JPH0723546U - クリーンルーム用床シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルームに敷設される床シートであっ
て、寸法安定性を補助する繊維層が、敷設工事中ならび
に敷設後においても、部屋の清浄度を損なわない。 【構成】 塩化ビニル樹脂配合物からなる表地層１、中
地層２、下地層４および繊維層３とから構成される床シ
ートであって、表地層１、中地層２、繊維層３、下地層
４の順に貼り合わされている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、クリーンルームの床に敷設される床シートに関する。さらに詳し くは、半導体素子や集積回路の製造を行なうクリーンルームにおいて、敷設によ り部屋の清浄度を損うことのない床シートに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来の塩化ビニル樹脂配合物からなる床シートは、図２に示したように、耐摩 耗性に優れた表地層１と所定の弾性を有する中地層２と特に寸法安定性に優れた 下地層４とからなる積層シートの最下層に、さらに寸法安定性を付加するためと 、敷設面との接着性を向上させるために、各種繊維の織布等からなる繊維層３が 貼着されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

クリーンルームの床面には、各種電気配線や各種流体パイプを這わせる必要が あるため、通常は金属、プラスチック等で作られた所定寸法の方形の基盤を床面 上に敷き詰め、その上面に所定寸法に裁断された床シートを敷設している。

【０００４】 しかしながら、従来の床シートを敷設施工のため、所定寸法に裁断してクリー ンルーム内に持込むと、施工時のみならず施工後においても、その最下層の繊維 層の裁断箇所から発生するほつれ等のクズが飛散することにより、部屋内の清浄 度が損われるとして、改善が要求されている。この考案の目的は、このような従 来の欠点を除去したクリーンルーム用床シートを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この考案は、上記目的を達成するため、塩化ビニル樹脂配合物からなる表地層 、中地層および下地層が貼り合わされた床シートにおいて、中地層と下地層との 中間に繊維層が挿入されているクリーンルーム用床シートを提案する。

【０００６】

【作用】

この考案では、中地層と下地層との中間に繊維層が設けられており、繊維層の 繊維糸は上下の層間に埋設されているから、裁断箇所から繊維クズが発生するこ とがない。

【０００７】

【実施例】

この考案の実施例を図面を参照しながらその詳細を説明する。

【０００８】 図１はこの考案のクリーンルーム用床シートの一例を示す断面図である。この 床シートは、塩化ビニル樹脂配合物からなる表地層１、中地層２および下地層４ が貼り合わされ、その中地層２と下地層４との中間に繊維層３が挿入されたもの から成る。かかる床シートは、クリーンルームの床面上に敷き詰められた基盤上 に下地層４を下にして敷設され、接着剤によってその基盤の上面に接合される。

【０００９】 表地層１は、塩化ビニル樹脂の耐摩耗性を配慮した配合物で構成され、所定色 に着色され、必要に応じて模様が形成されている。さらに耐摩耗性を向上させる ために、ポリウレタン系の塗料が塗布されたり、紫外線を照射して表面の塗膜や 樹脂を架橋させることもある。

【００１０】 中地層２は、床シートの弾性を高めるものであって、塩化ビニル樹脂に比較的 多量の充填材と可塑剤を添加したものから成り、床材としての、所定の弾性を保 持している。発泡材を添加して加工時に発泡させて、軽量化するとともに、さら に柔らかな弾性をもたせることもある。

【００１１】 繊維層３は床シートの寸法安定性を付加するものであって、麻、木綿、ナイロ ン、レーヨン、ポリエステルなどの各種繊維の織布等からなり、例えば１０〜２ ０番手の合繊混紡糸が縦糸に、３０〜５０番手の麻合繊混紡糸が横糸として織ら れた布が使用される。

【００１２】 下地層４は、敷設面である基盤の上面との接着性を考慮した塩化ビニル樹脂配 合物からなり、接着力を低下させる添加剤のブリードを阻止する配合となってい る。

【００１３】 上記の表地層１、中地層２および下地層４は別個に各塩化ビニル樹脂配合物か らカレンダー法によりシート状に成形され、順次または同時に融着される。この とき繊維層３が中地層２と下地層４との中間に挿入され、中地層２と下地層４、 又は３つの層１，２，４が貼り合わせロールで一体化されるとき、繊維層３が中 地層２と下地層４との間に埋設される。このようにして得られた積層シートはロ ール状に巻かれたのち、所定形状に裁断される。

【００１４】 なお、塩化ビニル樹脂配合物より成る３つの層１，２，４は、いずれもゴミの 付着を防止するため、帯電防止配合とされ、その体積固有抵抗率が下げられてい て、床シートを通して電荷が敷設面に逃がされるように構成されている。

【００１５】

【考案の効果】

この考案のクリーンルーム用床シートは、従来の床シートとは異なり、繊維層 が中地層と下地層との中間に埋設されているから、施工時に繊維層が他のシート と接触して糸がほつれたり、裁断面の糸がほぐれてゴミを発生することがなくな る。

【００１６】 また繊維層が中地層と下地層との中間に埋設されているから、体積固有抵抗率 の高い繊維層が中地層と下地層との間に潰された状態で介在し、電気抵抗値の大 なる繊維層の網目を通して中地層から下地層へ電荷が移動しやすくなる。このた め、繊維層が一番下に配置された従来の床シートに比べ、両者の材質と厚さが同 じであっても、この考案の床シートの方が、電荷をその敷設面へ逃がしやすくな る。このようにして、床シートの表面にゴミが静電的に付着する不具合をより効 果的に防止することができる。

【００１７】 金属、プラスチック等で作られた表面が平らな基盤との接着にあたり、この考 案の床シートのように下地層の接着面を平面としたものの方が、従来の床シート のように表面に微小な多数の凹凸のある繊維層が接着面となる場合に比べて、接 着力は大となる。

【００１８】 従来の床シートでは、ロール状に巻いたり、所定形状に裁断後積み重ねて保管 するとき、表地層に繊維層の布目の跡が残るという不具合が発生したが、この考 案の床シートではそのような不具合は発生しない。

【００１９】 さらに、従来の床シートは、その寸法安定性を補助する繊維層が最下層に設け られているため、表地層と下地層の収縮差によりシートが反る現象が起ったが、 この考案の床シートでは繊維層が中地層と下地層との中間に埋設されているから 、このような現象は起らない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願考案一実施例のクリーンルーム用床シート
の断面図である。

【図２】従来の床シートの断面図である。

【符号の説明】

１ 表地層 ２ 中地層 ３ 繊維層 ４ 下地層

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 塩化ビニル樹脂配合物からなる表地層、
   中地層および下地層が貼り合わされた床シートにおい
   て、中地層と下地層との中間に繊維層が挿入されている
   ことを特徴とするクリーンルーム用床シート。