JPH07233792A - ローリングピストン式真空ポンプ - Google Patents
ローリングピストン式真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH07233792A JPH07233792A JP5285394A JP5285394A JPH07233792A JP H07233792 A JPH07233792 A JP H07233792A JP 5285394 A JP5285394 A JP 5285394A JP 5285394 A JP5285394 A JP 5285394A JP H07233792 A JPH07233792 A JP H07233792A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- eccentric
- shaft portion
- vacuum pump
- eccentric shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 グリースシール型軸受の設計の自由度を向上
し、小型軽量化したポンプを提供する。 【構成】 回転軸13の軸方向の中央部には、軸心より
所定量偏心した偏心アダプタ14が固嵌されている。該
偏心アダプタ14の外周には、グリースシール型のベア
リング15が嵌着されている。偏心アダプタ14には、
該偏心アダプタ14と前記ベアリング15により軸方向
で区画されたロータ2内の両空間16a,16bを連通
させて、圧力を均衡させるための2個の連通孔17,1
7が設けられている。
し、小型軽量化したポンプを提供する。 【構成】 回転軸13の軸方向の中央部には、軸心より
所定量偏心した偏心アダプタ14が固嵌されている。該
偏心アダプタ14の外周には、グリースシール型のベア
リング15が嵌着されている。偏心アダプタ14には、
該偏心アダプタ14と前記ベアリング15により軸方向
で区画されたロータ2内の両空間16a,16bを連通
させて、圧力を均衡させるための2個の連通孔17,1
7が設けられている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は主に負圧源を有しない車
両、例えば電気自動車等に用いられるローリングピスト
ン式真空ポンプに関するものである。
両、例えば電気自動車等に用いられるローリングピスト
ン式真空ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】ローリングピストン式真空ポンプ(以下
単にポンプという)等の回転ピストン型の真空ポンプ
は、特開昭63−68792号公報第2頁上段の右欄第
3行から第14行に記載するように、ロータの軸方向両
端面とフロントハウジング及びリアハウジングとの摺接
面が、無潤滑となっておりシール性能が低い。このた
め、ポンピング作用時、ロータの軸方向両端面とフロン
トハウジング及びリアハウジングとの摺接面から正圧又
は負圧が逃げる場合がある。このような圧力の漏洩は、
グリースシール型の軸受により軸方向に区画されたロー
タ内の両部屋の間に圧力差を生じ、この圧力差により上
記軸受内に充填されたグリースが流失し、軸受の潤滑性
が損なわれて焼き付け等を発生しやすい。
単にポンプという)等の回転ピストン型の真空ポンプ
は、特開昭63−68792号公報第2頁上段の右欄第
3行から第14行に記載するように、ロータの軸方向両
端面とフロントハウジング及びリアハウジングとの摺接
面が、無潤滑となっておりシール性能が低い。このた
め、ポンピング作用時、ロータの軸方向両端面とフロン
トハウジング及びリアハウジングとの摺接面から正圧又
は負圧が逃げる場合がある。このような圧力の漏洩は、
グリースシール型の軸受により軸方向に区画されたロー
タ内の両部屋の間に圧力差を生じ、この圧力差により上
記軸受内に充填されたグリースが流失し、軸受の潤滑性
が損なわれて焼き付け等を発生しやすい。
【0003】上記グリースの流失を防止するため、上記
公開公報に開示された回転ピストン型ポンプでは、グリ
ースシール型軸受との嵌合面であるロータの内周部に、
前記両部屋を連通する連通溝を形成するとともに、フロ
ントハウジング及びリアハウジングに設けた軸受嵌着部
に、連通溝を形成することにより、両部屋の圧力を大気
圧に等しい圧力で均衡させている。
公開公報に開示された回転ピストン型ポンプでは、グリ
ースシール型軸受との嵌合面であるロータの内周部に、
前記両部屋を連通する連通溝を形成するとともに、フロ
ントハウジング及びリアハウジングに設けた軸受嵌着部
に、連通溝を形成することにより、両部屋の圧力を大気
圧に等しい圧力で均衡させている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記した
構造では、上記グリースシール型軸受との嵌合面である
ロータの内周部に、連通溝を形成するスペースを確保す
る必要があり、この分グリースシール型軸受の外径寸法
が制限されて小さくなる。このため、グリースシール型
軸受の設計の自由度が低下するという問題点があった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
グリースシール型軸受の設計の自由度を向上できるとと
もに、小型軽量化したポンプを提供することを目的とす
るものである。
構造では、上記グリースシール型軸受との嵌合面である
ロータの内周部に、連通溝を形成するスペースを確保す
る必要があり、この分グリースシール型軸受の外径寸法
が制限されて小さくなる。このため、グリースシール型
軸受の設計の自由度が低下するという問題点があった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
グリースシール型軸受の設計の自由度を向上できるとと
もに、小型軽量化したポンプを提供することを目的とす
るものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載される本発明のポンプは、円筒状内
周面を有するシリンダと、該シリンダ内に配置された回
転軸と、該回転軸の偏心軸部に嵌着したグリースシール
型軸受を介して軸支されるとともに、前記回転軸の回転
に伴って前記円筒状内周面に摺接しながら公転するロー
タと、該ロータの外周面に摺接するとともに、前記シリ
ンダの半径方向に往復動して、該シリンダと前記ロータ
とによって形成される空間を吸入室と吐出室とに区画す
るブレードと、前記吸入室に連通する吸入口と、前記吐
出室に連通する吐出口を備えたローリングピストン式真
空ポンプにおいて、前記偏心軸部とグリースシール型軸
受により軸方向で区画されたロータ内の両空間を連通す
る連通孔を、前記偏心軸部に形成したことを特徴とす
る。
め、請求項1に記載される本発明のポンプは、円筒状内
周面を有するシリンダと、該シリンダ内に配置された回
転軸と、該回転軸の偏心軸部に嵌着したグリースシール
型軸受を介して軸支されるとともに、前記回転軸の回転
に伴って前記円筒状内周面に摺接しながら公転するロー
タと、該ロータの外周面に摺接するとともに、前記シリ
ンダの半径方向に往復動して、該シリンダと前記ロータ
とによって形成される空間を吸入室と吐出室とに区画す
るブレードと、前記吸入室に連通する吸入口と、前記吐
出室に連通する吐出口を備えたローリングピストン式真
空ポンプにおいて、前記偏心軸部とグリースシール型軸
受により軸方向で区画されたロータ内の両空間を連通す
る連通孔を、前記偏心軸部に形成したことを特徴とす
る。
【0006】請求項2に記載される本発明のポンプは、
上記請求項1記載の構成において、前記偏心軸部に形成
される連通孔は、回転のアンバランスを軽減するための
荷重調整用の貫通孔であることを特徴とする。
上記請求項1記載の構成において、前記偏心軸部に形成
される連通孔は、回転のアンバランスを軽減するための
荷重調整用の貫通孔であることを特徴とする。
【0007】また、請求項3に記載される本発明のポン
プは、上記請求項1記載の構成において、前記偏心軸部
に形成される連通孔を、回転のアンバランスを軽減する
ために該偏心軸部の外周に設けられる荷重調整用の溝
と、グリースシール型軸受とで構成したことを特徴とす
る。
プは、上記請求項1記載の構成において、前記偏心軸部
に形成される連通孔を、回転のアンバランスを軽減する
ために該偏心軸部の外周に設けられる荷重調整用の溝
と、グリースシール型軸受とで構成したことを特徴とす
る。
【0008】
【作用及び発明の効果】請求項1記載の本発明のポンプ
によれば、回転軸の偏心軸部に形成した連通孔により、
偏心軸部とグリースシール型軸受により軸方向で区画さ
れたロータ内の両空間の圧力の均衡が保持され、圧力差
により充填されたグリースが流失しない。偏心軸部に連
通孔を設けたから、グリースシール型軸受の外径寸法が
制限されることもなく、グリースシール型軸受の設計の
自由度が向上する効果がある。
によれば、回転軸の偏心軸部に形成した連通孔により、
偏心軸部とグリースシール型軸受により軸方向で区画さ
れたロータ内の両空間の圧力の均衡が保持され、圧力差
により充填されたグリースが流失しない。偏心軸部に連
通孔を設けたから、グリースシール型軸受の外径寸法が
制限されることもなく、グリースシール型軸受の設計の
自由度が向上する効果がある。
【0009】前記連通孔を、請求項2記載の本発明のポ
ンプでは、回転のアンバランスを軽減させるための荷重
調整用の貫通孔とし、また、請求項3記載の本発明のロ
ーリングピストン式真空ポンプでは、回転のアンバラン
スを軽減するために該偏心軸部の外周に設けられる荷重
調整用の溝と、グリースシール型軸受とで構成したか
ら、回転のアンバランスを防止するためのバランサを小
型にでき、ポンプ重量を低減できる効果がある。
ンプでは、回転のアンバランスを軽減させるための荷重
調整用の貫通孔とし、また、請求項3記載の本発明のロ
ーリングピストン式真空ポンプでは、回転のアンバラン
スを軽減するために該偏心軸部の外周に設けられる荷重
調整用の溝と、グリースシール型軸受とで構成したか
ら、回転のアンバランスを防止するためのバランサを小
型にでき、ポンプ重量を低減できる効果がある。
【0010】
【実施例】本発明の実施例を添付図面により説明する。
図1は本発明に係るポンプの縱断面図、図2は図1にお
けるA−A線断面図である。図において1はケーシング
であり、後述するロータ2が摺接する円筒状内面1aを
有する。3はドライブフレーム、4はリアフレームであ
り、該両フレーム3,4はケーシング1にボルト5によ
り締結されてシリンダ6を形成している。ドライブフレ
ーム3及び4に形成された軸受嵌着部7,8には、ベア
リング9,10がそれぞれ嵌着されている。
図1は本発明に係るポンプの縱断面図、図2は図1にお
けるA−A線断面図である。図において1はケーシング
であり、後述するロータ2が摺接する円筒状内面1aを
有する。3はドライブフレーム、4はリアフレームであ
り、該両フレーム3,4はケーシング1にボルト5によ
り締結されてシリンダ6を形成している。ドライブフレ
ーム3及び4に形成された軸受嵌着部7,8には、ベア
リング9,10がそれぞれ嵌着されている。
【0011】上記軸受嵌着部7には、大気に連通する軸
方向の連通溝11が形成されている。また、軸受嵌着部
8には、ロータ2内に連通する軸方向の連通溝12が形
成されている。そして、ベアリング9,10により回転
軸13が支承されている。回転軸13が前記ドライブフ
レーム3から突出する部分には、図示しない電動モータ
の駆動軸が連結される。尚、上記連通溝11及び連通溝
12は、ベアリング9及びベアリング10の外輪の外周
に形成することもできる。
方向の連通溝11が形成されている。また、軸受嵌着部
8には、ロータ2内に連通する軸方向の連通溝12が形
成されている。そして、ベアリング9,10により回転
軸13が支承されている。回転軸13が前記ドライブフ
レーム3から突出する部分には、図示しない電動モータ
の駆動軸が連結される。尚、上記連通溝11及び連通溝
12は、ベアリング9及びベアリング10の外輪の外周
に形成することもできる。
【0012】回転軸13の軸方向の中央部には、軸心よ
り所定量偏心した偏心アダプタ14が固嵌されている。
該偏心アダプタ14の外周には、グリースシール型のベ
アリング15が嵌着されている。図3に示すように前記
偏心アダプタ14には、該偏心アダプタ14と前記ベア
リング15により軸方向で区画されたロータ2内の両空
間16a,16bを連通させて、圧力を均衡させるため
の2個の連通孔17,17が設けられている。
り所定量偏心した偏心アダプタ14が固嵌されている。
該偏心アダプタ14の外周には、グリースシール型のベ
アリング15が嵌着されている。図3に示すように前記
偏心アダプタ14には、該偏心アダプタ14と前記ベア
リング15により軸方向で区画されたロータ2内の両空
間16a,16bを連通させて、圧力を均衡させるため
の2個の連通孔17,17が設けられている。
【0013】前記グリースシール型のベアリング15
は、円滑な摺動を促し、焼き付きを防止するため図示し
ないグリースを充填したものである。そして、このベア
リング15の外周には、円筒状のロータ2が嵌着され、
回転軸13に対して回転自由に支持される。従って、ロ
ータ2の中心はケーシング側1の円筒状内面1aの中心
より偏心アダプタ14により決定される所定量偏心する
とともに、ロータ2の外周面の一部がケーシング1の円
筒状内周面1aに摺接する様になっている。偏心アダプ
タ14の両側には、ロータ2や偏心アダプタ14等の回
転部分の全ての荷重をバランスさせて、回転を滑らかに
するためのバランサ18,18が設けられている。前記
ロータ2と軸方向の両端面とドライブフレーム3及びリ
アフレーム4との間には、それぞれ微小なスラストギャ
ップ3a,4aが設けられている。
は、円滑な摺動を促し、焼き付きを防止するため図示し
ないグリースを充填したものである。そして、このベア
リング15の外周には、円筒状のロータ2が嵌着され、
回転軸13に対して回転自由に支持される。従って、ロ
ータ2の中心はケーシング側1の円筒状内面1aの中心
より偏心アダプタ14により決定される所定量偏心する
とともに、ロータ2の外周面の一部がケーシング1の円
筒状内周面1aに摺接する様になっている。偏心アダプ
タ14の両側には、ロータ2や偏心アダプタ14等の回
転部分の全ての荷重をバランスさせて、回転を滑らかに
するためのバランサ18,18が設けられている。前記
ロータ2と軸方向の両端面とドライブフレーム3及びリ
アフレーム4との間には、それぞれ微小なスラストギャ
ップ3a,4aが設けられている。
【0014】前記ケーシング1には、軸方向に開口する
ブレード室19が形成されている。このブレード室19
には、板状のブレード20がシリンダ6の半径方向に移
動可能に挿入されている。さらに、ケーシング1には、
キャップ21で塞いだスプリング装着孔22が設けら
れ、該スプリング装着孔22に装着されたコイルスプリ
ング23により、ブレード20をロータ2の外周面に弾
接させている。ブレード20は、シリンダ6の内面とロ
ータ2の外周によって形成されるシリンダ室を吸入室2
4と吐出室25とに区画している。ケーシング1には、
前記吸入室24に空気を導くための吸入口26が形成さ
れている。また、ドライブフレーム3のブレード室19
に対応する位置には吐出口27が設けられている。ブレ
ード20の一側面には、吐出室25の空気を前記吐出口
27に導く通風溝20aが形成されている。
ブレード室19が形成されている。このブレード室19
には、板状のブレード20がシリンダ6の半径方向に移
動可能に挿入されている。さらに、ケーシング1には、
キャップ21で塞いだスプリング装着孔22が設けら
れ、該スプリング装着孔22に装着されたコイルスプリ
ング23により、ブレード20をロータ2の外周面に弾
接させている。ブレード20は、シリンダ6の内面とロ
ータ2の外周によって形成されるシリンダ室を吸入室2
4と吐出室25とに区画している。ケーシング1には、
前記吸入室24に空気を導くための吸入口26が形成さ
れている。また、ドライブフレーム3のブレード室19
に対応する位置には吐出口27が設けられている。ブレ
ード20の一側面には、吐出室25の空気を前記吐出口
27に導く通風溝20aが形成されている。
【0015】
【作動】上記構成の本発明のポンプの作動を説明する。
電動モータ(図示せず)の回転が回転軸13に伝わる
と、図2の矢線方向へ偏心アダプタ14が偏心回転され
る。この時、ロータ2はベアリング15を介して偏心ア
ダプタ14に回転自在に支持されているため、図2の矢
印方向に偏心運動する。ブレード20は、コイルスプリ
ング23により偏心運動するロータ2の外周面に弾接し
ながら半径方向に往復運動をする。このため、吸入室2
4及び吐出室25はその容積が拡大、縮小を繰り返すこ
とになりポンピング作用をなす。すなわち、回転軸13
の回転に伴い吸入室24は、容積が最大になるまでブレ
ーキブースタ室の真空タンク(図示せず)内の空気を吸
入口26を通じて吸引する。その後、吸入した空気は吐
出室25の容積の縮小により、ブレード20の通風溝2
0aを通じて吐出口27より吐出される。
電動モータ(図示せず)の回転が回転軸13に伝わる
と、図2の矢線方向へ偏心アダプタ14が偏心回転され
る。この時、ロータ2はベアリング15を介して偏心ア
ダプタ14に回転自在に支持されているため、図2の矢
印方向に偏心運動する。ブレード20は、コイルスプリ
ング23により偏心運動するロータ2の外周面に弾接し
ながら半径方向に往復運動をする。このため、吸入室2
4及び吐出室25はその容積が拡大、縮小を繰り返すこ
とになりポンピング作用をなす。すなわち、回転軸13
の回転に伴い吸入室24は、容積が最大になるまでブレ
ーキブースタ室の真空タンク(図示せず)内の空気を吸
入口26を通じて吸引する。その後、吸入した空気は吐
出室25の容積の縮小により、ブレード20の通風溝2
0aを通じて吐出口27より吐出される。
【0016】ここで、上記構成のポンプは無潤滑である
ため、ロータ2の両スラストギャップ3a,4aをシー
ルする潤滑材がない。このため、吸入室24が負圧の場
合は、ロータ2内の空間16a,16bは強制的なシー
ル手段がないことから、この空間16a,16bの空気
は上記スラストギャップ3a,4aを通じて、吸入室2
4に引かれて負圧になる。この傾向は、吸入室24が高
真空になるぼと顕著となる。
ため、ロータ2の両スラストギャップ3a,4aをシー
ルする潤滑材がない。このため、吸入室24が負圧の場
合は、ロータ2内の空間16a,16bは強制的なシー
ル手段がないことから、この空間16a,16bの空気
は上記スラストギャップ3a,4aを通じて、吸入室2
4に引かれて負圧になる。この傾向は、吸入室24が高
真空になるぼと顕著となる。
【0017】しかしながら、ロータ2内のドライブフレ
ーム3側の空間16aは、軸受嵌着部7に形成した連通
溝11により大気に連通し、しかも偏心アダプタ14に
は連通孔17,17が形成され空間16aと16bとは
連通しているから、両空間16a,16bは圧力差を生
じることがない。また、吐出室25の空気が押された場
合は、上記スラストギャップ3a,4aを通じて、空間
16a,16b内は正圧になっても、大気に連通するド
ライブフレーム3側の空間16aと空間16bとは、連
通孔17,17により連通しているから、圧力差を生じ
ることがない。従って、ベアリング15に充填したグリ
ースの流出が防止され、ベアリング15の早期劣化を解
消することができる。
ーム3側の空間16aは、軸受嵌着部7に形成した連通
溝11により大気に連通し、しかも偏心アダプタ14に
は連通孔17,17が形成され空間16aと16bとは
連通しているから、両空間16a,16bは圧力差を生
じることがない。また、吐出室25の空気が押された場
合は、上記スラストギャップ3a,4aを通じて、空間
16a,16b内は正圧になっても、大気に連通するド
ライブフレーム3側の空間16aと空間16bとは、連
通孔17,17により連通しているから、圧力差を生じ
ることがない。従って、ベアリング15に充填したグリ
ースの流出が防止され、ベアリング15の早期劣化を解
消することができる。
【0018】連通孔17,17はロータ2の内周部に形
成されるものでなく、偏心アダプタ14に形成されるか
ら、この分ベアリング15の外径を大きくすることがで
きる。また、偏心アダプタ14に形成される連通孔1
7,17は、その位置や大きさにより回転軸13の回転
のアンバランスを軽減するための荷重調整用の貫通孔と
することができる。このため、該連通孔17,17が設
けられることにより、軽減される回転のアンバランス
分、前記バランサ18,18を小型にでき、ポンプ重量
を低減できる。
成されるものでなく、偏心アダプタ14に形成されるか
ら、この分ベアリング15の外径を大きくすることがで
きる。また、偏心アダプタ14に形成される連通孔1
7,17は、その位置や大きさにより回転軸13の回転
のアンバランスを軽減するための荷重調整用の貫通孔と
することができる。このため、該連通孔17,17が設
けられることにより、軽減される回転のアンバランス
分、前記バランサ18,18を小型にでき、ポンプ重量
を低減できる。
【0019】図4及び図5は、偏心アダプタの他の実施
例を示したものである。図4に示す偏心アダプタ34
は、一個の連通孔37を形成したものである。また、図
5に示す偏心アダプタ44は、外周の2ケ所に軸方向の
連通溝45,45を形成したものであり、偏心アダプタ
44の外周に嵌着されるベアリング15の内輪とにより
連通孔が構成される。上記各実施例の連通孔17,37
及び連通溝45の個数、大きさ及び断面形状は、回転の
アンバランスを軽減するための荷重調整用のもので、そ
れぞれ設計諸元に基づいて決定される。
例を示したものである。図4に示す偏心アダプタ34
は、一個の連通孔37を形成したものである。また、図
5に示す偏心アダプタ44は、外周の2ケ所に軸方向の
連通溝45,45を形成したものであり、偏心アダプタ
44の外周に嵌着されるベアリング15の内輪とにより
連通孔が構成される。上記各実施例の連通孔17,37
及び連通溝45の個数、大きさ及び断面形状は、回転の
アンバランスを軽減するための荷重調整用のもので、そ
れぞれ設計諸元に基づいて決定される。
【図1】本発明に係るポンプの縱断面図である。
【図2】図1におけるA−A線断面図である。
【図3】偏心アダプタを示す斜視図である。
【図4】偏心アダプタの他の実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図5】偏心アダプタの他の実施例を示す斜視図であ
る。
る。
1 ケーシング、 1a 円筒状内周面、 2 ロー
タ、3 ドライブフレーム、 4 リアフレーム、 6
シリンダ、13 回転軸、 14,34,44 偏心
アダプタ(偏心軸部)、15 ベアリング(グリースシ
ール型軸受)、 16a,16b 空間、17,37
連通孔(貫通孔) 20 ブレード、 24 吸入室、
25 吐出室、 26 吸入口、 27 吐出口、 4
5 連通溝。
タ、3 ドライブフレーム、 4 リアフレーム、 6
シリンダ、13 回転軸、 14,34,44 偏心
アダプタ(偏心軸部)、15 ベアリング(グリースシ
ール型軸受)、 16a,16b 空間、17,37
連通孔(貫通孔) 20 ブレード、 24 吸入室、
25 吐出室、 26 吸入口、 27 吐出口、 4
5 連通溝。
Claims (3)
- 【請求項1】 円筒状内周面を有するシリンダと、該シ
リンダ内に配置された回転軸と、該回転軸の偏心軸部に
嵌着したグリースシール型軸受を介して軸支されるとと
もに、前記回転軸の回転に伴って前記円筒状内周面に摺
接しながら公転するロータと、該ロータの外周面に摺接
するとともに、前記シリンダの半径方向に往復動して、
該シリンダと前記ロータとによって形成される空間を吸
入室と吐出室とに区画するブレードと、前記吸入室に連
通する吸入口と、前記吐出室に連通する吐出口を備えた
ローリングピストン式真空ポンプにおいて、 前記偏心軸部とグリースシール型軸受により軸方向で区
画されたロータ内の両空間を連通する連通孔を、前記偏
心軸部に形成したことを特徴とするローリングピストン
式真空ポンプ。 - 【請求項2】 前記偏心軸部に形成される連通孔は、回
転のアンバランスを軽減するための荷重調整用の貫通孔
としたことを特徴とする請求項1記載のローリングピス
トン式真空ポンプ。 - 【請求項3】 前記偏心軸部に形成される連通孔を、回
転のアンバランスを軽減するために該偏心軸部の外周に
設けられる荷重調整用の溝と、グリースシール型軸受と
で構成したことを特徴とする請求項1記載のローリング
ピストン式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5285394A JPH07233792A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | ローリングピストン式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5285394A JPH07233792A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | ローリングピストン式真空ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH07233792A true JPH07233792A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12926422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP5285394A Pending JPH07233792A (ja) | 1994-02-24 | 1994-02-24 | ローリングピストン式真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH07233792A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-02-24 JP JP5285394A patent/JPH07233792A/ja active Pending
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