振器、14…結像レンズ、15…受光器または分割
ＡＰＤ、２…従来の信号処理回路、21-1〜21-n…オペア
ンプ、22-1〜22-n…差動アンプ 23-1〜23-n…低域フィルタ（ＬＰＦ）、24-1〜24-n…反
転アンプ、26-1〜26-n…コンパレータ、２’…この発明
の信号処理回路、ＡＰＤ…アバランシェホトダイオー
ド、ｅ1 〜ｅn …分割ＡＰＤの受光素子、Ｎ…各受光素
子ｅのノイズ、Ｓ1,Ｓ2 …オペアンプの出力信号、ｐ1,
ｐ2 …微粒子のパルス、Ｒ1,Ｒ2 …差動アンプの出力信
号、Ｑ1 〜Ｑ(n/2) …検出部、Ｄ…微粒子データ。
レーザ発振器、14…結像レンズ、15…受光器または分割
ＡＰＤ、２…従来の信号処理回路、21-1〜21-n…オペア
ンプ、22-1〜22-n…差動アンプ 23-1〜23-n…低域フィルタ（ＬＰＦ）、24-1〜24-n…反
転アンプ、26-1〜26-n…コンパレータ、２’…この発明
の信号処理回路、ＡＰＤ…アバランシェホトダイオー
ド、ｅ1 〜ｅn …分割ＡＰＤの受光素子、Ｎ…各受光素
子ｅのノイズ、Ｓ1,Ｓ2 …オペアンプの出力信号、ｐ1,
ｐ2 …微粒子のパルス、Ｒ1,Ｒ2 …差動アンプの出力信
号、Ｑ1 〜Ｑ(n/2) …検出部、Ｄ…微粒子データ。
Claims (1)
- 【請求項１】複数ｎ個の受光素子を有する分割アバラン
シェホトダイオードを受光器とし、各受光素子に対応す
る複数ｎ個のオペアンプを具備する微粒子検出器におい
て、 隣接するあるいは所定距離離れた２個の該受光素子に対
応する該オペアンプの２個づつを１組とし、該各組の２
個のオペアンプの出力信号の差分をそれぞれ算出する複
数（ｎ／２）個の差動アンプと、該各差動アンプに順次
に接続され、それぞれ複数（ｎ／２個）の、低域フィル
タ、反転アンプ、および可変抵抗と、ならびに、複数ｎ
個のコンパレータを有し、該コンパレータの２個づつを
１組とし、＋極と−極の微粒子パルスをそれぞれ検出す
る検出部を、複数（ｎ／２）組設けて構成されたことを
特徴とする、微粒子検出器の信号処理回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6069096A JP2970832B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 微粒子検出器の信号処理回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6069096A JP2970832B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 微粒子検出器の信号処理回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07253390A true JPH07253390A (ja) | 1995-10-03 |
| JP2970832B2 JP2970832B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=13392748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6069096A Expired - Fee Related JP2970832B2 (ja) | 1994-03-14 | 1994-03-14 | 微粒子検出器の信号処理回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2970832B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6426494B1 (en) | 1999-01-07 | 2002-07-30 | Nec Corporation | Optical signal detector and optical signal detecting method |
| WO2007029480A1 (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Rion Co., Ltd. | 粒子検出器 |
| JP2007139438A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Sysmex Corp | 血液分析装置 |
| JP5362895B1 (ja) * | 2012-11-06 | 2013-12-11 | リオン株式会社 | 光散乱式粒子計数器 |
| JP2020134205A (ja) * | 2019-02-14 | 2020-08-31 | 富士電機株式会社 | 分析装置 |
-
1994
- 1994-03-14 JP JP6069096A patent/JP2970832B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6426494B1 (en) | 1999-01-07 | 2002-07-30 | Nec Corporation | Optical signal detector and optical signal detecting method |
| WO2007029480A1 (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Rion Co., Ltd. | 粒子検出器 |
| JP2007071794A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | Rion Co Ltd | 粒子検出器 |
| JP2007139438A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Sysmex Corp | 血液分析装置 |
| JP5362895B1 (ja) * | 2012-11-06 | 2013-12-11 | リオン株式会社 | 光散乱式粒子計数器 |
| JP2020134205A (ja) * | 2019-02-14 | 2020-08-31 | 富士電機株式会社 | 分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2970832B2 (ja) | 1999-11-02 |
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