JPH07247164A - 圧電磁器組成物 - Google Patents

圧電磁器組成物

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JPH07247164A
JPH07247164A JP7026321A JP2632195A JPH07247164A JP H07247164 A JPH07247164 A JP H07247164A JP 7026321 A JP7026321 A JP 7026321A JP 2632195 A JP2632195 A JP 2632195A JP H07247164 A JPH07247164 A JP H07247164A
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浩一 河野
Mitsuru Sube
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電定数と機械的品質係数がともに大きく、
温度特性の安定性に優れ、しかも低温焼成が可能な、超
音波モータ、超音波振動子、圧電アクチュエータなどの
材料として用いるのに適した圧電磁器組成物を提供す
る。 【構成】 一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
cPbZrO3 で表される組成物の、前記a,b,cをそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
0である)とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本願発明は、圧電磁器組成物に関
し、詳しくは、超音波モータ、超音波振動子、圧電アク
チュエータなどに用いられる圧電磁器組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】超音波モータ、超音波振動子、圧電アク
チュエータなどに用いられる圧電材料としては、機械的
品質係数が大きくて高電圧印加時の発熱が少なく、ま
た、圧電定数が大きくて振動振幅が大きい材料(圧電磁
器組成物)が望まれている。
【0003】また、例えば、超音波モータ用の圧電材料
としては、安定した回転数やトルクを得るために温度特
性が安定していることが重要な要件となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の圧電磁
器組成物では、機械的品質係数と圧電定数の両方を同時
に十分に大きくすることは困難であり、また、温度特性
の安定性も十分ではない場合が多い。
【0005】また、上記要件をできるだけ満たすように
組成を調整した圧電磁器組成物は、焼成温度が1200
〜1300℃と高い場合が多い。
【0006】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、圧電定数と機械的品質係数がともに大きく、温度
特性の安定性に優れ、しかも低温焼成が可能な、超音波
モータ、超音波振動子、圧電アクチュエータなどの材料
として用いるのに適した圧電磁器組成物を提供すること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明の圧電磁器組成物は、一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
0である)の範囲にあることを特徴とする。
【0008】また、本願発明の圧電磁器組成物は、一般
式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
0である)の範囲にある組成物に対して、Mg,Co,
Niの少なくとも1種を、それぞれMg(OH)2,C
oO,NiOに換算して0.50wt%以下の割合で添
加したことを特徴とする。
【0009】さらに、本願発明の圧電磁器組成物は、一
般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
0である)の範囲にあり、かつ、Pbの5モル%以下
が、Ca,Sr,Ba,Laの少なくとも1種により置
換されていることを特徴とする。
【0010】さらに、本願発明の圧電磁器組成物は、一
般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
0である)の範囲にあり、かつ、Pbの5モル%以下
が、Ca,Sr,Ba,Laの少なくとも1種により置
換されている組成物に対して、Mg,Co,Niの少な
くとも1種を、それぞれMg(OH)2,CoO,Ni
Oに換算して0.50wt%以下の割合で添加したこと
を特徴とする。
【0011】
【実施例】以下、本願発明の実施例を示して、その特徴
とするところをさらに具体的に説明する。
【0012】一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
cPbZrO3 ……(1) (但し、a+b+c=100) で表わした場合に、x,a,b,cが表1,表2,表
3,表4に示すような割合になるように構成された基本
組成物に対して、PbO,TiO2,ZrO2,MnCO
3,Sb23,WO3の各原料と各添加物を表1〜表4に
示すような組成となるように秤取し、ボールミルを用い
て湿式混合する。なお、表1〜表4において、Mg,C
o,Niは、それぞれ添加したMg化合物,Co化合
物,Ni化合物をMg(OH)2,CoO,NiOに換
算した値を示す。
【0013】それから、湿式混合することにより得られ
た混合物を乾燥した後、850〜950℃で2時間仮焼
し、この仮焼原料をボールミルを用いて湿式粉砕するこ
とにより調整粉末を得た。
【0014】そして、この調整粉末に水またはポリビニ
ルアルコールなどの粘結剤を添加し、プレス成形を行っ
た後、1100〜1200℃の温度で2時間保持して焼
成を行った。
【0015】次に、焼成することにより得られた磁器を
直径10mm、厚さ1mmの円板状に研磨し、両端面に銀電
極を焼き付けした後、80℃の絶縁オイル中で60分
間、3〜4kVの電界で分極処理を行って圧電磁器を得
た。
【0016】上記のようにして得られた圧電磁器につい
て調べた特性を表1,表2,表3,表4に示す。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】
【表3】
【0020】
【表4】
【0021】表1〜表4において、試料No.に*印を付し
たものは、この発明の範囲外の比較例であり、その他の
ものはこの発明の範囲内の実施例である。
【0022】なお、表中のd31は圧電定数、Qmは機械
的品質係数、C−TCは静電容量の−20〜80℃にお
ける温度係数である。
【0023】但し、圧電特性は、インピーダンス測定器
により共振周波数及び反共振周波数を測定し、計算によ
り求めた(日本電子材料工業会標準規格(EMAS−6
100)による)。また、温度係数の測定周波数は1k
Hzである。
【0024】この発明の圧電磁器組成物において、基本
組成の第三成分内の比率及び酸化物の比率、すなわち、
a,b,cの値を前記のように定めたのは、この範囲外
では、圧電定数(d31)や機械的品質係数(Qm)が小
さくなったり、温度係数(C−TC)が悪くなったりす
ることによる。以下に、その限定理由を詳しく説明す
る。
【0025】表1,表2の試料No.1〜23の各圧電磁
器(試料)の特性を検討することにより、a,b,cの
値がこの発明の範囲外の試料(比較例)は、圧電定数
(d31)と機械的品質係数(Qm)の少なくとも一方が
極めて小さいか、温度係数(C−TC)が大きくて温度
特性が悪いことがわかる。
【0026】まず、aの値については、例えば、表1の
試料No.7に示すように、aの値が2モル%未満の試料
(試料No.7では1.0モル%)においては、圧電定数
(d31)及び機械的品質係数(Qm)が悪くなってお
り、また、表1の試料No.17に示すように、aの値が
10モル%を越える試料(試料No.17では12.0モ
ル%)においては、圧電定数(d31)及び機械的品質係
数(Qm)が悪く、温度係数(C−TC)も悪くなって
いることがわかる。
【0027】したがって、上記一般式(1)のaの値は、
2モル%〜10モル%の範囲にあることが好ましい。
【0028】また、bの値については、表1の試料No.
18に示すように、bの値が40モル%未満の試料(試
料No.18では38.0モル%)においては、圧電定数
(d31)が低く、温度係数(C−TC)も悪くなってお
り、また、表2の試料No.22,23に示すように、b
の値が52モル%を越える試料(試料No.22では5
4.0モル%、試料No.23では58.0モル%)にお
いては、圧電定数(d31)が悪くなっていることがわか
る。
【0029】したがって、上記一般式(1)のbの値は、
40モル%〜52モル%の範囲にあることが好ましい。
【0030】また、上記一般式(1)のcの値は、a+b
+c=100であることから、aとbの値により自動的
に定まる値である。
【0031】この発明の圧電磁器組成物においては、x
の値に特別の制約を設けていないが、良好な特性を有す
る実用可能な圧電磁器を得るためには、xは概略35〜
48%(0.35〜0.48)の範囲にあることが好ま
しい。なお、例えば、試料No.1のxが35%(0.3
5)未満の圧電磁器はそりの発生する可能性が高く、実
用には適していない。
【0032】また、表2の試料No.24〜35は、Mg
(Mg化合物)を添加し、その添加量を変化させた圧電
磁器である。これらの試料より、Mgを添加すると機械
的品質係数(Qm)が向上するが、Mgの添加量がMg
(OH)2に換算して0.50重量%を越えると、逆に
機械的品質係数(Qm)が大幅に低下することがわか
る。
【0033】また、表2の試料No.36〜40は、Co
(Co化合物)を添加し、その添加量を変化させた圧電
磁器である。これらの試料より、Coの添加による特性
の変化には、上記Mgの添加による特性の変化と同様の
傾向があることがわかる。
【0034】また、表3の試料No.41〜45は、Ni
(Ni化合物)を添加し、その添加量を変化させた圧電
磁器であるが、Niの添加による特性の変化にも上記M
gの添加による特性の変化と同様の傾向がある。
【0035】さらに、表3の試料No.46〜48より、
Mg(Mg化合物),Co(Co化合物),Ni(Ni
化合物)を2種以上添加した場合にも、圧電定数
(d31)及び機械的品質係数(Qm)が大きく、良好な
温度特性を有する圧電磁器が得られていることがわか
る。但し、表3の試料No.49に示すように、Mg,C
o,Niの添加量の合計(Mg(OH)2,CoO,N
iOへの換算値の合計)が0.50重量%を越えると機
械的品質係数(Qm)が大幅に低下する傾向がある。
【0036】したがって、Mg,Co,Niの添加量
は、それぞれをMg(OH)2,CoO,NiOに換算
した値の合計量が0.50重量%以下になるように調整
することが必要である。
【0037】さらに、Mg−Co,Mg−Ni,Co−
Ni,Mg−Co−Niを組み合わせて添加した場合の
特性を表5,表6に示す。なお、表5,表6において、
Mg,Co,Niは、それぞれ添加したMg化合物,C
o化合物,Ni化合物をMg(OH)2,CoO,Ni
Oに換算した値を示す。また、表5,表6において、試
料No.に*印を付したものは、この発明の範囲外の比較例
であり、その他のものはこの発明の範囲内の実施例であ
る。
【0038】
【表5】
【0039】
【表6】
【0040】なお、表5,表6には、比較を容易にする
ために、上記表3の試料No.46〜49のデータを重複
して示している。
【0041】表5,表6に示すように、Mg,Co,N
iを、それぞれ、Mg(OH)2,CoO,NiOに換
算した場合の合計量が0.50wt%以下になるような
種々の割合で組み合わせて添加した場合にも、圧電定数
(d31)及び機械的品質係数(Qm)が大きく、良好な
温度特性を有する圧電磁器を得ることができる。
【0042】また、表4の試料No.50〜54は、Ca
によりPbの一部を置換した試料である。置換量がこの
発明の範囲内の試料においては、機械的品質係数(Q
m)が増加するが、置換量が5モル%を越えると圧電定
数(d31)及び温度係数(C−TC)が悪化する(試料
No.54)。また、Pb(すなわちAサイト)を置換す
ることにより、上記の効果の他にさらに焼結性を向上さ
せるという効果が得られる。
【0043】さらに、表4の試料No.55〜70より、
PbをCa,Sr,Ba,Laの少なくとも1種で置換
した系においても、Mg,Co,Niを添加した場合に
は、Pbを置換しない系における場合の添加効果と同様
の添加効果が認められ、その添加量がMg(OH)2
CoO,NiOに換算して0.50重量%以下であれば
圧電定数(d31)が向上することがわかる。
【0044】なお、上記Mg,Co,Niを添加した系
においても、Ca,Sr,Ba,Laの少なくとも1種
によるPbの置換量の合計が5モル%を越えると、試料
No.57,60,70に示すように、圧電定数(d31
や温度係数(C−TC)が悪化することがわかる。
【0045】したがって、Pbの、Ca,Sr,Ba,
Laの少なくとも1種による置換量は、5モル%以下で
あることが好ましい。
【0046】但し、Pb(すなわちAサイト)の5モル
%以下を置換した試料においても、Mg,Co,Niの
添加量(それぞれをMg(OH)2,CoO,NiOに
換算した値の合計量)が0.50重量%を越えると機械
的品質係数(Qm)が大幅に低下する(試料No.64)
傾向がある。
【0047】なお、種々の条件で各添加物(Mg,C
o,Ni)の添加と各置換元素(Ca,Sr,Ba,L
a)による置換を組み合わせた場合の特性を表7〜11
に示す。なお、表7〜11において、Mg,Co,Ni
は、それぞれ添加したMg化合物,Co化合物,Ni化
合物をMg(OH)2,CoO,NiOに換算した値を
示す。また、表7〜11において、試料No.に*印を付し
たものは、この発明の範囲外の比較例であり、その他の
ものはこの発明の範囲内の実施例である。
【0048】
【表7】
【0049】
【表8】
【0050】
【表9】
【0051】
【表10】
【0052】
【表11】
【0053】なお、表7〜11には、比較を容易にする
ために、上記表4の試料No.50〜70のデータを重複
して示している。
【0054】表7〜11に示すように、各添加物(M
g,Co,Ni)の添加と各置換元素(Ca,Sr,B
a,La)による置換を組み合わせた場合にも、圧電定
数(d31)及び機械的品質係数(Qm)が大きく、良好
な温度特性を有する圧電磁器が得られることがわかる。
【0055】
【発明の効果】上述のように、一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
cPbZrO3 で表される組成物のa,b,cの値(モル%)を 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 とするとともに、必要に応じてMg,Co,Niの少な
くとも1種を添加し、さらに、Pbの一部をCa,S
r,Ba,Laの少なくとも1種により置換した本願発
明の圧電磁器組成物は、実施例にも示したように、圧電
定数及び機械的品質係数がともに大きく、しかも温度特
性が安定しており、温度が変動するような条件下におい
ても安定して大きな振動を得ることができる。
【0056】また、従来の圧電磁器組成物に比べて約1
00℃程度低い温度で焼成することが可能になるため、
酸化鉛の蒸発を抑えて、再現性の良好な圧電磁器を得る
ことが可能になる。
【0057】したがって、本願発明の圧電磁器組成物
は、超音波モータ、超音波振動子、圧電アクチュエータ
などの圧電材料として、特に有意義であり、工業的にも
広く利用することが可能である。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
    cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
    0である)の範囲にあることを特徴とする圧電磁器組成
    物。
  2. 【請求項2】 一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
    cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
    0である)の範囲にある組成物に対して、Mg,Co,
    Niの少なくとも1種を、それぞれMg(OH)2,C
    oO,NiOに換算して0.50wt%以下の割合で添
    加したことを特徴とする圧電磁器組成物。
  3. 【請求項3】 一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
    cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
    0である)の範囲にあり、かつ、Pbの5モル%以下
    が、Ca,Sr,Ba,Laの少なくとも1種により置
    換されていることを特徴とする圧電磁器組成物。
  4. 【請求項4】 一般式: aPb(MnxSb-4x+23x-1)O3−bPbTiO3
    cPbZrO3 で表され、前記a,b,cがそれぞれ、 2≦a≦10 40≦b≦52 38≦c≦58 (但し、a,b,cはモル%であり、a+b+c=10
    0である)の範囲にあり、かつ、Pbの5モル%以下
    が、Ca,Sr,Ba,Laの少なくとも1種により置
    換されている組成物に対して、Mg,Co,Niの少な
    くとも1種を、それぞれMg(OH)2,CoO,Ni
    Oに換算して0.50wt%以下の割合で添加したこと
    を特徴とする圧電磁器組成物。
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