JPH07237103A

JPH07237103A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH07237103A
Application number: JP5447994A
Authority: JP
Inventors: Fumihiko Hasegawa; 文彦長谷川; Tatsuo Otani; 辰夫大谷; Yasuyoshi Kuroda; 泰嘉黒田; Koichiro Ichikawa; 浩一郎市川; Yasuo Inada; 安雄稲田
Original assignee: Fujikoshi Machinery Corp; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Fujikoshi Machinery Corp; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 1994-02-28
Filing date: 1994-02-28
Publication date: 1995-09-12
Anticipated expiration: 2013-12-02
Also published as: JP2832149B2

Abstract

(57)【要約】【目的】良好な研磨を安定かつ迅速に行える、研磨装
置を提供する。【構成】表面に固定砥粒が担持されたテープが巻回保
持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、こ
の繰出し用リールから繰り出される前記テープを巻き取
る巻取り用リールと、この両リールが内部に着脱可能に
設置されるとともに、前記両リールに巻き掛けられる前
記テープの途中部分が外周に巻回される回転ドラムと、
調速ローラ、およびこの調速ローラに巻取り前の前記テ
ープを押し付ける押えローラを含んで構成されるテープ
調速手段と、前記回転ドラムを回転させるモータと、前
記巻取り用リールの支持軸（リール支持軸）を回転させ
る他のモータとを備え、前記リール支持軸にはその巻取
り用リールが半クラッチ状態で取付け可能となってお
り、前記リール支持軸と前記調速ローラの駆動軸との間
は、直接的あるいは間接的に、歯車機構によって連結さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、研磨装置に関するもの
で、さらに詳しくは、ウェーハ外周の面取り部を研磨す
るための研磨装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】シリコン単結晶ウェーハあるいは化合物
半導体ウェーハなど（以下ウェーハと言う）において
は、その外周部を研削加工することによって、面取り部
を形成することが行われている。このようにウェーハに
面取り部を形成した場合には、ハンドリング時あるいは
位置合わせ時において、その面取り部からの割れや欠け
は防止することができるものの、微粉の発生は防止でき
ない。そのため、この微粉に起因して半導体デバイスの
製造の歩留りおよび信頼性の低下を招く危険性がある。
そこで、従来、ウェーハの面取り後に、その面取り部を
研磨することが行われている。

【０００３】ところで、この研磨にあっては、回転する
研磨バフをウェーハの面取り部へ押し付けることによっ
て研磨を行っており、その際に、アルカリ液中にコロイ
ダルシリカ等を分散させた研磨剤（遊離砥粒）を研磨部
に供給している。

【０００４】ところが、研磨剤を研磨部に供給する場
合、研磨部以外（例えばウェーハの表面および裏面）に
も研磨剤がかかってしまい、アルカリの蝕刻作用によっ
て、該部分に傷が付いてしまう。この傷は、研磨剤を洗
浄するための洗浄工程では取り去ることができない。そ
れでも、ウェーハの表面の傷は、その後に行われる鏡面
研磨によって取り除かれるので問題ないが、ウェーハの
裏面に残された傷は、製品にそのまま残り、これが新た
な微粉の発生源となり、これによって半導体デバイス製
造時の歩留りや、半導体デバイスの特性が劣化してしま
うなどの不都合が生じる。

【０００５】そこで、近年、研磨剤を用いずに研磨する
研磨装置として、固定砥粒を担持させたテープを用い
て、ウェーハの面取り部を研磨する装置が考えられてい
る。この装置では、アルカリを含む研磨剤を用いないた
め、ウェーハ裏面の傷の問題は生じない。しかし、固定
砥粒を担持させたテープでは、遊離砥粒研磨とは異なり
砥粒が加工作用面にて入れ替わることがないので、テー
プの同一面を繰り返し使うと、固定砥粒のすり減りや目
詰りを生じてしまう。したがって、面取り部を効率的に
研磨するためには、次々にテープの新面を面取り部に当
ててゆく必要がある。そのために、固定砥粒を担持させ
たテープを用いる研磨装置では、繰出し用リールによっ
てテープの新面を繰り出し、この繰り出した新面によっ
て研磨を行い、使用済み部分を順次に巻取り用リールに
よって巻き取るなどの工夫がなされている。

【０００６】図６には、この研磨装置の概略が示されて
いる。この研磨装置１１は、ウェーハＷを保持するウェ
ーハ保持手段１２と、研磨しようとするウェーハＷの面
取り部にテープＴを押し当てる押当て部材１３と、テー
プＴを繰り出す繰出し用リール１４と、テープＴの使用
済み部分を巻き取る巻取り用リール１５とを備えてい
る。この装置１１では、繰出し用リール１４によってテ
ープＴを繰り出し、この繰り出したテープＴを押当て部
材１３によってウェーハＷの面取り部に押し当て、テー
プＴの新面によって研磨を行い、使用済み部分を順次に
巻取り用リール１５によって巻き取るようになってお
り、この研磨中、テープＴ自体を幅方向に小さく揺動さ
せるとともに、ウェーハ保持手段１２に保持されたウェ
ーハＷを回転させて、ウェーハＷの面取り部とテープ間
に相対速度を与えている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この研
磨装置においては下記のような問題があった。

【０００８】テープＴによって研磨を行う場合、テープ
Ｔの新面繰出し速度と、研磨部における面取り部とテー
プＴ間の相対速度とが、良好な研磨を行う上での重要な
要素となる。前記研磨装置１１では、テープＴの巻取り
速度は任意に変えられ、したがって、テープＴの新面繰
出し速度が変えられはするものの、テープＴの幅方向の
利用は、テープ幅方向振動によるため、全面の有効利用
が困難であるとともに、相対速度を得るためにウェーハ
Ｗを高速で回転させると、その回転軸に対するウェーハ
Ｗの偏心に起因する振動の発生が懸念される一方、オリ
フラ部角部の過剰研磨が行われるおそれがある。また、
テープＴの新面を繰り出す場合、巻取り用リール１５の
回転速度を一定にしておくと、巻取り用リール１５のテ
ープ巻取り量が多くなるに伴って、テープ供給速度（新
面繰出し速度）が増大するので、研磨条件が不均一とな
り、安定した研磨ができなくなるという問題があった。

【０００９】本発明は、かかる点に鑑みなされたもの
で、良好な研磨を安定かつ迅速に行える、研磨装置を提
供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】第１の手段は、表面に固
定砥粒が担持されたテープが巻回保持され当該テープを
繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールか
ら繰り出される前記テープを巻き取る巻取り用リール
と、この両リールが内部に着脱可能に設置されるととも
に、前記両リールに巻き掛けられる前記テープの途中部
分が外周に巻回される回転ドラムと、調速ローラ、およ
びこの調速ローラに巻取り前の前記テープを押し付ける
押えローラを含んで構成されるテープ調速手段と、前記
回転ドラムを回転させるモータと、前記巻取り用リール
の支持軸（リール支持軸）を回転させる他のモータとを
備え、前記リール支持軸にはその巻取り用リールが半ク
ラッチ状態で取付け可能となっており、前記リール支持
軸と前記調速ローラの駆動軸との間は、直接的あるいは
間接的に、歯車機構によって連結されているものであ
る。

【００１１】第２の手段は、表面に固定砥粒が担持され
たテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出
し用リールと、この繰出し用リールから繰り出される前
記テープを巻き取る巻取り用リールと、この両リールが
内部に着脱可能に設置されるとともに、前記両リールに
巻き掛けられる前記テープの途中部分が外周に巻回され
る回転ドラムと、調速ローラ、およびこの調速ローラに
巻取り前の前記テープを押し付ける押えローラを含んで
構成されるテープ調速手段と、前記回転ドラムを回転さ
せるモータと、前記調速ローラの駆動軸（ローラ駆動
軸）を回転させる他のモータとを備え、前記巻取り用リ
ールの支持軸（リール支持軸）にはその巻取り用リール
が半クラッチ状態で取付け可能となっており、前記ロー
ラ駆動軸と前記リール支持軸との間は、直接的あるいは
間接的に、歯車機構によって連結されているものであ
る。

【００１２】

【作用】上記した手段によれば、回転ドラムにテープが
巻き掛けられており、しかも、そのテープは巻取り用リ
ールの回転等によって被研磨物に対して相対的に移動す
るので、次々にテープの新しい部分が被研磨物に当接さ
れることになるとともに、回転ドラムの回転によって、
十分に、面取り部とテープ間の相対速度が得られること
になる。その結果、安定した研磨が行えることになる。

【００１３】また、押えローラとの間でテープを挟み込
む調速ローラはモータによって強制回転させられる一
方、半クラッチ状態でリール支持軸に取り付けられる巻
取り用リールはテープ調速手段によって調速されたテー
プを順次巻取るだけなので、テープを連続供給して研磨
を行うものにおいては、調速ローラの回転速度を一定に
すれば、テープの供給速度を一定にすることが可能とな
る。したがって、安定した研磨が行えることになる。ま
た、テープを間欠的に供給するものにおいては、テープ
の供給時の調速ローラの回転数を一定にすれば、テープ
の供給量を常に一定にすることができる。したがって、
テープが無駄なく使用できることになるとともに、テー
プ寿命の管理が容易となる。すなわち、巻取り用リール
の回転速度や回転数を一定にすることによって、テープ
供給速度やテープ供給量をコントロールしようとする場
合には、巻取り用リールのテープ巻取り量が多くなるに
伴って、テープ供給速度やテープ供給量が増大し、安定
した研磨ができなくなったり、テープの無駄が生じたり
するが、上記した手段によれば、調速ローラの回転速度
や回転数を一定にすることにより、テープ供給速度やテ
ープ供給量をコントロールするので、テープ供給速度や
テープ供給量を常に一定に保つことができ、安定した研
磨が行えるとともに、テープの無駄が防止できることに
なる。

【００１４】

【実施例】以下、図面に基づいて、本発明の実施例に係
る研磨装置について説明する。

【００１５】図１には実施例の研磨装置の外観斜視図が
示されている。この研磨装置１は、回転ドラム２と、こ
の回転ドラム２内に設置される繰出し用リール３（図
２）および巻取り用リール４（図２）と、前記回転ドラ
ム２を回転駆動するモータ（第１のモータ）５と、前記
巻取り用リール４を回転駆動するモータ（第２のモー
タ）６とを備えている。そして、繰出し用リール３から
繰り出されるテープＴは、前記回転ドラム２の外周面に
螺旋状に巻回された後、巻取り用リール４で巻き取られ
るようになっている。

【００１６】ここで、テープＴについて説明すれば、図
３に示すように、このテープＴは、例えば、テープ基材
７０の上に接着剤７１を介して固定砥粒７２を接着した
ものであり、固定砥粒７２の形成面が外側になるように
繰出し用リール３に巻回される。なお、このテープＴと
しては、図示はしないが、テープ基材の上に固定砥粒を
混ぜた塗料を塗布した型のものを用いることもできる。

【００１７】次に、回転ドラム２について説明すれば、
回転ドラム２は、図２に示すように、筒体２０と、この
筒体２０の上下に着脱可能に取り付けられる底板２１お
よび天板２２とから構成され、筒体２０内部に設けられ
た仕切板２３、２４によって、回転ドラム２内は、下室
２０ａ、中室２０ｂおよび上室２０ｃの３つに区分けさ
れている。

【００１８】この回転ドラム２は、モータ５のモータ軸
５ａに固定されている。つまり、この実施例では、モー
タ５のモータ軸５ａは、回転ドラム２の支持軸となって
いる。また、このモータ５のモータ軸５ａには、モータ
６が固定して設けられている。そして、このモータ６の
モータ軸６ａは、前記モータ軸５ａを貫通するととも
に、回転ドラム２の底板２１および仕切板２３、２４を
貫通して延びている。このモータ軸６ａは基軸６０と、
この基軸６０に着脱可能に連結される継軸６１とから構
成され、基軸６０と継軸６１とは、回転ドラム２の下室
２０ａ内で連結されている。この基軸６０と継軸６１と
は、例えばスプラインによって連結されている。このモ
ータ軸６ａの基軸６０には、繰出し用リール３が空転可
能に取り付けられる。この繰出し用リール３は、筒体２
０を底板２１から取り外すとともに、基軸６０から継軸
６１を取り外した状態で、基軸６０に取り付けられる。
また、継軸６１には、回転ドラム２の中室２０ｂに位置
する部分に、大径平歯車６１ａが付設されている。さら
に、継軸６１には、回転ドラム２の上室２０ｃに位置す
る部分に、巻取り用リール４が半クラッチ状態で取り付
けられる。つまり、この実施例では、モータ６のモータ
軸６ａは、巻取り用リール４の支持軸となっていて、モ
ータ軸６ａ（継軸６１）にはＯリング６２を介してブッ
シュ６３が取り付けられ、このブッシュ６３に巻取り用
リール４が取り付けられる。なお、巻取り用リール４
は、天板２２を筒体２０から取り外した状態で、継軸６
１に取り付けられる。

【００１９】また、回転ドラム２（具体的には筒体２
０）の周壁には、図１に示すように、その回転ドラム２
の母線に対して傾斜するスリット２５ａ，２５ｂがそれ
ぞれ設けられ、繰出し用リール３から繰り出されたテー
プＴを一旦回転ドラム２の外側へ導いて螺旋状に巻き掛
けた後、再び回転ドラム２の内側へ導いて巻取り用リー
ル４に巻き取らせることができるようになっている。

【００２０】さらに、回転ドラム２の上室２０ｃには、
図４に示すように、ガイドローラ３０と調速ローラ３１
が設置されている。このうち調速ローラ３１の軸（ロー
ラ駆動軸）３１ａは、仕切板２４を貫通して中室２０ｂ
に臨んでおり、この中室２０ｂに臨む部分には、前記大
径平歯車６１ａに噛合する小径平歯車３３が付設されて
いる。この大径平歯車６１ａと小径平歯車３３とが噛合
している結果、モータ６によって調速ローラ３１が強制
回転させられることになる。

【００２１】回転ドラム２の上室２０ｃには、また、前
記調速ローラ３１との間でテープＴの移動速度をコント
ロールするためのテープ調速手段４０が設けられてい
る。このテープ調速手段４０は、前記調速ローラ３１の
他に、図４および図５に示すような一対のアーム４１、
４２を有し、このアーム４１、４２はそれぞれ軸４１
ａ、４２ａを中心に揺動可能に構成されている。一方の
アーム４１の先端には「く」字形のシーソ板４３が付設
され、このシーソ板４３の両端には、調速ローラ３１に
同時接触可能な押えローラ４４ａ、４４ｂが付設されて
いる。一方、他方のアーム４２の先端には、調速ローラ
３１を前記押えローラ４４ａ、４４ｂとは反対の側から
支える支持ローラ４５が付設されている。このアーム４
１、４２の基端には、押えローラ４４ａ、４４ｂによる
テープＴの押圧力を調節するための押圧力調節装置４６
が付設されている。この押圧力調節装置４６は、アーム
４２に基端が固定され、アーム４１のボルト穴４１ｂに
先端が挿入されたボルト４６ａと、このボルト４６ａに
螺合されたナット４６ｂと、このナット４６ｂおよびア
ーム４１との間に介装されたばね４６ｃとから構成され
ている。そして、この押圧力調節装置４６にあっては、
ナット４６ｂを動作させることによって、ばね４６ｃの
付勢力を調節し、これによって、押えローラ４４ａ、４
４ｂによるテープＴの押圧力を調節するようになってい
る。

【００２２】一方、前記研磨装置１に付設されたウェー
ハ保持機構８について図１を用いて説明すれば、このウ
ェーハ保持機構８は、ウェーハＷを真空吸引する吸引部
８０と、この吸引部８０に支持されたウェーハＷを回転
させるモータ（図示せず）と、これら吸引部８０および
モータを支持するステージ８１を動作させるエアシリン
ダ８２とを備えている。これら吸引部８０、モータ、ス
テージ８１およびエアシリンダ８２は平面形状が「Ｔ」
字状に形成されたフレーム８３に取り付けられている。
このフレーム８３の中央には、ステージ８１が回転ドラ
ム２に対して接近・離反する方向に摺動可能に取り付け
られている。また、フレーム８３の両翼先端部は起立し
ており、その起立部の一方が軸受け８４に、他方がモー
タ８５に連結されている。なお、軸受け８４とモータ８
５は、ほぼ、ウェーハＷと回転ドラム２の接点に接する
接線上に存在し、軸８６を中心に回動する。このような
ウェーハ保持機構８によれば、ウェーハ面取り部をテー
プＴに確実に所定の間隔で押し付けることができる。

【００２３】次に、本実施例の研磨装置１の使用方法を
説明する。

【００２４】まず、筒体２０を底板２１から取り外すと
ともに、基軸６０から継軸６１を取り外した状態で、基
軸６０に繰出し用リール３を取り付ける。そして、底板
２１に筒体２０を取り付けるとともに、基軸６０に継軸
６１を連結する。その際に、繰出し用リール３に巻回さ
れているテープＴの先を筒体２０のスリット２５ａから
予め引き出しておく。次に、天板２２を取り外し、継軸
６１に巻取り用リール４を取り付ける。そして、前記テ
ープＴを、回転ドラム２の外周に螺旋状に巻き掛けた後
に、筒体２０のスリット２５ｂを通して回転ドラム２の
上室２０ｃ内へ導き、ガイドローラ３０から、さらには
調速ローラ３１と前記押えローラ４４ａ、４４ｂとの間
に挟み込んだ後、テープＴの先を巻取り用リール４に取
り付ける。次いで、筒体２０に天板２２を取り付け、モ
ータ６を駆動させてテープＴの弛みを取る。

【００２５】一方、ウェーハ保持機構８の吸着部８０に
はウェーハＷを吸着させ、エアシリンダ８２によって、
ウェーハＷの面取り部を、回転ドラム２の外周に巻かれ
たテープＴに接触させる。この接触にあたっては、モー
タ５の駆動により回転ドラム２を、図示しないモータの
駆動によりウェーハＷを回転させておくとともに、モー
タ６の駆動によりテープＴに移動動作をさせておくこと
が好ましい。また、回転ドラム２の回転方向とテープＴ
の移動方向は、同じにしておくことが望ましい。

【００２６】このようにしてテープＴを面取り部に接触
させて研磨を行う。この場合、モータ８５によって軸８
６を中心にウェーハＷを旋回させるとともに、ウェーハ
Ｗの研磨部分をそのウェーハＷの円周方向へ移動させる
ため、ウェーハＷを回転させておく。また、モータ６の
駆動によりテープＴに移動動作をさせておく。この場合
のテープＴの移動速度は、調速ローラ３１の回転速度を
コントロールすることによって一定にしておくが、調速
ローラ３１によって送給されるテープＴの移動速度は、
テープＴが全く巻取りされていない状態で、かつ、継軸
６１に対して滑動しない状態での巻取り用リール４のテ
ープ巻取り速度と同じか、それよりも僅かに遅くしてお
く。

【００２７】このように構成された研磨装置１によれ
ば、回転ドラム２に螺旋状にテープＴが巻き掛けられて
おり、しかも、そのテープＴは巻取り用リール４の回転
によって移動するので、次々にテープＴの新面が繰り出
されることになるとともに、回転ドラム２の回転によっ
て、十分に、面取り部とテープ間の相対速度が得られる
ことになる。したがって、良好な研磨が安定して行える
ことになる。また、回転ドラム２にはテープＴが螺旋状
に巻回されているので、ウェーハＷの面取り部との接触
部は、回転ドラム２の回転に伴って、テープＴを斜めに
横断するように移行し、さらに、テープＴのゆっくりと
した巻取りによって、細かいピッチで新面側へ移行する
ので、テープＴの全面を有効に使えるという効果をも有
する。

【００２８】また、押えローラ４４ａ、４４ｂとの間で
テープＴを挟み込む調速ローラ３１はモータ６によって
強制回転させられる一方、半クラッチ状態で継軸６１に
取り付けられる巻取り用リール４は、必要に応じて継軸
６１に対して滑動する。すなわち、調速ローラ３１のテ
ープＴの供給速度が、巻取り用リール４の巻取り速度よ
りも遅くなる場合には、巻取り用リール４は継軸６１に
対して滑動し、テープ調速手段４０によって調速された
テープＴを順次巻取るだけなので、テープＴの供給速度
は調速ローラ３１の回転速度だけに依存することとな
る。その結果、調速ローラ３１の回転速度を一定にして
おけば、テープＴの供給速度を一定にすることが可能と
なる。したがって、安定した研磨が行えることになる。

【００２９】以上、本発明者がなした実施例について説
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能であ
ることは勿論である。

【００３０】例えば、前記実施例では、モータ５、６を
回転ドラム２の底板２１側に設けたが、第２のモータ６
を天板２２側に設けても良く、この場合には、巻取り用
リール４の支持軸（継軸６１）を、回転ドラム２の支持
軸（第１のモータ５のモータ軸５ａ）を貫通させなくと
も済むことになる。

【００３１】また、前記実施例では、モータ６によって
直接駆動される巻取り用リール４の支持軸（継軸６１）
に歯車機構を介して調速ローラ３１の駆動軸３１ａを連
結したが、反対に、調速ローラ３１の駆動軸３１ａをモ
ータ６によって直接駆動するようにし、調速ローラ３１
の駆動軸３１ａに歯車機構を介して巻取り用リール４を
連結するようにしても良い。なお、この場合の連結は、
直接的でも、間接的でも良い。

【００３２】また、前記実施例においては、テープＴを
連続的に供給しつつ研磨を行うようにしたが、例えば、
テープＴを連続供給せずに、ウェーハＷを自転させつ
つ、昇降手段によって、回転ドラム２に対してウェーハ
Ｗを回転ドラム２の母線方向に相対的に移動させて研磨
を行い、外部に露出しているテープＴの全面を使用した
後に、その古くなったテープＴを一時に巻取り、外部に
露出するテープＴの全面を新面として、再び研磨を行う
ようにしたものにも、本発明は適用可能である。この場
合には、外部に露出しているテープＴの全面を新面にす
るのに必要な調速ローラ３１の回転数は常に一定である
ので、外部に露出しているテープＴの全面を新面にする
のに、余分にテープＴを供給することが避けられ、テー
プＴが無駄なく使用できることになるとともに、テープ
寿命の管理が容易となる。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、表面に固定砥粒が担持
されたテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする
繰出し用リールと、この繰出し用リールから繰り出され
る前記テープを巻き取る巻取り用リールと、この両リー
ルが内部に着脱可能に設置されるとともに、前記両リー
ルに巻き掛けられる前記テープの途中部分が外周に巻回
される回転ドラムと、調速ローラ、およびこの調速ロー
ラに巻取り前の前記テープを押し付ける押えローラを含
んで構成されるテープ調速手段と、前記回転ドラムを回
転させるモータと、前記巻取り用リールの支持軸（リー
ル支持軸）を回転させる他のモータとを備え、前記リー
ル支持軸にはその巻取り用リールが半クラッチ状態で取
付け可能となっており、前記リール支持軸と前記調速ロ
ーラの駆動軸との間は、直接的あるいは間接的に、歯車
機構によって連結されているので、次々にテープの新し
い部分が被研磨物に当接されることになるとともに、回
転ドラムの回転によって、十分に、面取り部とテープ間
の相対速度が得られることになる。その結果、安定した
研磨が行えることになる。

【００３４】また、押えローラとの間でテープを挟み込
む調速ローラはモータによって強制回転させられる一
方、巻取り用リールはテープ調速手段によって調速され
たテープを順次巻取るだけなので、テープを連続供給し
て研磨を行うものにおいて、調速ローラの回転速度を一
定にすれば、テープの供給速度を一定にすることが可能
となる。したがって、安定した研磨が行えることにな
る。また、テープを間欠的に供給するものにおいて、供
給時の調速ローラの回転数を一定にすれば、テープの供
給量を常に一定にすることができる。したがって、テー
プが無駄なく使用できることになるとともに、テープ寿
命の管理が容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の研磨装置の外観斜視図であ
る。

【図２】本発明の実施例に係る回転ドラムの構成を説明
する縦断面図である。

【図３】本発明の実施例に係るテープの概略構成図であ
る。

【図４】本発明の実施例の回転ドラムの天板を取り除い
た状態の平面図である。

【図５】本発明の実施例に係る押圧装置の斜視図であ
る。

【図６】従来の研磨装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１研磨装置２回転ドラム３繰出し用リール４巻取り用リール５，６モータ５ａモータ軸（回転ドラムの支持軸）６ａモータ軸（巻取り用リールの支持軸）ＴテープＷウェーハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大谷辰夫福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地信越半導体株式会社半導体白河研究所内 (72)発明者黒田泰嘉福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地信越半導体株式会社半導体白河研究所内 (72)発明者市川浩一郎長野県長野市松代町清野1650番地不二越機械工業株式会社内 (72)発明者稲田安雄長野県長野市松代町清野1650番地不二越機械工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に固定砥粒が担持されたテープが巻
回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リール
と、この繰出し用リールから繰り出される前記テープを
巻き取る巻取り用リールと、この両リールが内部に着脱
可能に設置されるとともに、前記両リールに巻き掛けら
れる前記テープの途中部分が外周に巻回される回転ドラ
ムと、調速ローラ、およびこの調速ローラに巻取り前の
前記テープを押し付ける押えローラを含んで構成される
テープ調速手段と、前記回転ドラムを回転させるモータ
と、前記巻取り用リールの支持軸（リール支持軸）を回
転させる他のモータとを備え、前記リール支持軸にはそ
の巻取り用リールが半クラッチ状態で取付け可能となっ
ており、前記リール支持軸と前記調速ローラの駆動軸と
の間は、直接的あるいは間接的に、歯車機構によって連
結されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】表面に固定砥粒が担持されたテープが巻
回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リール
と、この繰出し用リールから繰り出される前記テープを
巻き取る巻取り用リールと、この両リールが内部に着脱
可能に設置されるとともに、前記両リールに巻き掛けら
れる前記テープの途中部分が外周に巻回される回転ドラ
ムと、調速ローラ、およびこの調速ローラに巻取り前の
前記テープを押し付ける押えローラを含んで構成される
テープ調速手段と、前記回転ドラムを回転させるモータ
と、前記調速ローラの駆動軸（ローラ駆動軸）を回転さ
せる他のモータとを備え、前記巻取り用リールの支持軸
（リール支持軸）にはその巻取り用リールが半クラッチ
状態で取付け可能となっており、前記ローラ駆動軸と前
記リール支持軸との間は、直接的あるいは間接的に、歯
車機構によって連結されていることを特徴とする研磨装
置。