JPH07235545A - 半導体製造用熱処理炉のキャップ固定構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 半導体製造用熱処理炉の石英チュ−ブ内で、
爆発性ガスが万一爆発した場合に、高圧高温の爆風が熱
処理炉のキャップの連結部などを破壊し、下方または床
面に向かって噴出し、設備、器具及び作業員などに危害
を及ぼすのを阻止し、被害を軽微に止めるキャップ固定
構造を提供する。 【構成】 半導体製造用熱処理炉のマニホ−ルド３の下
部側壁に枢動可能に設けられた掛金レバ−１４と、この
掛金レバ−を枢動させるエアシリンダ１６と、前記掛金
レバ−をエアシリンダと反対方向に押圧するばね１７
と、熱処理炉のキャップ４の裏面などに装着され前記の
掛金レバ−１４と係合し、掛金レバ−がエアシリンダ１
６によりキャップを開くように作動されぬ限りキャップ
を閉の状態に固定する複数個のロック機構を含む構成で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はシリコン等の半導体用ウ
ェ−ハの表面に熱処理、化学処理などを行う熱処理炉や
ＣＶＤ装置における反応炉に関し、特に爆発の際反応炉
内の爆発ガスが反応炉の下方へ噴出するのを阻止する反
応炉のキャップ固定構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来の半導体製造用熱処理炉の縦
断面図である。炉壁１に囲まれて上端が封じられた石英
チュ−ブ２の下部にマニホ−ルド３が備えられ、このマ
ニホ−ルド３の下部の開口部３ａはキャップ４で閉じて
いる。このキャップ４には支持軸６により揺動可能に支
持されるア−ム５が取り付けられ、支持軸６は図示しな
い昇降装置と回転装置７により僅かに下降され、キャッ
プ４がマニホ−ルド３から離された後、水平に揺動され
てキャップ４をマニホ−ルド３の直下から側方に移動さ
せ、マニホ−ルド３の開口部３ａを大きく開く。この状
態で図示しない昇降装置によって、ボ−トに積載された
ウェ−ハが開口部３ａの下方から上方に移動されて石英
チュ−ブ２内に装入される。装入が終わるとキャップ４
は前記と逆に動作して、マニホ−ルド３の開口部３ａを
閉じ石英チュ−ブ内は気密に保たれ、石英チュ−ブ２の
内部はヒ−タにより加熱され、さらに各種の反応ガスが
マニホ−ルド３の側方に設けられた図示しない口金から
導入されて、石英チュ−ブ内での反応処理雰囲気が整え
られる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】熱処理炉内に導入する
反応ガスとして、爆発性の高いガスを使用する場合があ
り、何らかの操作ミスにより石英チュ−ブ２の内部に空
気が流入すると爆発限界に達し爆発の可能性が生じる。
爆発により高温高圧の爆風が発生して四方に噴出する
が、爆風の噴出する可能性が最も高いのは、爆圧がキャ
ップ４のマニホ−ルド３への取付部を破壊し、爆風が下
方及び床面に沿って四方へ噴出することである。このた
め、床面付近の器物を破損したり、作業者などの人体に
も危害を及ぼす可能性があるので、爆発が発生しても少
なくともこのキャップ４が外れないように固定すること
が本発明の解決しようとする課題である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は小型エアシリン
ダと、該エアシリンダで作動される掛金レバ−と、掛金
レバ−をエアシリンダの作動方向と逆に押圧する圧縮コ
イルばねと、前記の掛金レバ−と係合する掛金受とを含
むロック機構の複数個を、キャップとマニホ−ルドとの
係合部分に配設するキャップの固定構造により上記の課
題を解決した。

【０００５】

【作用】反応炉の石英チュ−ブ内で爆発性ガスにより万
一爆発が生じた場合は、本発明によるロック機構により
マニホ−ルドのキャップが固くマニホ−ルドの開口部を
閉じているので、爆発により発生した高圧高温のガスは
石英チュ−ブを破損して上方及び側方へ噴出し、少なく
とも下方への噴出を阻止し床面上の器物の破損や作業者
への危害を軽微に食い止めることができる。

【０００６】

【実施例】図１は本発明によるキャップ固定構造として
のロック機構を備えた半導体製造用熱処理炉の縦断立面
図であり、図１のＡ矢視拡大部分底面図を図２に、また
図１のＢ部拡大側面図を図３にそれぞれ示す。これらの
図において図４と同じ部品には同じ符号を付し、異なる
点のみを以下に説明する。本発明の固定構造におけるロ
ック機構１０は、マニホ−ルド３とキャップ４との環状
係合部１１に沿った円周方向の複数箇所に、本実施例で
は３箇所に設置され、これら３箇所のロック機構１０は
それぞれ下記の４つの部材により構成される。 １）マニホ−ルド３の側壁３ｂに取り付けられるコの字
形ブラケット１２に、軸１３を介して枢動可能に支持さ
れる掛金レバ−１４と、 ２）板金製の取付ブラケット１５を介してマニホ−ルド
３の側壁３ｂに保持され、掛金レバ−１４の一端部を押
す小型のエアシリンダ１６と、 ３）掛金レバ−１４に対しエアシリンダ１６の反対側に
位置し、エアシリンダ１６とは逆方向に掛金レバ−１４
を弾性的に押圧する圧縮コイルばね１７と、 ４）キャップ４の外周面４ａに溶接又はボルト止めなど
で固定され、Ｚ字形断面を有して掛金レバ−１４と係合
する掛金受１８と、 である。

【０００７】上記構造によるロック機構１０の作用を図
３を参照して以下に説明する。エアシリンダ１６に圧縮
空気が供給されない場合は、図の実線のようにピストン
ロッド１６ａは後退位置にあり、圧縮コイルばね１７の
押圧力により掛金レバ−１４は軸１３の周りに反時計方
向に回転して掛金受１８と係合し、キャップ４とマニホ
−ルド３は固くロックされる。これにより、石英チュ−
ブ内で処理中に爆発が発生してもキャップとマニホ−ル
ドの係合が解除されることはなく、爆風が下方に吹き出
ることにはならない。ウェ−ハボ−トを石英チュ−ブ内
へ装入あるいは処理後の搬出が必要な場合には、エアシ
リンダ１６に圧縮空気が送られ、ピストンロッド１６ａ
が前進して掛金レバ−１４を図３で二点鎖線で示したよ
うに時計方向に回転させ、掛金受１８との係合が解除さ
れ、図示しない昇降装置及び回転装置７によりキャップ
４を移動してウェ−ハボ−トの装入あるいは搬出が従来
と同様に実施できる。本願では半導体製造用の熱処理炉
について述べたが、ＣＶＤ装置などに適用できることは
勿論である。

【０００８】

【発明の効果】構造が簡単で容易に操作可能なロック機
構を付設するだけで、キャップをマニホ−ルドに固く固
定して、万一石英チュ−ブ内で爆発が発生しても高温高
圧の爆風の下方への噴出を防止し、被害を軽微に食い止
めることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるロック機構を備えた半導体製造用
熱処理炉の縦断立面図である。

【図２】図１のＡ矢視拡大部分底面図である。

【図３】図１のＢ部拡大側面図である。

【図４】従来の半導体製造用熱処理炉の縦断面図であ
る。

【符号の説明】

２ 石英チュ−ブ ３ マニホ−ルド ４ キャップ １０ ロック機構 １４ 掛金レバ− １６ エアシリンダ １７ 圧縮コイルばね １８ 掛金受

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 炉壁に囲まれ上端が封じられた石英チュ
   −ブの下部にマニホ−ルドが備えられ、このマニホ−ル
   ドの下部の開口部を開閉するキャップを支持軸により揺
   動可能に支持するア−ムと、前記支持軸を上下動させる
   昇降装置及び回転装置とにより前記キャップをマニホ−
   ルドから離して半導体用ウェ−ハを装入して高温下で処
   理し、処理済みウェ−ハを取り出すようにされた半導体
   製造用熱処理炉において、 前記マニホ−ルドの下端近くの側壁に枢動可能に装着さ
   れる掛金レバ−と、この掛金レバ−を枢動させるエアシ
   リンダと、この掛金レバ−を前記エアシリンダが押す方
   向と反対方向に常時は押圧するばねと、前記キャップに
   固定されて前記掛金レバ−と係合する掛金受とを含んで
   成り、前記キャップはエアシリンダにより作動される以
   外は閉の状態に確保される複数個のロック機構を備え、 前記石英チュ−ブ内で発生する爆発によっても前記キャ
   ップが開かれるのを防止し、爆風が熱処理炉の下方へ噴
   出するのが阻止されることを特徴とする半導体製造用熱
   処理炉のキャップ固定構造。