JPH07230030A - 光学ステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 全高を低く維持して装置のコンパクト化及び
コスト低減を図る。 【構成】 磁石２９の吸着力で磁性体からなる土台に吸
着するマグネットベース部２２と、このマグネットベー
ス部２２上に設けられ光学素子を摺動可能に支持するス
テージ部２３とからなる光学ステージである。マグネッ
トベース部２２は、土台に直接に当接される底板２４
と、この底板２４に当接して設けられる磁石板２５と、
この磁石板２５を施蓋する蓋板２６とからなる。ステー
ジ部２３は、マグネットベース部２２側に支持される基
板（２６）と、この基板に摺動自在に取り付けられた摺
動板３３とからなる。この構成において、マグネットベ
ース部２２の蓋板２６とステージ部２３の前記基板とを
同一部材で兼用した。これにより、蓋板２６及び基板の
一方の厚さ分が薄くなり、全高を低くできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁石を用いて土台に吸
着することで光学素子を土台に固定支持すると共にこの
光学素子を摺動し得る光学ステージに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】光学ステージは、一般に図３に示すよう
な構成を有している。この光学ステージ１はマグネット
ベース部２とステージ部３とから構成されている。

【０００３】マグネットベース部２は、磁性体からなる
土台５に直接に当接される底板６と、この底板６上に当
接され底板６を介して土台５に吸着する磁石板７と、こ
の磁石板７を底板６との間で挟んで施蓋する蓋板８とか
ら概略構成されている。

【０００４】ステージ部３は、マグネットベース部２の
蓋板８に固定支持される基板１０と、この基板１０に摺
動自在に取り付けられた摺動板１１と、前記基板１０と
摺動板１１との間に介装され摺動板１１の摺動を案内支
持するローラガイド１２とから概略構成されている。

【０００５】マグネットベース部２の蓋板８とステージ
部３の基板１０とは、ねじ等で互いに固定される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記構成の
光学ステージ１では、マグネットベース部２とステージ
部３とがそれぞれ別部材として構成されているため、そ
の全高が高くなり、装置が嵩ばるという問題点がある。

【０００７】さらに、光学素子を設置する部分での光軸
の位置が低い場合には、この光学ステージ１を使用する
ことができないという問題点がある。

【０００８】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、全高を低く維持して装置のコンパクト化を図った光
学ステージを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
にこの発明に係る光学ステージは、磁石の吸着力で磁性
体からなる土台に吸着するマグネットベース部と、この
マグネットベース部上に設けられ光学素子を摺動可能に
支持するステージ部とからなる光学ステージにおいて、
前記マグネットベース部が、前記土台に直接に当接され
る底板と、この底板に当接して設けられる磁石板と、こ
の磁石板を施蓋して前記底板との間または底板及び土台
との間で磁路を形成する蓋板とからなり、前記ステージ
部が、前記マグネットベース部側に支持される基板と、
この基板に摺動自在に取り付けられた摺動板とからな
り、前記マグネットベース部の蓋板と前記ステージ部の
基板とを同一部材で兼用したことを特徴とする。

【００１０】

【作用】前記構成により、前記蓋板と基板とを同一部材
で兼用したので、この蓋板及び基板の一方の厚さ分を薄
くすることができ、光学ステージの全高を低くすること
ができるようになる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明に係る光学ステージの実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図１は本実施例に
係る光学ステージを示す斜視図、図２は図１の光学ステ
ージの主要部品を分解した状態で示す分解斜視図であ
る。

【００１２】本実施例の光学ステージ２１は、マグネッ
トベース部２２とステージ部２３とから概略構成されて
いる。マグネットベース部２２は、磁性体からなる土台
（図示せず）に直接に当接される磁性体製の底板２４
と、この底板２４に当接して設けられる磁石板２５と、
この磁石板２５を施蓋すると共にステージ部２３の基板
となる蓋板２６とから構成されている。

【００１３】底板２４は、図２に示すように、中央部に
非磁性体２４Ａ、両側に磁性体２４Ｂ，２４Ｃを合わせ
た一体板として構成されている。磁石板２５は、４つの
磁石２９を支持する円形支持板部３０と、この円形支持
板部３０を嵌合して回転可能に支持する回転支持板部３
１とから構成されている。円形支持板部３０には正方形
の各頂点位置に４ヵ所の磁石嵌合用穴３０Ａが設けら
れ、この各磁石嵌合用穴３０Ａに各磁石２９が嵌合して
支持されている。なお、図中の３０Ｂはこの円形支持板
部３０を回転させるためのレバーである。また、４つの
磁石２９はＮ極とＳ極の配列が調整されており、底板２
４の各磁性体２４Ｂ，２４Ｃと蓋板２６と土台とで閉磁
路を形成してマグネットベース部２２を土台に吸着する
ようになっている。さらに、円形支持板部３０を回転さ
せることで、底板２４の各磁性体２４Ｂ，２４Ｃと蓋板
２６とで閉磁路を形成してマグネットベース部２２を土
台から取り外すことができるようになっている。円形支
持板部３０の回転はレバー３０Ｂによりなされ、このレ
バー３０ＢによってＯＮ、ＯＦＦさせることで、光学ス
テージ２１を土台に着脱させる。

【００１４】回転支持板部３１は、全体を底板２４と同
様の四角形状の構成され、内部に円形支持板部３０を嵌
合するための円形の嵌合穴３１Ａが形成されると共に一
部がレバー３０Ｂを装着するために切り欠かかれてい
る。

【００１５】蓋板２６はその下側面を平坦面状に形成さ
れている。この蓋板２６は、円形支持板部３０及び回転
支持板部３１が互いに組み合わされて底板２４上に載置
された状態でその上側を施蓋して、円形支持板部３０を
底板２４及び回転支持板部３１と相俟って回転可能に支
持している。これら底板２４と蓋板２６と回転支持板部
３１とは各ねじ穴２６Ａ，３１Ｂ，２４Ｄを介してねじ
（図示せず）で互いに固定される。さらに、この蓋板２
６はステージ部２３の基板となっている。

【００１６】ステージ部２３は、図１に示すように、マ
グネットベース部２２上に設けられ、光学素子（図示せ
ず）を摺動可能に支持するものである。このステージ部
２３は、主に基板と、この基板を摺動する摺動板とから
構成されるが、ここでは基板として前記マグネットベー
ス部２２の蓋板２６をそのまま利用している。この蓋板
２６上に摺動板３３が摺動可能に支持されている。蓋板
２６の上側面には、図２に示すように、摺動板３３の摺
動を案内する突条３４が形成されている。摺動板３３の
下側面には、突条３４を施蓋するように摺動凹溝３５が
形成されている。この摺動凹溝３５は突条３４よりも大
きい幅に形成されている。蓋板２６に摺動板３３を装着
することで突条３４の両側にできる摺動凹溝３５との間
の空間には、クロスローラガイド３６，３７（図１参
照）が設けられている。このクロスローラガイド３６，
３７は、その一方が突条３４側に、他方が摺動凹溝３５
に支持され、摺動板３３をＸ軸上に正確に摺動し得るよ
うになっている。摺動板３３において、前記摺動凹溝３
５の側部（図２中の右側部）にはスプリング（図示せ
ず）が装着されるスプリング用凹溝３８が設けられてい
る。このスプリング用凹溝３８内において、スプリング
の一端は蓋板２６側に、他端は摺動板３３側にそれぞれ
接続される。このスプリングは蓋板２６に対して摺動板
３３を一方にのみ付勢するようにするためのものであ
る。蓋板２６のねじ穴３９はこのスプリングの一端を接
続するためのものである。摺動板３３の上側面には、光
学素子を取り付けるためのねじ穴３３Ａが設けられてい
る。

【００１７】なお、図１中の４１は蓋板２６に対して摺
動板３３を所定位置で固定するための固定ねじである。
４２は位置の微調整を行なうための微調整ねじ（マイク
ロメータ）で、蓋板２６に対しスプリングによって一方
に付勢された摺動板３３を微小量ずつ移動させる。

【００１８】以上の構成の光学ステージ２１は、摺動板
３３にねじ穴３３Ａを介して光学素子が取り付けられた
状態で、土台に載置される。マグネットベース部２２の
レバー３０Ｂを回してＯＮにし、各磁性体２４Ｂ，２４
Ｃと蓋板２６と土台とで閉磁路を形成して光学ステージ
２１を土台に吸着固定させる。

【００１９】光学ステージ２１を土台から取り外すとき
は、レバー３０Ｂを回してＯＦＦにし、各磁性体２４
Ｂ，２４Ｃと蓋板２６とで閉磁路を形成して光学ステー
ジ２１を土台から取り外す。

【００２０】摺動板３３に取り付けられた光学素子をＸ
軸方向に微調整するときは、微調整ねじ４２を回して行
なう。調整が終われば、固定ねじ４１によって摺動板３
３を蓋板２６側に固定する。

【００２１】以上のように構成された光学ステージ２１
では、マグネットベース部２２の蓋板２６をステージ部
２３の基板として兼用し、部品点数を減少させたので、
光学ステージ２１の全高を低くすることができる。これ
により、光学ステージ２１を薄型にコンパクト化するこ
とができ、高さが障害になることがなくなると共に、コ
スト低減を図ることができるようになる。

【００２２】なお、前記実施例では、光学素子を支持し
て摺動させる台としてＸ軸方向に摺動する摺動板３３を
設けたが、この摺動板３３の上にＹ軸方向に摺動する摺
動板を取り付けてもよい。これにより、Ｘ軸とＹ軸の両
方に摺動し得るステージを構成することができる。この
場合においても、光学ステージ２１の全高が従来品に比
べて低くなっているので、Ｙ軸用の摺動板を搭載しても
高さが障害になることはない。

【００２３】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明に係る光
学ステージでは、マグネットベース部の蓋板とステージ
部の基板とを同一部材で兼用する構成としたので、部品
点数が減少すると共に、光学ステージの全高を低く抑え
ることができる。これにより、コスト低減を図ることが
できると共に、全体がコンパクトになり、光学素子を所
定位置に装着したときに、その高さが障害になることが
なくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光学ステージを示す斜視図であ
る。

【図２】図１の光学ステージの主要部品を分解した状態
で示す分解斜視図である。

【図３】従来の光学ステージを示す正面図である。

【符号の説明】

２１…光学ステージ、２２…マグネットベース部、２３
…ステージ部、２４…底板、２５…磁石板、２６…蓋
板、３３…摺動板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁石の吸着力で磁性体からなる土台に吸
   着するマグネットベース部と、このマグネットベース部
   上に設けられ光学素子を摺動可能に支持するステージ部
   とからなる光学ステージにおいて、 前記マグネットベース部が、前記土台に直接に当接され
   る底板と、この底板に当接して設けられる磁石板と、こ
   の磁石板を施蓋して前記底板との間または底板及び土台
   との間で磁路を形成する蓋板とからなり、 前記ステージ部が、前記マグネットベース部側に支持さ
   れる基板と、この基板に摺動自在に取り付けられた摺動
   板とからなり、 前記マグネットベース部の蓋板と前記ステージ部の基板
   とを同一部材で兼用したことを特徴とする光学ステー
   ジ。