JPH07245443A - 駆動周波数混合型モード同期レーザ装置 - Google Patents
駆動周波数混合型モード同期レーザ装置Info
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- JPH07245443A JPH07245443A JP6033735A JP3373594A JPH07245443A JP H07245443 A JPH07245443 A JP H07245443A JP 6033735 A JP6033735 A JP 6033735A JP 3373594 A JP3373594 A JP 3373594A JP H07245443 A JPH07245443 A JP H07245443A
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Abstract
測の分野で高速パルス光源として使用される駆動周波数
混合型モード同期レーザ装置に関し、レーザ単体で繰り
返し周波数Freq およびパルス幅Δtを独立に変化させ
ることを実現する。 【構成】 リング共振器又はファブリペロー共振器の縦
モードの周波数間隔fr(=c/R)の整数倍となる2
つ以上の異なる周波数f1(=N1fr),f2(=N2fr),
…を混合した周波数混合駆動信号を発生する駆動信号発
生手段を備え、この周波数混合駆動信号を共振器の光変
調手段に与える。
Description
生させ、光通信や光計測の分野で高速パルス光源として
使用される駆動周波数混合型モード同期レーザ装置に関
する。
(フェムト秒領域)の発生や、長距離光伝送に適したト
ランスフォームリミット(TL)光パルス(時間バンド
幅積が最小となる光パルス)の発生が可能である。その
利点を活かして、これまで大容量長距離光通信や高速光
計測の分野への応用を目指して研究開発が進められてい
る(参考文献:S.Kawanishi et.al., " 100Gbit/s,50km
optical transmissionemploying all-optical multi/d
emultiplexing and PLC timing extraction",inTechnic
al Digest of OFC'93,No.PD2,1993,pp.13-16)。
構成の一例を示す(参考文献:R.P.Davey et.al.,"High
-speed mode-locked, tunable, integrated Erbium fib
erlaser",Electron.Lett.,1992,28,pp.482-484) 。
動信号発生手段10aとリング共振器20とにより構成
される。駆動信号発生手段10aは、所定の周波数fm
で発振する発振器111の発振器出力を電圧増幅手段
12で増幅し、直流電圧重畳手段13で直流電圧源14
から与えられる直流電圧Vb を重畳して駆動信号を出
力する構成である。リング共振器20は、光変調手段2
1と、変調された光パルスを増幅する光増幅手段22
と、光パルスの進行方向を規定し反射戻り光を遮断する
光アイソレータ23と、発振波長を光増幅手段22の利
得スペクトル幅内で決定する光フィルタ24と、増幅さ
れた光パルス(モード同期レーザ出力光)を外部に取
り出す光分岐手段25と、共振器長を調節する光遅延手
段26と、各手段をリング状に光結合する光結合手段2
7とにより構成される。光変調手段21は、駆動信号発
生手段10aから与えられる駆動信号の周波数fm に
応じて光の損失あるいは位相を変調する。
O3 等の電気光学効果を利用した変調器や、半導体レー
ザ増幅器や、電界吸収型光変調器その他が用いられる。
光増幅手段22としては、主にEr やNd 等の希土類を
添加した希土類ドープ光ファイバ増幅器や、半導体レー
ザ増幅器が用いられる。希土類ドープ光ファイバ増幅器
には、励起光の注入方式に応じて後方励起,前方励起,
双方向励起がある。
平面基板に形成されたチャネル型光導波路(参考文献:
Y.Hibino et.al., "Silica-based optical waveguide r
inglaser integrated with semiconductor laser ampli
fier on Si substrate ",Electron.Lett.,1992,28,pp.
1932-1933 ) その他が用いられる。
のモード同期レーザ装置の動作原理について説明する。
は発振器出力、は駆動信号、は光変調器特性、
は光変調波形、はモード同期レーザ出力光波形、は
スペクトルである。
光強度変調器を使用する場合に、光変調器の透過強度特
性は一般に、
長電圧、Vは駆動信号電圧、Vb は定数である。周波数
fm の発振器出力は、ピーク−ピーク電圧VP-P がV
o 以下(光変調器特性の極大値−極小値の電圧範囲
内)となるように電圧増幅手段12で増幅され、直流電
圧重畳手段13で直流バイアス電圧Vb が重畳されて駆
動信号となる。この駆動信号は、
大きな振幅を持っている場合には電圧増幅手段12は不
要である。また、光変調器特性でVb が0に十分近い
場合には直流電圧重畳手段13および直流電圧源14は
不要である。光変調手段21をこの駆動信号で駆動す
ると、光変調波形は、
駆動信号の周波数fm を駆動周波数という。さて、リ
ング共振器の光路長Rは、リング共振器の各構成要素の
物理長をLとし屈折率をnとすると、それぞれの屈折率
ni にそれぞれの物理長Li を乗じた値(それぞれの光
路長)の和であり、
数間隔fr (=c/R:cは光速度)の多数の縦モード
が存在する。ここで、周波数間隔fr と駆動周波数fm
が等しいとき、すなわち
数間隔fr のすべての縦モードの位相が揃うモード同期
発振状態となり、に示すように繰り返し周波数Freq
=fmの光パルス列が得られる。なお、fm ≠fr のと
きは、図11に示すようにリング共振器内に光遅延手段
26を配置し、リング共振器の光路長Rを調整する。な
お、このスペクトル包絡線の中心が中心波長(周波数ν
0 )となる。また、パルス幅Δtと、多数の縦モードス
ペクトルの包絡線で定まる発振スペクトル幅δνとの積
(時間バンド幅積)が最小となる光パルスをトランスフ
ォームリミット(TL)光パルスと呼んでいる。
整数倍の場合は、高調波のモード同期条件として
N・fr の光パルス列が得られる。ここで、Nは自然数
である。したがって、従来のモード同期レーザ装置で
は、出力光の繰り返し周波数Freq と駆動周波数fm と
は等しくなる。
Δtは、モード同期理論により
asers" (University Science Books),p.1064) 。ここ
で、γは光増幅手段22の利得定数、Δm は光変調手段
21の変調度、Δfa は光増幅手段22のバンド幅であ
る。これにより、モード同期レーザ出力光のパルス幅
Δtは、1/(fm Δfa)1/2に比例することがわかる。
したがって、パルス幅Δtを減少(または増加)させる
には、光変調手段21の駆動周波数fm を高く(または
低く)すればよい。すなわち、光変調手段21のゲート
幅を狭く(または広く)すればよいことがわかる。
では、パルス幅Δtは繰り返し周波数Freq(=駆動周波
数fm )に依存することになる。ここで、 (7)式より求
めたパルス幅Δtと繰り返し周波数Freq との関係を図
13に示す。また、パルス幅Δtは、光フィルタ24で
制限される光増幅手段22のバンド幅Δfa にも依存す
るので、各バンド幅との対応関係も併せて示す。
req =10GHzに対してΔt=10psというように、特定
の繰り返し周波数において特定のパルス幅の光パルスが
必要となる。また、光サンプリング等の光計測では、低
繰り返し周波数(数10kHz)で超短光パルス(数ps以
下)が必要となる(参考文献:山林 他、「LiNbO3導波
路と超短光パルスを用いた光サンプリング」、昭和63年
度電子情報通信学会春季全国大会予稿集、B-671)。
固定されている場合には、主に共振器内に配置した光フ
ィルタ24のバンド幅を調節することにより、 (7)式に
おけるΔfa を変化させてパルス幅Δtの制御を行って
いた。図13の点A,B,C,Dに示すように、特定の
繰り返し周波数Freq (この場合1.58GHz)において、
バンド幅Δfa を増加(または減少)させることによ
り、パルス幅Δtの減少(または増加)が可能になって
いる。
ド幅Δfa は、光増幅媒体の原子線幅Δfatomで制限さ
れる。したがって、光フィルタ24を用いた従来のパル
ス幅制御方法では、フィルタなし(Δfa=650GHz)の
場合のパルス幅より小さい光パルス(図13の斜線領
域)を発生させることは不可能であった。そのために、
比較的遅い繰り返し周波数Freq においては、パルス幅
Δtが十分に小さい光パルスを得ることができなかっ
た。
ルス幅の狭い電気信号を光変調手段21に与えてその駆
動周波数fm を等価的に高くし、所定のバンド幅Δfa
でパルス幅Δtを小さくする方法があるが、信号源での
ジッタが大きいという欠点があった。
て、この理論限界よりさらに小さいパルス幅のTL光パ
ルスを得るために、光パルスの断熱圧縮を利用する方法
(参考文献:K.Suzuki et.al.,Tech.Digest OAA'93, Tu
D2,p.314) がある。しかし、この方法では、レーザ共振
器外部での断熱圧縮手段を必要とするために構成が複雑
であった。
し、モード同期レーザ装置単体で繰り返し周波数Freq
およびパルス幅Δtを独立に変化させることができる駆
動周波数混合型モード同期レーザ装置を提供することを
目的とする。
またはファブリペロー共振器の縦モードの周波数間隔f
r の整数倍となる2つ以上の異なる周波数f1(=N1f
r),f2(=N2fr),…を混合した周波数混合駆動信号
を発生する駆動信号発生手段を備え、この周波数混合駆
動信号を共振器の光変調手段に与える(請求項1,請求
項2)。
数で発振する2個以上の発振器と、各発振器出力を混合
する混合器とにより構成される(請求項3)。また、駆
動信号発生手段は、所定の周波数で発振する発振器と、
発振器出力の周波数をM倍に逓倍する逓倍器とにより構
成される(請求項4)。
で発振する発振器と、発振器出力の周波数を1/Mに分
周する分周器とにより構成される(請求項5)。また、
駆動信号発生手段は、それぞれ異なる周波数で発振する
2個以上の発振器と、発振器出力の周波数をM倍に逓倍
する逓倍器と、発振器出力および逓倍器出力を混合して
周波数混合駆動信号を生成する混合器とにより構成され
る(請求項6)。
る周波数で発振する2個以上の発振器と、発振器出力の
周波数を1/Mに分周する分周器と、発振器出力および
逓倍器出力を混合して周波数混合駆動信号を生成する混
合器とにより構成される(請求項7)。
光遅延手段を配置し、さらに発振波長を光増幅手段の利
得スペクトル幅内に調整する光フィルタを配置する(請
求項8,請求項9)。
置では、複数の周波数を混合した周波数混合駆動信号で
光変調手段を駆動すると、その高周波数成分により狭い
ゲート幅が形成され、対応するパルス幅Δtの短光パル
スが得られる。一方、共振器内の伝搬光はこの変調を繰
り返し受けるので、繰り返し周波数Freq は周波数混合
駆動信号の包絡線の繰り返し周波数(各駆動周波数の最
大公約数)となる。
段を駆動することにより、パルス幅Δtと繰り返し周波
数Freq を独立に制御することができる。しかも、周波
数混合駆動信号を生成すればよいので、装置単体で実現
することができる。
期レーザ装置の第1実施例の構成を示す(請求項1)。
モード同期レーザ装置は、駆動信号発生手段10bとリ
ング共振器20とにより構成される。駆動信号発生手段
10bは、従来の駆動信号発生手段10aにおける発振
器111に代えて、周波数混合信号を出力する周波数
混合信号発生手段11を備えたことを特徴としている。
電圧増幅手段12,直流電圧重畳手段13および直流電
圧源14は同様に構成される。リング共振器20は、光
変調手段21,光増幅手段22,光アイソレータ23,
光フィルタ24,光分岐手段25,光遅延手段26およ
び光結合手段27により同様に構成される。
同期レーザ装置の第2実施例の構成を示す(請求項
2)。図において、本実施例の駆動周波数混合型モード
同期レーザ装置は、駆動信号発生手段10bとファブリ
ペロー共振器30とにより構成される。駆動信号発生手
段10bは、第1実施例と同様の構成である。ファブリ
ペロー共振器30は、2つの光学ミラー31,32の間
に光変調手段21,光増幅手段22および光フィルタ2
4を配置した構成である。本実施例は、共振器構成がフ
ァブリペロー型である他は、リング共振器を用いた第1
実施例と同様の構成である。
合信号発生手段11の第1実施例の構成を示す(請求項
3)。図において、111−1,111−2は、第1発
振器および第2発振器であり、112は混合器である。
また、第2発振器111−2と混合器112との間に、
必要に応じて位相シフタ113が挿入される。
施例の動作原理について説明する。第1発振器111−
1および第2発振器111−2は、それぞれ異なる周波
数fm1およびfm2で発振している(-1,-2)。ここ
で、各発振器の周波数を調整するか、またはリング共振
器20では光遅延手段26を用いて光路長Rを調整し、
ファブリペロー共振器30では光学ミラー31,32を
移動して光路長Rを調整し、周波数fm1およびfm2が共
振器の縦モードの周波数間隔fr の整数倍と等しくなる
ように設定する。すなわち、
2 は自然数であり、N1<N2とする。また、各発振器は
互いに同期させており、各発振器出力-1,-2の位相
差は時間的に一定である。混合器112は、各発振器出
力を混合して周波数混合信号を生成する。ここで、周
波数混合信号の最大ピーク点が包絡線の繰り返し周期
内で複数できる場合には、最大ピーク点が1つになるよ
うに位相シフタ113を調節して各発振器出力-1,
-2に位相差θを与える。
混合信号は、ピーク−ピーク電圧VP-P がVo 以下
(光変調器特性の極大値−極小値の電圧範囲内)とな
るように電圧増幅手段12で増幅され、直流電圧重畳手
段13で直流バイアス電圧Vbが重畳されて周波数混合
駆動信号となる。この周波数混合駆動信号は、
N1frおよびN2fr成分の振幅である。なお、周波数混
合信号が十分に大きな振幅を持っている場合には電圧
増幅手段12は不要である。また、光変調器特性でV
b が0に十分近い場合には直流電圧重畳手段13および
直流電圧源14は不要である。
で駆動すると、光変調波形は、
frの波形を駆動周波数N1frで強度変調した波形とな
っている。したがって、高周波数成分N2frにより狭い
ゲート幅が形成され、 (7)式において駆動周波数fm =
N2frに相当するパルス幅Δtの短光パルスが得られ
る。一方、共振器内の伝搬光は繰り返しこの変調を受
け、光変調波形のピーク点(図5のA,A′点)の
光パルスが選択的に成長するので、繰り返し周波数Fre
q は周波数混合駆動信号の包絡線の繰り返し周波数と
なる。この包絡線の繰り返し周波数は、駆動周波数N1
frと駆動周波数N2frの最大公約数である。
動信号を光変調手段21に与えることにより、パルス
幅Δtと繰り返し周波数Freq を独立に制御することが
できる。たとえば、fm1=2fr 、fm2=8fr の場合
は、パルス幅Δtは駆動周波数8fr に相当する光パル
スが得られ、繰り返し周波数Freq は2fr となる。ま
た、fm1=3fr 、fm2=7fr の場合は、パルス幅Δ
tは駆動周波数7frに相当する光パルスが得られ、繰
り返し周波数Freq はfr となる。
手段11を用いた場合におけるパルス幅Δtと繰り返し
周波数Freq の関係を示す。ここで、第1発振器111
−1の発振周波数N1frを変化させ(1〜12.6GHz)第2
発振器111−2の発振周波数N2frを固定(12.6GH
z)とした。実線は、(7)式より求めた本発明法による理
論値であり、(7) 式においてfm =12.6GHzとして求め
た。破線は (7)式より求めた従来法による理論値であ
り、(7) 式においてfm =Freq として求めた。プロッ
トは実験により得られた測定値である。図に示すよう
に、理論値と測定値はよく一致している。従来のモード
同期レーザ装置は、繰り返し周波数Freq の変化により
パルス幅Δtも変化してしまう。一方、本発明装置で
は、第1発振器111−1の発振周波数N1frにより繰
り返し周波数Freq を変化させても、パルス幅Δtは第
2発振器111−2の発振周波数N2frで決定される低
い値で一定となる。また、本発明による出力光の時間バ
ンド幅積を測定したところ0.31〜0.35であり、ほぼsech
形のTL光パルスが発生していることが確認された。こ
のように、本発明装置はパルス幅Δtと繰り返し周波数
Freq を独立に制御することができるので、同じ繰り返
し周波数Freq でもレーザ単体で従来装置よりもパルス
幅Δtが狭いTL光パルスを発生させることができる。
信号発生手段11の発振器の他の構成要素はジッタの増
加に関与しない。したがって、低ジッタ特性の発振器を
使用すれば、従来のパルスジェネレータ等で光変調器を
駆動する方法に比べて非常に低ジッタの光パルス列を発
生させることができる。
合について説明したが、3種類以上の周波数を混合して
もよい。図6(1) は、周波数混合信号発生手段11の第
2実施例の構成であり、4種類以上の周波数成分を混合
する場合のものである。図において、111−1〜11
1−4は、同期をとっている第1発振器〜第4発振器で
あり、112−1〜112−nは混合器である。また、
各発振器出力の位相を調整する位相シフタ113−1〜
113−3は必要に応じて挿入される。このような構成
では周波数成分が多いほど、図6(2) に示すように光変
調波形はデルタ関数に近づく。すなわち、A,A′点以
外の不要な極大点(例えばB,B′点)での光パルス成
長の抑圧効果が高くなり、安定性が向上する。このとき
の繰り返し周波数Freq はすべての周波数成分の最大公
約数となり、パルス幅Δtは最も高い周波数成分を (7)
式のfm に代入して得られた値となる。
合信号発生手段11の第3実施例の構成を示す(請求項
4)。図において、周波数fm(=N1fr)で発振する発
振器111と、その発振器出力-1をM倍(Mは2以上
の整数)に逓倍する逓倍器114により構成される。逓
倍器114は、逓倍された周波数成分MN1frだけでな
く、元の周波数成分N1frも出力する。すなわち、2つ
の周波数を混合した周波数混合信号を出力することが
できる。
合信号発生手段11の第4実施例の構成を示す(請求項
5)。図において、周波数fm(=MN1fr)で発振する
発振器111と、その発振器出力-1を1/M(Mは2
以上の整数)に分周する分周器115により構成され
る。分周器115は、分周された周波数成分N1frだけ
でなく、元の周波数成分MN1frも出力する。すなわ
ち、2つの周波数を混合した周波数混合信号を出力す
ることができる。
用いた周波数混合信号発生手段11は、両周波数成分間
の位相差は固定で調整できない。したがって、周波数混
合信号の最大ピーク点が包絡線の繰り返し周期内で1
つになるような位相特性をもつものが必要である。
合信号発生手段11の第5実施例の構成を示す(請求項
6)。本実施例は、第1実施例における混合器112
と、第3実施例における逓倍器114を併用した構成に
対応する。すなわち、第1発振器111−1および第2
発振器111−2は、それぞれ異なる周波数N1frおよ
びN2frで発振し、逓倍器114は第1発振器111−
1の発振器出力-1をM倍し、混合器112は3種類の
周波数成分N1fr,MN1fr,N2frを有する周波数混
合信号を出力する。なお、N2 は2以上で、N1 およ
びMN1 以外の整数である。また、位相シフタ113は
必要に応じて設けられる。
混合信号発生手段11の第6実施例の構成を示す(請求
項7)。本実施例は、第1実施例における混合器112
と、第4実施例における分周器115を併用した構成に
対応する。すなわち、第1発振器111−1および第2
発振器111−2は、それぞれ異なる周波数MN1frお
よびN2frで発振し、分周器115は第1発振器111
−1の発振器出力-1を1/Mに分周し、混合器112
は3種類の周波数成分N1fr,MN1fr,N2fr を有
する周波数混合信号を出力する。なお、N2 は2以上
で、N1 およびMN1 以外の整数である。また、位相シ
フタ113は必要に応じて設けられる。
においても、繰り返し周波数Freqはすべての周波数成
分の最大公約数となり、パルス幅Δtは最も高い周波数
成分を (7)式のfm に代入して得られた値となる。
分周器115を同時に組み合わせた構成とすることも可
能である。
数混合型モード同期レーザ装置では、複数の周波数を混
合した周波数混合駆動信号で光変調手段を駆動すること
により、パルス幅Δtと繰り返し周波数Freq を独立に
制御することができる。これにより、特性の繰り返し周
波数Freq に対して、従来より狭いパルス幅ΔtのTL
光パルスを発生させることができる。
は装置単体で実現することができる。さらに、逓倍器や
分周器を用いれば簡単な構成となるので、装置の小型化
が容易である。また、低ジッタ特性の発振器を使用すれ
ば、従来のパルスジェネレータ等で光変調器を駆動する
方法に比べて非常に低ジッタの光パルス列を発生させる
ことができる。
図(請求項1)。
図(請求項2)。
成を示すブロック図(請求項3)。
数Freq の関係を示す図。
成を示すブロック図(請求項3)。
成を示すブロック図(請求項4)。
成を示すブロック図(請求項5)。
成を示すブロック図(請求項6)。
構成を示すブロック図(請求項7)。
示すブロック図。
明する図。
波数Freq の関係を示す図。
Claims (9)
- 【請求項1】 駆動周波数に応じて光の損失あるいは位
相を変調する光変調手段と、変調された光パルスを増幅
する光増幅手段と、増幅された光パルスを外部に取り出
す光分岐手段と、各手段を互いに光学的に結合する光結
合手段とにより形成されるリング共振器と、 前記リング共振器の縦モードの周波数間隔fr(=c/
R、cは光速、Rは共振器の光路長)に対応する駆動周
波数を有する駆動信号を前記光変調手段に与える駆動信
号発生手段とを備えたリング共振器型のモード同期レー
ザ装置において、 前記駆動信号発生手段は、前記リング共振器の縦モード
の周波数間隔fr の整数倍となる2つ以上の異なる周波
数f1(=N1fr),f2(=N2fr),…(N1 ,N2 ,…
は互いに異なる自然数)を混合した周波数混合駆動信号
を発生し、この周波数混合駆動信号を前記光変調手段に
与える構成であることを特徴とする駆動周波数混合型モ
ード同期レーザ装置。 - 【請求項2】 駆動周波数に応じて光の損失あるいは位
相を変調する光変調手段と、変調された光パルスを増幅
する光増幅手段と、入射光の大部分を反射する2つの光
反射手段とを有し、この2つの光反射手段の間に光変調
手段および光増幅手段を配置して光学的に結合したファ
ブリペロー共振器と、 前記ファブリペロー共振器の縦モードの周波数間隔fr
(=c/R、cは光速、Rは共振器1往復の光路長)に
対応する駆動周波数を有する駆動信号を前記光変調手段
に与える駆動信号発生手段とを備えたリング共振器型の
モード同期レーザ装置において、 前記駆動信号発生手段は、前記ファブリペロー共振器の
縦モードの周波数間隔fr の整数倍となる2つ以上の異
なる周波数f1(=N1fr),f2(=N2fr),…(N1 ,
N2 ,…は互いに異なる自然数)を混合した周波数混合
駆動信号を発生し、この周波数混合駆動信号を前記光変
調手段に与える構成であることを特徴とする駆動周波数
混合型モード同期レーザ装置。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の駆動周
波数混合型モード同期レーザ装置において、 駆動信号発生手段は、それぞれ異なる周波数で発振する
2個以上の発振器と、各発振器出力を混合して周波数混
合駆動信号を生成する混合器とを備えた構成であること
を特徴とする駆動周波数混合型モード同期レーザ装置。 - 【請求項4】 請求項1または請求項2に記載の駆動周
波数混合型モード同期レーザ装置において、 駆動信号発生手段は、所定の周波数で発振する発振器
と、発振器出力の周波数をM倍(Mは2以上の整数)に
逓倍する逓倍器とを備えた構成であることを特徴とする
駆動周波数混合型モード同期レーザ装置。 - 【請求項5】 請求項1または請求項2に記載の駆動周
波数混合型モード同期レーザ装置において、 駆動信号発生手段は、所定の周波数で発振する発振器
と、発振器出力の周波数を1/M(Mは2以上の整数)
に分周する分周器とを備えた構成であることを特徴とす
る駆動周波数混合型モード同期レーザ装置。 - 【請求項6】 請求項1または請求項2に記載の駆動周
波数混合型モード同期レーザ装置において、 駆動信号発生手段は、それぞれ異なる周波数で発振する
2個以上の発振器と、発振器出力の周波数をM倍(Mは
2以上の整数)に逓倍する逓倍器と、発振器出力および
逓倍器出力を混合して周波数混合駆動信号を生成する混
合器とを備えた構成であることを特徴とする駆動周波数
混合型モード同期レーザ装置。 - 【請求項7】 請求項1または請求項2に記載の駆動周
波数混合型モード同期レーザ装置において、 駆動信号発生手段は、それぞれ異なる周波数で発振する
2個以上の発振器と、発振器出力の周波数を1/M(M
は2以上の整数)に分周する分周器と、発振器出力およ
び逓倍器出力を混合して周波数混合駆動信号を生成する
混合器とを備えた構成であることを特徴とする駆動周波
数混合型モード同期レーザ装置。 - 【請求項8】 請求項1に記載の駆動周波数混合型モー
ド同期レーザ装置において、 共振器内に、その光路長Rを調整する光遅延手段を配置
した構成であることを特徴とする駆動周波数混合型モー
ド同期レーザ装置。 - 【請求項9】 請求項1または請求項2に記載の駆動周
波数混合型モード同期レーザ装置において、 共振器内に、発振波長を光増幅手段の利得スペクトル幅
内に調整する光フィルタを配置した構成であることを特
徴とする駆動周波数混合型モード同期レーザ装置。
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