JPH07243877A - 気体用流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 気体の種類によって測定値が変化する気体用
流量計において、気体の種類が変わった場合でも正確に
流量を測定できるようにする。 【構成】 ヒータ制御部１６はヒータ１３を一定の温度
に制御あるいは一定の電流または電力で駆動する。流量
演算部２０はヒータ電流測定部１４またはヒータ温度測
定部１５の測定値に基づいて流量を演算する。ヒータ電
流測定部１４またはヒータ温度測定部１５の測定値が変
化したとき、変化時間検出部１７は変化時間を検出し、
変化率検出部１８は変化率を検出する。判別部１９は変
化時間および変化率に基づいて、ヒータ電流測定部１４
またはヒータ温度測定部１５の測定値の変化が流量の変
化によるものか気体の種類の変更によるものかを判別
し、気体の種類の変更による場合には、流量演算部２０
で流量を演算する際の演算式の係数を変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱式流量計のように気
体の種類によって測定値が変化する気体用流量計に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】熱式流量計は、気体の流れの中にヒータ
を設け、このヒータから気体によって奪われる熱量が気
体の流量と関係することを利用した流量計である。この
熱式流量計では、例えば特開平４−４７２２５号公報に
示されるように、気体の温度から一定温度だけヒータ温
度を上昇させるようにヒータを制御し、ヒータを制御す
る電流から流量を求める方法と、一定電流または一定電
力でヒータを加熱し、流量に応じて変化するヒータ温度
から流量を求める方法とがある。

【０００３】図１０は従来の熱式流量計の構成を示すブ
ロック図である。この熱式流量計は、気体５０が通過す
る配管５１内に配設された温度センサ５２とヒータ５３
とを備えている。温度センサ５２は気体５０の温度を測
定するためのものである。熱式流量計は、更に、ヒータ
５３に流れる電流を測定するヒータ電流測定部５４と、
ヒータ５３の温度を測定するヒータ温度測定部５５と、
ヒータ電流測定部５４、ヒータ温度測定部５５および温
度センサ５２の各出力に基づいてヒータ５３を一定温度
に制御あるいは一定電流または一定電力で駆動するヒー
タ制御部５６と、ヒータ電流測定部５４またはヒータ温
度測定部５５の出力に基づいて流量を演算する流量演算
部５７とを備えている。ヒータ温度測定部５５は、例え
ばヒータ５３に流れる電流とヒータ５３の両端の電圧と
からヒータ５３の抵抗値を求め、この抵抗値からヒータ
５３の温度を求める。

【０００４】この熱式流量計では、ヒータ温度を一定に
制御する方法の場合には、ヒータ制御部５６は、ヒータ
温度測定部５５で測定したヒータ温度が、温度センサ５
２で測定した気体の温度よりも一定温度だけ上昇するよ
うにヒータ５３を制御する。そして、流量演算部５７
は、ヒータ電流測定部５４で測定したヒータ電流に基づ
いて流量を求める。一方、電流または電力を一定に制御
する方法の場合には、ヒータ制御部５６は、ヒータ電流
測定部５４で測定したヒータ電流が一定になるようにヒ
ータ５３を制御する。そして、流量演算部５７は、ヒー
タ温度測定部５５で測定したヒータ温度に基づいて流量
を求める。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、気体の種類
が変わると、気体の熱伝導率や比熱等が変わるため、同
じ流量であっても、ヒータから気体によって奪われる熱
量が変わる。その結果、気体の種類が変わると、同じ流
量であっても、ヒータ電流またはヒータ温度の測定値が
変わることになる。

【０００６】図１１はヒータ温度を一定に制御する方法
の場合における流量とヒータ電流との関係を示す特性図
である。この図に示すように、ある気体の場合の流量と
ヒータ電流との関係６１と、他の気体の場合の流量とヒ
ータ電流との関係６２とは、互いに異なる特性となる。
また、図１１は電流または電力を一定に制御する方法の
場合における流量とヒータ温度との関係を示す特性図で
ある。この図に示すように、ある気体の場合の流量とヒ
ータ温度との関係６３と、他の気体の場合の流量とヒー
タ温度との関係６４も、互いに異なる特性となる。その
ため、従来の熱式流量計では、気体の種類が変わると、
正しい流量の計測ができないという問題点があった。

【０００７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、熱式流量計のように気体の種類によ
って測定値が変化する気体用流量計において、気体の種
類が変わった場合でも正確に流量を測定できるようにし
た気体用流量計を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の気体用流
量計は、流量および気体の種類に応じて変化するパラメ
ータを測定する測定手段と、この測定手段の測定値が変
化したときに、変化に要した時間を検出する変化時間検
出手段と、この変化時間検出手段の検出値に基づいて、
測定手段の測定値の変化が流量の変化によるものか気体
の種類の変更によるものかを判別する判別手段と、この
判別手段の判別結果と測定手段の測定値とに基づいて流
量を演算する流量演算手段とを備えたものである。

【０００９】この気体用流量計では、測定手段によっ
て、流量および気体の種類に応じて変化するパラメータ
が測定され、変化時間検出手段によって、測定手段の測
定値が変化したときに、変化に要した時間が検出され、
この変化時間検出手段の検出値に基づいて、判別手段に
よって、測定手段の測定値の変化が流量の変化によるも
のか気体の種類の変更によるものかが判別され、この判
別手段の判別結果と測定手段の測定値とに基づいて、流
量演算手段によって流量が演算される。

【００１０】請求項２記載の気体用流量計は、流量およ
び気体の種類に応じて変化するパラメータを測定する測
定手段と、この測定手段の測定値が変化したときに、測
定値の変化率を検出する変化率検出手段と、この変化率
検出手段の検出値に基づいて、測定手段の測定値の変化
が流量の変化によるものか気体の種類の変更によるもの
かを判別する判別手段と、この判別手段の判別結果と測
定手段の測定値とに基づいて流量を演算する流量演算手
段とを備えたものである。

【００１１】この気体用流量計では、測定手段によっ
て、流量および気体の種類に応じて変化するパラメータ
が測定され、変化率検出手段によって、測定手段の測定
値が変化したときの変化率が検出され、この変化率検出
手段の検出値に基づいて、判別手段によって、測定手段
の測定値の変化が流量の変化によるものか気体の種類の
変更によるものかが判別され、この判別手段の判別結果
と測定手段の測定値とに基づいて、流量演算手段によっ
て流量が演算される。

【００１２】請求項３記載の気体用流量計は、流量およ
び気体の種類に応じて変化するパラメータを測定する測
定手段と、この測定手段の測定値が変化したときに、変
化に要した時間を検出する変化時間検出手段と、測定手
段の測定値が変化したときに、測定値の変化率を検出す
る変化率検出手段と、変化時間検出手段の検出値および
変化率検出手段の検出値に基づいて、測定手段の測定値
の変化が流量の変化によるものか気体の種類の変更によ
るものかを判別する判別手段と、この判別手段の判別結
果と測定手段の測定値とに基づいて流量を演算する流量
演算手段とを備えたものである。

【００１３】この気体用流量計では、測定手段によっ
て、流量および気体の種類に応じて変化するパラメータ
が測定され、変化時間検出手段によって、測定手段の測
定値が変化したときに、変化に要した時間が検出され、
変化率検出手段によって、測定手段の測定値が変化した
ときの変化率が検出され、変化時間検出手段の検出値お
よび変化率検出手段の検出値に基づいて、判別手段によ
って、測定手段の測定値の変化が流量の変化によるもの
か気体の種類の変更によるものかが判別され、この判別
手段の判別結果と測定手段の測定値とに基づいて、流量
演算手段によって流量が演算される。

【００１４】請求項４記載の気体用流量計は、請求項１
または３記載の気体用流量計において、判別手段が、測
定手段の測定値が変化する前において流量演算手段によ
って求められた流量に応じて、変化時間検出手段の検出
値に基づく判別の基準を変更するものである。

【００１５】請求項５記載の気体用流量計は、請求項１
または４のいずれかに記載の気体用流量計において、測
定手段が、気体を加熱するヒータと、このヒータを一定
温度に制御あるいは一定電流または一定電力で駆動する
ヒータ制御手段と、ヒータに流れる電流を検出するヒー
タ電流検出手段と、ヒータの温度を検出するヒータ温度
検出手段とを有し、ヒータ電流検出手段の検出値または
ヒータ温度検出手段の検出値を測定値として出力するも
のである。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。図１ないし図９は本発明の一実施例
に係るものである。本実施例は、本発明を熱式流量計に
適用したものである。

【００１７】図１は本実施例の気体用流量計の構成を示
すブロック図である。この図に示すように、本実施例の
気体用流量計は、気体１０が通過する配管１１内に配設
された温度センサ１２とヒータ１３とを備えている。温
度センサ１２は気体１０の温度を測定するためのもので
ある。気体用流量計は、更に、ヒータ１３に流れる電流
を測定するヒータ電流測定部１４と、ヒータ１３の温度
を測定するヒータ温度測定部１５と、ヒータ電流測定部
１４、ヒータ温度測定部１５および温度センサ１２の各
出力に基づいてヒータ１３を一定温度に制御あるいは一
定電流または一定電力で駆動するヒータ制御部１６とを
備えている。

【００１８】気体用流量計は、更に、ヒータ電流測定部
１４またはヒータ温度測定部１５の測定値が変化したと
きに、変化に要した時間を検出する変化時間検出部１７
と、ヒータ電流測定部１４またはヒータ温度測定部１５
の測定値が変化したときに、測定値の変化率を検出する
変化率検出部１８と、変化時間検出部１７の検出値およ
び変化率検出部１８の検出値に基づいて、ヒータ電流測
定部１４またはヒータ温度測定部１５の測定値の変化が
流量の変化によるものか気体の種類の変更によるものか
を判別し、ヒータ電流測定部１４またはヒータ温度測定
部１５の測定値から流量を演算する際の演算式の係数を
決定する判別部１９と、この判別部１９によって決定さ
れた係数とヒータ電流測定部１４またはヒータ温度測定
部１５の測定値とに基づいて流量を演算する流量演算部
２０とを備えている。

【００１９】図２は本実施例の気体用流量計におけるヒ
ータの制御、ヒータ電流の測定およびヒータ温度の測定
に係わる部分の構成の一例を示す回路図である。この図
に示す例では、ヒータ１３は、配管１１内に配設された
ヒータ本体２１と、このヒータ本体２１に対して直列に
接続された電源２２、可変抵抗器２３および電流計２４
と、ヒータ本体２１の両端の電圧を検出する電圧計２５
とを備えている。図１におけるヒータ電流測定部１４は
電流計２４によって実現される。ヒータ温度測定部１５
は、電流計２４によって検出されるヒータ本体２１に流
れる電流と電圧計２５によって検出されるヒータ本体２
１の両端の電圧とからヒータ１３（ヒータ本体２１）の
抵抗値を求め、この抵抗値からヒータ１３の温度を求め
る。ヒータ制御部１６は、ヒータ温度を一定に制御する
方法の場合には、ヒータ温度測定部１５で測定したヒー
タ温度が、温度センサ１２で測定した気体の温度よりも
一定温度だけ上昇するように、可変抵抗器２３を制御す
ることによってヒータ１３を制御する。一方、電流また
は電力を一定に制御する方法の場合には、ヒータ制御部
１６は、ヒータ電流測定部１４（電流計２４）で測定し
たヒータ電流が一定になるように、可変抵抗器２３を制
御することによってヒータ１３を制御する。

【００２０】また、ヒータ温度測定部１５、ヒータ制御
部１６、変化時間検出部１７、変化率検出部１８、判別
部１９および流量演算部２０は、例えばマイクロコンピ
ュータによって実現される。また、温度センサ１２、ヒ
ータ１３、ヒータ電流測定部１４、ヒータ温度測定部１
５およびヒータ制御部１６が測定手段を構成する。

【００２１】次に、本実施例の気体用流量計の動作につ
いて説明する。この気体用流量計では、ヒータ制御部１
６は、ヒータ温度を一定に制御する方法の場合には、ヒ
ータ温度測定部１５で測定したヒータ温度が、温度セン
サ１２で測定した気体の温度よりも一定温度だけ上昇す
るようにヒータ１３を制御する。そして、流量演算部２
０は、ヒータ電流測定部１４で測定したヒータ電流に基
づいて流量を求める。ヒータ電流に基づいて流量を求め
る場合の演算式は、下式のように表される。なお、Ｉは
ヒータ電流、Ｇは流量、Ａ、Ｂは係数である。

【００２２】

【数１】Ｇ＝（ＡＩ² −Ｂ）²

【００２３】一方、電流または電力を一定に制御する方
法の場合には、ヒータ制御部１６は、ヒータ電流測定部
１４で測定したヒータ電流が一定になるようにヒータ１
３を制御する。そして、そして、流量演算部２０は、ヒ
ータ温度測定部１５で測定したヒータ温度に基づいて流
量を求める。電流を一定に制御してヒータ温度に基づい
て流量を求める場合の演算式は、下式のように表され
る。なお、Ｒはヒータ１３の温度に対応するヒータ１３
の抵抗値、Ｇは流量、Ｃ、Ｄは係数である。

【００２４】

【数２】Ｇ＝（ＣＲ−Ｄ）²

【００２５】また、ヒータ電流測定部１４またはヒータ
温度測定部１５の測定値が変化したとき、変化時間検出
部１７は変化に要した時間を検出し、変化率検出部１８
は変化率を検出する。そして、判別部１９は、変化時間
検出部１７によって検出された変化時間および変化率検
出部１８によって検出された変化率に基づいて、ヒータ
電流測定部１４またはヒータ温度測定部１５の測定値の
変化が流量の変化によるものか気体の種類の変更による
ものかを判別する。判別部１９は、具体的には、以下の
２つの条件を満足する場合に、気体の種類の変更による
ものと判定し、他の場合には流量の変化によるものと判
定する。

【００２６】〔条件１〕：変化時間が所定の範囲内（例
えば０．５〜２秒）であること。 〔条件２〕：変化率が所定の範囲内であること。

【００２７】ここで、上記の２つの条件の意味について
図３ないし図６を参照して説明する。図３はヒータ温度
を一定に制御する方法の場合において、流量が一定で気
体の種類が変わったときの時間とヒータ電流との関係を
示す特性図、図４はヒータ温度を一定に制御する方法の
場合において、気体の種類は変わらず流量が変化（増
加）したときの時間とヒータ電流との関係を示す特性図
である。また、図５は電流または電力を一定に制御する
方法の場合において、流量が一定で気体の種類が変わっ
たときの時間とヒータ温度との関係を示す特性図、図６
は電流または電力を一定に制御する方法の場合におい
て、気体の種類は変わらず流量が変化（増加）したとき
の時間とヒータ温度との関係を示す特性図である。これ
らの図において、ｔ、ｔ´は変化時間、ａ、ａ´は変化
前の測定値、ｂ、ｂ´は変化後の測定値を示す。

【００２８】これらの図に示すように、一般に、流量が
一定で気体の種類が変わったときの変化時間ｔは、気体
の種類は変わらず流量が変化したときの変化時間ｔ´よ
りも長い。従って、この変化時間が短い（例えば０．５
未満）の場合にはヒータ電流またはヒータ温度の変化が
流量の変化によるものである可能性が高く、変化時間が
ある程度長い（例えば０．５〜２秒）の場合にはヒータ
電流またはヒータ温度の変化が気体の種類の変更による
ものである可能性が高い。〔条件１〕は以上の考察に基
づくものである。

【００２９】また、図３ないし図６に示すように、流量
が一定で気体の種類が変わったときの変化率ｂ／ａは、
変化の前後の気体の種類（例えば空気と１３Ａガス）に
よって略一定である。これに対し、気体の種類は変わら
ず流量が変化したときの変化率ｂ´／ａ´は一定しな
い。従って、変化率が一定値の近傍の所定の範囲内にあ
る場合にはヒータ電流またはヒータ温度の変化が気体の
種類の変更によるものである可能性が高く、変化率が一
定値の近傍の所定の範囲内にない場合にはヒータ電流ま
たはヒータ温度の変化が流量の変化によるものである可
能性が高い。〔条件２〕は以上の考察に基づくものであ
る。

【００３０】なお、本実施例では、２つの条件を共に満
足する場合に気体の種類の変更によるものと判別するよ
うにしているが、変化時間検出部１７と変化率検出部１
８の一方のみを設け、〔条件１〕と〔条件２〕の一方の
みを設定し、この条件を満足する場合に気体の種類の変
更によるものと判別するようにしても良い。

【００３１】判別部１９は、ヒータ電流またはヒータ温
度の変化が気体の種類の変更によるものと判別した場合
には、流量演算部２０においてヒータ電流またはヒータ
温度から流量を演算する際の演算式の係数を、変更後の
気体に対応するものに変更する。なお、気体の種類が３
種類以上ある場合には、変更の前後の気体の種類に応じ
て変化率が異なることから、変化率に基づいて変更後の
気体の種類を判別し、その気体に対応する係数に変更す
るようにしても良い。

【００３２】ところで、ヒータ温度を一定に制御する方
法の場合において、流量変化に基づくヒータ電流の変化
は、流量が小さいときには図８に示すように緩やかにな
り、流量が大きいときには図９に示すように急になる。
電流または電力を一定に制御する方法の場合における流
量変化に基づくヒータ温度の変化も同様である。従っ
て、流量が小さいときにおける変化時間ｔ₁ は、流量が
大きいときにおける変化時間ｔ₂ よりも長くなる。そこ
で、ヒータ電流が変化する前において流量演算部２０に
よって求められた流量に応じて、前述の（条件１）にお
ける所定の範囲を、流量が大きいほど短い方に、また流
量が小さいほど長い方に変更するようにしても良い。

【００３３】次に、図７の流れ図を参照して、本実施例
の気体用流量計の動作をまとめて説明する。本実施例の
気体用流量計では、まず、使用者が、最初に測定する気
体の種類に応じて、流量演算部２０において流量を演算
する際の演算式の係数（係数初期値）を設定する（ステ
ップＳ１０１）。次に、ヒータ制御部１６がヒータ１３
を一定温度に制御あるいは一定電流または一定電力で駆
動する。そして、ヒータ温度を一定に制御する方法の場
合にはヒータ電流測定部１４の測定値を、電流または電
力を一定に制御する方法の場合にはヒータ温度測定部１
５の測定値を、変化時間検出部１７、変化率検出部１８
および流量演算部２０にそれぞれ入力する（ステップＳ
１０２）。

【００３４】次に、変化時間検出部１７および変化率検
出部１８は、それぞれヒータ電流測定部１４またはヒー
タ温度測定部１５の測定値に変化があったか否かを判断
する（ステップＳ１０３）。変化がない場合（Ｎ）は、
流量演算部２０により流量を演算する（ステップＳ１０
８）。一方、変化がある場合（ステップＳ１０３；Ｙ）
は、変化時間検出部１７が変化時間を検出し（ステップ
Ｓ１０４）、変化率検出部１８が変化率を検出する（ス
テップＳ１０５）。そして、判定部１９が、上述の２つ
の条件を用いて、ヒータ電流測定部１４またはヒータ温
度測定部１５の測定値の変化が気体の種類の変更による
ものか否かを判断する（ステップＳ１０６）。気体の種
類の変更によるものではないと判断した場合（Ｎ）は、
そのまま流量演算部２０により流量を演算する（ステッ
プＳ１０８）。気体の種類の変更によるものと判断した
場合（ステップＳ１０６；Ｙ）は、判別部１９は、流量
演算部２０においてヒータ電流またはヒータ温度から流
量を演算する際の演算式の係数を変更し（ステップＳ１
０７）、流量演算部２０は変更後の係数を用いて流量を
演算する（ステップＳ１０８）。気体用流量計は、流量
演算後、測定を終了するか否かを判断し（ステップＳ１
０９）、測定を終了しない場合（Ｎ）はステップＳ１０
２へ戻り、測定を終了する場合（Ｙ）は動作を終了す
る。

【００３５】以上説明したように本実施例によれば、ヒ
ータ電流測定部１４またはヒータ温度測定部１５の測定
値が変化したときに、その変化が流量の変化によるもの
か気体の種類の変更によるものかを判別し、気体の種類
の変更によるものと判別した場合にはヒータ電流または
ヒータ温度から流量を演算する際の演算式の係数を変更
するようにしたので、気体の種類が変わった場合でも正
確に流量を測定することができる。従って、例えば、本
実施例の気体用流量計をガスメータとして用いた場合、
設置時には空気用の流量計になっていたものが、空気抜
きしてガスに置換された時点で、ガス用の係数に自動的
に変更され、自動的にガス用の流量計として使用するこ
とが可能となる。

【００３６】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
例えば、ヒータ１３の温度は、ヒータ１３の近傍に温度
センサを設けて、この温度センサによって検出するよう
にしても良い。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし３お
よび５のいずれかに記載の気体用流量計によれば、測定
手段の測定値が変化したときに、その変化が流量の変化
によるものか気体の種類の変更によるものかを判別し、
この判別結果と測定手段の測定値とに基づいて流量を演
算するようにしたので、気体の種類が変わった場合でも
正確に流量を測定することができるという効果がある。

【００３８】また、請求項４記載の気体用流量計によれ
ば、測定手段の測定値が変化する前において流量演算手
段によって求められた流量に応じて、変化時間検出手段
の検出値に基づく判別の基準を変更するようにしたの
で、上記効果に加え、流量に応じて変化時間が変化する
場合でも、測定値の変化が流量の変化によるものか気体
の種類の変更によるものかを精度良く判別することがで
きるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の気体用流量計の構成を示す
ブロック図である。

【図２】図１の気体用流量計におけるヒータの制御、ヒ
ータ電流の測定およびヒータ温度の測定に係わる部分の
構成の一例を示す回路図である。

【図３】ヒータ温度を一定に制御する方法の場合におい
て、流量が一定で気体の種類が変わったときの時間とヒ
ータ電流との関係を示す特性図である。

【図４】ヒータ温度を一定に制御する方法の場合におい
て、気体の種類は変わらず流量が変化したときの時間と
ヒータ電流との関係を示す特性図である。

【図５】電流または電力を一定に制御する方法の場合に
おいて、流量が一定で気体の種類が変わったときの時間
とヒータ温度との関係を示す特性図である。

【図６】電流または電力を一定に制御する方法の場合に
おいて、気体の種類は変わらず流量が変化したときの時
間とヒータ温度との関係を示す特性図である。

【図７】本発明の一実施例の気体用流量計の動作を示す
流れ図である。

【図８】ヒータ温度を一定に制御する方法の場合におい
て、流量が小さいときの流量変化に基づくヒータ電流の
変化を示す特性図である。

【図９】ヒータ温度を一定に制御する方法の場合におい
て、流量が大きいときの流量変化に基づくヒータ電流の
変化を示す特性図である。

【図１０】従来の熱式流量計の構成を示すブロック図で
ある。

【図１１】従来の熱式流量計においてヒータ温度を一定
に制御する方法の場合における流量とヒータ電流との関
係を示す特性図である。

【図１２】従来の熱式流量計において電流または電力を
一定に制御する方法の場合における流量とヒータ温度と
の関係を示す特性図である。

【符号の説明】

１２ 温度センサ １３ ヒータ １４ ヒータ電流測定部 １５ ヒータ温度測定部 １６ ヒータ制御部 １７ 変化時間検出部 １８ 変化率検出部 １９ 判別部 ２０ 流量演算部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流量および気体の種類に応じて変化する
   パラメータを測定する測定手段と、 この測定手段の測定値が変化したときに、変化に要した
   時間を検出する変化時間検出手段と、 この変化時間検出手段の検出値に基づいて、前記測定手
   段の測定値の変化が流量の変化によるものか気体の種類
   の変更によるものかを判別する判別手段と、 この判別手段の判別結果と前記測定手段の測定値とに基
   づいて流量を演算する流量演算手段とを具備することを
   特徴とする気体用流量計。
2. 【請求項２】 流量および気体の種類に応じて変化する
   パラメータを測定する測定手段と、 この測定手段の測定値が変化したときに、測定値の変化
   率を検出する変化率検出手段と、 この変化率検出手段の検出値に基づいて、前記測定手段
   の測定値の変化が流量の変化によるものか気体の種類の
   変更によるものかを判別する判別手段と、 この判別手段の判別結果と前記測定手段の測定値とに基
   づいて流量を演算する流量演算手段とを具備することを
   特徴とする気体用流量計。
3. 【請求項３】 流量および気体の種類に応じて変化する
   パラメータを測定する測定手段と、 この測定手段の測定値が変化したときに、変化に要した
   時間を検出する変化時間検出手段と、 前記測定手段の測定値が変化したときに、測定値の変化
   率を検出する変化率検出手段と、 前記変化時間検出手段の検出値および前記変化率検出手
   段の検出値に基づいて、前記測定手段の測定値の変化が
   流量の変化によるものか気体の種類の変更によるものか
   を判別する判別手段と、 この判別手段の判別結果と前記測定手段の測定値とに基
   づいて流量を演算する流量演算手段とを具備することを
   特徴とする気体用流量計。
4. 【請求項４】 前記判別手段は、前記測定手段の測定値
   が変化する前において前記流量演算手段によって求めら
   れた流量に応じて、前記変化時間検出手段の検出値に基
   づく判別の基準を変更することを特徴とする請求項１ま
   たは３記載の気体用流量計。
5. 【請求項５】 前記測定手段は、気体を加熱するヒータ
   と、このヒータを一定温度に制御あるいは一定電流また
   は一定電力で駆動するヒータ制御手段と、前記ヒータに
   流れる電流を検出するヒータ電流検出手段と、前記ヒー
   タの温度を検出するヒータ温度検出手段とを有し、前記
   ヒータ電流検出手段の検出値または前記ヒータ温度検出
   手段の検出値を測定値として出力することを特徴とする
   請求項１ないし４のいずれかに記載の気体用流量計。