JPH07244153A - 距離測定装置 - Google Patents

距離測定装置

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JPH07244153A
JPH07244153A JP6054854A JP5485494A JPH07244153A JP H07244153 A JPH07244153 A JP H07244153A JP 6054854 A JP6054854 A JP 6054854A JP 5485494 A JP5485494 A JP 5485494A JP H07244153 A JPH07244153 A JP H07244153A
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JP
Japan
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light
light receiving
optical system
optical
light emitting
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JP6054854A
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Inventor
Yasunaga Kayama
泰永 加山
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型で、耐久性に優れ、発光素子や受光素子
などを数多く必要とせずに測定方向を容易に変更するこ
とができる距離測定装置を提供する。 【構成】 送光レンズ5のほぼ焦点位置に半導体レーザ
3を、受光レンズ6のほぼ焦点位置に受光素子4をそれ
ぞれ配置し、半導体レーザ3からの光パルスL1と受光
レンズ6からの反射光L2とを可動ミラー4で反射さ
せ、且つ可動ミラー4をアクチュエータ11及びアクチ
ュエータドライバ12で回転させて可動ミラー4の反射
面4a,4bの傾斜角度が変化させ、光パルスL1の出
射方向を変化させると同時に、測定対象物からの反射光
L2の方向を変化させることができるようにしたので、
アレイ状の発光素子や受光素子を必要とせず、しかも可
動ミラー4を大きく振らなくとも広い測定範囲を確保す
ることができ、更には軽量化による可動ミラー4等の可
動部分の耐久性も向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、測定対象物に光を出
射し、測定対象物からの反射光を受けて測定対象物まで
の距離を測定する距離測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、移動体に距離測定装置を搭載し、
距離情報を利用して安全性の向上や自動化・省力化が進
められている。具体例として、ロボット、自動車及び電
車等に衝突防止センサや、工場ラインの搬送車における
停止位置制御システムなどが挙げられる。
【0003】これらの用途に適した距離測定装置とし
て、光パルスの往復時間計測によるレンジファインダが
ある。これは測定対象物に対して光パルスを出射し、測
定対象物からの反射光を受光するまでの時間を計測し、
光の速度より測定対象物までの距離を求めるものであ
る。
【0004】ところで、この種の距離測定装置を車両の
衝突防止センサとして使用した場合、正確な警報や制御
を行うためには、距離情報の他に測定対象物の位置や形
状を正確に知る必要がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】測定対象物の位置や形
状を正確に検出することができる距離測定装置として
は、実開昭60-42982号公報に記載されたものが知られて
いる。
【0006】この距離測定装置では、出射光及び受光器
への入射光を機械的に反射鏡を振動させることにより光
軸方向を変化させて広範囲に障害物を検知する。ところ
が、測定方向を変化させるために機械的に反射ミラーを
振動させたり回転させたりする場合には、例えば光源に
出射光の広がりが大きい半導体レーザを使う場合は、出
射光を光学系で広がり角を小さく整形した後に反射ミラ
ーで反射させる必要があるため、ビーム径が大きいこの
位置での反射ミラーは当然大きい。また、受信信号を増
加させて遠くに位置する物体でも測定できるようにする
ためには受信レンズの口径を大きくすることが有効であ
るが、反射ミラーは測定対象物からの反射光が受信レン
ズに入射する直前のビーム径が大きい場所に設置する必
要があり、反射ミラーは大きくする必要がある。この従
来の方式では、反射ミラーの大型化によって装置全体の
大型化や、重量の増加による可動部の耐久性の悪化を招
く。
【0007】更に、測定方向の変化角度は、光軸の方向
を反射により変える限りにおいては、幾何光学的に反射
ミラーの振り角の2倍の角度に限られており、より広い
角度に対して測定方向を変化させたい場合には、反射ミ
ラーの振り角を大きくするしかなく、結果として反射ミ
ラーの周辺部分に他の部品と干渉しないための大きなス
ペースが必要になる。
【0008】従来の別の方式の距離測定装置としては、
特公昭61-6349 号公報、特開昭61-259185 号公報、特開
昭58-211677 号公報に記載されたものがある。
【0009】特公昭61-6349 号公報の距離測定装置で
は、超音波を利用した光偏向器を利用して光の方向を偏
向しているが、温度特性や光偏向器での光の損失が大き
いという問題がある。
【0010】また、特開昭61-259185 号公報の距離測定
装置では光源にアレイ状の発光素子を用いて送光領域を
細分化して距離と角度とを測定し、特開昭58-211677 号
公報の距離測定装置では受光部にアレイ状の受光素子を
用いて受光領域を細分化して距離と角度とを測定してい
るが、アレイ状の発光素子や受光素子を使用する場合に
は、大型化の回避と耐久性の向上とを図ることができる
が、測定範囲を広くしたり、測定範囲の分割数を増やす
と、大きな受光面の素子や多数の素子が必要になり、装
置のコストが高くなるという問題がある。
【0011】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は小型で、耐久性に優れ、発光素子
や受光素子などを数多く必要とせずに測定方向を容易に
変更することができる距離測定装置を提供することであ
る。
【0012】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明の距離測定装置は、光を出射する
発光手段と、光を受光して受光信号を出力する受光手段
と、前記発光手段の光が出射されてから前記受光手段で
受光されるまでの時間を測定し、その測定時間に基づい
て測定対象物までの距離を演算する距離検出手段とを備
えた距離測定装置において、前記発光手段からの光を反
射する反射手段と、前記反射手段で反射された光の方向
を変える反射角変更手段と、前記反射手段で反射された
光を前記測定対象物へ向けて送光する送光用対物光学系
とを備え、前記発光手段が前記送光用対物光学系のほぼ
焦点位置に配置されている。
【0013】また、請求項2記載の発明の距離測定装置
は、光を出射する発光手段と、光を受光して受光信号を
出力する受光手段と、前記発光手段の光が出射されてか
ら前記受光手段で受光されるまでの時間を測定し、その
測定時間に基づいて測定対象物までの距離を演算する距
離検出手段とを備えた距離測定装置において、前記測定
対象物からの光を集光する受光用対物光学系と、前記受
光手段と前記受光用対物光学系との間に配置され、前記
受光用対物光学系からの光を反射する反射手段と、前記
反射手段で反射された光の方向を変える反射角変更手段
とを備え、前記受光手段が前記受光用対物光学系のほぼ
焦点位置に配置されているに配置されている。
【0014】更に、請求項3記載の発明の距離測定装置
は、光を出射する発光手段と、光を受光して受光信号を
出力する受光手段と、前記発光手段の光が出射されてか
ら前記受光手段で受光されるまでの時間を測定し、その
測定時間に基づいて測定対象物までの距離を演算する距
離検出手段とを備えた距離測定装置において、前記発光
手段からの光を集光して2次的な発光手段の像を形成す
る発光用集光光学系と、前記発光手段と前記発光用集光
光学系との間、又は前記発光用集光光学系と前記2次的
な発光手段の像との間に配置され、前記発光手段からの
光を反射する反射手段と、前記反射手段で反射された光
の方向を変える反射角変更手段と、前記2次的な発光手
段の像を通過する光を前記測定対象物へ向けて照射する
送光用対物光学系とを備え、前記2次的な発光手段の像
が前記送光用対物光学系のほぼ焦点位置に配置されてい
る。
【0015】また、請求項4記載の発明の距離測定装置
は、光を出射する発光手段と、光を受光して受光信号を
出力する受光手段と、前記発光手段の光が出射されてか
ら前記受光手段で受光されるまでの時間を測定し、その
測定時間に基づいて測定対象物までの距離を演算する距
離検出手段とを備えた距離測定装置において、前記測定
対象物からの光を集光する受光用対物光学系と、前記受
光用対物光学系からの光を集光して2次元的な受光手段
の像を形成する受光用集光光学系と、前記2次的な受光
手段の像と前記受光用集光光学系との間、又は前記受光
用集光光学系と前記受光手段との間に配置され、前記受
光用対物光学系からの光を反射する反射手段と、前記反
射手段で反射された光の方向を変える反射角変更手段と
を備え、前記2次的な受光手段の像が、前記受光用対物
光学系のほぼ焦点位置に配置されていることを備えてい
る。
【0016】更に、請求項5記載の発明の距離測定装置
は、光を出射する発光手段と、光を受光して受光信号を
出力する受光手段と、前記発光手段の光が出射されてか
ら前記受光手段で受光されるまでの時間を測定し、その
測定時間に基づいて測定対象物までの距離を演算する距
離検出手段とを備えた距離測定装置において、前記発光
手段からの光を集光させる集光光学系と、一次元方向に
配列された複数の光学ロッドを有し、前記測定対象物へ
向けて出射される前記集光光学系からの光の方向を前記
光学ロッド数だけ変更させる光学ロッドアレイと、前記
集光光学系からの光を前記光学ロッドアレイのうちの特
定の光学ロッドだけに照射する光学ロッド選択用光学部
材と、前記光学ロッド選択用光学部材を移動させて、前
記集光光学系からの光を集光させる前記特定の光学ロッ
ドを前記光学ロッドの配列方向に沿って変える移動手段
とを備えている。
【0017】また、請求項6記載の発明の距離測定装置
は、光を出射する発光手段と、光を受光して受光信号を
出力する受光手段と、前記発光手段の光が出射されてか
ら前記受光手段で受光されるまでの時間を測定し、その
測定時間に基づいて測定対象物までの距離を演算する距
離検出手段とを備えた距離測定装置において、前記測定
対象物からの光を前記受光手段へ向けて照射する受光用
対物光学系と、前記受光用対物光学系のほぼ焦点位置に
前記受光用対物光学系からの光の入射面が配置され、一
次元方向に配列された複数の光学ロッドを有し、前記受
光用対物光学系からの光を前記光学ロッド数だけ分割さ
せる光学ロッドアレイと、前記光学ロッドアレイからの
光を前記受光手段に集光させる集光光学系と、前記集光
光学系からの光を前記光学ロッドアレイのうちの特定の
光学ロッドだけを選択する光学ロッド選択用光学部材
と、前記光学ロッド選択用光学部材を移動させて、前記
受光手段に集光させる光が通過する前記特定の光学ロッ
ドを前記光学ロッドの配列方向に沿って変える移動手段
とを備えている。
【0018】
【作用】送光用対物光学系のほぼ焦点位置に発光手段を
配置し、発光手段の出射光を反射手段で反射させ、且つ
反射手段を反射角変更手段で反射手段の傾斜角度を変化
させ、出射光の方向を変化させるようにしたので、反射
手段を大きく振らなくとも広い送光範囲を確保すること
ができる。
【0019】また、受光用対物光学系のほぼ焦点位置に
受光手段を配置し、受光手段への出射光を反射手段で反
射させ、且つ反射手段を反射角変更手段で反射手段の傾
斜角度を変化させ、測定対象物からの反射光の方向を変
化させるようにしたので、反射手段を大きく振らなくと
も広い受光範囲を確保することができる。
【0020】更に、集光光学系で発光手段からの光を集
光して2次的な発光手段の像を形成し、送光用光学系の
ほぼ焦点位置に2次的な発光手段の像を配置し、発光手
段からの光を反射手段で反射し、反射手段で反射された
光の方向を反射角変更手段で変更し、2次的な発光手段
の像を通過する光を送光用光学系で測定対象物へ向けて
照射するようにしたので、反射手段を大きく振らなくと
も広い送光範囲を確保することができる。
【0021】また、集光光学系で受光用光学系からの光
を集光すると共に2次的な受光手段の像を形成し、受光
用光学系のほぼ焦点位置に2次的な受光手段の像を配置
し、受光用光学系からの光を反射手段で反射し、反射手
段で反射された光の方向を反射角変更手段で変更するよ
うにしたので、反射手段を大きく振らなくとも広い受光
範囲を確保することができる。
【0022】更に、一次元方向に配列された複数の光学
ロッドを有する光学ロッドアレイで、測定対象物へ向け
て出射される集光光学系からの光の方向を光学ロッド数
だけ変更させ、光学ロッド選択用光学部材で集光光学系
からの光を光学ロッドアレイのうちの特定の光学ロッド
だけに照射し、光学ロッド選択用光学部材を移動手段で
移動させて、集光光学系からの光を集光させる特定の光
学ロッドを光学ロッドの配列方向に沿って変えるように
したので、光学ロッド選択用光学部材を大きく移動させ
なくとも広い送光範囲を確保することができる。
【0023】また、一次元方向に配列された複数の光学
ロッドを有する光学ロッドアレイを受光用対物光学系の
ほぼ焦点位置に配置し、受光用対物光学系からの光を前
記光学ロッド数だけ分割させ、集光光学系で光学ロッド
アレイからの光を前記受光手段に集光させ、光学ロッド
選択用光学部材で集光光学系からの光を前記光学ロッド
アレイのうちの特定の光学ロッドだけを選択し、光学ロ
ッド選択用光学部材を移動手段で移動させて、受光手段
に集光させる光が通過する前記特定の光学ロッドを前記
光学ロッドの配列方向に沿って変えるようにしたので、
光学ロッド選択用光学部材を大きく移動させなくとも広
い受光範囲を確保することができる。
【0024】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
【0025】図1はこの発明の第1実施例に係る距離測
定装置を示すブロック図である。同図において、半導体
レーザ(発光手段)3はLDドライバ2に接続されてい
る。半導体レーザ3はLDドライバ2によって駆動さ
れ、半導体レーザ3から出射される光パルスL1は測定
装置本体13に回動可能に取り付けられた可動ミラー
(反射手段)4の反射面4aで反射され、可動ミラー4
で反射された光パルスは送光レンズ(送光用対物光学
系)5で図示しない測定対象物へ送光される。半導体レ
ーザ3は送光レンズ5のほぼ焦点位置に配置されてい
る。
【0026】LDドライバ2の入力側はコンピュータ部
1の出力側に接続されている。LDドライバ2は、コン
ピュータ部1から光源点灯信号S1が入力されると、半
導体レーザ3から光パルスL1を出射させるために必要
なドライブ信号S2を作成し、このドライブ信号S2を
半導体レーザ3に出力する。
【0027】測定対象物からの反射光L2は受光レンズ
(受光用対物光学系)6で集光された後、可動ミラー4
の反射面4bで反射され、受光素子(受光手段)7に入
射する。
【0028】可動ミラー4はアクチュエータ11の伸縮
作用によって回動し、可動ミラー4の反射面4a,4b
の傾きが変わる。アクチュエータ11の入力側はアクチ
ュエータドライバ12の出力側に接続されている。アク
チュエータドライバ12はアクチュエータドライブ信号
S3をアクチュエータ11に出力し、アクチュエータ1
1の全長を伸縮させる。アクチュエータドライバ12の
出力側はコンピュータ部1の入力側に接続されている。
アクチュエータドライバ12からのアクチュエータドラ
イブ信号S3はコンピュータ部1に入力され、コンピュ
ータ部1はアクチュエータドライブ信号S3に基づいて
測定方向を検出する。
【0029】受光素子7の出力側はアンプ8の入力側に
接続され、アンプ8の出力側はコンパレータ9の入力側
に接続されている。受光素子7は測定対象物からの反射
光L2を受光レンズ6を介して受け、光電変換する。ア
ンプ部8は受光素子7からの受光信号S4を増幅し、コ
ンパレータ9は受光信号S4をデジタル信号(受信トリ
ガ信号S5)に変換する。
【0030】コンパレータ9の出力側は時間測定部10
の入力側に接続され、時間測定部10はコンピュータ部
1に接続されている。時間測定部10は、コンピュータ
部1からの光源点灯信号S1を受けた時点から、コンパ
レータ9からの受信トリガ信号S5を受けるまでの間、
クロック数をカウントし、時間データS6をコンピュー
タ部1に出力する。コンピュータ部1は時間データS6
を光の速度を用いて測定対象物までの距離に変換する。
【0031】図2は光源(半導体レーザ3)の位置10
1a〜101dと出射光L1の方向201a〜201d
との関係を示す図である。この図に示すように、光源の
位置が101a〜101dへと順次移動するにつれて出
射光L1の方向も201a〜201dへと変化する。し
たがって、光源の位置101a〜101dを動かすこと
ができれば出射方向を変えることが分かる。
【0032】図3は受光素子4の位置102a〜102
dと測定対象物からの反射光L2の方向202a〜20
2dとの関係を示す図である。この図に示すように、受
光素子4の位置が102a〜102dへと順次移動する
につれて測定対象物からの反射光L2の方向が202a
〜202dへと変化する。したがって、受光素子4の位
置102a〜102dを動かすことができれば反射光L
2の方向を選択することができる。
【0033】図4は可動ミラー4の反射面4aの傾斜角
の変化と出射方向L1の変化との関係を説明する原理図
である。アクチュエータ11の全長を変化させると、可
動ミラー4の反射面4aが実線で示す位置から破線で示
す位置へ移動し、その結果送光レンズ5に対する半導体
レーザ3の仮想光源3aの位置が実線で示す位置から破
線で示す位置へ移動する。したがって、光源の位置を変
化させた場合(図2)と同様に光パルスL1の出射方向
を変化させることができる。
【0034】また、受光側についても送光側と同様に、
アクチュエータ11の全長を変化させると、可動ミラー
4の反射面4bが実線で示す位置から破線で示す位置へ
移動し、その結果受光レンズ6に対する受光素子7の仮
想位置が移動し、受光素子7の位置を変化させた場合
(図3)と同様に測定対象物からの反射光L2の方向を
変化させることができる。
【0035】この実施例では、送光側と受光側との全測
定範囲が一致するようにアライメントし、アクチュエー
タ11がアクチュエータドライバ12でドライブされて
可動ミラー5の角度を変化させることにより測定範囲を
走査することができ、このときのアクチュエータドライ
ブ信号S3の状態をコンピュータ部1で認識して測定方
向の検出を行う。
【0036】図5は半導体レーザ3及び可動ミラー4間
の距離と測定範囲の変化との関係を示し、同図(a)は
半導体レーザ3と可動ミラー4との距離を長くした状態
を示し、同図(b)は半導体レーザ3と可動ミラー4と
の距離を短くした状態を示す。図5(a)及び(b)に
示すように、可動ミラー4を実線で示す位置から破線で
示す位置へ等しく傾斜させたとき、半導体レーザ3と可
動ミラー4との距離が異なるので、図5(a)の方が図
5(b)よりも測定範囲が大きく変化することが分か
る。このことは受光素子7及び可動ミラー4間の距離と
測定範囲の変化との関係においても同様であり説明を省
略する。
【0037】図6は送光レンズ5の焦点距離と測定範囲
の変化との関係を示し、同図(a)は送光レンズ5の焦
点距離が短い状態を示し、同図(b)は送光レンズ5の
焦点距離が長い状態を示す。図6(a)及び(b)に示
すように、可動ミラー4を実線で示す位置から破線で示
す位置へ等しく傾斜させたとき、送光レンズ5の焦点距
離が異なるので、図6(a)の方が図5(b)よりも測
定範囲が大きく変化することが分かる。このことは受光
レンズ6の焦点距離と測定範囲の変化との関係において
も同様であり説明を省略する。
【0038】次に、この実施例の距離測定装置の動作を
説明する。
【0039】コンピュータ部1からの光源点灯信号S1
がLDドライバ2に入力されると、LDドライバ2は、
半導体レーザ3から光パルスL1を出射させるために必
要なLDドライブ信号S2を作成し、このドライブ信号
S2を半導体レーザ3に出力する。ドライブ信号S2を
受けた半導体レーザ3は発光する。半導体レーザ3から
出射される光パルスL1は可動ミラー4の反射面4aで
反射され、可動ミラー4で反射された光パルスL1は送
光レンズ5で測定対象物へ送光される。
【0040】測定対象物からの反射光L2は受光レンズ
6で集光された後、可動ミラー4の反射面4bで反射さ
れ、受光素子7に入射する。反射光L2が受光素子7で
受光されると、受光素子7から受光信号S4が出力さ
れ、この信号S4がアンプ8で増幅された後、コンパレ
ータ9に入力されてデジタル変換され、この受信トリガ
信号S5が時間測定部10に入力される。時間測定部1
0は、コンピュータ部1からの光源点灯信号S1を受け
た時点から、コンパレータ9からの受信トリガ信号S5
を受けるまでの間、クロック数をカウントし、その時間
データS6をコンピュータ部1に出力する。
【0041】また、アクチュエータドライバ12はアク
チュエータドライブ信号S3をアクチュエータ11に出
力し、アクチュエータ11はアクチュエータドライブ信
号S3に基づいて伸縮し、その全長が変化する。アクチ
ュエータ11の全長が変化するにつれて可動ミラー4が
回転し、可動ミラー4の反射面4a,4bの傾斜角度が
変化し、光パルスL1の出射方向が変化すると同時に、
測定対象物からの反射光2の方向が変化する。一方、ア
クチュエータドライバ12からのアクチュエータドライ
ブ信号S3はコンピュータ部1に入力され、コンピュー
タ部1はアクチュエータドライブ信号S3に基づいて測
定方向を検出する。
【0042】この実施例の距離測定装置によれば、送光
レンズ5のほぼ焦点位置に半導体レーザ3を、受光レン
ズ6のほぼ焦点位置に受光素子4をそれぞれ配置し、半
導体レーザ3からの光パルスL1と受光レンズ6からの
反射光L2とを可動ミラー4で反射させ、且つ可動ミラ
ー4をアクチュエータ11及びアクチュエータドライバ
12で回転させて可動ミラー4の反射面4a,4bの傾
斜角度が変化させ、光パルスL1の出射方向を変化させ
ると同時に、測定対象物からの反射光L2の方向を変化
させることができるようにしたので、アレイ状の発光素
子や受光素子を必要とせず、しかも可動ミラー4を大き
く振らなくとも広い測定範囲を確保することができ、更
には軽量化による可動ミラー4等の可動部分の耐久性も
向上する。
【0043】上述の第1実施例では半導体レーザ3を送
光レンズ5のほぼ焦点位置に配置したが、ここでいう
「ほぼ焦点位置」には焦点位置と焦点位置から少しずれ
た位置とが含まれる。すなわち半導体レーザ3を配置す
る位置は焦点位置でも、焦点位置から少しずれた位置で
もよい。ただ、厳密に焦点位置に配置すると出射される
光ビームが絞られ過ぎることがあり、これを避けるとい
う点からすれば焦点位置から少しずれた位置に配置する
方がよい。
【0044】図7は図1の第1実施例の第1変形例の距
離測定装置を示すブロック図である。図1の第1実施例
と共通する部分には同一符号を付して説明を省略する。
図1の実施例では送光側と受光側との両方に可動ミラー
4及びアクチュエータ11を使用した場合について述べ
たが、この第1変形例では、送光側だけに可動ミラー2
4及びアクチュエータ11を使用し、受光側については
単に受光レンズ6のほぼ焦点位置に受光素子4を配置し
た。この第1変形例によれば、アクチュエータ11をア
クチュエータドライバ12で回転させ、可動ミラー24
の反射面24aの傾斜角度を変化させて送光範囲を切り
換えることができる。
【0045】図8は図1の実施例の第2変形例の距離測
定装置を示すブロック図である。図1の第1実施例と共
通する部分には同一符号を付して説明を省略する。前述
の第1変形例では送光側だけに可動ミラー24及びアク
チュエータ11を使用した場合について述べたが、この
第2変形例では、受光側だけに可動ミラー34及びアク
チュエータ11を使用し、送光側については単に送光レ
ンズ5のほぼ焦点位置に半導体レーザ3を配置した。こ
の第2変形例によれば、アクチュエータ11をアクチュ
エータドライバ12で回転させ、可動ミラー34の反射
面34aの傾斜角度を変化させて受光範囲を切り換える
ことができる。
【0046】図9はこの発明の第2実施例に係る距離測
定装置を示すブロック図である。図1の第1実施例と共
通する部分には同一符号を付して説明を省略する。前述
の第1実施例では、光源(半導体レーザ3)の仮想的な
位置と受光素子4の仮想的な位置を変更するために、反
射手段として可動ミラー4を、反射角変更手段としてア
クチュエータ11及びアクチュエータドライバ12を用
いた場合について述べたが、この第2実施例では、可動
ミラー4に代えてポリゴンミラー44を、アクチュエー
タ11及びアクチュエータドライバ12に代えてポリゴ
ンドライバ41を用いた。この第2実施例の場合、送光
方向の走査はポリゴンミラー44の回転による反射面4
4a〜44fの傾斜によって行われ、送光方向の認識は
ポリゴンドライバ41からの回転角度信号S13により
ポリゴンミラー44の回転角度をコンピュータ部1が検
出する。
【0047】一般にポリゴンミラー44の面数によって
走査できる角度範囲が決まるが、図5及び図6に基づい
て説明した原理により、この第2実施例では、半導体レ
ーザ3又は受光素子7とポリゴンミラー44上の反射点
との距離を変えたり、送光レンズ5又は送光レンズ6の
焦点距離を変えたりすることにより、走査できる角度範
囲を設定することができる。
【0048】図10はこの発明の第3実施例に係る距離
測定装置を示すブロック図である。図1の第1実施例と
共通する部分には同一符号を付して説明を省略する。前
述の第1実施例では、送光レンズ5のほぼ焦点位置に半
導体レーザ3を、受光レンズ6のほぼ焦点位置に受光素
子4をそれぞれ配置したが、この第3実施例では、リレ
ーレンズ(集光光学系)13,14を用いて一旦半導体
レーザ3及び受光素子4の2次的な像3s,7sをそれ
ぞれ作り、これらの2次的な像3s,7sを送光レンズ
5及び受光レンズ6のほぼ焦点位置にそれぞれ配置させ
た。
【0049】この第3実施例の場合、可動ミラー4の反
射面4aの傾斜角度の変化によって生じる半導体レーザ
3の仮想的な光源位置及び受光素子4の仮想的な受光位
置のそれぞれの移動量が、2次的な像3s,7sの位置
では送光レンズ5及び受光レンズ6の倍率によって増減
するので、送光レンズ5及び受光レンズ6の倍率を適宜
選択することにより、送光レンズ5及び受光レンズ6の
ほぼ焦点位置での仮想光源及び仮想受光部の移動量を変
えることができる。この第2実施例の距離測定装置によ
れば、第1実施例よりも測定方向の変化量をより大きく
することができる。
【0050】図11は可動ミラーの反射面の傾きと測定
方向との関係を示す原理図である。可動ミラー4の反射
面4aが実線で示す位置から破線で示す位置へ移動して
傾斜角度が変わると、リレーレンズ13によって形成さ
れる2次的な像3sの位置が実線で示す位置から破線で
示す位置へ移動する。その結果光パルスL1の出射方向
が変化する。この関係は受光側も同様である。
【0051】図12はリレーレンズの倍率と測定方向と
の関係を示す原理図であり、同図(a)はリレーレンズ
14の倍率が小さい状態を示し、同図(b)はリレーレ
ンズ14の倍率が大きい状態を示す。図12(a)及び
(b)に示すように、可動ミラー4を実線で示す位置か
ら破線で示す位置へ等しく傾斜させたとき、リレーレン
ズ14の倍率が異なるため、図12(b)の方が図12
(a)よりも測定範囲が大きく変化することが分かる。
【0052】なお、一旦2次的な像3s,7sを作る上
記第3実施例を、図7の送光側だけで測定方向を変える
第1変形例や図8の受光側だけで測定方向を変える第2
変形例、更には仮想的な光源の位置及び受光部の位置を
順次変更する第2実施例に適用してもよい。
【0053】図13はこの発明の第4実施例に係る距離
測定装置を示すブロック図である。図1の第1実施例と
共通する部分には同一符号を付して説明を省略する。こ
の第4実施例では、送光レンズ5のほぼ焦点位置に一次
元方向に配列された複数の光学ロッド16a〜16eを
有する光学ロッドアレイ16を配置し、可動ミラー4で
リレーレンズ15からの光を光学ロッドアレイ16のう
ちの特定の光学ロッドだけに照射し、しかもアクチュエ
ータ11で可動ミラー4を回転させて、リレーレンズ1
5からの光L1を集光させる特定の光学ロッドを光学ロ
ッド16a〜16eの配列方向に沿って変えるようにす
るとともに、受光レンズ6のほぼ焦点位置に一次元方向
に配列された複数の光学ロッドを有する光学ロッドアレ
イ17を配置し、可動ミラー4で光学ロッドアレイ17
のうちの特定の光学ロッドからの光を選択し、しかもア
クチュエータ11で可動ミラー4を回転させて、受光素
子7に集光させる特定の光学ロッドを光学ロッドの配列
方向に沿って変えるようにした。
【0054】図14は光学ロッドアレイの斜視図であ
る。光学ロッドアレイ16は、長方形の断面を有する直
方体の透明部材である複数の光学ロッド16a〜16e
をアレイ状に接合してなる。互いに隣接する光学ロッド
16a〜16eの間で光が漏れないように、各接合面に
は全反射のコーティングが施されており、入射面から入
った光は出射面だけから出射する。光学ロッド16a〜
16eの断面形状は長方形に限られず、円形や楕円形等
の任意の形状にすることができる。光学ロッドアレイ1
7も同様の構造を有している。
【0055】この第4実施例の場合、半導体レーザ3か
らの光を光学ロッドアレイ16のどの光学ロッドの集光
させるか、並びに光学ロッドアレイ17のどの光学ロッ
ドからの光を受光素子7に集光させるかによって、測定
方向の変更が行われる。具体的には、アクチュエータ1
1がアクチュエータドライバ12でドライブされて可動
ミラー4の反射面4a,4bの傾斜角度が変化すること
によって行われる。したがって、送光レンズ5や受光レ
ンズ6の役割は、光学ロッドアレイ16や光学ロッドア
レイ17の一部に光を入射させることであり、図10の
実施例のような2次的な像を作る必要はなく、高性能な
光学系は不要である。すなわち、光学ロッドの断面形状
によって光源の像の形が決まるので、光学ロッドアレイ
16,受光素子7に集光させることができればよく、リ
レーレンズ15は図10の実施例のリレーレンズ13よ
りも低い性能のもので足りる。
【0056】また、測定可能範囲のパターンは光学ロッ
ドアレイ16の形状と相似形となるので、例えば図15
に示すように、光学ロッドアレイ56の中心部分を小さ
な断面の光学ロッド56b〜56gで構成し、両端部分
を大きな断面の光学ロッド56a,56hで構成するこ
とも可能であり、このようにすれば測定範囲を部分的に
細かく分割することができる。
【0057】なお、この実施例では送光側と受光側との
両方に光学ロッドアレイ16,17を使用した場合につ
いて述べたが、送光側又は受光側の一方についてだけ光
学ロッドアレイを用いるようにしてもよいし、可動ミラ
ー4、アクチュエータ11、アクチュエータドライバ1
2の代わりにポリゴンミラー及びポリゴンドライバをを
用いてもよい。
【0058】また、上述の各実施例では、反射部材及び
反射部材移動手段として可動ミラー4やポリゴンミラー
等を用いた場合について述べたが、それらの代わりに、
ガルバノ等を使用するようにしてもよい。
【0059】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の距離測定
装置によれば、アレイ状の発光素子又は受光素子を必要
とせず、しかも反射手段を大きく振らなくとも広い送光
範囲又は受光範囲を確保することができるので、コスト
低減を図ることができるとともに、更に軽量化による反
射手段等の可動部分の耐久性も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の第1実施例に係る距離測定装
置を示すブロック図である。
【図2】図2は光源の位置と出射光の方向との関係を示
す図である。
【図3】図3は受光素子の位置と測定対象物からの反射
光の方向との関係を示す図である。
【図4】図4は可動ミラーの反射面の傾斜角の変化と出
射方向の変化との関係を説明する原理図である。
【図5】図5は半導体レーザ及び可動ミラー間の距離と
測定範囲の変化との関係を示す原理図である。
【図6】図6は送光レンズの焦点距離と測定範囲の変化
との関係を示す原理図である。
【図7】図7は図1の第1実施例の第1変形例の距離測
定装置を示すブロック図である。
【図8】図8は図1の実施例の第2変形例の距離測定装
置を示すブロック図である。
【図9】図9はこの発明の第2実施例に係る距離測定装
置を示すブロック図である。
【図10】図10はこの発明の第3実施例に係る距離測
定装置を示すブロック図である。
【図11】図11は可動ミラーの反射面の傾きと測定方
向との関係を示す原理図である。
【図12】図12はリレーレンズの焦点距離と測定方向
との関係を示す原理図である。
【図13】図13はこの発明の第4実施例に係る距離測
定装置を示すブロック図である。
【図14】図14は光学ロッドアレイの斜視図である。
【図15】図15は測定可能範囲のパターンと光学ロッ
ドアレイの形状とを示す図である。
【符号の説明】
1 コンピュータ部 3 半導体レーザ 4,24,34 可動ミラー 5 送光レンズ 6 受光レンズ 7 受光素子 9 コンパレータ 10 時間測定部 11 アクチュエータ 12 アクチュエータドライバ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光を出射する発光手段と、 光を受光して受光信号を出力する受光手段と、 前記発光手段の光が出射されてから前記受光手段で受光
    されるまでの時間を測定し、その測定時間に基づいて測
    定対象物までの距離を演算する距離検出手段とを備えた
    距離測定装置において、 前記発光手段からの光を反射する反射手段と、 前記反射手段で反射された光の方向を変える反射角変更
    手段と、 前記反射手段で反射された光を前記測定対象物へ向けて
    送光する送光用対物光学系とを備え、 前記発光手段が前記送光用対物光学系のほぼ焦点位置に
    配置されていることを特徴とする距離測定装置。
  2. 【請求項2】 光を出射する発光手段と、 光を受光して受光信号を出力する受光手段と、 前記発光手段の光が出射されてから前記受光手段で受光
    されるまでの時間を測定し、その測定時間に基づいて測
    定対象物までの距離を演算する距離検出手段とを備えた
    距離測定装置において、 前記測定対象物からの光を集光する受光用対物光学系
    と、 前記受光手段と前記受光用対物光学系との間に配置さ
    れ、前記受光用対物光学系からの光を反射する反射手段
    と、 前記反射手段で反射された光の方向を変える反射角変更
    手段とを備え、 前記受光手段が前記受光用対物光学系のほぼ焦点位置に
    配置されていることを特徴とする距離測定装置。
  3. 【請求項3】 光を出射する発光手段と、 光を受光して受光信号を出力する受光手段と、 前記発光手段の光が出射されてから前記受光手段で受光
    されるまでの時間を測定し、その測定時間に基づいて測
    定対象物までの距離を演算する距離検出手段とを備えた
    距離測定装置において、 前記発光手段からの光を集光して2次的な発光手段の像
    を形成する発光用集光光学系と、 前記発光手段と前記発光用集光光学系との間、又は前記
    発光用集光光学系と前記2次的な発光手段の像との間に
    配置され、前記発光手段からの光を反射する反射手段
    と、 前記反射手段で反射された光の方向を変える反射角変更
    手段と、 前記2次的な発光手段の像を通過する光を前記測定対象
    物へ向けて照射する送光用対物光学系とを備え、 前記2次的な発光手段の像が前記送光用対物光学系のほ
    ぼ焦点位置に配置されていることを特徴とする距離測定
    装置。
  4. 【請求項4】 光を出射する発光手段と、 光を受光して受光信号を出力する受光手段と、 前記発光手段の光が出射されてから前記受光手段で受光
    されるまでの時間を測定し、その測定時間に基づいて測
    定対象物までの距離を演算する距離検出手段とを備えた
    距離測定装置において、 前記測定対象物からの光を集光する受光用対物光学系
    と、 前記受光用対物光学系からの光を集光して2次元的な受
    光手段の像を形成する受光用集光光学系と、 前記2次的な受光手段の像と前記受光用集光光学系との
    間、又は前記受光用集光光学系と前記受光手段との間に
    配置され、前記受光用対物光学系からの光を反射する反
    射手段と、 前記反射手段で反射された光の方向を変える反射角変更
    手段とを備え、 前記2次的な受光手段の像が、前記受光用対物光学系の
    ほぼ焦点位置に配置されていることを特徴とする距離測
    定装置。
  5. 【請求項5】 光を出射する発光手段と、 光を受光して受光信号を出力する受光手段と、 前記発光手段の光が出射されてから前記受光手段で受光
    されるまでの時間を測定し、その測定時間に基づいて測
    定対象物までの距離を演算する距離検出手段とを備えた
    距離測定装置において、 前記発光手段からの光を集光させる集光光学系と、 一次元方向に配列された複数の光学ロッドを有し、前記
    測定対象物へ向けて出射される前記集光光学系からの光
    の方向を前記光学ロッド数だけ変更させる光学ロッドア
    レイと、 前記集光光学系からの光を前記光学ロッドアレイのうち
    の特定の光学ロッドだけに照射する光学ロッド選択用光
    学部材と、 前記光学ロッド選択用光学部材を移動させて、前記集光
    光学系からの光を集光させる前記特定の光学ロッドを前
    記光学ロッドの配列方向に沿って変える移動手段とを備
    えていることを特徴とする距離測定装置。
  6. 【請求項6】 光を出射する発光手段と、 光を受光して受光信号を出力する受光手段と、 前記発光手段の光が出射されてから前記受光手段で受光
    されるまでの時間を測定し、その測定時間に基づいて測
    定対象物までの距離を演算する距離検出手段とを備えた
    距離測定装置において、 前記測定対象物からの光を前記受光手段へ向けて照射す
    る受光用対物光学系と、 前記受光用対物光学系のほぼ焦点位置に前記受光用対物
    光学系からの光の入射面が配置され、一次元方向に配列
    された複数の光学ロッドを有し、前記受光用対物光学系
    からの光を前記光学ロッド数だけ分割させる光学ロッド
    アレイと、 前記光学ロッドアレイからの光を前記受光手段に集光さ
    せる集光光学系と、 前記集光光学系からの光を前記光学ロッドアレイのうち
    の特定の光学ロッドだけを選択する光学ロッド選択用光
    学部材と、 前記光学ロッド選択用光学部材を移動させて、前記受光
    手段に集光させる光が通過する前記特定の光学ロッドを
    前記光学ロッドの配列方向に沿って変える移動手段とを
    備えていることを特徴とする距離測定装置。
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