JPH07249497A - 除電器のバランス調整回路 - Google Patents
除電器のバランス調整回路Info
- Publication number
- JPH07249497A JPH07249497A JP4160994A JP4160994A JPH07249497A JP H07249497 A JPH07249497 A JP H07249497A JP 4160994 A JP4160994 A JP 4160994A JP 4160994 A JP4160994 A JP 4160994A JP H07249497 A JPH07249497 A JP H07249497A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transformer
- voltage
- positive
- electrode
- diode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 正負イオンの発生量を最適な状態に調整す
る。 【構成】 昇圧トランスの２次側で同軸ケーブル１１に
より電流の位相が電圧の位相よりも進む分、可変リアク
タンスコイル２４の誘導リアクタンスにより１次側の電
流位相を遅らせる。また、可変抵抗器２３の抵抗値を調
整して負の電圧を適量低下させ、正負イオンのバランス
を均衡させる。
る。 【構成】 昇圧トランスの２次側で同軸ケーブル１１に
より電流の位相が電圧の位相よりも進む分、可変リアク
タンスコイル２４の誘導リアクタンスにより１次側の電
流位相を遅らせる。また、可変抵抗器２３の抵抗値を調
整して負の電圧を適量低下させ、正負イオンのバランス
を均衡させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電気を帯びた物体の
除電を行う除電器のイオン発生量を調整するバランス調
整回路に関する。
除電を行う除電器のイオン発生量を調整するバランス調
整回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスは静電気により破壊され
やすいため、その保管や製造工程において、静電気を除
去する必要がある。このため、従来、上記半導体デバイ
スの製造工程等においては、図４に示すような原理の除
電器が使用されていた。
やすいため、その保管や製造工程において、静電気を除
去する必要がある。このため、従来、上記半導体デバイ
スの製造工程等においては、図４に示すような原理の除
電器が使用されていた。
【０００３】図４において、１は商用交流電源（１００
Ｖ）、２は電源スイッチ、３は昇圧トランス、４は高圧
ケーブルである。５は、接地電極６および放電電極７か
ら成る除電電極であり、放電電極７は高圧ケーブル４の
導体部分を介して昇圧トランス３の一端に接続されてい
る。また、接地電極６は高圧ケーブル４の接地線を介し
て昇圧トランス３の他端と接続され、接地されている。
また、８は、除電電極５と非接触な状態に対向された半
導体デバイス等の帯電物体である。
Ｖ）、２は電源スイッチ、３は昇圧トランス、４は高圧
ケーブルである。５は、接地電極６および放電電極７か
ら成る除電電極であり、放電電極７は高圧ケーブル４の
導体部分を介して昇圧トランス３の一端に接続されてい
る。また、接地電極６は高圧ケーブル４の接地線を介し
て昇圧トランス３の他端と接続され、接地されている。
また、８は、除電電極５と非接触な状態に対向された半
導体デバイス等の帯電物体である。
【０００４】上記構成において、電源スイッチ２がオン
状態になっている時は、電源１からの出力電圧（交流１
００Ｖ）が昇圧トランス３を介して昇圧され、放電電極
７に正または負の高電圧（例えば７ｋＶ）が交互に印加
される。そして、放電電極７と接地電極６との間にコロ
ナ放電が発生し、除電電極５の周囲の空気が正および負
のイオンに交互にイオン化される。そして、帯電物体８
の帯電電荷の極性に応じていずれかの極性のイオンが帯
電物体８に引き寄せられ、帯電物体８の帯電電荷と再結
合し、帯電電荷が中和される。
状態になっている時は、電源１からの出力電圧（交流１
００Ｖ）が昇圧トランス３を介して昇圧され、放電電極
７に正または負の高電圧（例えば７ｋＶ）が交互に印加
される。そして、放電電極７と接地電極６との間にコロ
ナ放電が発生し、除電電極５の周囲の空気が正および負
のイオンに交互にイオン化される。そして、帯電物体８
の帯電電荷の極性に応じていずれかの極性のイオンが帯
電物体８に引き寄せられ、帯電物体８の帯電電荷と再結
合し、帯電電荷が中和される。
【０００５】ところで、電源１の出力電圧は正弦波状に
交互に極性が変化するため、放電電極７からは、原理的
には正負等しい量のイオンが発生されるはずである。と
ころが、実際には負イオンの方が若干多く発生すること
が知られている。このような正負イオンのアンバランス
は帯電物体８に新たな帯電を引き起こす可能性があり、
調整が必要である。図５は、図４の構成に、係る調整を
行うイオンバランス調整部３０を付加した除電器の構成
を示す図である。
交互に極性が変化するため、放電電極７からは、原理的
には正負等しい量のイオンが発生されるはずである。と
ころが、実際には負イオンの方が若干多く発生すること
が知られている。このような正負イオンのアンバランス
は帯電物体８に新たな帯電を引き起こす可能性があり、
調整が必要である。図５は、図４の構成に、係る調整を
行うイオンバランス調整部３０を付加した除電器の構成
を示す図である。
【０００６】図５の構成において、電源１の電流が正の
時はダイオード３１を通過し、昇圧トランス３を介して
昇圧された高電圧が放電電極７に印加される。一方、電
源１の電流が負である場合、この電流は可変抵抗器３２
を介して昇圧トランス３の１次側コイルに供給される。
従って、可変抵抗器３２の抵抗値を調整することによ
り、昇圧トランスの１次側コイルに印加される負成分の
電圧値のみを所望のレベルに低下させることができ、放
電電極７から発生する負イオンの量を低下させ、正負イ
オンのバランスを均等にすることができる。図６は、こ
の除電器における交流電圧波形を示す図であり、斜線で
示した部分が低下した負の電圧量である。
時はダイオード３１を通過し、昇圧トランス３を介して
昇圧された高電圧が放電電極７に印加される。一方、電
源１の電流が負である場合、この電流は可変抵抗器３２
を介して昇圧トランス３の１次側コイルに供給される。
従って、可変抵抗器３２の抵抗値を調整することによ
り、昇圧トランスの１次側コイルに印加される負成分の
電圧値のみを所望のレベルに低下させることができ、放
電電極７から発生する負イオンの量を低下させ、正負イ
オンのバランスを均等にすることができる。図６は、こ
の除電器における交流電圧波形を示す図であり、斜線で
示した部分が低下した負の電圧量である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、高圧ケーブ
ル４として、人体に感電する危険を回避するために同軸
ケーブルが使用される場合がある。このような場合、昇
圧トランス３の２次側の負荷が容量性になり、２次側に
おいて電流の位相が電圧の位相よりも進んだ状態にな
る。この場合、可変抵抗器３２の抵抗値を変化させても
２次側電圧のレベルはあまり変化しないことになる。ま
た、２次側に過電流が流れるのを防止するための安全策
として、昇圧トランス３としてリーケージトランスを使
用する場合がある。このリーケージトランスは漏れリア
クタンスが大であるので、負荷側、すなわち除電電極５
に流れる電流が増大すると２次側の電圧が低下する。上
記同軸ケーブルの使用に加えてこのリーケージトランス
を使用すると、可変抵抗器３２の抵抗値を変化させても
２次側電圧のレベルが変化しにくいという上述した傾向
が更に強まることになる。本発明は、上述した事情に鑑
みてなされたものであり、正負イオンの発生量を最適な
状態に調整することができる除電器のバランス調整回路
を提供することを目的としている。
ル４として、人体に感電する危険を回避するために同軸
ケーブルが使用される場合がある。このような場合、昇
圧トランス３の２次側の負荷が容量性になり、２次側に
おいて電流の位相が電圧の位相よりも進んだ状態にな
る。この場合、可変抵抗器３２の抵抗値を変化させても
２次側電圧のレベルはあまり変化しないことになる。ま
た、２次側に過電流が流れるのを防止するための安全策
として、昇圧トランス３としてリーケージトランスを使
用する場合がある。このリーケージトランスは漏れリア
クタンスが大であるので、負荷側、すなわち除電電極５
に流れる電流が増大すると２次側の電圧が低下する。上
記同軸ケーブルの使用に加えてこのリーケージトランス
を使用すると、可変抵抗器３２の抵抗値を変化させても
２次側電圧のレベルが変化しにくいという上述した傾向
が更に強まることになる。本発明は、上述した事情に鑑
みてなされたものであり、正負イオンの発生量を最適な
状態に調整することができる除電器のバランス調整回路
を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、１次側が交流電源に接続さ
れた昇圧トランスと、前記昇圧トランスの２次側の一端
と結合された放電電極と、この放電電極と対向するよう
に配置されるとともに前記昇圧トランスの２次側の他端
と接続された接地電極とを具備する除電器において、前
記昇圧トランスの１次側と前記交流電源との間に介挿さ
れた第１のダイオードと、前記第１のダイオードと極性
が逆になるように並列に接続された第２のダイオード
と、前記各ダイオードのうち少なくともいずれかのダイ
オードに直列に接続された電圧レベル調整用抵抗器とを
具備することを特徴としている。また、請求項２記載の
発明は、請求項１記載の発明において、前記昇圧トラン
スの１次側電流の位相を調整する位相調整用コイルを具
備することを特徴としている。
に、請求項１記載の発明は、１次側が交流電源に接続さ
れた昇圧トランスと、前記昇圧トランスの２次側の一端
と結合された放電電極と、この放電電極と対向するよう
に配置されるとともに前記昇圧トランスの２次側の他端
と接続された接地電極とを具備する除電器において、前
記昇圧トランスの１次側と前記交流電源との間に介挿さ
れた第１のダイオードと、前記第１のダイオードと極性
が逆になるように並列に接続された第２のダイオード
と、前記各ダイオードのうち少なくともいずれかのダイ
オードに直列に接続された電圧レベル調整用抵抗器とを
具備することを特徴としている。また、請求項２記載の
発明は、請求項１記載の発明において、前記昇圧トラン
スの１次側電流の位相を調整する位相調整用コイルを具
備することを特徴としている。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、電圧レベル調整用抵抗器の
抵抗値を調整して、昇圧トランスに印加される正または
負の１次側電圧のいずれか、あるいは両方の１次側電圧
をそれぞれ所望のレベルに低下させることができるの
で、放電電極から発生する正または負のイオンの量が適
量になるように調整することができる。また、位相調整
用コイルにより昇圧トランスの１次側電流の位相を調整
することができるから、例えば昇圧トランスの２次側と
放電電極および接地電極との間を同軸ケーブルで接続し
て容量リアクタンスが発生した場合においても、位相調
整用コイルの誘導リアクタンスを調整して２次側の電流
と電圧の位相を合わせることができる。
抵抗値を調整して、昇圧トランスに印加される正または
負の１次側電圧のいずれか、あるいは両方の１次側電圧
をそれぞれ所望のレベルに低下させることができるの
で、放電電極から発生する正または負のイオンの量が適
量になるように調整することができる。また、位相調整
用コイルにより昇圧トランスの１次側電流の位相を調整
することができるから、例えば昇圧トランスの２次側と
放電電極および接地電極との間を同軸ケーブルで接続し
て容量リアクタンスが発生した場合においても、位相調
整用コイルの誘導リアクタンスを調整して２次側の電流
と電圧の位相を合わせることができる。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。図１は、本発明の一実施例における除電
器の構成を示す図であり、図４各部と共通する部分には
同一の符号を付し、その説明を省略する。図１におい
て、１０は電源装置、１２は除電電極であり、両者は同
軸ケーブル１１により接続されている。また、昇圧トラ
ンス３としては、リーケージトランスが使用されてい
る。
いて説明する。図１は、本発明の一実施例における除電
器の構成を示す図であり、図４各部と共通する部分には
同一の符号を付し、その説明を省略する。図１におい
て、１０は電源装置、１２は除電電極であり、両者は同
軸ケーブル１１により接続されている。また、昇圧トラ
ンス３としては、リーケージトランスが使用されてい
る。
【００１１】次に、除電電極１２の構成を、その具体的
な構造を示す図（図２）を併せて参照しながら説明す
る。図２において、（Ａ）は正面図、また（Ｂ）は、正
面図（Ａ）のＸ−Ｘ’方向における断面図である。図
１，２に示すように、同軸ケーブル１１の中心導体部分
の先端部分における所定の長さ分が高圧電極１３として
使用されている。次に、図２における符号１７は、絶縁
材料により中空円筒形状に構成された結合リングであ
り、その表面が真鍮等の導体で被覆されている。そし
て、該導体には針状の放電電極１４が突出している。
な構造を示す図（図２）を併せて参照しながら説明す
る。図２において、（Ａ）は正面図、また（Ｂ）は、正
面図（Ａ）のＸ−Ｘ’方向における断面図である。図
１，２に示すように、同軸ケーブル１１の中心導体部分
の先端部分における所定の長さ分が高圧電極１３として
使用されている。次に、図２における符号１７は、絶縁
材料により中空円筒形状に構成された結合リングであ
り、その表面が真鍮等の導体で被覆されている。そし
て、該導体には針状の放電電極１４が突出している。
【００１２】上記結合リング１７は所定間隔毎に複数設
けられ、その中空部分を絶縁性被覆１６で覆われた高圧
電極１３が貫通している。すなわち、高圧電極１３と各
放電電極１４とは、上述した絶縁部分を介して容量的に
結合している。また、１８は、高圧電極１３および放電
電極１４が突出した各結合リング１７を被覆するモール
ド部である。また、１９は、モールド部１８を覆うよう
に設けられた別のモールド部であり、図２に示すような
形態で接地電極１５が固定されるとともに、除電電極１
２を一体化して保護する役目を担っている。
けられ、その中空部分を絶縁性被覆１６で覆われた高圧
電極１３が貫通している。すなわち、高圧電極１３と各
放電電極１４とは、上述した絶縁部分を介して容量的に
結合している。また、１８は、高圧電極１３および放電
電極１４が突出した各結合リング１７を被覆するモール
ド部である。また、１９は、モールド部１８を覆うよう
に設けられた別のモールド部であり、図２に示すような
形態で接地電極１５が固定されるとともに、除電電極１
２を一体化して保護する役目を担っている。
【００１３】次に、図１に示す電源装置１０において、
２０はイオンバランス調整部である。同調整部２０にお
いて、２１，２２は、互いに逆極性になるように並列に
接続された同一種類のダイオードであり、また、ダイオ
ード２２と直列に可変抵抗器２３が接続されている。ま
た、２４は、可変リアクタンスコイルである。
２０はイオンバランス調整部である。同調整部２０にお
いて、２１，２２は、互いに逆極性になるように並列に
接続された同一種類のダイオードであり、また、ダイオ
ード２２と直列に可変抵抗器２３が接続されている。ま
た、２４は、可変リアクタンスコイルである。
【００１４】次に、本実施例の動作を図３を参照して説
明する。図３は、図１の等価回路であり、便宜上昇圧ト
ランス３を含まず直接高圧電源Ｖが供給されているとし
て説明する。図３において、回路のインピーダンスＺ
は、可変リアクタンスコイル２４の誘導リアクタンスを
ＸL 、コンデンサＣ（同軸ケーブル１１等による２次側
回路の容量性部分）の容量リアクタンスをＸC 、抵抗Ｒ
（２次側に接続される負荷）の抵抗値をｒとすれば、 Ｚ ≒ √（ｒ2 ＋（ ＸL −ＸC ）2） ……（１） と表される。ここで、 ＸL ≒ ＸC ……（２） となるように、可変リアクタンスコイル２４の誘導リア
クタンスＸL を調整すれば、 Ｚ ≒ ｒ ……（３） となり、容量リアクタンスＸC の回路に与える影響、す
なわち、同軸ケーブル１１を使用したことによる、電圧
に対する電流の位相進み分が補償される。また、可変抵
抗器２３の抵抗値を変えることにより、高圧電源Ｖの負
の電圧のみを、適性なレベルに低下させることができ
る。
明する。図３は、図１の等価回路であり、便宜上昇圧ト
ランス３を含まず直接高圧電源Ｖが供給されているとし
て説明する。図３において、回路のインピーダンスＺ
は、可変リアクタンスコイル２４の誘導リアクタンスを
ＸL 、コンデンサＣ（同軸ケーブル１１等による２次側
回路の容量性部分）の容量リアクタンスをＸC 、抵抗Ｒ
（２次側に接続される負荷）の抵抗値をｒとすれば、 Ｚ ≒ √（ｒ2 ＋（ ＸL −ＸC ）2） ……（１） と表される。ここで、 ＸL ≒ ＸC ……（２） となるように、可変リアクタンスコイル２４の誘導リア
クタンスＸL を調整すれば、 Ｚ ≒ ｒ ……（３） となり、容量リアクタンスＸC の回路に与える影響、す
なわち、同軸ケーブル１１を使用したことによる、電圧
に対する電流の位相進み分が補償される。また、可変抵
抗器２３の抵抗値を変えることにより、高圧電源Ｖの負
の電圧のみを、適性なレベルに低下させることができ
る。
【００１５】今、可変リアクタンスコイル２４および可
変抵抗器２３を上記条件が満足される状態に調整し、図
１に示す除電電極１２の下方にこれと非接触な状態に帯
電物体を対置して電源スイッチ２をオン状態にしたとす
る。これにより、電源１の出力電圧が昇圧トランス３を
介して例えば７ｋＶに昇圧され、低周波の高電圧が同軸
ケーブル１１を介して高圧電極１３に印加される。
変抵抗器２３を上記条件が満足される状態に調整し、図
１に示す除電電極１２の下方にこれと非接触な状態に帯
電物体を対置して電源スイッチ２をオン状態にしたとす
る。これにより、電源１の出力電圧が昇圧トランス３を
介して例えば７ｋＶに昇圧され、低周波の高電圧が同軸
ケーブル１１を介して高圧電極１３に印加される。
【００１６】ここで、昇圧トランス３の１次側回路にお
いては、上記調整により電流の位相が電圧の位相よりも
遅れるが、２次側回路においては電流の位相が電圧の位
相よりも上記遅れ分進む状態になり、結果として電流と
電圧の位相はほぼ一致する。また、昇圧トランス３の１
次側コイルに印加される負の電圧が低下された分、高圧
電極１３に印加される負の電圧が低下する。よって、可
変抵抗２３の調整により、該高圧電極１３と容量結合さ
れた放電電極１４と接地電極１５との間で発生するコロ
ナ放電による正イオンおよび負イオンの発生量をほぼ均
等にすることができ、対置された帯電物体の帯電電荷が
確実に中和される。また、除電器使用中、周囲大気の状
態の変化等により正負イオンのバランスが崩れてきた場
合には、可変抵抗器２３を再び調整し、正負イオンの発
生量が均等になるようにすれば良い。
いては、上記調整により電流の位相が電圧の位相よりも
遅れるが、２次側回路においては電流の位相が電圧の位
相よりも上記遅れ分進む状態になり、結果として電流と
電圧の位相はほぼ一致する。また、昇圧トランス３の１
次側コイルに印加される負の電圧が低下された分、高圧
電極１３に印加される負の電圧が低下する。よって、可
変抵抗２３の調整により、該高圧電極１３と容量結合さ
れた放電電極１４と接地電極１５との間で発生するコロ
ナ放電による正イオンおよび負イオンの発生量をほぼ均
等にすることができ、対置された帯電物体の帯電電荷が
確実に中和される。また、除電器使用中、周囲大気の状
態の変化等により正負イオンのバランスが崩れてきた場
合には、可変抵抗器２３を再び調整し、正負イオンの発
生量が均等になるようにすれば良い。
【００１７】ところで、図１の構成において、ダイオー
ド２２を設けた理由は以下の通りである。図１におい
て、ダイオード２１および２２の順方向電圧降下量をＶ
d 、可変抵抗器２３の抵抗値をｖｒ、電源１の電流が正
である場合に端子ｔａから端子ｔｂに流れる電流をｉ1
、一方、電源１の電流が負である場合に端子ｔｂから
端子ｔａに流れる電流をｉ2 とすると、電流ｉ1 に対す
る端子ｔａ−ｔｂ間の電圧降下量Ｖ1_ab は、 Ｖ1_ab ＝ Ｖd ……（４） 一方、電流ｉ2 に対する端子ｔｂ−ｔａ間の電圧降下量
Ｖ2_ba は、 Ｖ2_ba ＝ Ｖd ＋ ｖｒ・ｉ2 ……（５） となる。
ド２２を設けた理由は以下の通りである。図１におい
て、ダイオード２１および２２の順方向電圧降下量をＶ
d 、可変抵抗器２３の抵抗値をｖｒ、電源１の電流が正
である場合に端子ｔａから端子ｔｂに流れる電流をｉ1
、一方、電源１の電流が負である場合に端子ｔｂから
端子ｔａに流れる電流をｉ2 とすると、電流ｉ1 に対す
る端子ｔａ−ｔｂ間の電圧降下量Ｖ1_ab は、 Ｖ1_ab ＝ Ｖd ……（４） 一方、電流ｉ2 に対する端子ｔｂ−ｔａ間の電圧降下量
Ｖ2_ba は、 Ｖ2_ba ＝ Ｖd ＋ ｖｒ・ｉ2 ……（５） となる。
【００１８】次に、同回路においてダイオード２２を設
けないと仮定した場合の電流ｉ2 に対する端子ｔｂ−ｔ
ａ間の電圧降下量Ｖ2_ba’は、 Ｖ2_ba’＝ ｖｒ・ｉ2 ……（６） となる。ここで、上述したように昇圧トランスの１次側
電圧の負側を低下させるためには、電圧降下量Ｖ2_ba
またはＶ2_ba’を電圧降下量Ｖ1_ab よりも大にする必
要がある。すなわち、下式（７），（８）における差Δ
Ｖ1 ,ΔＶ2 は、いずれも正にならなければならない。 ΔＶ1 ＝ Ｖ2_ba − Ｖ1_ab ＝ ｖｒ・ｉ2 ……（７） ΔＶ2 ＝ Ｖ2_ba’− Ｖ1_ab ＝ ｖｒ・ｉ2 − Ｖd ……（８）
けないと仮定した場合の電流ｉ2 に対する端子ｔｂ−ｔ
ａ間の電圧降下量Ｖ2_ba’は、 Ｖ2_ba’＝ ｖｒ・ｉ2 ……（６） となる。ここで、上述したように昇圧トランスの１次側
電圧の負側を低下させるためには、電圧降下量Ｖ2_ba
またはＶ2_ba’を電圧降下量Ｖ1_ab よりも大にする必
要がある。すなわち、下式（７），（８）における差Δ
Ｖ1 ,ΔＶ2 は、いずれも正にならなければならない。 ΔＶ1 ＝ Ｖ2_ba − Ｖ1_ab ＝ ｖｒ・ｉ2 ……（７） ΔＶ2 ＝ Ｖ2_ba’− Ｖ1_ab ＝ ｖｒ・ｉ2 − Ｖd ……（８）
【００１９】上式（８）、すなわちダイオード２２を設
けない場合の差ΔＶ2 を、式（７）、すなわちダイオー
ド２２を設ける場合の差ΔＶ1 と同レベルにするために
は、可変抵抗器２３の抵抗値ｖｒをより高くする必要が
ある。ここで、バランス調整に必要な差ΔＶ1 はたかだ
か数Ｖであるので、式（８）においてダイオードの電圧
降下量Ｖd を無視することはできない。実際に、両場合
において正負イオンのバランスを均衡させるために必要
な抵抗値ｖｒを測定したところ、ダイオード２２を設け
た場合は５オーム弱であったのに対し、ダイオード２２
を削除した場合は１５オームであった。このように、ダ
イオード２１，２２を共に設けることにより、バランス
調整に必要な可変抵抗器２３の抵抗値ｖｒを小さくする
ことができる。
けない場合の差ΔＶ2 を、式（７）、すなわちダイオー
ド２２を設ける場合の差ΔＶ1 と同レベルにするために
は、可変抵抗器２３の抵抗値ｖｒをより高くする必要が
ある。ここで、バランス調整に必要な差ΔＶ1 はたかだ
か数Ｖであるので、式（８）においてダイオードの電圧
降下量Ｖd を無視することはできない。実際に、両場合
において正負イオンのバランスを均衡させるために必要
な抵抗値ｖｒを測定したところ、ダイオード２２を設け
た場合は５オーム弱であったのに対し、ダイオード２２
を削除した場合は１５オームであった。このように、ダ
イオード２１，２２を共に設けることにより、バランス
調整に必要な可変抵抗器２３の抵抗値ｖｒを小さくする
ことができる。
【００２０】なお、上述した実施例においてはダイオー
ド２２にのみ直列に可変抵抗器２３を接続した構成とし
たが、他方のダイオード２１にも直列に可変抵抗器を接
続して正の電圧および負の電圧をどちらも調整可能と
し、場合場合に応じて調整しやすい側の電圧のレベルを
調整するようにしても良い。
ド２２にのみ直列に可変抵抗器２３を接続した構成とし
たが、他方のダイオード２１にも直列に可変抵抗器を接
続して正の電圧および負の電圧をどちらも調整可能と
し、場合場合に応じて調整しやすい側の電圧のレベルを
調整するようにしても良い。
【００２１】また、高圧ケーブルとして同軸ケーブルを
使用しない場合や、昇圧トランスとしてリーケージトラ
ンスを使用しない場合等、位相を調整する必要がない場
合は、可変リアクタンスコイル２４を設けなくても良
い。
使用しない場合や、昇圧トランスとしてリーケージトラ
ンスを使用しない場合等、位相を調整する必要がない場
合は、可変リアクタンスコイル２４を設けなくても良
い。
【００２２】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、昇圧トランスの１次側電流の位相および正負電圧の
レベルのバランスを調整することができるので、正負イ
オンの発生量を最適な状態に調整することができる。
ば、昇圧トランスの１次側電流の位相および正負電圧の
レベルのバランスを調整することができるので、正負イ
オンの発生量を最適な状態に調整することができる。
【図１】本発明の一実施例におけるバランス調整回路を
有する除電器の構成を示すブロック図である。
有する除電器の構成を示すブロック図である。
【図２】図１における除電電極１２の具体的な構造を示
す図である。
す図である。
【図３】図１の構成の等価回路を示す図である。
【図４】従来例の除電器の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図５】従来例のイオンバランス調整部を有する除電器
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図６】図５の除電器の交流波形を示す図である。
１ 交流電源 ３ 昇圧トランス １４ 放電電極 １５ 接地電極 ２１，２２ ダイオード ２３ 可変抵抗器（電圧レベル調整用抵抗器） ２４ 可変リアクタンスコイル（位相調整用コイ
ル）
ル）
Claims (2)
- 【請求項１】 １次側が交流電源に接続された昇圧トラ
ンスと、前記昇圧トランスの２次側の一端と結合された
放電電極と、この放電電極と対向するように配置される
とともに前記昇圧トランスの２次側の他端と接続された
接地電極とを具備する除電器のバランス調整回路におい
て、 前記昇圧トランスの１次側と前記交流電源との間に介挿
された第１のダイオードと、 前記第１のダイオードと極性が逆になるように並列に接
続された第２のダイオードと、 前記各ダイオードのうち少なくともいずれかのダイオー
ドに直列に接続された電圧レベル調整用抵抗器とを具備
することを特徴とする除電器のバランス調整回路。 - 【請求項２】 前記昇圧トランスの１次側電流の位相を
調整する位相調整用コイルを具備することを特徴とする
請求項１記載の除電器のバランス調整回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04160994A JP3450048B2 (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 除電器のバランス調整回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04160994A JP3450048B2 (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 除電器のバランス調整回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07249497A true JPH07249497A (ja) | 1995-09-26 |
| JP3450048B2 JP3450048B2 (ja) | 2003-09-22 |
Family
ID=12613102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04160994A Expired - Fee Related JP3450048B2 (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 除電器のバランス調整回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3450048B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7479615B2 (en) | 2004-04-08 | 2009-01-20 | Mks Instruments, Inc. | Wide range static neutralizer and method |
| US7679026B1 (en) | 2004-04-08 | 2010-03-16 | Mks Instruments, Inc. | Multi-frequency static neutralization of moving charged objects |
| US8063336B2 (en) | 2004-04-08 | 2011-11-22 | Ion Systems, Inc. | Multi-frequency static neutralization |
| JP2013514619A (ja) * | 2009-12-17 | 2013-04-25 | ペリソ・ソシエテ・アノニム | 空気二極イオン化方法及び対応する空気二極イオン化回路 |
| US8773837B2 (en) | 2007-03-17 | 2014-07-08 | Illinois Tool Works Inc. | Multi pulse linear ionizer |
| US8885317B2 (en) | 2011-02-08 | 2014-11-11 | Illinois Tool Works Inc. | Micropulse bipolar corona ionizer and method |
| US9125284B2 (en) | 2012-02-06 | 2015-09-01 | Illinois Tool Works Inc. | Automatically balanced micro-pulsed ionizing blower |
| US9642232B2 (en) | 2008-06-18 | 2017-05-02 | Illinois Tool Works Inc. | Silicon based ion emitter assembly |
| US9918374B2 (en) | 2012-02-06 | 2018-03-13 | Illinois Tool Works Inc. | Control system of a balanced micro-pulsed ionizer blower |
-
1994
- 1994-03-11 JP JP04160994A patent/JP3450048B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7479615B2 (en) | 2004-04-08 | 2009-01-20 | Mks Instruments, Inc. | Wide range static neutralizer and method |
| US7679026B1 (en) | 2004-04-08 | 2010-03-16 | Mks Instruments, Inc. | Multi-frequency static neutralization of moving charged objects |
| US8063336B2 (en) | 2004-04-08 | 2011-11-22 | Ion Systems, Inc. | Multi-frequency static neutralization |
| US8773837B2 (en) | 2007-03-17 | 2014-07-08 | Illinois Tool Works Inc. | Multi pulse linear ionizer |
| US9642232B2 (en) | 2008-06-18 | 2017-05-02 | Illinois Tool Works Inc. | Silicon based ion emitter assembly |
| US10136507B2 (en) | 2008-06-18 | 2018-11-20 | Illinois Tool Works Inc. | Silicon based ion emitter assembly |
| JP2013514619A (ja) * | 2009-12-17 | 2013-04-25 | ペリソ・ソシエテ・アノニム | 空気二極イオン化方法及び対応する空気二極イオン化回路 |
| US8885317B2 (en) | 2011-02-08 | 2014-11-11 | Illinois Tool Works Inc. | Micropulse bipolar corona ionizer and method |
| US9125284B2 (en) | 2012-02-06 | 2015-09-01 | Illinois Tool Works Inc. | Automatically balanced micro-pulsed ionizing blower |
| US9918374B2 (en) | 2012-02-06 | 2018-03-13 | Illinois Tool Works Inc. | Control system of a balanced micro-pulsed ionizer blower |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3450048B2 (ja) | 2003-09-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100489819B1 (ko) | 고주파 교류 고전압을 이용한 정전기 제거장치 | |
| US4052177A (en) | Electrostatic precipitator arrangements | |
| US7375945B2 (en) | Ion generator | |
| US7759654B2 (en) | Apparatus for generating corona discharges | |
| CN102612246A (zh) | 静电消除器 | |
| JPH07249497A (ja) | 除電器のバランス調整回路 | |
| JPS5933800A (ja) | イオン放出を制御できる静電除去装置 | |
| MX169076B (es) | Procedimiento para el control de funcionamiento de un aparato de recubrimiento electroestatico | |
| US7170734B2 (en) | Air ionization device | |
| JP3471511B2 (ja) | 除電器のイオンバランス調整回路 | |
| JP2001110590A (ja) | 直流除電器 | |
| JP2725166B2 (ja) | 静電気除去方法とその装置 | |
| JP2789187B2 (ja) | 移動体の除電方法 | |
| TW364061B (en) | Voltmeter, suitable for medium/high-voltage devices, having a surface-wave device | |
| KR100205392B1 (ko) | 공기조화기의 전기집진장치 | |
| JPH0997700A (ja) | 除電器のイオンバランス調整回路 | |
| JP2002305070A (ja) | コロナ放電装置 | |
| JPH08321394A (ja) | 除電器 | |
| JPH07220892A (ja) | 除電器 | |
| CN2170619Y (zh) | 分流式直流静电消除器 | |
| JPS6127570A (ja) | 放電装置 | |
| US4124846A (en) | Method and apparatus for providing output indications in response to the presence of an electromagnetic energy receptor | |
| SU1653041A1 (ru) | Искровой разр дник | |
| JP3507897B2 (ja) | 大気圧グロー放電発生器及び除電器 | |
| CA1217527A (en) | Voltage control circuit |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030603 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |