JPH07245249A - スクリーン印刷によるペースト積層方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ペーストを印刷、積層する際の乾燥方法を工
夫し、１サイクル中でのスクリーン印刷機によるペース
ト印刷を複数回可能にし、積層のリードタイムの短縮を
実現する。 【構成】 パレット基板１０上にペーストをスクリーン
印刷する複数台のスクリーン印刷機１，２，３，４の間
にペースト表面乾燥用の仮乾燥機１１，１２，１３を設
け、該仮乾燥機１１，１２，１３を通過させてペースト
を表面乾燥状態としたパレット基板上に次のペーストを
スクリーン印刷するものであり、ペーストのスクリーン
への裏移りを防止している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層チップインダクタ
や積層トランス等の積層型電子部品（積層チップ部品）
を製造するためのスクリーン印刷によるペースト積層方
法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層チップインダクタや積層トランス等
の積層型電子部品（積層チップ部品）は、パレット基板
上に、多数個の部品に対応した導体ペーストのパター
ン、磁性体ペーストのパターン、非磁性体ペーストのパ
ターン等をスクリーン印刷により繰り返し印刷して積層
することで積層体を作成し、該積層体を個々の部品に切
断分離することにより製造される。

【０００３】上記積層体を作成するための従来の代表的
なスクリーン印刷によるペースト積層装置の概略図を図
４に示す。同図において、該積層装置は、１つの本乾燥
ゾーン４７、１つの冷却ゾーン４８及び４台のスクリー
ン印刷機１，２，３，４、さらにはレベリングゾーン
５、パレット基板搬送用下降エレベータ６及び上昇エレ
ベータ９から構成されている。矢印は被印刷物であるパ
レット基板１０の搬送方向を示している。また、スクリ
ーン印刷機１乃至４には、各々異なる印刷パターンのス
クリーンがセットされている。

【０００４】ここで、このスクリーン印刷によるペース
ト積層装置による積層方法を以下に記す。まず、いずれ
か１つの印刷機１乃至４にて、パレット基板１０上面
に、導体ペーストや磁性体ペーストあるいは非磁性体ペ
ーストを用いてあるパターンを印刷する。ペーストを印
刷されたパレット基板１０は、所定時間をかけてレベリ
ングゾーン５を通過する間にペースト自体の表面張力で
表面の凹凸が平坦になった後、下降エレベーター６を経
て、本乾燥ゾーン４７の内部を搬送される。本乾燥ゾー
ン４７内部には遠赤外線ヒーターが設けられており、パ
レット基板１０が通過する際にその上面のペーストが乾
燥される。パレット基板１０は、冷却ゾーン４８を通っ
て冷却され、上昇エレベーター９から再びスクリーン印
刷機１乃至４へ戻ってくる。その後、再び、いずれか１
つの印刷機１乃至４にてペーストの印刷を行い、レベリ
ングゾーン５、本乾燥ゾーン４７、冷却ゾーン４８を通
過させる。このような印刷から乾燥、冷却までの各工程
を、ペーストの積層体が規定の厚みに達するまで繰り返
し行う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
スクリーン印刷によるペースト積層装置では、あるスク
リーン印刷機１乃至４によるペーストの印刷、本乾燥ゾ
ーン４７でのペーストの乾燥、冷却ゾーン４８でのパレ
ット基板１０の冷却の一連の工程で１サイクルとなって
おり、４台あるスクリーン印刷機１乃至４のうち、ある
１台の印刷機を動作させて印刷を行った場合、その１サ
イクル中は他の印刷機は不稼働状態となっている。その
ため、積層のリードタイム（所要の膜厚の積層体を得る
ために要する時間）を短縮するには、パレット基板の搬
送タクトを短くするほかない。

【０００６】しかし、パレット基板の搬送タクトを速め
ると、本乾燥ゾーン４７でのパレット基板１０の滞在時
間、すなわちペーストの本乾燥時間が短くなるので、形
成される積層体に乾燥不十分による内部クラックを誘発
してしまう。従って、内部クラックの発生を防止するた
めには、ペーストを積層する際に下層のペーストを十分
乾燥させておく必要があり、本乾燥ゾーン４７での遠赤
外線ヒーターによる乾燥は長時間を要する。

【０００７】本発明は、上記の点に鑑み、ペーストを印
刷、積層する際の乾燥構成（方法）を工夫し、１サイク
ル中でのスクリーン印刷機によるペースト印刷を複数回
可能にし、積層のリードタイムの短縮を実現したスクリ
ーン印刷によるペースト積層方法及び装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のスクリーン印刷によるペースト積層方法
は、パレット基板上にペーストをスクリーン印刷する複
数台のスクリーン印刷機の間にペースト表面乾燥用の仮
乾燥手段を設け、該仮乾燥手段を通過させてペーストを
表面乾燥状態としたパレット基板上に次のペーストをス
クリーン印刷するようにしている。

【０００９】また、本発明のスクリーン印刷によるペー
スト積層装置は、複数台のスクリーン印刷機と、本乾燥
ゾーンと、冷却ゾーンとを有していて、前記スクリーン
印刷機によるパレット基板上へのペーストのスクリーン
印刷、前記本乾燥ゾーンでの本乾燥、前記冷却ゾーンで
の冷却の各工程を順次繰り返し行うものにおいて、

【００１０】前記スクリーン印刷機の間にペースト表面
乾燥用の仮乾燥手段を配設している。

【００１１】また、該スクリーン印刷によるペースト積
層装置において、前記本乾燥ゾーンに熱風乾燥手段を配
設し、前記本乾燥ゾーン内部の圧力を外部の圧力よりも
高く設定してもよい。

【００１２】

【作用】本発明のスクリーン印刷によるペースト積層方
法及び装置においては、複数台のスクリーン印刷機の間
にペースト表面乾燥用の仮乾燥手段を設け、該仮乾燥手
段を通過させてペーストを表面乾燥状態としたパレット
基板上に次のペーストをスクリーン印刷しているため、
次のペーストの印刷の際にスクリーン裏面に前のペース
トの裏移りが生じるのを防ぐことができる。また、次の
ペーストが前のペーストに重ねて印刷される場合、前の
ペーストの表面が乾燥しているので次のペーストが下層
ににじまない。このように、スクリーン印刷からペース
トの本乾燥、冷却まで行う１サイクル中において、異な
る印刷パターンを各々１回ずつ印刷する、すなわち、少
なくとも２台のスクリーン印刷機でそれぞれ１回ずつス
クリーン印刷を行うことが可能である。従って、従来の
１サイクル中に１回しかスクリーン印刷できなかった構
成と比較して、複数台のスクリーン印刷機を有効に使用
でき、積層にかかるリードタイムの短縮を図ることがで
き、積層チップ部品の製造上のコストを削減することが
できる。

【００１３】また、前記本乾燥ゾーンに熱風乾燥手段を
配設し、前記本乾燥ゾーン内部の圧力を外部の圧力より
も高く設定した場合、ペーストの乾燥が熱風で行われる
のでペーストの乾燥が比較的短時間で実質的に完全に行
え、クラックの発生を防ぎ、積層体の歩留まりの向上が
図れるとともに、本乾燥ゾーン内部の圧力が外部の圧力
よりも高いことから、本乾燥ゾーン内部へのちりや埃な
どの侵入といった外部の雰囲気の影響を受けにくく、熱
風による本乾燥ゾーン内部の高温状態を維持できる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明に係るスクリーン印刷によるペ
ースト積層方法及び装置の実施例を図面に従って説明す
る。

【００１５】図１は本発明に係わるスクリーン印刷によ
るペースト積層方法及び装置の実施例の概略正面図を示
し、図２は概観図を示す。

【００１６】これらの図において、スクリーン印刷によ
るペースト積層装置は、パレット基板上にペーストをス
クリーン印刷するための４台のスクリーン印刷機１，
２，３，４、ペースト表面乾燥用の仮乾燥手段としての
３台の仮乾燥機１１，１２，１３、レベリングゾーン
５、パレット基板搬送用下降エレベーター６、本乾燥ゾ
ーン７、冷却ゾーン８及びパレット基板搬送用上昇エレ
ベーター９で構成されている。

【００１７】１０は上面が平坦面になっているパレット
基板であり、本装置中の図１の矢印に示す搬送方向に沿
って搬送され、その基板上面には、導体ペーストや磁性
体ペーストあるいは非磁性体ペースト等を用い、導体パ
ターンや磁性体パターンあるいは非磁性パターン等を繰
り返しスクリーン印刷により積層することで積層体が作
成されるようになっている。その基板上面は、作成する
積層体から所望の積層チップ部品を多数個、取ることが
できるように、１パレット当たり数１０〜数１０００個
分の部品パターンが配列できる面積を有している。パレ
ット基板１０の搬送路は、正面からみて左方向にパレッ
ト基板１０を搬送する上側搬送路と、右方向にパレット
基板１０を搬送する下側搬送路と、両端のパレット基板
搬送用下降エレベーター６及びパレット基板搬送用上昇
エレベーター９とで閉じた長方形状になっており、図２
に示すように、スクリーン印刷機１乃至４とレベリング
ゾーン５が連なる上側搬送路には往路側ベルトコンベア
１５が設けられ、本乾燥ゾーン７と冷却ゾーン８が連な
る下側搬送路には復路側ベルトコンベア１６が設けられ
ており、それぞれ下降エレベーター６と上昇エレベータ
ー９との間を搬送している。

【００１８】図２のようにスクリーン印刷機１乃至４
は、各々異なる印刷パターンのスクリーン２１，２２，
２３，２４がセットされており、それぞれのスクリーン
２１乃至２４、すなわち印刷面が往路側ベルトコンベア
１５上に位置するように等間隔で配設されている。な
お、スクリーン印刷を行う際のパレット基板１０の位置
決め機構等の図示は省略した。これらのスクリーン２１
乃至２４には、所望の積層チップ部品、数１０〜数１０
００個分の部品パターンが配列形成されている。そし
て、スクリーン印刷機１，２間には仮乾燥機１１が、ス
クリーン印刷機２，３間には仮乾燥機１２が、スクリー
ン印刷機３，４間には仮乾燥機１３がそれぞれ配設され
ており（図２では、それぞれ印刷機間の上方に図示して
いる）、各仮乾燥機１１，１２，１３は往路側ベルトコ
ンベア１５上を搬送されるパレット基板１０の上面に熱
風を吹き付ける熱風発生器を備えている。

【００１９】レベリングゾーン５は、スクリーン印刷機
１乃至４で上面にペーストを印刷されたパレット基板１
０を安定状態で下降エレベーター６まで搬送する区間で
ある。ここでは、印刷直後の塗布されたペースト表面の
凹凸を、搬送している間に表面張力により実質的に平坦
にするようになっている。

【００２０】下降エレベーター６は、往路側ベルトコン
ベア１５で搬送されてきたパレット基板１０を基板受け
渡し機構２５で往路側ベルトコンベア１５から受け入
れ、該パレット基板１０を下降させ、ローダー２６で復
路側ベルトコンベア１６上に移送するものである。

【００２１】本乾燥ゾーン７には、基板乾燥室（基板乾
燥部）２７が設けられている。該基板乾燥室２７は、復
路側ベルトコンベア１６が通る両側に入口と出口を有
し、外部に設けられた熱風乾燥手段である基板乾燥ヒー
ター（熱風供給機）３５から熱風が乾燥室内に供給され
ており、乾燥室内を通過するパレット基板１０上面のペ
ーストを実質的に完全に乾燥させるものである。なお、
基板乾燥室２７の室内圧力は本装置が設置されている施
設内の圧力（大気圧）よりも高く設定されている。これ
により、基板乾燥室２７内部が受ける施設内の雰囲気の
影響が少なくなっている。

【００２２】冷却ゾーン８には、基板冷却室（基板冷却
部）２８が設けられている。該基板冷却室２８は、復路
側ベルトコンベア１６が通る両側に入口と出口を有し、
冷却室内床面に設けられている複数の通風孔３６から風
（室温と同じ、又は冷風でもよい）が冷却室内に吹き付
けられ、排気孔３７から冷却室外に排気されるようにな
っており、基板乾燥室２７で温められたパレット基板１
０を受け入れて冷却するものである。

【００２３】上昇エレベーター９は、復路側ベルトコン
ベア１６で搬送されてきたパレット基板１０をローダー
２９で復路側ベルトコンベア１６から受け入れ、該パレ
ット基板１０を上昇させ、基板受け渡し機構３０で往路
側ベルトコンベア１５上に移送するものである。

【００２４】なお、本装置へのパレット基板１０の供給
及び回収は、上昇エレベーター９側の往路側ベルトコン
ベア１５の上方に設けられた基板供給回収機構３１で行
うようになっている。

【００２５】次に、上記実施例の全体的動作について説
明する。ここでは、本装置で作成する積層体の一例とし
て、図３に示す印刷パターンを積層して構成されるＭＨ
Ｄ（Multilayer Circuit Hybrid Device）製品の積層を
例にとって説明する。このＭＨＤは非磁性パターン４１
と磁性体パターン４２と導体パターン４３の３つのパタ
ーンからなっており、該ＭＨＤを作成するために、４台
のスクリーン印刷機１乃至４のうち、例えば３台のスク
リーン印刷機１，２，４を用いる。ＭＨＤは、非磁性パ
ターン４１と磁性体パターン４２が組み合わされた図３
の右半分に示す如きＡ層（実際にはこのＡ層は図示した
右半分だけでなく左半分にも対称に存在している）と、
導体パターン４３と磁性体パターン４２が組み合わされ
た図３の左半分に示す如きＢ層（実際にはこのＢ層は図
示した左半分だけでなく右半分にも対称に存在してい
る）とを交互に積層するものであり、各層においては２
種類のパターンが重ならないようになっている。スクリ
ーン印刷機１，２，４のスクリーン２１，２２，２４に
は、前記パターン４１，４２，４３が所定の個数分（数
１０〜数１０００個分）、それぞれ配列形成されてい
る。

【００２６】まず、図２の基板供給回収機構３１から往
路側ベルトコンベア１５上にパレット基板１０を受け入
れる。該パレット基板１０は往路側ベルトコンベア１５
で搬送され、基板上面にスクリーン印刷機１で非磁性体
ペーストを用いたスクリーン２１による非磁性パターン
４１の印刷［スクリーン印刷機のスキージにより１回の
印刷動作を実行することを１パス（ｐass）といい、こ
こでは１パス目の印刷］が行われる。パレット基板１０
はそのまま往路側ベルトコンベア１５で搬送されて仮乾
燥機１１，１２，１３を通過し、基板上面のペーストは
仮乾燥機１１，１２，１３からの熱風で表面が仮乾燥さ
れる。そして、スクリーン印刷機４で磁性体ペーストを
用いたスクリーン２４による磁性体パターン４２の印刷
（２パス目の印刷）が行われる（この磁性体ペースト
は、前記非磁性体ペーストの印刷領域以外の部分に印刷
される）。この印刷時には、１パス目のペースト表面が
仮乾燥器１１乃至１３の熱風により乾いているため、ス
クリーン２４の裏面へのペーストの裏移りは無く、スク
リーン２４による印刷が支障なく実行される。このよう
に、スクリーン印刷機１，４により、非磁性パターン４
１と磁性体パターン４２が組み合わされたＡ層がパレッ
ト基板１０上面に形成される。

【００２７】次に、パレット基板１０を往路側ベルトコ
ンベア１５により安定状態でレベリングゾーン５を経て
基板受け渡し機構２５まで搬送する。このレベリングゾ
ーン５を搬送されている間、スクリーン印刷機１，４で
印刷された各パターン４１，４２のペースト表面の凹凸
が実質的に平坦になる。パレット基板１０は、基板受け
渡し機構２５から下降エレベーター６に受け入れられ、
下降エレベーター６により下降され、ローダー２６を経
て復路側ベルトコンベア１６上に移送される。そして、
パレット基板１０をベルトコンベア１６で搬送し、本乾
燥ゾーン７の基板乾燥室２７の内部に送る。基板乾燥室
２７内部では、基板乾燥ヒーター３５から吹き込まれる
熱風により、パレット基板１０上面にＡ層を形成する１
パス目のペーストと２パス目のペーストが、実質的に完
全に乾燥される。ペーストの本乾燥が行われたパレット
基板１０は、ベルトコンベア１６により基板乾燥部２７
から冷却ゾーン８の基板冷却室２８の内部に送られる。
基板冷却室２８内部では、搬送されるパレット基板１０
に複数の通風孔３６から風を吹き付け、基板乾燥室２７
で温められたパレット基板１０の冷却を行う。冷却した
パレット基板１０はベルトコンベア１６でローダー２９
まで搬送され、そのローダー２９により上昇エレベータ
ー９に載置される。上昇エレベーター９はパレット基板
１０を上昇させ、基板受け渡し機構３０で往路側ベルト
コンベア１５上に移送する。なお、以上の印刷機による
１回乃至複数回のスクリーン印刷（その間の仮乾燥を含
む）から、本乾燥、冷却までの連続した各工程を１サイ
クルとする。

【００２８】往路側ベルトコンベア１５上に再び載置さ
れたパレット基板１０は、そのまま搬送される。そし
て、スクリーン印刷機２により、前記Ａ層の上に、図３
に示す導体ペーストを用いたスクリーン２２による導体
パターン４３の印刷（３パス目の印刷）が行われる。パ
レット基板１０はそのまま往路側ベルトコンベア１５で
搬送され、基板上面の３パス目のペーストは仮乾燥機１
２，１３からの熱風で表面が仮乾燥される。そして、ス
クリーン印刷機４で磁性体ペーストを用いたスクリーン
２４による磁性体パターン４２の印刷（４パス目の印
刷）が行われる（この磁性体ペーストは、前記導体ペー
ストの印刷領域以外の部分に印刷される）。この印刷時
には、３パス目のペースト表面が仮乾燥器１２，１３に
より乾いているため、スクリーン２４の裏面へのペース
トの裏移りは無い。このように、スクリーン印刷機２，
４により、導体パターン４３と磁性体パターン４２が組
み合わされたＢ層がパレット基板１０上面の前記Ａ層の
上に形成される。

【００２９】そして、Ｂ層が形成されたパレット基板１
０は、前述の１サイクル目と同様に、レベリングゾーン
５でのＢ層（３パス目及び４パス目）のペースト表面の
平坦化、基板乾燥室２７でのＢ層のペーストの本乾燥、
基板冷却室２８での冷却の各工程を経て２サイクル目を
終了し、再び、上昇エレベーター９側の往路側ベルトコ
ンベア１５上に載置される。

【００３０】以降、同様に、１サイクル目で行ったスク
リーン印刷機１，４を用いた非磁性パターン４１と磁性
体パターン４２の印刷から本乾燥、冷却までの各工程
と、２サイクル目で行ったスクリーン印刷機２，４を用
いた導体パターン４３と磁性体パターン４２の印刷から
本乾燥、冷却までの各工程とをサイクル毎に交互に繰り
返し、パレット基板１０上面にＡ層とＢ層を交互に積層
し、積層体が所定の厚みになるまで続けて行う。積層体
が所定の厚みに達すると、基板供給回収機構３１で本装
置からパレット基板１０を回収する。

【００３１】なお、実際は、パレット基板１０はその搬
送路上に基板供給回収機構３１により順次供給され、多
数のパレット基板１０について上記積層体の形成工程が
行われる。

【００３２】上記実施例によれば、次の効果を得ること
ができる。

【００３３】(1) ４台のスクリーン印刷機１乃至４の
それぞれの間に仮乾燥機１１，１２，１３を設け、各サ
イクル毎の１回目の印刷後に少なくとも１台の仮乾燥器
を通るように積層工程を設定し（プログラミングし）、
スクリーン印刷機１，２，３でペーストを印刷されたパ
レット基板１０は、搬送に伴い仮乾燥機１１，１２，１
３の少なくともどれかにより、印刷されたペーストの表
面が仮乾燥されるため、その後、スクリーン印刷機２，
３，４で２回目以降のスクリーン印刷を行ってもスクリ
ーン裏面へのペーストの裏移りが生じない。このため、
１サイクルで少なくとも２回のスクリーン印刷を支障な
く実行できる。例えば、１サイクル目でスクリーン印刷
機１，４により非磁性パターン４１と磁性体パターン４
２とを印刷し、２サイクル目でスクリーン印刷機２，４
により導体パターン４３と磁性体パターン４２とを印刷
したように、２種類の異なる印刷パターンを１サイクル
中に各々１パスずつ印刷することが可能になる。

【００３４】(2) パレット基板１０の搬送タクトを短
くする必要がないので、本乾燥ゾーン７での滞在時間を
十分確保でき、ペーストの乾燥を確実に行うことがで
き、クラックの発生を防ぐことができる。

【００３５】(3) 従って、従来の１サイクル中に１パ
スしか印刷できなかった構成と比較して、複数台のスク
リーン印刷機を有効に使用でき、積層にかかるリードタ
イムの短縮（１／２．０〜１／２．４ぐらい）を図るこ
とが可能（実質的に倍速積層が可能）で、積層チップ部
品の製造上のコストを削減することができる（約１８〜
３５％減少）。

【００３６】(4) パレット基板１０の１パレット当た
りの本乾燥ゾーン７を通過する回数が約半減したにもか
かわらず、基板乾燥室２７でのペーストの乾燥が熱風で
行われているため、比較的短時間でペーストの乾燥が実
質的に完全に行え、クラックの発生を防ぎ、積層体の歩
留まりの向上が図れる。

【００３７】(5) 基板乾燥室２７の室内圧力が本装置
が設置されている施設内の圧力（大気圧）よりも高く設
定されているため、基板乾燥室２７内部へのちりや埃の
侵入といった施設内の雰囲気の影響を受けないようにな
っている。

【００３８】(6) 上下のコンベア１５，１６の両側に
エレベーター６，９を設けてパレット基板１０を循環さ
せることができ、印刷、乾燥、冷却の各工程を自動ライ
ン化して繰り返し実行できる。

【００３９】なお、上記実施例では、４台のスクリーン
印刷機を備え、そのうち３台の印刷機を用いて、１サイ
クル毎にペースト印刷を２回行う工程を２サイクル行
い、２種類のペースト層（Ａ層及びＢ層）を積層する構
成としたが、作成する積層体の仕様によって、１サイク
ル毎の印刷回数（スクリーン印刷機の使用台数）、パタ
ーン形状やペースト層の種類など適宜変更可能である。

【００４０】前記ペースト層を形成するためのサイクル
毎の印刷パターン（ペースト）の組み合わせは、その１
サイクルにおいて印刷するパターンが重ならないように
すれば、例えば、前記実施例では、１サイクル毎に４台
の印刷機を全て用いれば４つのパターン（異なる種類の
ペースト）を組み合わせることが可能である。

【００４１】また、スクリーン印刷機の設置台数も適宜
増減でき、この場合、隣り合うスクリーン印刷機の間に
仮乾燥機を設置し、サイクル毎の最後の印刷以外、ペー
ストの印刷後に少なくとも１台の仮乾燥器を通るように
積層工程をプログラミングすればよい。

【００４２】また、以上の複数パターンの組み合わせで
は、１サイクル中において異なる印刷パターン同士が重
ならない構成を示したが、１サイクル中において異なる
パターンの一部が重なる構成も可能である。この場合、
重なる下層のペースト表面は仮乾燥されているため、重
ねられたペーストが下層ににじむのを抑えられる。

【００４３】なお、１サイクル中の積層（重なる部分）
は、本乾燥を確実にするため（クラック発生防止のた
め）、２層までが望ましい。

【００４４】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数台のスクリーン印刷機の間にペースト表面乾燥用の
仮乾燥手段を設け、該仮乾燥手段を通過させてペースト
を表面乾燥状態としたパレット基板上に次のペーストを
スクリーン印刷しているため、次のペーストの印刷の際
にスクリーン裏面への前のペーストの裏移りが生じるの
を防ぎ、次のペーストが前のペーストに重ねて印刷され
ても下層ににじまないようにすることができる。この結
果、スクリーン印刷からペーストの本乾燥、冷却までの
１サイクル中において、種類の異なるペーストあるいは
印刷パターンを各々１回ずつ印刷（合計で複数パス印
刷）することが可能になる。従って、１サイクル中に１
個の印刷パターンのみを１回しかスクリーン印刷できな
かった従来構成と比較して、サイクル毎に複数台のスク
リーン印刷機を有効に使用でき、積層にかかるリードタ
イムの短縮を図ることができ、積層チップ部品の製造上
のコストを削減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスクリーン印刷によるペースト積
層方法及び装置の実施例の概略正面図である。

【図２】実施例の概観を示す斜視図である。

【図３】実施例で作成する積層チップ部品の一例として
のＨＭＤの印刷パターンの組み合わせを示す平面図であ
る。

【図４】従来のペースト積層装置を示す正面図である。

【符号の説明】

１，２，３，４ スクリーン印刷機 ５ レベリングゾーン ６ パレット基板搬送用下降エレベーター ７ 本乾燥ゾーン ８ 冷却ゾーン ９ パレット基板搬送用上昇エレベーター １０ パレット基板 １１，１２，１３ 仮乾燥機 １５ 往路側ベルトコンベア １６ 復路側ベルトコンベア ２７ 基板乾燥室 ２８ 基板冷却室 ３５ 基板乾燥ヒーター

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パレット基板上にペーストをスクリーン
   印刷する複数台のスクリーン印刷機の間にペースト表面
   乾燥用の仮乾燥手段を設け、該仮乾燥手段を通過させて
   ペーストを表面乾燥状態としたパレット基板上に次のペ
   ーストをスクリーン印刷することを特徴とするスクリー
   ン印刷によるペースト積層方法。
2. 【請求項２】 複数台のスクリーン印刷機と、本乾燥ゾ
   ーンと、冷却ゾーンとを有していて、前記スクリーン印
   刷機によるパレット基板上へのペーストのスクリーン印
   刷、前記本乾燥ゾーンでの本乾燥、前記冷却ゾーンでの
   冷却の各工程を順次繰り返し行うスクリーン印刷による
   ペースト積層装置において、 前記スクリーン印刷機の間にペースト表面乾燥用の仮乾
   燥手段を配設したことを特徴とするスクリーン印刷によ
   るペースト積層装置。
3. 【請求項３】 前記本乾燥ゾーンに熱風乾燥手段を配設
   し、前記本乾燥ゾーン内部の圧力を外部の圧力よりも高
   く設定した請求項２記載のスクリーン印刷によるペース
   ト積層装置。